JPH08327550A - ラマン分光測定装置 - Google Patents
ラマン分光測定装置Info
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- JPH08327550A JPH08327550A JP15995495A JP15995495A JPH08327550A JP H08327550 A JPH08327550 A JP H08327550A JP 15995495 A JP15995495 A JP 15995495A JP 15995495 A JP15995495 A JP 15995495A JP H08327550 A JPH08327550 A JP H08327550A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ノイズ光の影響を除去しながらライン中の高
温サンプルの分光測定を高精度で行うことができる小型
で可搬容易なラマン分光測定装置を提供する。 【構成】 パルスレーザー光源部１と、パルスレーザー
光を測定サンプル７へ集光するための光学系と、測定サ
ンプル７から誘発したラマン散乱光を集光する光学系を
一部共有した共焦点機構を有するプローブ部２と、ラマ
ン散乱光を分光しスペクトル強度を検知する分光・検出
部３とからなり、前記パルスレーザー光源部１、プロー
ブ部２および分光・検出部３を光ファイバー４、５を介
して接続した構造。
温サンプルの分光測定を高精度で行うことができる小型
で可搬容易なラマン分光測定装置を提供する。 【構成】 パルスレーザー光源部１と、パルスレーザー
光を測定サンプル７へ集光するための光学系と、測定サ
ンプル７から誘発したラマン散乱光を集光する光学系を
一部共有した共焦点機構を有するプローブ部２と、ラマ
ン散乱光を分光しスペクトル強度を検知する分光・検出
部３とからなり、前記パルスレーザー光源部１、プロー
ブ部２および分光・検出部３を光ファイバー４、５を介
して接続した構造。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ラマン散乱を利用して
各種測定サンプルの分析もしくは温度計測を行うための
ラマン分光測定装置に関する。
各種測定サンプルの分析もしくは温度計測を行うための
ラマン分光測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザー光などの単色光を物体に照射す
ると、その入射光とは異なる波長の散乱光が観測され
る。この場合、入射光と等しい波長の散乱光はレーリー
散乱、一方、入射光とは波長の異なる散乱はラマン散乱
と呼ばれている。そして、ラマン散乱光の入射光との振
動数の差、所謂ラマンシフトは物質固有の値を示すた
め、ラマン散乱光を分光分析することにより各種サンプ
ルの成分を定量することができることから、既にラマン
分光分析装置として実用されている。
ると、その入射光とは異なる波長の散乱光が観測され
る。この場合、入射光と等しい波長の散乱光はレーリー
散乱、一方、入射光とは波長の異なる散乱はラマン散乱
と呼ばれている。そして、ラマン散乱光の入射光との振
動数の差、所謂ラマンシフトは物質固有の値を示すた
め、ラマン散乱光を分光分析することにより各種サンプ
ルの成分を定量することができることから、既にラマン
分光分析装置として実用されている。
【０００３】また、ラマン散乱光は入射光より波長の長
いストークス光と波長の短いアンチストークス光が同時
に観測されるが、これら両者の強度比は温度依存性を有
することから、この関係を利用して加熱されている物体
の温度を計測する装置が開発されている。この種の温度
測定手段としては、レーザ光の照射により対象物から生
じるラマン散乱光のうちストークス光とアンチストーク
ス光の強度を各検出する光検出手段と、検出されたスト
ークス光の強度とアンチストークス光の強度との関係を
検出する検出手段と、検出された関係が予め設定された
関係になるようにアニーリング条件を制御する制御手段
とを含む機構のレーザアニール装置が提案されている
（特開昭62−112322号公報）。
いストークス光と波長の短いアンチストークス光が同時
に観測されるが、これら両者の強度比は温度依存性を有
することから、この関係を利用して加熱されている物体
の温度を計測する装置が開発されている。この種の温度
測定手段としては、レーザ光の照射により対象物から生
じるラマン散乱光のうちストークス光とアンチストーク
ス光の強度を各検出する光検出手段と、検出されたスト
ークス光の強度とアンチストークス光の強度との関係を
検出する検出手段と、検出された関係が予め設定された
関係になるようにアニーリング条件を制御する制御手段
とを含む機構のレーザアニール装置が提案されている
（特開昭62−112322号公報）。
【０００４】このほか特開昭５８−１５４６４２号公報
には、微小なゴミ、異物等を組織する分子種や結晶状態
を解明するレーザーラマンマイクロプローブとして、光
源から発振されたレーザ光を環状の平行光に変換する光
学系と、前記環状の平行光を試料に向けて反射する環状
の反射鏡と、この反射鏡で反射された環状の平行光を試
料に向けて集光する環状の集光光学系と、この集光光学
系の中央に配置され、試料からの反射光を受け、所定の
位置に集光させる対物光学系とを設けた光学装置が提案
されている。この装置によれば、ラマン散乱光の測定を
妨害する強い迷光の影響が軽減され、ラマン散乱光の集
光効率が向上するとされている。特表平６−５００６３
７号公報には、レーザー照射とラマン散乱集光光学系を
一部共用する共焦点技法を用いた分光分析装置として、
サンプルを光照射して散乱光のスペクトルを得る手段
と、スペクトル分析手段と、光検出器と、サンプルの所
与の面から散乱された光のみが光検出器上に焦点を結ぶ
ように分析された少なくとも１つの成分を光検出器に通
す手段と、光検出器上に焦点を結んだ光を検出し、他面
から散乱された光の効果を減じる手段を具備した機構が
開示されている。
には、微小なゴミ、異物等を組織する分子種や結晶状態
を解明するレーザーラマンマイクロプローブとして、光
源から発振されたレーザ光を環状の平行光に変換する光
学系と、前記環状の平行光を試料に向けて反射する環状
の反射鏡と、この反射鏡で反射された環状の平行光を試
料に向けて集光する環状の集光光学系と、この集光光学
系の中央に配置され、試料からの反射光を受け、所定の
位置に集光させる対物光学系とを設けた光学装置が提案
されている。この装置によれば、ラマン散乱光の測定を
妨害する強い迷光の影響が軽減され、ラマン散乱光の集
光効率が向上するとされている。特表平６−５００６３
７号公報には、レーザー照射とラマン散乱集光光学系を
一部共用する共焦点技法を用いた分光分析装置として、
サンプルを光照射して散乱光のスペクトルを得る手段
と、スペクトル分析手段と、光検出器と、サンプルの所
与の面から散乱された光のみが光検出器上に焦点を結ぶ
ように分析された少なくとも１つの成分を光検出器に通
す手段と、光検出器上に焦点を結んだ光を検出し、他面
から散乱された光の効果を減じる手段を具備した機構が
開示されている。
【０００５】しかしながら、これらの装置は測定サンプ
ルを非接触状態で測定することは可能であるが、装置本
体を可及的にサンプルを近づけて配置せねばならないた
め、例えば極低温クライオスタットや真空系中のサンプ
ルを測定することができない欠点がある。このため、ラ
マン散乱光の集光部と分光分析部を光ファイバーで接続
するようにした装置が開発されている。例えば特開平２
−２２３８３０号公報には、集光部と分光分析部とを含
む装置において、集光部により集光されたラマン散乱光
を分光分析部へ導光する光ファイバーと、光ファイバー
と集光部の間に配置され試料からの反射光、レーリ散乱
光を除去するフィルター分光器を備えたラマン分光分析
装置が提案されている。ところが、この装置ではレーザ
ー光を直接サンプルに照射している関係でレーザー光源
の設置位置に制約を受けるうえ、照射と集光光学系を別
に設置せねばならないため測定環境が制限される問題点
がある。
ルを非接触状態で測定することは可能であるが、装置本
体を可及的にサンプルを近づけて配置せねばならないた
め、例えば極低温クライオスタットや真空系中のサンプ
ルを測定することができない欠点がある。このため、ラ
マン散乱光の集光部と分光分析部を光ファイバーで接続
するようにした装置が開発されている。例えば特開平２
−２２３８３０号公報には、集光部と分光分析部とを含
む装置において、集光部により集光されたラマン散乱光
を分光分析部へ導光する光ファイバーと、光ファイバー
と集光部の間に配置され試料からの反射光、レーリ散乱
光を除去するフィルター分光器を備えたラマン分光分析
装置が提案されている。ところが、この装置ではレーザ
ー光を直接サンプルに照射している関係でレーザー光源
の設置位置に制約を受けるうえ、照射と集光光学系を別
に設置せねばならないため測定環境が制限される問題点
がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記のような
従来装置の問題点を解消するためになされたもので、そ
の目的とするところは、ノイズ光の影響を除去しながら
ライン中での高温サンプルの分光測定を高精度で行うこ
とができる小型で可搬容易なラマン分光測定装置を提供
することにある。
従来装置の問題点を解消するためになされたもので、そ
の目的とするところは、ノイズ光の影響を除去しながら
ライン中での高温サンプルの分光測定を高精度で行うこ
とができる小型で可搬容易なラマン分光測定装置を提供
することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明によるラマン分光測定装置は、パルスレーザ
ー光源部と、パルスレーザー光を測定サンプルへ集光す
るための光学系と、測定サンプルから誘発したラマン散
乱光を集光する光学系を一部共用した共焦点機構を有す
るプローブ部と、ラマン散乱光を分光しスペクトル強度
を検知する分光・検出部とからなり、前記パルスレーザ
ー光源部、プローブ部および分光・検出部を光ファイバ
ーを介して接続してなることを構成上の特徴とする。
めの本発明によるラマン分光測定装置は、パルスレーザ
ー光源部と、パルスレーザー光を測定サンプルへ集光す
るための光学系と、測定サンプルから誘発したラマン散
乱光を集光する光学系を一部共用した共焦点機構を有す
るプローブ部と、ラマン散乱光を分光しスペクトル強度
を検知する分光・検出部とからなり、前記パルスレーザ
ー光源部、プローブ部および分光・検出部を光ファイバ
ーを介して接続してなることを構成上の特徴とする。
【０００８】図１は本発明に係るラマン分光系測定装置
を例示した構成図で、１はパルスレーザー光源部、２は
プローブ部、３は分光・検出部である。パルスレーザー
光源部１とプローブ部２の入射位置およびプローブ部２
の出射位置と分光・検出部３は、それぞれ光ファイバー
４、５で接続されて導光経路が形成されている。パルス
レーザー光源部１としては、Ｎd:ＹＡＧレーザーやＮd:
ＹＬＦレーザーなどが好ましく用いられるが、レーザー
光の光路には例えばリン酸２水素カリウム(KDP) 系のよ
うな第２高調波を発生する非線形光学材料で構成された
高調波発生器を配設することができる。
を例示した構成図で、１はパルスレーザー光源部、２は
プローブ部、３は分光・検出部である。パルスレーザー
光源部１とプローブ部２の入射位置およびプローブ部２
の出射位置と分光・検出部３は、それぞれ光ファイバー
４、５で接続されて導光経路が形成されている。パルス
レーザー光源部１としては、Ｎd:ＹＡＧレーザーやＮd:
ＹＬＦレーザーなどが好ましく用いられるが、レーザー
光の光路には例えばリン酸２水素カリウム(KDP) 系のよ
うな第２高調波を発生する非線形光学材料で構成された
高調波発生器を配設することができる。
【０００９】光学系は、パルスレーザー光源部１からレ
ンズ６を介して光ファイバー４に導光されたパルスレー
ザー光を測定サンプル７に対して反射させるプリズム８
と反射光を測定サンプル７面に集光させ、同時に測定サ
ンプル７から誘発されたラマン散乱光を捕捉平行化する
ためのレンズ９、平行化された散乱光を集光するレンズ
群１０、１１、１２と、光ファイバー５に導光されたラ
マン散乱光を分光・検出部３に入光するために平行化す
るレンズ１３および平行化された散乱光を集光するレン
ズ１４により構成されている。なお、前記プリズム８は
ハーフミラーであってもよい。プローブ部２は、前記の
光学系を一部共用した共焦点機構として形成されてお
り、この機構によりコンパクトな設計が可能となる。
ンズ６を介して光ファイバー４に導光されたパルスレー
ザー光を測定サンプル７に対して反射させるプリズム８
と反射光を測定サンプル７面に集光させ、同時に測定サ
ンプル７から誘発されたラマン散乱光を捕捉平行化する
ためのレンズ９、平行化された散乱光を集光するレンズ
群１０、１１、１２と、光ファイバー５に導光されたラ
マン散乱光を分光・検出部３に入光するために平行化す
るレンズ１３および平行化された散乱光を集光するレン
ズ１４により構成されている。なお、前記プリズム８は
ハーフミラーであってもよい。プローブ部２は、前記の
光学系を一部共用した共焦点機構として形成されてお
り、この機構によりコンパクトな設計が可能となる。
【００１０】上記の基本構成に加え、光ファイバー４か
ら射出されるパルスレーザー光を平行化するためのレン
ズ１５、およびパルスレーザー光源部１から光ファイバ
ー４に導光したパルスレーザー光の励起線以外の照射を
除去するためのバンドパスフィルター１６をプリズム８
に至る入射光路に介設し、プローブ部２内部のレンズ１
０と１１の間にパルスレーザー光の光学レンズでの反射
を除去するための絞り部材１７を、またラマン散乱光を
集光する光学レンズの前面にレーリー散乱光を除去する
ためのノッチフィルター１８を介設することが好適な構
成態様となる。ノッチフィルター１８を介設する具体的
な位置は、図１に示すように光ファイバー５に集光する
光学レンズの前面、すなわちレンズ１１と１２の間にす
るか、あるいは分光・検出部３に集光する光学レンズの
前面、すなわちレンズ１３と１４の間にする（図７参
照）ことができるが、前者の位置に設けることが好まし
い。更に、パルスレーザー光源部１と分光・検出器３の
間に同期手段１９を設置し、パルスレーザー光の発光と
ラマン散乱の検出を同期させることにより背景光を効果
的に除去することができる。
ら射出されるパルスレーザー光を平行化するためのレン
ズ１５、およびパルスレーザー光源部１から光ファイバ
ー４に導光したパルスレーザー光の励起線以外の照射を
除去するためのバンドパスフィルター１６をプリズム８
に至る入射光路に介設し、プローブ部２内部のレンズ１
０と１１の間にパルスレーザー光の光学レンズでの反射
を除去するための絞り部材１７を、またラマン散乱光を
集光する光学レンズの前面にレーリー散乱光を除去する
ためのノッチフィルター１８を介設することが好適な構
成態様となる。ノッチフィルター１８を介設する具体的
な位置は、図１に示すように光ファイバー５に集光する
光学レンズの前面、すなわちレンズ１１と１２の間にす
るか、あるいは分光・検出部３に集光する光学レンズの
前面、すなわちレンズ１３と１４の間にする（図７参
照）ことができるが、前者の位置に設けることが好まし
い。更に、パルスレーザー光源部１と分光・検出器３の
間に同期手段１９を設置し、パルスレーザー光の発光と
ラマン散乱の検出を同期させることにより背景光を効果
的に除去することができる。
【００１１】測定操作に当たっては、パルスレーザー光
源部１から発振されたパルスレーザー光を光ファイバー
４に導光し、レンズ１５により平行化し、バンドパスフ
ィルター１６で不要な照射を除去したのちプリズム８で
測定サンプル７に対して直角方向に反射させる。プリズ
ム８で反射されたパルスレーザー光はレンズ９で集光さ
れ、測定サンプル７に照射されラマン散乱光を誘発す
る。測定サンプル７から誘発したラマン散乱光は共焦点
機構の光学系を経て出射するが、この過程で絞り部材１
７が迷光原因となるレンズ９による反射を除去する。図
２はこの状態を示したもので、レンズ９によって集光さ
れる位置からのラマン散乱光（実線）のみが能率よく透
過し、それ以外からの散乱光（点線）の大部分は絞り部
材１７により遮断されて除去される。
源部１から発振されたパルスレーザー光を光ファイバー
４に導光し、レンズ１５により平行化し、バンドパスフ
ィルター１６で不要な照射を除去したのちプリズム８で
測定サンプル７に対して直角方向に反射させる。プリズ
ム８で反射されたパルスレーザー光はレンズ９で集光さ
れ、測定サンプル７に照射されラマン散乱光を誘発す
る。測定サンプル７から誘発したラマン散乱光は共焦点
機構の光学系を経て出射するが、この過程で絞り部材１
７が迷光原因となるレンズ９による反射を除去する。図
２はこの状態を示したもので、レンズ９によって集光さ
れる位置からのラマン散乱光（実線）のみが能率よく透
過し、それ以外からの散乱光（点線）の大部分は絞り部
材１７により遮断されて除去される。
【００１２】ついで、ラマン散乱光は光ファイバー５に
導光される前にノッチフィルター１８によりレーリー散
乱光が除去され、光ファイバー５中でのラマン散乱発生
が防止される。プローブ部２のレンズ１２で集光された
ラマン散乱光は光ファイバー５に導光され、最終的にレ
ンズ１３、１４を通って分光・検出器３で分光されてス
ペクトル強度が検知される。この操作の間、同期手段１
９を用いてパルスレーザーの発光とラマン散乱光の検出
の同期をとり、背景光の影響を除去する。なお、同期手
段１９としては例えばゲートパルサーを用いることがで
きる。
導光される前にノッチフィルター１８によりレーリー散
乱光が除去され、光ファイバー５中でのラマン散乱発生
が防止される。プローブ部２のレンズ１２で集光された
ラマン散乱光は光ファイバー５に導光され、最終的にレ
ンズ１３、１４を通って分光・検出器３で分光されてス
ペクトル強度が検知される。この操作の間、同期手段１
９を用いてパルスレーザーの発光とラマン散乱光の検出
の同期をとり、背景光の影響を除去する。なお、同期手
段１９としては例えばゲートパルサーを用いることがで
きる。
【００１３】
【作用】本発明のラマン分光系測定装置によれば、共焦
点機構を利用して照射、集光光学系が一体化したプロー
ブ部が形成されており、パルスレーザー光源部、プロー
ブ部および分光・検出部が光ファイバーにより接続され
ているから、小型で可搬が容易な装置として設計するこ
とが可能となる。そのうえ、同期手段、バンドパスフィ
ルター、絞り部材、ノッチフィルターを介設することに
より、ノイズ光が効果的に除去されるから、常に高精度
による分析または温度測定を行うことが保証される。
点機構を利用して照射、集光光学系が一体化したプロー
ブ部が形成されており、パルスレーザー光源部、プロー
ブ部および分光・検出部が光ファイバーにより接続され
ているから、小型で可搬が容易な装置として設計するこ
とが可能となる。そのうえ、同期手段、バンドパスフィ
ルター、絞り部材、ノッチフィルターを介設することに
より、ノイズ光が効果的に除去されるから、常に高精度
による分析または温度測定を行うことが保証される。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の装置を用いた具体的な実施例
として、Ｓｉを測定サンプルとした場合のストークス光
およびアンチストークス光の分光測定を示す。
として、Ｓｉを測定サンプルとした場合のストークス光
およびアンチストークス光の分光測定を示す。
【００１５】実施例１ 図１に示した構造のラマン分光系測定装置を用い、Ｎd:
ＹＡＧレーザー発振器をパルスレーザー光源部１とし、
波長５３２nmの第２高調波を使用した。パルスレーザー
は、出力２０mW、繰り返し周波数５KHz に設定した。ま
た、パンドパスフィルター１６には、ピーク波長５３２
nmにおける透過率が８０％で、半値幅が４．２nmのもの
を用い、分光されたラマン散乱光はマルチチャンネル検
出器で検出した。この条件で同期手段１９を作動させな
がら、真空炉中で３００Ｋから１２００Ｋまで加熱され
ているＳｉウエハーを測定サンプルとしてストークス光
とアンチストークス光の分光スペクトルを測定した。図
３は、得られた温度変化によるラマンシフトと散乱強度
の関係グラフである。本実施例では測定サンプルの温度
が１２００Ｋでもベースラインの持ち上がりが認められ
ない良好なパターンを示した。また、Ｓｉラマン散乱光
のピークは温度上昇に伴いラマンシフトが低波数側にシ
フトしており、ラマン散乱光の温度依存性まで観測し得
ることが認められた。比較のために、光ファイバー自身
のラマン散乱光を測定した結果を、図４に示した。図３
と図４を対比して明らかなように、本発明装置によれば
光ファイバー固有のラマン散乱が効果的に除去され、シ
ャープなピークとして現出していることが判る。
ＹＡＧレーザー発振器をパルスレーザー光源部１とし、
波長５３２nmの第２高調波を使用した。パルスレーザー
は、出力２０mW、繰り返し周波数５KHz に設定した。ま
た、パンドパスフィルター１６には、ピーク波長５３２
nmにおける透過率が８０％で、半値幅が４．２nmのもの
を用い、分光されたラマン散乱光はマルチチャンネル検
出器で検出した。この条件で同期手段１９を作動させな
がら、真空炉中で３００Ｋから１２００Ｋまで加熱され
ているＳｉウエハーを測定サンプルとしてストークス光
とアンチストークス光の分光スペクトルを測定した。図
３は、得られた温度変化によるラマンシフトと散乱強度
の関係グラフである。本実施例では測定サンプルの温度
が１２００Ｋでもベースラインの持ち上がりが認められ
ない良好なパターンを示した。また、Ｓｉラマン散乱光
のピークは温度上昇に伴いラマンシフトが低波数側にシ
フトしており、ラマン散乱光の温度依存性まで観測し得
ることが認められた。比較のために、光ファイバー自身
のラマン散乱光を測定した結果を、図４に示した。図３
と図４を対比して明らかなように、本発明装置によれば
光ファイバー固有のラマン散乱が効果的に除去され、シ
ャープなピークとして現出していることが判る。
【００１６】実施例２ 図１において、バンドパスフィルター１６を介設しない
構造の装置を用い、その他の条件は実施例１と同一にし
て温度３００ＫにおけるＳｉウエハーの分光測定を行っ
た。その結果を、図５に示した。この場合には、光ファ
イバーのラマン散乱がバックグランドとして認められ
た。
構造の装置を用い、その他の条件は実施例１と同一にし
て温度３００ＫにおけるＳｉウエハーの分光測定を行っ
た。その結果を、図５に示した。この場合には、光ファ
イバーのラマン散乱がバックグランドとして認められ
た。
【００１７】実施例３ 図１において、絞り部材１７を介設しない構造の装置を
用い、その他の条件は実施例１と同一にして３００Ｋに
加熱したＳｉウエハーの分光測定を行った。その結果
を、図６に示した。この例では、ベースラインの持ち上
がりが観測され、レーザーの反射がノッチフィルター１
８により十分に除去されていないことが認められた。
用い、その他の条件は実施例１と同一にして３００Ｋに
加熱したＳｉウエハーの分光測定を行った。その結果
を、図６に示した。この例では、ベースラインの持ち上
がりが観測され、レーザーの反射がノッチフィルター１
８により十分に除去されていないことが認められた。
【００１８】実施例４ 図１において、レンズ１１と１２の間に介設したノッチ
フィルター１８を分光・検出部３の前面に位置する平行
化レンズ１３と集光レンズ１４の間に移した図７の装置
を用い、温度３００ＫのＳｉウエハーの分光測定を行っ
た。その結果は図８に示したとおりであり、光ファイバ
ーのラマン散乱が僅かに認められた。
フィルター１８を分光・検出部３の前面に位置する平行
化レンズ１３と集光レンズ１４の間に移した図７の装置
を用い、温度３００ＫのＳｉウエハーの分光測定を行っ
た。その結果は図８に示したとおりであり、光ファイバ
ーのラマン散乱が僅かに認められた。
【００１９】実施例５ 同期手段１９を作動させないほかは、実施例１と同様に
して３００Ｋおよび１２００Ｋに加熱されたＳｉウエハ
ーの分光測定を行った。その結果を図９に示した。この
例では、温度が３００Ｋの際には良好な結果を示した
が、１２００Ｋの高温では熱放射の影響を受けてベース
ラインが上昇した。なお、ラマンシフトが０cm-1付近で
段差ができているのは、ノッチフィルターにより熱放射
がカットされたためである。
して３００Ｋおよび１２００Ｋに加熱されたＳｉウエハ
ーの分光測定を行った。その結果を図９に示した。この
例では、温度が３００Ｋの際には良好な結果を示した
が、１２００Ｋの高温では熱放射の影響を受けてベース
ラインが上昇した。なお、ラマンシフトが０cm-1付近で
段差ができているのは、ノッチフィルターにより熱放射
がカットされたためである。
【００２０】
【発明の効果】以上のとおり、本発明によれば高精度で
測定サンプルの分光測定を行うことができる小型で可搬
容易なラマン分光測定装置を提供することが可能とな
る。したがって、生産ラインの高温サンプルの分析、温
度管理などを非接触状態で実施する目的に極めて有用で
ある。
測定サンプルの分光測定を行うことができる小型で可搬
容易なラマン分光測定装置を提供することが可能とな
る。したがって、生産ラインの高温サンプルの分析、温
度管理などを非接触状態で実施する目的に極めて有用で
ある。
【図１】本発明によるラマン分光系測定装置を例示した
全体構成図である。
全体構成図である。
【図２】図１における絞り部材の機構を示した部分説明
図である。
図である。
【図３】実施例１によるラマンシフトとラマン散乱強度
の関係を示したグラフである。
の関係を示したグラフである。
【図４】比較例（光ファイバー）のラマンシフトとラマ
ン散乱強度の関係を示したグラフである。
ン散乱強度の関係を示したグラフである。
【図５】実施例２によるラマンシフトとラマン散乱強度
の関係を示したグラフである。
の関係を示したグラフである。
【図６】実施例３によるラマンシフトとラマン散乱強度
の関係を示したグラフである。
の関係を示したグラフである。
【図７】実施例４で用いたラマン分光系測定装置を例示
した全体構成図である。
した全体構成図である。
【図８】実施例４によるラマンシフトとラマン散乱強度
の関係を示したグラフである。
の関係を示したグラフである。
【図９】実施例５によるラマンシフトとラマン散乱強度
の関係を示したグラフである。
の関係を示したグラフである。
１ パルスレーザー光源部 ２ プローブ部 ３ 分光・検出部 ４ 光ファイバー ５ 光ファイバー ６ レンズ ７ 測定サンプル ８ プリズム ９ レンズ 10 レンズ 11 レンズ 12 レンズ 13 レンズ 14 レンズ 15 レンズ 16 バンドパスフィルター 17 絞り部材 18 ノッチフィルター 19 同期手段
Claims (5)
- 【請求項１】 パルスレーザー光源部と、パルスレーザ
ー光を測定サンプルへ集光するための光学系と、測定サ
ンプルから誘発したラマン散乱光を集光する光学系を一
部共用した共焦点機構を有するプローブ部と、ラマン散
乱光を分光しスペクトル強度を検知する分光・検出部と
からなり、前記パルスレーザー光源部、プローブ部およ
び分光・検出部を光ファイバーを介して接続してなるこ
とを特徴とするラマン分光測定装置。 - 【請求項２】 パルスレーザー光の発光とラマン散乱の
検出を同期させる手段を設置した請求項１記載のラマン
分光測定装置。 - 【請求項３】 プローブ部内に、パルスレーザー光の光
学レンズでの反射を除去するための絞り部材を介設した
請求項１記載のラマン分光測定装置。 - 【請求項４】 ラマン散乱光を集光する光学レンズの前
面にレーリー散乱光を除去するためのノッチフィルター
を介設した請求項１又は３記載のラマン分光測定装置。 - 【請求項５】 パルスレーザー光源部から光ファイバー
に導光したパルスレーザー光の励起線以外の照射を除去
するためのバンドパスフィルターを介設した請求項１、
２、３又は４記載のラマン分光測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15995495A JPH08327550A (ja) | 1995-06-02 | 1995-06-02 | ラマン分光測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15995495A JPH08327550A (ja) | 1995-06-02 | 1995-06-02 | ラマン分光測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08327550A true JPH08327550A (ja) | 1996-12-13 |
Family
ID=15704803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15995495A Pending JPH08327550A (ja) | 1995-06-02 | 1995-06-02 | ラマン分光測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08327550A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002005835A (ja) * | 2000-06-23 | 2002-01-09 | 宏夫 ▲浜▼口 | ラマン分光測定装置及びそれを用いた生体試料分析方法 |
| JP2004294109A (ja) * | 2003-03-25 | 2004-10-21 | Institute Of Physical & Chemical Research | ラマンプローブ及びそれを用いたラマン散乱計測装置 |
| JP2008116432A (ja) * | 2006-07-06 | 2008-05-22 | Ricoh Co Ltd | ラマン分光測定装置、及びこれを用いたラマン分光測定法 |
| KR100936645B1 (ko) * | 2008-05-01 | 2010-01-14 | 김영범 | 라만 현미경 |
| CN107831142A (zh) * | 2017-12-07 | 2018-03-23 | 黄保坤 | 光散射共焦激发收集系统 |
| CN108240980A (zh) * | 2017-12-25 | 2018-07-03 | 上海如海光电科技有限公司 | 光纤探针拉曼系统 |
| CN108414491A (zh) * | 2017-12-25 | 2018-08-17 | 上海如海光电科技有限公司 | 低波数拉曼测量系统 |
| CN109374592A (zh) * | 2018-09-19 | 2019-02-22 | 北京理工大学 | 一种微型激光光谱仪 |
-
1995
- 1995-06-02 JP JP15995495A patent/JPH08327550A/ja active Pending
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| CN107831142B (zh) * | 2017-12-07 | 2024-01-02 | 黄保坤 | 光散射共焦激发收集系统 |
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| CN108414491A (zh) * | 2017-12-25 | 2018-08-17 | 上海如海光电科技有限公司 | 低波数拉曼测量系统 |
| CN109374592A (zh) * | 2018-09-19 | 2019-02-22 | 北京理工大学 | 一种微型激光光谱仪 |
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