JPH04112444A - 電子分光分析装置 - Google Patents
電子分光分析装置Info
- Publication number
- JPH04112444A JPH04112444A JP2230017A JP23001790A JPH04112444A JP H04112444 A JPH04112444 A JP H04112444A JP 2230017 A JP2230017 A JP 2230017A JP 23001790 A JP23001790 A JP 23001790A JP H04112444 A JPH04112444 A JP H04112444A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron
- cma
- specimen
- electron beam
- optical axis
- Prior art date
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- Granted
Links
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 title description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 23
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 15
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〉
本発明は試料に電子ビームを照射したとき試料から放出
される電子のエネルギー分析を行うことにより試料につ
いての分析情報を得る電子分光分析装置に関する。
される電子のエネルギー分析を行うことにより試料につ
いての分析情報を得る電子分光分析装置に関する。
（従来の技術）
試料に電子ビームを照射したとき試料から放出される電
子のエルギースペクトルは広いエネルギー範囲に広がっ
ているが、低エネルギー領域；こおけるゆるやかな広い
山は２次電子のスペクトルであり、この２次電子のエネ
ルギースペクトルのゆるやかな山に乗って小さなピーク
が検出されろ。
子のエルギースペクトルは広いエネルギー範囲に広がっ
ているが、低エネルギー領域；こおけるゆるやかな広い
山は２次電子のスペクトルであり、この２次電子のエネ
ルギースペクトルのゆるやかな山に乗って小さなピーク
が検出されろ。
このピークはオージェ電子によるものであって、このオ
ージェ電子を検出することにより試料内の元素の結合状
態等を知ることかできる。従来このオージェ電子を検出
するオージェ電子分光分析装置にはエネルギー分析器と
して感度の良い円筒鏡型エネルギー分析器（ＣＭＡ）が
用いられている。
ージェ電子を検出することにより試料内の元素の結合状
態等を知ることかできる。従来このオージェ電子を検出
するオージェ電子分光分析装置にはエネルギー分析器と
して感度の良い円筒鏡型エネルギー分析器（ＣＭＡ）が
用いられている。
上述したＣＭＡは高感度と云う利点はあるが、焦点深度
が浅（視界がせま（て、試料面の分析点を精密にＣＭＡ
の焦点位置に合せる必要があり、試料像面を走査しても
極くせまい範囲の分析しかできない。
が浅（視界がせま（て、試料面の分析点を精密にＣＭＡ
の焦点位置に合せる必要があり、試料像面を走査しても
極くせまい範囲の分析しかできない。
（発明が解決しようとする課題）
本発明はＣＭＡを用いた電子分光分析装置て試１面の広
い範囲を分析可能にする或は広範囲の低倍率像を得られ
るようにしようとするものである。
い範囲を分析可能にする或は広範囲の低倍率像を得られ
るようにしようとするものである。
（：４Ｂを解決するための手段）
電子ビームを試料面に照射する電子線源と、電子ビーム
で試料面を走査するように上記電子ビームをｘ、ｙ方向
に偏向させる偏向手段と、試料面上の一点に焦点位置を
有するＣ Ｍ Ａと、このＣＭＡと試料面との間に配置
されたｘ、ｙ方向の電子偏向手段とを有し、上記電子ビ
ームの試料面照射点が上記ＣＭＡの焦点となるように上
記二組の電子偏向手段を同期して作動させるようにした
電子分光分析装置を提供する。
で試料面を走査するように上記電子ビームをｘ、ｙ方向
に偏向させる偏向手段と、試料面上の一点に焦点位置を
有するＣ Ｍ Ａと、このＣＭＡと試料面との間に配置
されたｘ、ｙ方向の電子偏向手段とを有し、上記電子ビ
ームの試料面照射点が上記ＣＭＡの焦点となるように上
記二組の電子偏向手段を同期して作動させるようにした
電子分光分析装置を提供する。
（作用）
ＣＭＡと試料面との間に電子偏向手段が配置しであるの
で、ＣＭＡの光軸は電子偏向手段によって曲げられ、焦
点位置が電子偏向手段の動作によって試料面を走査する
。ＣＭＡの自身の像の視界はせまいが、この構成によっ
てＣＭＡの視点が試料面を走査するので、特定のエネル
ギーの電子による広い範囲の試料像を得ることができる
。ＣＭＡに入射する電子は試料面を励起線で照射するこ
とにより試料から放出された電子であるから、ＣＭＡの
焦点が試料面を走査するだけでは試料面の像は得られな
いが、試料面を照射する電子ビームがＣＭＡの光軸の試
料面走査と同期して試料面を走査し、電子ビーム照射点
とＣＭＡの焦点とか常に一致していることによって試料
綿花等放射される特定エネルギーの電子による試料面の
像が得られるのである。
で、ＣＭＡの光軸は電子偏向手段によって曲げられ、焦
点位置が電子偏向手段の動作によって試料面を走査する
。ＣＭＡの自身の像の視界はせまいが、この構成によっ
てＣＭＡの視点が試料面を走査するので、特定のエネル
ギーの電子による広い範囲の試料像を得ることができる
。ＣＭＡに入射する電子は試料面を励起線で照射するこ
とにより試料から放出された電子であるから、ＣＭＡの
焦点が試料面を走査するだけでは試料面の像は得られな
いが、試料面を照射する電子ビームがＣＭＡの光軸の試
料面走査と同期して試料面を走査し、電子ビーム照射点
とＣＭＡの焦点とか常に一致していることによって試料
綿花等放射される特定エネルギーの電子による試料面の
像が得られるのである。
（実施例）
図面は本発明の一実施例装置を示す。図で１は円筒鏡型
エネルギー分析器（ＣＭＡ）で、２は電子検出器である
。鎖線ＡはＣＭＡの光軸で、Ｓは試料であり、０は光軸
Ａと試料面との交点でＣＭＡｌの焦点と一致させである
。光軸Ａを中心にして、ｘ、ｙ両方位向への電子偏向電
極３が配置しである。４は電子線源で、鎖ＭＥはその光
軸であり、光軸Ｅは０点で試料面と交わるようにしてあ
り、電子ビームは０点に集束せしめられるようになって
いる。光軸Ｅを囲んでｘ、ｙ２方向への電子ビーム偏向
電極５が配置されている。６は走査信号発生器で、その
出力が二組の偏向電極３，５に印加され、ＣＭＡＩの光
軸Ａと電子源４の光軸Ｅは夫々の偏向電極によって曲げ
られ、両者の試料面との交点は常に一致しながら試料面
を走査する。なお走査信号発生器６の出力は電子ビーム
偏向電極５に直接印加されるのではなく、途中に信号変
換回路７が挿入しである。ＣＭＡの光軸Ａは試料面に対
して垂直であるから、偏向電極３に印加するＸ方向、ｙ
方向の走査信号は振幅一定の直線的鋸歯状波形でよいが
、電子線源４の光軸Ｅは試料面に対し傾いているので、
Ｘ方向（図の紙面に垂直）の偏向信号は直線鋸歯状波で
あっても、その振幅がｙの増加方向（図矢印ｙ）に段々
小さ（なるようにしなければならないし、ｙ方向走査信
号も直線鋸歯状歯ではＸ方向走査線のかんか（がｙの増
加につれて次第に広がって来るから、信号の値の増加率
がｙの増加と共に減少して行（ようになっている必要が
ある。信号変換回路７は上述した要求に合せて走査信号
発生器６の出力信号を変換するものである。
エネルギー分析器（ＣＭＡ）で、２は電子検出器である
。鎖線ＡはＣＭＡの光軸で、Ｓは試料であり、０は光軸
Ａと試料面との交点でＣＭＡｌの焦点と一致させである
。光軸Ａを中心にして、ｘ、ｙ両方位向への電子偏向電
極３が配置しである。４は電子線源で、鎖ＭＥはその光
軸であり、光軸Ｅは０点で試料面と交わるようにしてあ
り、電子ビームは０点に集束せしめられるようになって
いる。光軸Ｅを囲んでｘ、ｙ２方向への電子ビーム偏向
電極５が配置されている。６は走査信号発生器で、その
出力が二組の偏向電極３，５に印加され、ＣＭＡＩの光
軸Ａと電子源４の光軸Ｅは夫々の偏向電極によって曲げ
られ、両者の試料面との交点は常に一致しながら試料面
を走査する。なお走査信号発生器６の出力は電子ビーム
偏向電極５に直接印加されるのではなく、途中に信号変
換回路７が挿入しである。ＣＭＡの光軸Ａは試料面に対
して垂直であるから、偏向電極３に印加するＸ方向、ｙ
方向の走査信号は振幅一定の直線的鋸歯状波形でよいが
、電子線源４の光軸Ｅは試料面に対し傾いているので、
Ｘ方向（図の紙面に垂直）の偏向信号は直線鋸歯状波で
あっても、その振幅がｙの増加方向（図矢印ｙ）に段々
小さ（なるようにしなければならないし、ｙ方向走査信
号も直線鋸歯状歯ではＸ方向走査線のかんか（がｙの増
加につれて次第に広がって来るから、信号の値の増加率
がｙの増加と共に減少して行（ようになっている必要が
ある。信号変換回路７は上述した要求に合せて走査信号
発生器６の出力信号を変換するものである。
図で８は電子検出器２の出力を増幅するプリアンプ、９
はバイパスフィルタ、１０はロックインアンプである。
はバイパスフィルタ、１０はロックインアンプである。
１１はＣＭＡに印加する電圧源で、ＣＭＡ印加電圧を変
えることにより、ＣＭＡを通過して電子検出器２に入射
できる電子のエネルギーが変化する。１２は高周波発振
器で、その出力は電圧源１１の出力電圧に重畳してＣＭ
Ａに印加される。ロックインアンプ１０は検出信号の周
波数がこの高周波発振器の出力周波数に合せである。ロ
ックインアンプ１０の出力がＣＲＴ１３に輝度信号とし
て印加され、ＣＲＴ１３は走査信号発生器６の出力によ
り走査されて試料面の像を形成する。
えることにより、ＣＭＡを通過して電子検出器２に入射
できる電子のエネルギーが変化する。１２は高周波発振
器で、その出力は電圧源１１の出力電圧に重畳してＣＭ
Ａに印加される。ロックインアンプ１０は検出信号の周
波数がこの高周波発振器の出力周波数に合せである。ロ
ックインアンプ１０の出力がＣＲＴ１３に輝度信号とし
て印加され、ＣＲＴ１３は走査信号発生器６の出力によ
り走査されて試料面の像を形成する。
オージェ電子は試料から放出される２次電子の広いゆる
やかなエネルギースペクトルの山に乗った小さなピーク
として存在するので、電子検出器２の出力をそのま＼Ｃ
ＲＴ１３に入力しても、試料面の２次電子像が観察され
るだけである。上述構成によってＣＭＡに印加する電圧
を高周波によって浅く変調しておくことにより、オージ
ェ電子のスペクトルビークを中心に小さなエネルギー幅
の範囲を走査し、電子検出器２の出力信号から、上記高
周波と同じ周波数の成分だけをロックインアンプ１０で
抽出することによりオージェ電子の検出信号が得られる
ことになる。
やかなエネルギースペクトルの山に乗った小さなピーク
として存在するので、電子検出器２の出力をそのま＼Ｃ
ＲＴ１３に入力しても、試料面の２次電子像が観察され
るだけである。上述構成によってＣＭＡに印加する電圧
を高周波によって浅く変調しておくことにより、オージ
ェ電子のスペクトルビークを中心に小さなエネルギー幅
の範囲を走査し、電子検出器２の出力信号から、上記高
周波と同じ周波数の成分だけをロックインアンプ１０で
抽出することによりオージェ電子の検出信号が得られる
ことになる。
１４は制御装置であって、種々な制御動作を行っている
が、その中の一つの動作として、ＣＭＡＩに印加する電
圧源１１の出力電圧を変えたとき、それに合せて走査信
号発生器６の出力電圧の振幅を変える動作がある。これ
はＣＭ ＡＯ印加電圧を変えると検出される電子のエネ
ルギーが変化するが、電子のエネルギーが異ると、偏向
電極３．５による電子の偏向角が異なってくるから、選
択したエネルギーの如何に関せず、試料面の同じ広さの
範囲を走査できるようにするためである。
が、その中の一つの動作として、ＣＭＡＩに印加する電
圧源１１の出力電圧を変えたとき、それに合せて走査信
号発生器６の出力電圧の振幅を変える動作がある。これ
はＣＭ ＡＯ印加電圧を変えると検出される電子のエネ
ルギーが変化するが、電子のエネルギーが異ると、偏向
電極３．５による電子の偏向角が異なってくるから、選
択したエネルギーの如何に関せず、試料面の同じ広さの
範囲を走査できるようにするためである。
上述実施例ではＣＭＡや電子ｍ源の高軸Ａ、Ｅを曲げる
のに偏向電極３．５を用いているが、これは走査用の偏
向コイルにしてもよいことは云うまでもない。
のに偏向電極３．５を用いているが、これは走査用の偏
向コイルにしてもよいことは云うまでもない。
図は本発明の一実施例装置の構成を示すブロック図であ
る。 １・・・円筒鏡型エネルギー分析器（ＣＭＡ） 、２・
・電子検出器、３・・・偏向電極、４・・・電子線源、
５・・電子ビーム偏向電極、Ｓ・・・試料、６・・・走
査信号発生器、７・・・信号変換回路、８・・・プリア
ンプ、９・・・バイパスフィルタ、１０・・・ロックイ
ンアンプ、１１・・・ＣＭ Ａの印加電圧源、１２・・
・高周波発振器、１３・・・ＣＲＴ、１４・・・制御装
置。 代理人 弁理士 縣 浩 介
る。 １・・・円筒鏡型エネルギー分析器（ＣＭＡ） 、２・
・電子検出器、３・・・偏向電極、４・・・電子線源、
５・・電子ビーム偏向電極、Ｓ・・・試料、６・・・走
査信号発生器、７・・・信号変換回路、８・・・プリア
ンプ、９・・・バイパスフィルタ、１０・・・ロックイ
ンアンプ、１１・・・ＣＭ Ａの印加電圧源、１２・・
・高周波発振器、１３・・・ＣＲＴ、１４・・・制御装
置。 代理人 弁理士 縣 浩 介
Claims (1)
- 電子ビームを試料面に照射する電子線源と、電子ビーム
で試料面を走査するように上記電子ビームをｘ、ｙ方向
に偏向させる偏向手段と、試料上の一点に焦点位置を有
するＣＭＡと、このＣＭＡと試料面との間に配置された
ｘ、ｙ方向の電子偏向手段とを有し、上記電子ビームの
試料面照射点が上記ＣＭＡの焦点となるように上記二組
の電子偏向手段を同期して作動させるようにした電子分
光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2230017A JP3055157B2 (ja) | 1990-08-30 | 1990-08-30 | 電子分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2230017A JP3055157B2 (ja) | 1990-08-30 | 1990-08-30 | 電子分光分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04112444A true JPH04112444A (ja) | 1992-04-14 |
| JP3055157B2 JP3055157B2 (ja) | 2000-06-26 |
Family
ID=16901271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2230017A Expired - Fee Related JP3055157B2 (ja) | 1990-08-30 | 1990-08-30 | 電子分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3055157B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8486595B2 (en) | 2009-09-10 | 2013-07-16 | Ricoh Company, Ltd. | Image bearing member, image forming apparatus, and process cartridge |
-
1990
- 1990-08-30 JP JP2230017A patent/JP3055157B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8486595B2 (en) | 2009-09-10 | 2013-07-16 | Ricoh Company, Ltd. | Image bearing member, image forming apparatus, and process cartridge |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3055157B2 (ja) | 2000-06-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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