JPH04121120U - 弾性表面波デバイス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ＩＤＴ電極を構成する電極指が放電によって
断線して特性が変化することを防止することができるよ
うにする。 【構成】 各電極指６ａ、８ａの対を成す二つの電極の
先端部間を、当該電極よりも幅の小さい電極１４、１６
でそれぞれつないだ。これにより、この電極１４、１６
がちょうどヒューズのような働きをする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、例えば弾性表面波フィルタ、弾性表面波共振器、弾性表面波遅延 線等の弾性表面波デバイスに関し、より具体的には、そのＩＤＴ電極を構成する 電極指が放電によって断線して特性が変化することを防止する手段に関する。

【０００２】

【従来の技術】

図４に、弾性表面波デバイスの一例を示す。この弾性表面波デバイスは、弾性 表面波フィルタの場合の例であり、圧電基板のような表面波基板２の表面に、互 いに間をあけて、入出力用に二つのＩＤＴ電極４、４が形成されている。各ＩＤ Ｔ電極４は、複数の電極指６ａ、８ａをそれぞれ有する一組のくし歯電極６、８ を交差させて成る。各くし歯電極６、８を構成する複数の電極指６ａ、８ａは、 詳細を図５に示すように、それぞれ二つの電極に分割されており、このような電 極指６ａ、８ａは、スプリットフィンガーとも呼ばれる。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

上記のような弾性表面波デバイスにおいて、対向する電極指６ａ、８ａ間に静 電気による帯電が生じることがあり、このときの帯電圧が一定値を越えると、例 えば矢印Ａのように放電が生じ、それによって流れる電流のジュール熱で電極指 ６ａ、８ａが断線することがある。特にエッチングの影響等で電極指６ａ、８ａ が局部的にやせ細っている場合（図中のＢ部参照）、その部分で断線する。

【０００４】 そしてこのような断線が起こると、それから先の部分が電気的に浮いてしまい 、特性が乱れて不良になる。

【０００５】 これを改善するために、各電極指６ａ、８ａの対を成す二つの電極の先端部間 を両方の電極と同じ幅の電極１０、１２でつなぐことが従来行われており、その ようにすれば電極指６ａ、８ａが断線してもそれから先の部分が電気的に浮いて しまうことを防止することができる。しかし、電極指６ａ、８ａ自体の断線を防 止することはできないので、断線による特性変化は避けられない。

【０００６】 そこでこの考案は、上記のような電極指が放電によって断線して特性が変化す るのを防止することができるようにすることを主たる目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、この考案の弾性表面波デバイスは、前述したような 各電極指の対を成す二つの電極の先端部間を、当該電極よりも幅の小さい電極で それぞれつないだことを特徴とする。

【０００８】

【作用】

上記のようにすれば、対向する電極指間に放電が生じた場合、その電流は、放 電が生じた電極の根本側とその先端部をつなぐ幅の小さい電極側の二方向に分か れて流れる。この場合、電極指を構成する電極よりもその先端部をつなぐ電極の 方が幅が小さいので単位長さ当たりの抵抗が大きく、従ってジュール熱による断 線はこの幅の小さい電極側で起こる。ところがこの電極が断線しても、それは特 性上は元々無くても良いものだから、特性に影響はない。

【０００９】

【実施例】

図１は、この考案の一実施例に係る弾性表面波デバイスのＩＤＴ電極部分を拡 大して部分的に示す平面図である。図５の従来例と同一または相当する部分には 同一符号を付し、以下においては当該従来例との相違点を主に説明する。

【００１０】 この実施例においては、前述したような各電極指６ａ、８ａの対を成す二つの 電極の先端部間を、当該電極よりも幅の小さい電極１４、１６でそれぞれつない でいる。

【００１１】 例えば図１あるいは図５中に矢印Ａに示すように、対向する電極指６ａ、８ａ 間に静電気による放電が生じた場合、その電流Ｉは従来例の場合は図３に示すよ うに、放電が生じた電極の根本側（バスバー６ｂ側）の一方向に流れる。ところ がこの実施例の場合は図２に示すように、電流は放電が生じた電極の根本側（Ｉ ₁ ）とその先端部をつなぐ電極１４側（Ｉ₂ ）の二方向に分かれて流れる。

【００１２】 両図中のＲ、Ｒ′は電極の単位長さ当たりの抵抗であるが、電極指６ａを構成 する電極よりもその先端部をつなぐ電極１４の方が幅が小さいのでＲ′＞Ｒとな り、従ってジュール熱による断線は抵抗の大きい電極１４側で起こる。即ち、こ の電極１４がちょうどヒューズのような働きをして、電極指６ａが（より具体的 にはそれを構成する電極が）断線するのを防止することができる。ところがこの 電極１４が断線しても、この電極１４は特性上は元々無くても良いものだから特 性に影響はない。

【００１３】 電極指８ａ側についても上記と同様であり、放電が生じても先端部の電極１６ が断線することによって、電極指８ａを構成する電極が断線するのを防止するこ とができる。

【００１４】 なお、図４の弾性表面波デバイスは、電極指６ａと８ａの交差幅に重み付けを した場合の例であるが、この考案は、一定交差幅（即ち正規型）の場合にも勿論 適用することができる。

【００１５】

【考案の効果】

以上のようにこの考案によれば、対向する電極指間で放電が生じても、電極指 を構成する電極間をつなぐ幅の小さい電極側が断線してちょうどヒューズのよう な働きをするので、電極指が放電によって断線して特性が変化することを防止す ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この考案の一実施例に係る弾性表面波デバイ
スのＩＤＴ電極部分を拡大して部分的に示す平面図であ
る。

【図２】 図１の弾性表面波デバイスにおける電極指部
分の等価回路図である。

【図３】 図５の弾性表面波デバイスにおける電極指部
分の等価回路図である。

【図４】 弾性表面波デバイスの一例を示す平面図であ
る。

【図５】 従来の弾性表面波デバイスのＩＤＴ電極部分
の一例を拡大して部分的に示す平面図である。

【符号の説明】

２ 表面波基板 ４ ＩＤＴ電極 ６，８ くし歯電極 ６ａ，８ａ 電極指 １４，１６ 幅の小さい電極

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 表面波基板の表面に、一組のくし歯電極
   を交差させて成るＩＤＴ電極が形成されており、しかも
   各くし歯電極を構成する複数の電極指がそれぞれ二つの
   電極に分割されている弾性表面波デバイスにおいて、前
   記各電極指の対を成す二つの電極の先端部間を、当該電
   極よりも幅の小さい電極でそれぞれつないだことを特徴
   とする弾性表面波デバイス。