JPH04110058A - ロールコータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 薄膜形成プロセスに於てシリコンウェハ・ガラス等の硬
質基板への高精度薄膜コーティング装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の硬質基板用ロールコータは ■第５図に示すようにコートローラ１に対し、送られて
きた基板３が自重で接触し、基板裏面にコーティングす
るといった方式の装置、あるいは ■第６図に示すように非導電性ゴムローラで基板をコー
トローラに押し付ける方式の装置、であった。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、従来の方式には次のような課題がある。

■前項従来技術■（第５図）の方式では、基板の搬送速
度とコートローラと基板間ギャップが不安定で、例えば
基板がコートローラ通過後搬送ローラ１０に接触時基板
がわずか持ち上げられ、あるいは基板の搬送速度が変化
しコート膜厚むらを生じる事があった。

■前項従来技術■（第６図）の方式では、コーティング
時にゴムローラに静電気が発生しコーテイング液がゴム
ローうに付着し、それが基板裏面に付着するという不具
合があった。

■コートローラ表面材質とコーテイング液との濡れ性が
良くないときに、コーティングバー表面に気泡が発生し
コーテイング膜上にはじく等むらが発生することがあっ
た。

■基板搬送ローラ等に汚れが付かないように基板幅より
も狭いコートローラを使用する場合にコートローラの両
サイドに当たる部分の膜厚が厚くなる傾向があった。

■基板のコーティング終了部分の膜厚が基板中心部の膜
厚より厚くなる傾向があった。

■コーティングバー表面のコーテイング液保持性をよく
するための溝がスパイラル状なだめコーティング時基板
が一方向に寄せられ基板搬送ガイドと擦れる傾向があっ
た。

■基板のコーティング始め部分の膜厚が所定膜厚より薄
くなる傾向があった。

以上の課題を解決し均一なコーティング膜厚を得る事を
目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

以上の課題を解決するために本発明のロールコータは、 （１）基板をコートローラに押し付ける導電性ゴムロー
ラと、コートローラにたいするコート液のなじみ向上の
ためのブレードと、コートローラ両サイドのコート液か
きとりブレードと、基板後端のコート液をかき落とす掻
き落としパーとを有することを特徴とする。

（２）前項（１）のロールコータでコートローラに同心
円状かつ１周毎に完結する溝を有することを特徴とする
。

（３）前項１のロールコータでコーティング初期にコー
ティングローラを回転させた状態で一定時間基板搬送を
停止させる制御方法を有することを特徴とする。

〔実施例〕

以下に本発明の実施例を第１図にもとづいて説明する。

搬送ローラ９により搬送された基板３が、コートローラ
１と基板押えゴムローラ２間の基板３の厚みより若干狭
く設定されたギャップ１０に進入し基板裏面にコートロ
ーラよりコーテイング液が塗られる事になる。この時基
板の搬送速度は基板押えゴムローラ２の周速に支配され
る。従ってコートローラ１と基板押えゴムローラの周速
を厳密に合わせおかないと、基板とコートローラ間に滑
りが発生し、コーテイング面にキズあるいは滑りによる
発熱等でコーテイング液が凝固し盛り上がりの筋が発生
することがある。また、基板押えゴムローラ２の基板接
触面が若干変形することによる基板と基板押えゴムロー
ラに発生する静電気を逃がすために、基板押えゴムロー
ラのゴムの材質を電気導通性のあるものにすることが重
要である。

これは基板押えゴムローラ表面に発生する静電気を除去
することが目的であることがら除電ブラシ、あるいは除
電ブロアー等を使用してもよいがゴミの発生を伴うこと
があり注意を要する。

コートローラ１は、コート液の保持性を良くするために
溝加工されているか、あるいは細い金属ワイヤーを巻い
ていることが多いが、その微細な溝にコート液を充分充
填させるためにコート液中に樹脂等のブレード４を設は
コートローラと接触させである。

第２図に示すように、基板１の両側は搬送ローラ等の汚
れ防止のためにコートしない部分をもうける事が多い、
そのためにコートローラの幅を基板の幅より短くする事
になるが、これによる基板塗り際の膜厚が厚くなる事を
防止するために、コートローラ１の両側のコート液掻き
落としブレード６を取り付けである。

基板の塗り終わり部分は通常膜厚が厚くなる傾向があり
、それを防止するためにコートローラを通過した基板の
軒端から数ミリの所から軒端にかけて基板通過時に接触
するコート液掻き落とし軸５を設けである。このコート
液掻き落とし軸は基板上の使用しない数ミリの部分のコ
ート液を除去することが目的であり、金属の軸状のもの
でも樹脂のブレード状のものでもよい。

コートローラは、前述の様にコート液の保持性をよくす
るために表面に微細な溝を有するが、通常旋盤加工で形
成するか、細いワイヤーを巻くことで形成されている場
合が多く、第４図に示すようにスパイラル（ネジ）状の
溝となっている。この場合、特にコート方向に対し長い
基板のコーティングの時ネジの原理に基づき基板搬送８
の直角方向に寄せられる現象が発生した。これを防止す
るため、第３図に示すようにコートローラに、スパイラ
ル状でない同心かつ一周毎に完結する溝を設けた。

基板３がコートローラと基板押えゴムローラとの間のコ
ートギャップ１０に進入時、コート開始からしばらくの
間はコートローラと基板間にコート液だまりが成長する
時間、あるいは成長するまでのコート長さが必要である
。そのためにコート開始の基板端から数ミリの間は膜厚
が薄くなる現象があり、これを防ぐ為に、基板がコート
ギャップ１１に進入した直後、基板搬送に寄与している
基板押えゴムローラ２を一定時間停止し基板搬送を停止
した状態でコートローラのみ回転させ、前記液だまりを
成長させた後に、基板押えゴムローラ２の回転を再開さ
せてコーティングするといった装置制御方法をとる。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明によれば、 特許請求の範囲（１）に示すように、導電性ゴムローう
により基板をコートローラに押し付け、ブレードにより
コート液のコートローラへの馴染み性を向上させ、液掻
き落としブレードによりコートローラ両端のコート液を
掻き落とし、掻き落としバーにより基板後端のコート液
を掻き落とすことにより、ロールコートにより膜厚の均
一なコート面を得ることでき、かつコートローラがコー
テイング液で汚れてそれが基板の裏面を汚すことがない
といった効果がある。

特許請求の範囲（２）に示すように、コートローラ状の
溝を同心円かつ一周毎に完結した溝とすることにより、
基板搬送の直進性を向上することができ、基板搬送ガイ
ドと基板との擦れを解消できるといった効果がある。

特許請求の範囲（３）に示すように、コーティング開始
初期にコーティングローラを回転させた状態で一定時間
基板搬送を停止させる制御方法を取ることにより、基板
コーティング初め部分の膜厚が薄くなることを防止する
ことができるといった効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明のロールコータ断面図。 第２図は、本発明ロールコータの側面図。 第３図は、本発明のコーターバー溝形状図。 第４図は、従来技術のコーターバーの溝形状図。 第５図は、従来技術のロールコータ溝形状図。 第６図は、従来技術のロールコータ溝形状図。 １・・・コーターバー ２・・・基板押えゴムローラ ３・・・基板 ４・・・ブレード ５・・・コート液掻き落とし軸 ６・・・コート液掻き落としブレード ７・・・コート液溜 ８・・・基板搬送方向 ９・・・基板搬送ローラ １０・・・コートギャップ １１・・・コート溝 以　　上 出願人　セイコーエプソン株式会社 代理人　弁理士　鈴木　喜三部　他１名￥３図 茅十図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）硬質基板に液体を高精度な膜厚でコートするロー
   ルコータにおいて、基板をコートローラに押し付ける導
   電性ゴムローラと、コートローラにたいするコート液の
   なじみ向上のためのブレードと、コートローラ両サイド
   のコート液かきとりブレードと、基板後端のコート液を
   かき落とす掻き落としバーとを有することを特徴とする
   ロールコータ。
2. （２）コートローラに同心円状かつ一周毎に完結する溝
   を有することを特徴とする請求項１記載のロールコータ
   。
3. （３）コーティング初期にコーティングローラを回転さ
   せた状態で一定時間基板搬送を停止させる制御方法を有
   することを特徴とする請求項１記載のロールコータ。