JPH11326205A - レーザブレイクダウン分光分析装置 - Google Patents
レーザブレイクダウン分光分析装置Info
- Publication number
- JPH11326205A JPH11326205A JP12603898A JP12603898A JPH11326205A JP H11326205 A JPH11326205 A JP H11326205A JP 12603898 A JP12603898 A JP 12603898A JP 12603898 A JP12603898 A JP 12603898A JP H11326205 A JPH11326205 A JP H11326205A
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- Japan
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- light
- beam splitter
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料周辺の空間が狭隘な場合においても使用
が可能なレーザブレイクダウン分光分析装置を提供する
こと 【解決手段】 レーザ光源、同レーザ光源のレーザ光の
偏光方向の光を反射する偏光ビームスプリッタ、反射し
た同レーザ光を集光しその焦点位置にある試料に照射す
る第１のレンズ、同第１のレンズと前記偏光ビームスプ
リッタを通る一軸上に同偏光ビームスプリッタを挟んで
同第１のレンズと向き合って配置された第２のレンズ、
同第２のレンズの前記偏光ビームスプリッタと反対側で
前記軸に平行な光を集光する焦点位置に配置され同第２
のレンズが集光した光を受光する受光部を有し、同受光
部に受けた光を分析することを特徴とするレーザブレイ
クダウン分光分析装置。
が可能なレーザブレイクダウン分光分析装置を提供する
こと 【解決手段】 レーザ光源、同レーザ光源のレーザ光の
偏光方向の光を反射する偏光ビームスプリッタ、反射し
た同レーザ光を集光しその焦点位置にある試料に照射す
る第１のレンズ、同第１のレンズと前記偏光ビームスプ
リッタを通る一軸上に同偏光ビームスプリッタを挟んで
同第１のレンズと向き合って配置された第２のレンズ、
同第２のレンズの前記偏光ビームスプリッタと反対側で
前記軸に平行な光を集光する焦点位置に配置され同第２
のレンズが集光した光を受光する受光部を有し、同受光
部に受けた光を分析することを特徴とするレーザブレイ
クダウン分光分析装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はレーザブレイクダウ
ン分光法による材質、成分の分析装置の光学系に関す
る。
ン分光法による材質、成分の分析装置の光学系に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来のレーザブレイクダウン分光
法による分析装置の構成の説明図である。レーザ光源０
１からレーザ光０１１が照射されレンズ０２によって同
レンズの焦点位置にある試料０３上に集光する。集光し
たレーザ光によって試料物質はブレイクダウンされプラ
ズマ状態に励起されてプラズマ発光０１２を生じる。
法による分析装置の構成の説明図である。レーザ光源０
１からレーザ光０１１が照射されレンズ０２によって同
レンズの焦点位置にある試料０３上に集光する。集光し
たレーザ光によって試料物質はブレイクダウンされプラ
ズマ状態に励起されてプラズマ発光０１２を生じる。
【０００３】レーザ光軸と異なる試料０３の位置を通る
他の一軸、プラズマ発光受光軸、上に配設されたレンズ
０４が捉えたプラズマ発光０１２はレンズ０４によって
同レンズ０４の焦点位置にあるプラズマ発光の受光部で
ある光ファイバーの入射端０１３に集光され、光ファイ
バー０５によって分光器０６に導かれる。プラズマ発光
は分光器６によってスペクトルに分光され、光検出器０
７によって電気信号０１４に変換される。この信号０１
４は信号処理装置０８によって解析され、スペクトルの
波形から試料０３の材質、成分が分析される。
他の一軸、プラズマ発光受光軸、上に配設されたレンズ
０４が捉えたプラズマ発光０１２はレンズ０４によって
同レンズ０４の焦点位置にあるプラズマ発光の受光部で
ある光ファイバーの入射端０１３に集光され、光ファイ
バー０５によって分光器０６に導かれる。プラズマ発光
は分光器６によってスペクトルに分光され、光検出器０
７によって電気信号０１４に変換される。この信号０１
４は信号処理装置０８によって解析され、スペクトルの
波形から試料０３の材質、成分が分析される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし前記のような従
来装置の構成では、レーザ光０１１照射の為のレンズ０
２と、プラズマ発光０１２の集光の為のレンズ０４とが
試料０３の位置を通る異なる軸上に配置されているため
に、試料０３を中心としてその周辺にレーザ光軸とプラ
ズマ発光受光軸の両方を配置できる広い空間が必要とな
る。したがって、試料０３が配管内等の狭い空間に在っ
て、配管等に設けられた窓を介して測定しなければなら
ない場合、この装置構成では測定が極めて困難となる。
来装置の構成では、レーザ光０１１照射の為のレンズ０
２と、プラズマ発光０１２の集光の為のレンズ０４とが
試料０３の位置を通る異なる軸上に配置されているため
に、試料０３を中心としてその周辺にレーザ光軸とプラ
ズマ発光受光軸の両方を配置できる広い空間が必要とな
る。したがって、試料０３が配管内等の狭い空間に在っ
て、配管等に設けられた窓を介して測定しなければなら
ない場合、この装置構成では測定が極めて困難となる。
【０００５】本発明は試料周辺の空間が狭隘な場合にお
いても使用が可能なレーザブレイクダウン分光分析装置
を提供することを課題とするものである。
いても使用が可能なレーザブレイクダウン分光分析装置
を提供することを課題とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は前記した課題を
解決すべくなされたもので、レーザ光源、同レーザ光源
のレーザ光の偏光方向の光を反射する偏光ビームスプリ
ッタ、反射した同レーザ光を集光しその焦点位置にある
試料に照射する第１のレンズ、同第１のレンズと前記偏
光ビームスプリッタを通る一軸上に同偏光ビームスプリ
ッタを挟んで同第１のレンズと向き合って配置された第
２のレンズ、同第２のレンズの前記偏光ビームスプリッ
タと反対側で前記軸に平行な光を集光する焦点位置に配
置され同第２のレンズが集光した光を受光する受光部を
有し、同受光部に受けた光を分析することを特徴とする
レーザブレイクダウン分光分析装置を提供するものであ
る。
解決すべくなされたもので、レーザ光源、同レーザ光源
のレーザ光の偏光方向の光を反射する偏光ビームスプリ
ッタ、反射した同レーザ光を集光しその焦点位置にある
試料に照射する第１のレンズ、同第１のレンズと前記偏
光ビームスプリッタを通る一軸上に同偏光ビームスプリ
ッタを挟んで同第１のレンズと向き合って配置された第
２のレンズ、同第２のレンズの前記偏光ビームスプリッ
タと反対側で前記軸に平行な光を集光する焦点位置に配
置され同第２のレンズが集光した光を受光する受光部を
有し、同受光部に受けた光を分析することを特徴とする
レーザブレイクダウン分光分析装置を提供するものであ
る。
【０００７】すなわち本発明によれば、前記第１のレン
ズと偏光ビームスプリッタの間は試料へ照射するレーザ
光軸と試料からのプラズマ発光受光軸が同軸上にあるた
め一軸上に装置を配置構成できるので、試料の周辺の空
間が狭隘のため従来装置では測定困難な場合でも測定が
可能となる。
ズと偏光ビームスプリッタの間は試料へ照射するレーザ
光軸と試料からのプラズマ発光受光軸が同軸上にあるた
め一軸上に装置を配置構成できるので、試料の周辺の空
間が狭隘のため従来装置では測定困難な場合でも測定が
可能となる。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の実施の一形態について図
１に基づいて以下説明する。
１に基づいて以下説明する。
【０００９】１はレーザ光源であり、偏光方向が図１に
おいて図面に垂直、すなわち図面を突き抜ける方向の偏
光方向を持つレーザ光１１を照射する。偏光ビームスプ
リッッタ９は図１において図面に垂直の偏光方向の光を
反射するように設定され、図面に垂直に立ち、その反射
面をレーザ光源１向きより４５度傾けて配置されて同レ
ーザ光源１から照射されたレーザ光１１を９０度の角度
で反射する。
おいて図面に垂直、すなわち図面を突き抜ける方向の偏
光方向を持つレーザ光１１を照射する。偏光ビームスプ
リッッタ９は図１において図面に垂直の偏光方向の光を
反射するように設定され、図面に垂直に立ち、その反射
面をレーザ光源１向きより４５度傾けて配置されて同レ
ーザ光源１から照射されたレーザ光１１を９０度の角度
で反射する。
【００１０】レーザ光照射のためのレンズ２が前記偏光
ビームスプリッッタ９で反射されたレーザ光１１を試料
３の位置に集光するように配設されている。即ちレンズ
２は、偏光ビームスプリッッタ９から反射されたレーザ
光１１の光軸上に配置され試料３の位置はレンズ２の焦
点位置にある。なお、さらにレーザ光の光軸とレンズ２
の光軸が一致しているのがより好ましい。
ビームスプリッッタ９で反射されたレーザ光１１を試料
３の位置に集光するように配設されている。即ちレンズ
２は、偏光ビームスプリッッタ９から反射されたレーザ
光１１の光軸上に配置され試料３の位置はレンズ２の焦
点位置にある。なお、さらにレーザ光の光軸とレンズ２
の光軸が一致しているのがより好ましい。
【００１１】４はプラズマ発光１２の集光用のレンズで
あり、試料３の位置とレンズ２および偏光ビームスプリ
ッタ９を結ぶ一軸上に偏向ビームスプリッタ９を挟んで
レンズ２と反対側にレンズ２に向けて配設されている。
レンズ４のレンズ２側と反対側にある上記軸に平行な光
に対する焦点位置には光ファイバー５の入射端１３が配
設されており、試料３の位置から発した光はレンズ２に
より前記軸との平行光線となりレンズ４を照射し、同入
射端１３に集光する。なお、同平行光線の光軸とレンズ
４の光軸が一致しているのがより好ましい。
あり、試料３の位置とレンズ２および偏光ビームスプリ
ッタ９を結ぶ一軸上に偏向ビームスプリッタ９を挟んで
レンズ２と反対側にレンズ２に向けて配設されている。
レンズ４のレンズ２側と反対側にある上記軸に平行な光
に対する焦点位置には光ファイバー５の入射端１３が配
設されており、試料３の位置から発した光はレンズ２に
より前記軸との平行光線となりレンズ４を照射し、同入
射端１３に集光する。なお、同平行光線の光軸とレンズ
４の光軸が一致しているのがより好ましい。
【００１２】光ファイバー５は分光器６に接続してお
り、同入射端１３に入射した光は同分光器６に導かれ、
スペクトルに分光され、光検出器７によって電気信号に
変換され、この信号は信号処理装置９に送られるように
構成されている。
り、同入射端１３に入射した光は同分光器６に導かれ、
スペクトルに分光され、光検出器７によって電気信号に
変換され、この信号は信号処理装置９に送られるように
構成されている。
【００１３】上記の装置において、レーザ光源１から照
射されるレーザ光１１は偏光ビームスプリッタ９で９０
度の角度で、図１上では右方向へ、反射され、反射され
たレーザ光１１はレンズ２によってその焦点位置にある
試料３上に集光され、試料物質は従来装置で説明したと
同様にブレイクダウンされプラズマ発光１２を生ずる。
レンズ２に捉えられた同プラズマ発光１２は平行光線と
なり、その光軸上、すなわちプラズマ発光受光軸上に位
置するレンズ４に捉えられ、レンズ４の焦点位置にある
プラズマ発光の受光部である光ファイバー５の入射端１
３に集光される。
射されるレーザ光１１は偏光ビームスプリッタ９で９０
度の角度で、図１上では右方向へ、反射され、反射され
たレーザ光１１はレンズ２によってその焦点位置にある
試料３上に集光され、試料物質は従来装置で説明したと
同様にブレイクダウンされプラズマ発光１２を生ずる。
レンズ２に捉えられた同プラズマ発光１２は平行光線と
なり、その光軸上、すなわちプラズマ発光受光軸上に位
置するレンズ４に捉えられ、レンズ４の焦点位置にある
プラズマ発光の受光部である光ファイバー５の入射端１
３に集光される。
【００１４】この時、レンズ２を通ったプラズマ発光１
２は全偏光方向を有するので、レンズ４に到達する前に
偏光ビームスプリッタ９に当った光のうち約半量がレー
ザ光源１の方向へ反射するが、その程度のプラズマ発光
１２がレーザ光源１を照射しても問題はなく、またその
分レンズ４に到達するプラズマ発光１２が減ずるが測定
上なんら支障にはならない。
２は全偏光方向を有するので、レンズ４に到達する前に
偏光ビームスプリッタ９に当った光のうち約半量がレー
ザ光源１の方向へ反射するが、その程度のプラズマ発光
１２がレーザ光源１を照射しても問題はなく、またその
分レンズ４に到達するプラズマ発光１２が減ずるが測定
上なんら支障にはならない。
【００１５】光ファイバー５の入射端１３に集光された
プラズマ発光１２は光ファイバー５によって分光器６に
導かれてスペクトルに分光され、さらに光検出器７によ
って電気信号１４に変換される。この信号１４は信号処
理装置８によって解析され、スペクトルの波形から試料
３の材質、成分が分析される。
プラズマ発光１２は光ファイバー５によって分光器６に
導かれてスペクトルに分光され、さらに光検出器７によ
って電気信号１４に変換される。この信号１４は信号処
理装置８によって解析され、スペクトルの波形から試料
３の材質、成分が分析される。
【００１６】以上のように、本実施形態の装置において
は、試料３に対してレーザ光１１を照射するレンズ２に
よって、試料３から生じたプラズマ発光１２がレーザ光
１１と同じ光軸で受光捕捉される。従って試料位置から
偏光ビームスプリッタ９までの間は、レーザ光軸とプラ
ズマ発光受光軸とが同軸上にあり、前記従来装置のよう
に試料の位置から異なる２つの軸上に装置を配置する必
要がなくなり、一軸上に装置を配置できるので、試料３
周辺の空間が狭隘な場所にあって従来装置では困難な場
合でも測定が可能となる。
は、試料３に対してレーザ光１１を照射するレンズ２に
よって、試料３から生じたプラズマ発光１２がレーザ光
１１と同じ光軸で受光捕捉される。従って試料位置から
偏光ビームスプリッタ９までの間は、レーザ光軸とプラ
ズマ発光受光軸とが同軸上にあり、前記従来装置のよう
に試料の位置から異なる２つの軸上に装置を配置する必
要がなくなり、一軸上に装置を配置できるので、試料３
周辺の空間が狭隘な場所にあって従来装置では困難な場
合でも測定が可能となる。
【００１７】なお、以上本発明の実施の一形態を説明し
たが、上記実施の形態に限定されるものではなく、本発
明の範囲内でその具体的構造配置に種々の変更を加えて
もよいことは言うまでもない。
たが、上記実施の形態に限定されるものではなく、本発
明の範囲内でその具体的構造配置に種々の変更を加えて
もよいことは言うまでもない。
【００１８】
【発明の効果】以上、本発明のレーザブレイクダウン分
光分析装置によれば、レーザ光源、同レーザ光源のレー
ザ光の偏光方向の光を反射する偏光ビームスプリッタ、
反射した同レーザ光を集光しその焦点位置にある試料に
照射する第１のレンズ、同第１のレンズと前記偏光ビー
ムスプリッタを通る一軸上に同偏光ビームスプリッタを
挟んで同第１のレンズと向き合って配置された第２のレ
ンズ、同第２のレンズの前記偏光ビームスプリッタと反
対側で前記軸に平行な光を集光する焦点位置に配置され
同第２のレンズが集光した光を受光する受光部を有し、
同受光部に受けた光を分析するように構成されているの
で、試料に対してレーザ光を照射する第１のレンズによ
って試料から生ずるプラズマ発光を捕捉でき、前記第１
のレンズと偏光ビームスプリッタの間は試料へ照射する
レーザ光軸と試料からのプラズマ発光受光軸が同軸上に
あるため一軸上に装置を配置構成できる。したがって、
例えば試料が配管内にあって配管に設けられた窓を介し
て測定する場合など、試料の周辺の空間が狭隘のため従
来装置では測定困難な場合でも測定が可能となる。
光分析装置によれば、レーザ光源、同レーザ光源のレー
ザ光の偏光方向の光を反射する偏光ビームスプリッタ、
反射した同レーザ光を集光しその焦点位置にある試料に
照射する第１のレンズ、同第１のレンズと前記偏光ビー
ムスプリッタを通る一軸上に同偏光ビームスプリッタを
挟んで同第１のレンズと向き合って配置された第２のレ
ンズ、同第２のレンズの前記偏光ビームスプリッタと反
対側で前記軸に平行な光を集光する焦点位置に配置され
同第２のレンズが集光した光を受光する受光部を有し、
同受光部に受けた光を分析するように構成されているの
で、試料に対してレーザ光を照射する第１のレンズによ
って試料から生ずるプラズマ発光を捕捉でき、前記第１
のレンズと偏光ビームスプリッタの間は試料へ照射する
レーザ光軸と試料からのプラズマ発光受光軸が同軸上に
あるため一軸上に装置を配置構成できる。したがって、
例えば試料が配管内にあって配管に設けられた窓を介し
て測定する場合など、試料の周辺の空間が狭隘のため従
来装置では測定困難な場合でも測定が可能となる。
【図１】本発明の実施の一形態に係るレーザブレイクダ
ウン分光分析装置の説明図である。
ウン分光分析装置の説明図である。
【図２】従来のレーザブレイクダウン分光分析装置の例
を示す説明図である。
を示す説明図である。
１ レーザ光源 ２ レンズ ３ 試料 ４ レンズ ５ 光ファイバー ６ 分光器 ７ 光検出器 ８ 信号処理装置 ９ 偏光ビームスプリッタ １１ レーザ光 １２ プラズマ発光 １３ 入射端
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ光源、同レーザ光源のレーザ光の
偏光方向の光を反射する偏光ビームスプリッタ、反射し
た同レーザ光を集光しその焦点位置にある試料に照射す
る第１のレンズ、同第１のレンズと前記偏光ビームスプ
リッタを通る一軸上に同偏光ビームスプリッタを挟んで
同第１のレンズと向き合って配置された第２のレンズ、
同第２のレンズの前記偏光ビームスプリッタと反対側で
前記軸に平行な光を集光する焦点位置に配置され同第２
のレンズが集光した光を受光する受光部を有し、同受光
部に受けた光を分析することを特徴とするレーザブレイ
クダウン分光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12603898A JPH11326205A (ja) | 1998-05-08 | 1998-05-08 | レーザブレイクダウン分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12603898A JPH11326205A (ja) | 1998-05-08 | 1998-05-08 | レーザブレイクダウン分光分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11326205A true JPH11326205A (ja) | 1999-11-26 |
Family
ID=14925137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12603898A Withdrawn JPH11326205A (ja) | 1998-05-08 | 1998-05-08 | レーザブレイクダウン分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11326205A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101690073B1 (ko) * | 2015-12-28 | 2016-12-27 | (주)해아림 | 컴팩트한 구조를 갖는 분광분석장치 |
| KR20200139867A (ko) * | 2019-06-04 | 2020-12-15 | 동국대학교 산학협력단 | 중적외선 레이저를 이용한 가스탐지장치 |
-
1998
- 1998-05-08 JP JP12603898A patent/JPH11326205A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101690073B1 (ko) * | 2015-12-28 | 2016-12-27 | (주)해아림 | 컴팩트한 구조를 갖는 분광분석장치 |
| WO2017116026A1 (ko) * | 2015-12-28 | 2017-07-06 | (주)해아림 | 컴팩트한 구조를 갖는 분광분석장치 |
| CN108780040A (zh) * | 2015-12-28 | 2018-11-09 | 昱秀林株式会社 | 具有紧凑结构的分光分析装置 |
| KR20200139867A (ko) * | 2019-06-04 | 2020-12-15 | 동국대학교 산학협력단 | 중적외선 레이저를 이용한 가스탐지장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050802 |