JPH04133378A - 放電励起パルスレーザ装置 - Google Patents
放電励起パルスレーザ装置Info
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- JPH04133378A JPH04133378A JP25623390A JP25623390A JPH04133378A JP H04133378 A JPH04133378 A JP H04133378A JP 25623390 A JP25623390 A JP 25623390A JP 25623390 A JP25623390 A JP 25623390A JP H04133378 A JPH04133378 A JP H04133378A
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- switch
- circuit
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 24
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 11
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- 240000007182 Ochroma pyramidale Species 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は単一または混合気体など種々の気体の放電を
利用して励起を行い短パルスレーザ光を発生させる放電
励起パルスレーザ装置に関するものである。
利用して励起を行い短パルスレーザ光を発生させる放電
励起パルスレーザ装置に関するものである。
第４図は従来のこの種放電励起パルスレーザ装置を示す
電気回路図、第５図はその動作の説明図である。第４図
において、１は主放電のためのエネルギを蓄積するコン
デンサ、２はピーキングコンデンサ、３は充電用のイン
ダクタンス、４はたとえばサイラトロン（熱陰極ガス入
り放電管）などからなる放電スタート用の高電圧スイッ
チ、５はレーザ媒質１０内に配設され、レーザ光軸方向
を長手方向とした第１の主電極、６はこの第１の主電極
５と所定間隔をあけて対向し、複数の開孔部を有する第
２の主電極、７はこの第２の主電極６と、補助電極８と
にサンドイッチ状に重合された誘電体、９は高電圧発生
装置である。また、Ａは互いに直接接続された時定数設
定用のインダクタンスＩＩＡ、ＩＩＢとコンデンサ１２
とによって形成された振動周期調整用の予備電離専用回
路、１３は上記時定数設定用のコンデンサ１２と補助電
極８との中間点である。
電気回路図、第５図はその動作の説明図である。第４図
において、１は主放電のためのエネルギを蓄積するコン
デンサ、２はピーキングコンデンサ、３は充電用のイン
ダクタンス、４はたとえばサイラトロン（熱陰極ガス入
り放電管）などからなる放電スタート用の高電圧スイッ
チ、５はレーザ媒質１０内に配設され、レーザ光軸方向
を長手方向とした第１の主電極、６はこの第１の主電極
５と所定間隔をあけて対向し、複数の開孔部を有する第
２の主電極、７はこの第２の主電極６と、補助電極８と
にサンドイッチ状に重合された誘電体、９は高電圧発生
装置である。また、Ａは互いに直接接続された時定数設
定用のインダクタンスＩＩＡ、ＩＩＢとコンデンサ１２
とによって形成された振動周期調整用の予備電離専用回
路、１３は上記時定数設定用のコンデンサ１２と補助電
極８との中間点である。
次に、動作について説明する。まず、コンデンサ１に充
電用にインダクタンス３を通して、また、コンデンサ１
２にインダクタンスＩＩＡ、ＩＩＢを通して高電圧の充
電ｉｘ、ｉｙを行なったあと、高電圧スイッチ４をＯＮ
操作するとピーキングコンデンサ２の両端の電圧、すな
わち、第２の主電極６を補助電極８間の電圧は、第５図
の電圧■に示すように上昇する。一方ピーキングコンデ
ンサ２と、第２の主電極６と、補助電極８とによって形
成されるコンデンサを充電するための第５図■Ａで示す
波形の電流がコンデンサ１から流れ込む。この電源３功
流れ込む速度は、コンデンサ１およびピーキングコンデ
ンサ２と、第２の主電極６および補助電極８とによって
形成されるコンデンサの合成容量と、回路中の浮遊イン
ダクタンスによって決まり、第５図の工、に示すように
５０〜１００ｎｓで立ち上がる。そして、同時に、時定
数設定用のインダクタンス１１Ａ、ＩＩＢおよびコンデ
ンサ１２、補助電極８、誘電体７、第２の主電極６、高
電圧スイッチ４からなる回路、すなわち予備電離専用回
路Ａも形成され、時定数設定用のコンデンサ１２と、第
２の主電極６の一誘電体７−補助電極８によって構成さ
れたコンデンサに蓄積されていた電荷が放電Ω芹ること
によって第２の主電極６の複数の開孔部において沿面放
電が発生し予備電離が行なわれる。
電用にインダクタンス３を通して、また、コンデンサ１
２にインダクタンスＩＩＡ、ＩＩＢを通して高電圧の充
電ｉｘ、ｉｙを行なったあと、高電圧スイッチ４をＯＮ
操作するとピーキングコンデンサ２の両端の電圧、すな
わち、第２の主電極６を補助電極８間の電圧は、第５図
の電圧■に示すように上昇する。一方ピーキングコンデ
ンサ２と、第２の主電極６と、補助電極８とによって形
成されるコンデンサを充電するための第５図■Ａで示す
波形の電流がコンデンサ１から流れ込む。この電源３功
流れ込む速度は、コンデンサ１およびピーキングコンデ
ンサ２と、第２の主電極６および補助電極８とによって
形成されるコンデンサの合成容量と、回路中の浮遊イン
ダクタンスによって決まり、第５図の工、に示すように
５０〜１００ｎｓで立ち上がる。そして、同時に、時定
数設定用のインダクタンス１１Ａ、ＩＩＢおよびコンデ
ンサ１２、補助電極８、誘電体７、第２の主電極６、高
電圧スイッチ４からなる回路、すなわち予備電離専用回
路Ａも形成され、時定数設定用のコンデンサ１２と、第
２の主電極６の一誘電体７−補助電極８によって構成さ
れたコンデンサに蓄積されていた電荷が放電Ω芹ること
によって第２の主電極６の複数の開孔部において沿面放
電が発生し予備電離が行なわれる。
上記予備電離専用回路Ａに蓄積された容量をＣ、インダ
クタンスの合計をＬとすると、その振動周期は２１轡ｒ
Ｔで−となる。
クタンスの合計をＬとすると、その振動周期は２１轡ｒ
Ｔで−となる。
一般に予備電離に必要な電荷量は、主放電に必要な電荷
量の１％程度でよいため、上記Ｃを小さく選択すると予
備電離専用回路への振動周期は主放電回路の振動周期の
１／１０以下にすることも可能となる。上述した動作の
波形図を笑５図に示す。図のように主放電が発生するま
でに予備電離の振動電流工、が２〜３回行われ、予備電
離の均一・性が向上することによって主放電のアークへ
の転移が抑制され、均一な主放電条件が生成される。
量の１％程度でよいため、上記Ｃを小さく選択すると予
備電離専用回路への振動周期は主放電回路の振動周期の
１／１０以下にすることも可能となる。上述した動作の
波形図を笑５図に示す。図のように主放電が発生するま
でに予備電離の振動電流工、が２〜３回行われ、予備電
離の均一・性が向上することによって主放電のアークへ
の転移が抑制され、均一な主放電条件が生成される。
従来の放電励起パルスレーザ装置は、以上のように構成
されているので、放電スタート用の高電圧スイッチにサ
イラトロンを用いると放電回路の電流がサイラトロンの
電極に集中して大きなインダクタンスが発生し、高速で
のスイッチングが困難になる。そこで、主たる放電回路
の電流を可飽和リアクトル等で一時的に制限し、その間
に予備電離を行うなどの工夫が必要で回路が複雑になる
などの課題があった。
されているので、放電スタート用の高電圧スイッチにサ
イラトロンを用いると放電回路の電流がサイラトロンの
電極に集中して大きなインダクタンスが発生し、高速で
のスイッチングが困難になる。そこで、主たる放電回路
の電流を可飽和リアクトル等で一時的に制限し、その間
に予備電離を行うなどの工夫が必要で回路が複雑になる
などの課題があった。
この発明は上記のような課題を解消するためになされた
もので、高電圧スイッチの構成を、例えば固体素子の一
種である電界効果形トランジスタ（以下、ＦＥＴ）モジ
ュールを直並列に結合した固体素子スイッチを用いてイ
ンダクタンスを小さくすると共に、予備電離専用回路に
パルスフォーミングラインを採用してパルス遅延を可能
にし、主放電のタイミングに予備電離のスタートタイミ
ングを合せられるようにした放電励起パルスレーザ装置
を得ることを目的とする。また、主放電スタート用と予
備電離スタート用のスイッチを別々に設け、バルサによ
って両スイッチを投入制御できるようにした放電励磁パ
ルスレーザ装置を得ることを目的とする。
もので、高電圧スイッチの構成を、例えば固体素子の一
種である電界効果形トランジスタ（以下、ＦＥＴ）モジ
ュールを直並列に結合した固体素子スイッチを用いてイ
ンダクタンスを小さくすると共に、予備電離専用回路に
パルスフォーミングラインを採用してパルス遅延を可能
にし、主放電のタイミングに予備電離のスタートタイミ
ングを合せられるようにした放電励起パルスレーザ装置
を得ることを目的とする。また、主放電スタート用と予
備電離スタート用のスイッチを別々に設け、バルサによ
って両スイッチを投入制御できるようにした放電励磁パ
ルスレーザ装置を得ることを目的とする。
請求項（１）記載の発明に係る放電励起パルスレーザ装
置は、レーザ媒質内に配設されて主放電を行い、レーザ
を発生する主電極と、その主放電をコンデンサに充電し
た電荷のパルス放電によって行う高電圧パルス回路と、
前記コンデンサに充電された電荷の放電スタートを捉す
スイッチとして固体素子を直並列に結合して構成した固
体素子スイッチと、前記固体素子スイッチの高圧側から
予備電離専用回路を導出してレーザ媒質内の補助電極に
接続し、主放電開始前に予備電離を誘起するタイミング
調整を可能にしたパルスフォーミングラインとを設けた
ものである。
置は、レーザ媒質内に配設されて主放電を行い、レーザ
を発生する主電極と、その主放電をコンデンサに充電し
た電荷のパルス放電によって行う高電圧パルス回路と、
前記コンデンサに充電された電荷の放電スタートを捉す
スイッチとして固体素子を直並列に結合して構成した固
体素子スイッチと、前記固体素子スイッチの高圧側から
予備電離専用回路を導出してレーザ媒質内の補助電極に
接続し、主放電開始前に予備電離を誘起するタイミング
調整を可能にしたパルスフォーミングラインとを設けた
ものである。
また、請求項（２）記載の発明に係る放電励起パルスレ
ーザ装置は、レーザ媒質内に配設された主放電を行いレ
ーザを発生する主電極と、前記主放電動作をコンデンサ
に充電した電荷をパルス放電させて行う高電圧パルス回
路と、前記コンデンサに充電された電荷の放電スタート
を捉す第１の固体素子スイッチと、前記主放電以前に予
備電離専用回路を介して予備電離放電のスタートを捉す
第２の固体素子スイッチと、前記第１の固体素子スイッ
チ及び第２の固体素子スイッチを投入するトリガ信号を
出力するパルサとを設けたものである。
ーザ装置は、レーザ媒質内に配設された主放電を行いレ
ーザを発生する主電極と、前記主放電動作をコンデンサ
に充電した電荷をパルス放電させて行う高電圧パルス回
路と、前記コンデンサに充電された電荷の放電スタート
を捉す第１の固体素子スイッチと、前記主放電以前に予
備電離専用回路を介して予備電離放電のスタートを捉す
第２の固体素子スイッチと、前記第１の固体素子スイッ
チ及び第２の固体素子スイッチを投入するトリガ信号を
出力するパルサとを設けたものである。
〔作用］
請求項（１）記載の発明における放電励起パルスレーザ
装置は、放電スタート用のスイッチを固体素子の一種で
あるＦＥＴモジュールを直並列に結合した固体素子スイ
ッチで構成し、高電圧パルス回路に流れる大電流を分流
させろ。そして、インダクタンスを小さく抑えると共に
、スイッチの高圧側から予備電離専用回路を分岐してパ
ルスフォーミングラインを介して補助電極に接続したの
で、スイッチ動作がより高速化され、主放電開始前の予
備電離タイミングを調整できる。
装置は、放電スタート用のスイッチを固体素子の一種で
あるＦＥＴモジュールを直並列に結合した固体素子スイ
ッチで構成し、高電圧パルス回路に流れる大電流を分流
させろ。そして、インダクタンスを小さく抑えると共に
、スイッチの高圧側から予備電離専用回路を分岐してパ
ルスフォーミングラインを介して補助電極に接続したの
で、スイッチ動作がより高速化され、主放電開始前の予
備電離タイミングを調整できる。
また、請求項（２）記載の発明における放電励起パルス
レーザ装置は、放電スタート用の第１の固体素子スイッ
チと予備電離放電スタート用の第２の固体素子スイッチ
とを別々に設け、該２組のスイッチを個別に投入するト
リガ信号なバルサによって行うようにしたので、効率の
良い主放電を行うに必要な好適な予備１１に離のスター
トタイミングが得られる。
レーザ装置は、放電スタート用の第１の固体素子スイッ
チと予備電離放電スタート用の第２の固体素子スイッチ
とを別々に設け、該２組のスイッチを個別に投入するト
リガ信号なバルサによって行うようにしたので、効率の
良い主放電を行うに必要な好適な予備１１に離のスター
トタイミングが得られる。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。図中
、第４図と同一の部分は同一の符号をもって図示した第
１図において、４Ｆは例えば、ＦＥＴ （電界効果形ト
ランジスタ）モジュールからなる固体素子スイッチ、１
１Ｐは予備電離回路に配設されパルスを遅延するパルス
フォーミングライン（以下、ＰＦＬと略称する）、２０
はコンデンサｌ、ピーキングコンデンサ２、充電用イン
ダクタンス３等から構成される高電圧パルス回路である
。
、第４図と同一の部分は同一の符号をもって図示した第
１図において、４Ｆは例えば、ＦＥＴ （電界効果形ト
ランジスタ）モジュールからなる固体素子スイッチ、１
１Ｐは予備電離回路に配設されパルスを遅延するパルス
フォーミングライン（以下、ＰＦＬと略称する）、２０
はコンデンサｌ、ピーキングコンデンサ２、充電用イン
ダクタンス３等から構成される高電圧パルス回路である
。
次に動作について説明する。回路の主要な動作は従来例
と同一であるので説明は省略する。まず、実施例では従
来、熱陰極ガス入り放電管などからなる放電スタート用
の高電圧スイッチに代えて固体素子の一種であるＦＥＴ
モジュールを直並列に結合して構成した固体素子スイッ
チ４Ｆを採用している。この回路の場合には、高電圧パ
ルス回路２０に流れる瞬時的な大電流を直並列に結合し
た多数の素子で分割して通流面積を大きくして分流させ
るためにトータルのインダクタンスを極めて小さくする
ことができる。よって遅れ要素が改善されて高速のスイ
ッチング動作が可能となる。また、従来の予備電離専用
回路Ａを設け、これを時定数設定用のインダクタンスＩ
ＩＡ、ＩＩＢ及び時定数設定用のコンデンサ１２等で構
成していたため、予備電離を捉す電流振動のタイミング
調整が困難であった。この発明はこれを従来のインダク
タンス約２００ｎＨから約２０ｎＨと小さくするためス
イッチの高電圧側から予備電離用回路を分岐し、ＰＥＬ
ＩＩＰを採用してその長さを調整するようにしている。
と同一であるので説明は省略する。まず、実施例では従
来、熱陰極ガス入り放電管などからなる放電スタート用
の高電圧スイッチに代えて固体素子の一種であるＦＥＴ
モジュールを直並列に結合して構成した固体素子スイッ
チ４Ｆを採用している。この回路の場合には、高電圧パ
ルス回路２０に流れる瞬時的な大電流を直並列に結合し
た多数の素子で分割して通流面積を大きくして分流させ
るためにトータルのインダクタンスを極めて小さくする
ことができる。よって遅れ要素が改善されて高速のスイ
ッチング動作が可能となる。また、従来の予備電離専用
回路Ａを設け、これを時定数設定用のインダクタンスＩ
ＩＡ、ＩＩＢ及び時定数設定用のコンデンサ１２等で構
成していたため、予備電離を捉す電流振動のタイミング
調整が困難であった。この発明はこれを従来のインダク
タンス約２００ｎＨから約２０ｎＨと小さくするためス
イッチの高電圧側から予備電離用回路を分岐し、ＰＥＬ
ＩＩＰを採用してその長さを調整するようにしている。
このことにより電流遅延の調整が可能となり電離のタイ
ミングが制御できるため蓄積される電子密度を最大状態
にして導出し適当な時間に主放電部に印加できるように
なる。
ミングが制御できるため蓄積される電子密度を最大状態
にして導出し適当な時間に主放電部に印加できるように
なる。
ＰＥＬＩＩＰの採用により電流パルスの振動周期は約３
程度度に高速化される。また、第２図は他の実施例を示
すもので、直列につないだ固体素子スイッチ４Ｆの中間
点近傍からリードを導出し、予備電離専用回路に接続す
るようにしたものである。この回路は予備電離専用回路
に印加される電圧を低（して第２の主電極６と補助電極
８との間に重合された誘電体の損傷を抑える。更に、第
３図は他の実施例を示したもので、第１及び第２の固体
素子スイッチ４Ｆ１．４Ｆ２を別々に設け、高電圧パル
ス回路２０と予備電離専用回路とに制御指令を分離でき
るようにしたものである。第１及び第２の固体素子スイ
ッチ４Ｆ１．４Ｆ２にＦＥＴモジュールを採用すると高
速応答での周期が容易なためタイミングの良い時期にパ
ルサ３０からトリガ信号を出力して予備電離動作を行う
ことができる。また、上記実施例では、高電圧放電回路
に容量移行回路を用いた例について説明したが、ＬＣ反
転回路やプルムライン回路であってもよ（上記実施例と
同様の効果を奏する。又、固体素子スイッチとしてＦＥ
Ｔモジュールを用いた％Ｉｌこついて説明したが、トラ
ンジスタやサイリスタあるいはサイラトロン、スパーク
ギャップなどを用いてもよく上記実施例と同様の効果を
奏する。
程度度に高速化される。また、第２図は他の実施例を示
すもので、直列につないだ固体素子スイッチ４Ｆの中間
点近傍からリードを導出し、予備電離専用回路に接続す
るようにしたものである。この回路は予備電離専用回路
に印加される電圧を低（して第２の主電極６と補助電極
８との間に重合された誘電体の損傷を抑える。更に、第
３図は他の実施例を示したもので、第１及び第２の固体
素子スイッチ４Ｆ１．４Ｆ２を別々に設け、高電圧パル
ス回路２０と予備電離専用回路とに制御指令を分離でき
るようにしたものである。第１及び第２の固体素子スイ
ッチ４Ｆ１．４Ｆ２にＦＥＴモジュールを採用すると高
速応答での周期が容易なためタイミングの良い時期にパ
ルサ３０からトリガ信号を出力して予備電離動作を行う
ことができる。また、上記実施例では、高電圧放電回路
に容量移行回路を用いた例について説明したが、ＬＣ反
転回路やプルムライン回路であってもよ（上記実施例と
同様の効果を奏する。又、固体素子スイッチとしてＦＥ
Ｔモジュールを用いた％Ｉｌこついて説明したが、トラ
ンジスタやサイリスタあるいはサイラトロン、スパーク
ギャップなどを用いてもよく上記実施例と同様の効果を
奏する。
［発明の効果〕
請求項（１）の発明によれば、コンデンサを充電した電
荷の主放電のスタートを捉すスイッチを固体素子を直並
列に結合した固体素子スイッチで構成し、かつその固体
素子スイッチの高圧側からパルスフォーミングラインを
有する予備電離専用回路を介して補助電極に接続し、主
放電の開始以前に実施する予備電離スタートのタイミン
グ調整をパルスフォーミングラインの長さを調整して行
えるように構成したので、より高速のスイッチングが実
現できると共に、主放電のタイミングに合せて均一な予
備電離を行うことができる効果がある。
荷の主放電のスタートを捉すスイッチを固体素子を直並
列に結合した固体素子スイッチで構成し、かつその固体
素子スイッチの高圧側からパルスフォーミングラインを
有する予備電離専用回路を介して補助電極に接続し、主
放電の開始以前に実施する予備電離スタートのタイミン
グ調整をパルスフォーミングラインの長さを調整して行
えるように構成したので、より高速のスイッチングが実
現できると共に、主放電のタイミングに合せて均一な予
備電離を行うことができる効果がある。
また、請求項（２）の発明によれば、主放電のスタート
を捉す第１の固体素子スイッチと予備電離放電のスター
トを捉す第２の固体素子スイッチとを設け、両スイッチ
の投入をパルサによって行うようにしたので、主放電を
最適条件で行うための予備電離のスタートタイミングを
設定できる効果がある。
を捉す第１の固体素子スイッチと予備電離放電のスター
トを捉す第２の固体素子スイッチとを設け、両スイッチ
の投入をパルサによって行うようにしたので、主放電を
最適条件で行うための予備電離のスタートタイミングを
設定できる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による放電励起パルスレ−
ザ装置の構成図、第２図、第３図は他の実施例を示す放
電励起パルスレーザ装置の構成図、第４図は従来の放電
励起パルスレーザ装置の構成図、第５図は第４図の動作
波形図である。 図において、１．２はコンデンサ、４Ｆ、４Ｆ１．４Ｆ
２は固体素子スイッチ、５．６は主電極、１０はレー媒
質、ＩＩＰはパルスフォーミングライン、ＩＩＰ、１２
は予備電離専用回路、２０は高電圧パルス回路、３０は
パルサである。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
ザ装置の構成図、第２図、第３図は他の実施例を示す放
電励起パルスレーザ装置の構成図、第４図は従来の放電
励起パルスレーザ装置の構成図、第５図は第４図の動作
波形図である。 図において、１．２はコンデンサ、４Ｆ、４Ｆ１．４Ｆ
２は固体素子スイッチ、５．６は主電極、１０はレー媒
質、ＩＩＰはパルスフォーミングライン、ＩＩＰ、１２
は予備電離専用回路、２０は高電圧パルス回路、３０は
パルサである。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (2)
- （１）レーザ媒質内に配設されて主放電を行い、レーザ
を発生する主電極と、前記主放電をコンデンサに充電し
た電荷のパルス放電によって行う高電圧パルス回路と、
前記コンデンサに充電された電荷の放電スタートを捉す
スイッチとして固体素子を直並列に結合して構成した固
体素子スイッチと、前記固体素子スイッチの高圧側から
予備電離専用回路を導出してレーザ媒質内の補助電極に
接続し、主放電開始前に予備電離を誘起するタイミング
調整を可能にしたパルスフォーミングラインとを備えた
放電励起パルスレーザ装置。 - （２）レーザ媒質内に配設されて主放電を行いレーザを
発生する主電極と、前記主放電をコンデンサに充電した
電荷をパルス放電させて行う高電圧パルス回路と、前記
コンデンサに充電された電荷の放電スタートを捉す第１
の固体素子スイッチと、前記主放電以前に予備電離専用
回路を介して予備電離放電のスタートを捉す第２の固体
素子スイッチと、前記第１の固体素子スイッチ及び第２
の固体素子スイッチを投入するトリガ信号を出力するパ
ルスとを備えた放電励起パルスレーザ装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25623390A JPH04133378A (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | 放電励起パルスレーザ装置 |
| US07/757,419 US5305338A (en) | 1990-09-25 | 1991-09-10 | Switch device for laser |
| GB9119426A GB2250131B (en) | 1990-09-25 | 1991-09-11 | Switch device for laser |
| DE4131949A DE4131949C2 (de) | 1990-09-25 | 1991-09-25 | Schalteinrichtungen für ein entladungserregtes Impulslasergerät |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25623390A JPH04133378A (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | 放電励起パルスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04133378A true JPH04133378A (ja) | 1992-05-07 |
Family
ID=17289786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25623390A Pending JPH04133378A (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | 放電励起パルスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04133378A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19541031A1 (de) * | 1994-11-04 | 1996-05-09 | Mitsubishi Electric Corp | Gepulste Laservorrichtung mit Entladungsanregung |
-
1990
- 1990-09-25 JP JP25623390A patent/JPH04133378A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19541031A1 (de) * | 1994-11-04 | 1996-05-09 | Mitsubishi Electric Corp | Gepulste Laservorrichtung mit Entladungsanregung |
| US5708676A (en) * | 1994-11-04 | 1998-01-13 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Discharge excitation type pulse laser apparatus |
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