1 Изобретение относитс к микрозондовой технике и может быть использов но в в1икроан;шизаторах. Известен способ микроанализа гете рофазных объектовJ включающий облуче ние исследуемого участка электронным зондом и регистрацию и измерение характеристического излучени С 1 , Недостатком данного способа вл етс , то, что локальность анализа определ етс точностью меха1шческого позиционировани объекта. Наиболее близким к предлагаемоьгу по технической сущности вл етс спо соб микроанализа гетерофазных объектов , включакш:р1Й облучение исследуемого участка электронным зондом, фор мирование его изображени , регистра ,цию и измерение характеристического излучени С2}. Недостатком известного способа вл етс низка точность количественной оценки присутстви в объекте той или иной фазы. Это св зано с тем, что интенсивность линии в харак теристическом спектре излучени пропорционаЛьна объему фазы, который был облучен зондом, В случае если площадь 5ф исследуемой фазы больше площади $3 зонда,то погрешность опре делени количества исследуемой фазы бу дет пропорциональна отношеник Зф/Зл, В то же врем значительное увеличени диаметра зонда резко снижает локальность анализа. Цель изобретени - повьшение точности анализа. Указанна цель достигаетс тем что согласно способу микроанализа гетерофазных объектов, включающему о лучение исследуемого участка электронным зондом, формирование его изображени , регистрацию и измерение характеристического излучени ,после формировани изображени исследуемого участка измен ют форму и размеры поперечного сечени электронного зонда по форме и размерам исследуемо го участка и поворачивают зонд вокруг электронно-оптической оси до сов мещени его проекции на объект с этим участком. Сущность изобретени заключаетс следующем. Исследуемый объект, сост щий из набора фаз, помещают в микро зондовый прибор и формируют его изоб- ; ражение. Затем на изображении выдел ют необходимый микроучасток, аппроксимируют форму участка геометрическо 12 фигурой, например эллипсом или пр моугольником с заданными размерами, формируют зонд с такой же формой и геометрическими размерами, равными размерам аппроксимирующей фигуры, затем совмещают сформированный зонд с исследуемым микроучастком и ориентируют относительно него по азимуту дл полного перекрыти зондом поверхности исследуемого участка. После этого регистрируют характеристическое излучение с микроучастка и измер ют его интенсивность. При такой последовательности операций обеспечивают значительное повышение точности проведени микроканализа за счет того, что практически вс площадь исследуемой фазы (или соответствующего ей микроучастка ) облучаетс зондом, так как форма зонда и его размеры с точностью аппроксимации совпадают с формой и размерами микроучастка, т.е, в генерации характеристического излучени принимает участие весь объем микроучастка, а следовательно, интенсивность излучени будет соответствовать действительному процентному содержанию исследуемой фазы,Кроме того , точность измерени интенсивности излучени будет повышена, так как шум, обусловленный частью зонда, облучающей граничные с исследуемой фазой участки, снижен практически до нул за счет того, что формируют зонд требуемой формы и ориентации. На чертеже приведена схема электронно-зондового микроанализатора. Микроанализатор состоит из после- довательно расположенных источника 1 электронов, корректирующего элемента 2, фокусирующей линзы 3 и системы 4 сканировани . Кроме того, микроанализатор содержит преобразователь 5, усилители 6, выходы которых соединен с входом индикаторного блока 7, задакщий генератор 8, выход которого св зан с системой 4, устройство 9 ввода информации, специализированного вычислительного устройства (СВУ) 10, детектора 1) характеристического излучени . Электронный пучок, генерируемый источником электронов, фокусируют на объекте и сканируют с помощью систем1л 4 сканировани , С помощью преобразовател 5, усилител 6 и индикаторного блока 7 на экране последнего формируют растровое изображение объекта. При этом скакирова31 ние луча кинескопа блока 7 и электро ного пучка микроанализатора синхрони зировано СВУ 10, первый вход которого и первый выход электрически св заны , соответственно, с- выходом бло- ка 7 и входом задающего генератора 8. На сформированном изображении с помощью устройства 9 ввода информации , выполненного в виде светового пера, выдел ют интересующий исследр вател микроучасток. Параметры микро участка (его форма и размеры) поступают в СВУ 10, с помощью которого форму выделенного участка аппроксими руют геометрической фигурой, например пр моугольником. С выхода СВУ 10 подаетс соответствующий сигнал на задающий генератор 8, который с помощью системы 4 совмещает зонд с микроучастком. Со второго выхода 14 СВУ 10 подают сигнал на корректирующий элемент 2 выполненный в виде набора отклон ющих катушек и угловых диафрагм, котосый Лормирует зонд требуемой фоомы. С тоетьего выхода СВУ подают корректирующий сигнал на фокусирующую линзу 3, котора обеспечивает требуемые линейные размеры зонда. Затем с помощью детектора 11 характеристического излучени его регистрируют , измер ют интенсивность и через усилитель видеосигнал подают в индикаторный блок 7. Таким образом, предлагаемый способ может быть легко реализован на современных электронно-зондовых приборах , а его применегше при исследовани х гетерофазных объектов позволит , повысить точность микроанализа.