JPH04105885A - 簡易型微少位置決め機構及び微少位置決め方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、回転機器の回転軸にエンコーダディスク等の
回転体を取付ける際に、回転軸に対する回転体の偏心等
をなくすように調整するために用いられる簡易型微少位
置決め機構及び微少位置決め方法に関する。

〔背景技術〕

被測定物の精密測定並びにワークの精密加工を行なう機
器には、種々の回転機器が広範に利用されている。

この種の回転機器の中には、例えば、ロータリーテーブ
ルがあり、このロータリーテーブルの回転検出は、−船
釣にはロータリーエンコーダを用いて行なっている。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、ロータリーエンコーダをロータリーテーブル
に組み込む際に、ロータリーテーブルの回転軸とロータ
リーエンコーダの一部である回転体としてのエンコーダ
ディスクとが僅かに、実質的には数μｍ偏心してしまう
ことがある。

このような状態でロータリーテーブルを回転させると、
その偏心により、当該ロータリーテーブルの角度割り出
し精度が低下して、被測定物の精密測定並びにワークの
精密加工が困難となる。

そこで、回転体であるエンコーダディスクの回転軸に対
する固着位置の偏心を補正する装置が、種々案出されて
いる。

これらの装置としては、例えば、ロータリーエンコーダ
に微少振動を与えることによって微少位置決めを行なう
ものがある。しかし、このような装置では、パイブレー
ク等の振動手段を有するので、装置が大がかりとなると
ともに、高価となる不都合が生じる。

また、回転体を回転軸に取付けるセットねじを、９０度
あるいは６０度等配の方向に設け、これらのセットねじ
の押し込み量を変化させて位置決めを行なうものもある
。しかし、このような機構では、押し込み量は、セット
ねじのリードと回転角度との積により決まるため、同一
の回転角度に対する押し込み量を小さくして微少な位置
調整をするには、セットねじのリードを小さくすればよ
い。

しかし、このリードを小さくするには限界があり、必ず
しも十分な微調整、例えば、サブミクロンメータオーダ
での位置決めは困難であった。

本発明の目的は、回転機器の回転軸に取付けられるエン
コータディスク等の回転体を、簡易に微少位置決めでき
て偏心等を防止できる簡易型微少位置決め機構及び微少
位置決め方法を提供するにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の機構は、回転機器の回転軸に固着手段を介して
一体的に固着可能とされる回転体を、回転軸に対して簡
易に半径方向の微少位置決めをする簡易型微少位置決め
機構であって、前記回転軸に着脱可能に取付けられると
ともに前記回転体を支持しこの回転体の回転軸に対する
半径方向位置を微少変化させる位置決め治具と、前記回
転体の回転状態を監視する観測手段とを具備したことを
特徴とする簡易型微少位置決め機構である。

本発明において、前記回転体の回転軸に対する固着手段
は、回転体の円周方向に沿って複数本設けられた固定ね
じにより構成され、前記位置決め治具による回転体の支
持は、回転体の一側面に付勢手段を介して当接されると
ともに位置決め治具に進退可能にねじ込まれたプランジ
ャと、このプランジャの反対位置において回転体の他側
面に当接されるとともに位置決め治具に一体かつ弾性変
形可能に設けられた突出部とによる挟持によってなされ
、かつ、前記位置決め治具による回転体の微少変位は、
前記突出部を位置決め治具に対して弾性変形させて前記
回転体をプランジャの付勢手段に抗して変位させ得るセ
ットねじによりなされることが好ましい。

本発明の方法は、回転機器の回転軸に固着手段を介して
一体的に固着可能とされる回転体を、回転軸に対する半
径方向の微少位置決めをするにあたり、前記回転軸に着
脱可能に取付けられるとともに前記回転体を支持しこの
回転体の回転軸に対する半径方向位置を微少変化させる
位置決め治具と、前記回転体の回転状態を監視する観測
手段とを用い、前記位置決め治具は、回転体の一側面に
付勢手段を介して当接されるとともに位置決め治具に進
退可能にねじ込まれたプランジャと、このプランジャの
反対位置において回転体の他側面に当接されるとともに
位置決め治具に一体かつ弾性変形可能に設けられた突出
部と、この突出部を位置決め治具に対して弾性変形させ
て前記回転体をプランジャの付勢手段に抗して変位させ
得るセットねじとを具備しており、前記回転体を前記回
転軸に固着手段により仮固定した後、前記位置決め治具
の突出部が前記セットねじにより予備変形された状態で
回転体の他側面に当接されるようにプランジャをねじ込
み、このプランジャと突出部とで回転体を所定圧力で挟
持して位置決め治具を回転体に取付け、次いで、位置決
め治具を回転軸に固定した後、回転体を回転軸に仮固定
している固着手段を開放し、次いで、回転軸を回転させ
、この回転に伴う回転体の回転状態を前記観察手段で監
視しながら、前記セットねじを進退させて回転体の回転
軸に対する偏心がなくなるように調整した後、前記固着
手段により回転体を回転軸に固定することを特徴とする
微少位置決め方法である。

定することにより、突出部の変位量を極めて微少に調整
できることとなる。

このように、突出部の変位量を極めて微少に調整できる
ことから、回転軸に対する回転体の位置を微少に調整で
き、ロータリーテーブル等の回転機器における割り出し
精度等が著しく向上される。

〔作用〕

本発明に係る簡易型微少位置決め機構においては、回転
体の回転を観測手段で監視しつつ、位置決め治具を半径
方向に微少変位させることによって、回転軸に対する回
転体の位置が微少に調整される。

本発明に係る微少位置決め方法においては、回転体の回
転を観測手段で監視しつつ、セットねじにより位置決め
治具の突出部を弾性変形させることによって、回転軸に
対する回転体の位置が微少に調整される。

従って、突出部が弾性変形される支点位置から、セット
ねじが作用する位置までの距離を適宜に設〔実施例〕 次に、本発明に係る簡易型微少位置決め機構及び微少位
置決め方法について好適な実施例を挙げ、添付の図面を
参照しながら詳細に説明する。

第１図、第４図及び第５図において、参照符号１０は、
本実施例に係る簡易型微少位置決め機構１２０が装着さ
れた回転機器としてのロータリーテーブルを示し、この
ロータリーテーブル１０は、固定部２０と可動部４０と
を含む。

第１図において、固定部２０は、箱体２１を備えている
。箱体２Ｉの内部は、隔壁２２により可動部４０が配置
される主室２３と副装品が収納される副室２４とに画成
されており、これらの主室２３と副室２４との間は、隔
壁２２に形成された通気孔２５を介して連通されている
。

副室２４内には、排気用ファン３６が配置され、取付孔
３７を介して箱体２１に支持されている。

この排気ファン３６の駆動によって主室２３内のエアー
が通気孔２５及び副室２４を介して吸引され、メツシュ
板３８から外部に放出されるように構成されている。

箱体２１の隔壁２２と、肉厚に形成された第１図中左方
の壁体２６との間には、リング状の固定部材２７が複数
本のボルト２８（図示は１本）により固定されている。

この固定部材２７には、可動部４０が矢印Ｒ方向に回転
自在に係合されている。

可動部４０は、ターンテーブル５０を備え、このターン
テーブル５０上には、工作機械等による被加工物、ある
いは、三次元測定機等による被測定物等が取付けられる
。

ターンテーブル５０は、箱体２１の外部に突出されたア
ウタプレート５１と、このアウタプレート５１の下面に
ボルト５４により固定されるとともに、アウタプレート
５１の外径より小径で固定部材２７の内径に丁度嵌合さ
れる外径とされた略有底円筒状の中間部材５５と、この
中間部材５５の下面にボルト５６により固定されるとと
もに、アウタプレート５１の外径とほぼ等しい外径を有
する有孔円盤状のインナプレート５７とから構成されて
いる。

従って、ターンテーブル５０は、中間部材５５が小径に
されたことによって、全体として中間部材５５の部分に
凹溝を有する中空の略円盤状に形成され、この凹溝内に
丁度固定部材２７が嵌合されている。

ターンテーブル５０と固定部材２７との嵌合部には、所
定間隔、実質的には数μｍのエアーフィルム状の隙間が
形成され、この隙間により、固定部２０と可動部４０と
の摩擦を低減する流体軸受手段としてのエアーベアリン
グ７０が構成されている。

エアーベアリング７０には、固定部材２７の、円周方向
等配位置に複数箇所設けられた連通孔７４（図では１箇
所のみ示す）を介して図示しない圧縮空気供給源から高
圧エアーが供給される。

箱体２１の主室２３内において、ターンテーブル５０の
内周と干渉しない位置に、略円筒状のステータ支持部材
２９が立設され、箱体２１の底面にボルト３１で固定さ
れている。ステータ支持部材２９の下部には複数の通気
孔３２が貫通して形成され、この通気孔３２を介してス
テータ支持部材２９の内外のエアーが連通されている。

ステータ支持部材２９の上部には、駆動手段としてのダ
イレクトドライブモータ６０のステータ６１が固定され
ている。ステータ６１の内側には、ステータ６１ととも
にダイレクトドライブモータ６０を構成するロータ６４
が配置されている。

ロータ６４は、ターンテーブル５０のアウタプレート５
１の中心部に形成された孔５８に上端を嵌合されるとと
もにフランジ６５Ａをボルト連結された回転軸６５を備
えている。

ここにおいて、ロータ６４、ターンテーブル５０等によ
り可動部４０が構成されている。

なお、ステータ６１側の励磁条件を図示しない制御手段
を介して変化させることにより、ロータ６４の回転数（
回転速度）並びに回転方向等を自在に制御できるように
なっている。従って、ステータ６１とロータ６４との相
互作用下により、ダイレクトドライブモータ６０の回転
軸６５、すなわち、ターンテーブル５０が矢印Ｒ方向に
回動するよう構成される。

ロータ６４の回転軸６５の下部小径部６５Ｂには、略円
筒状の保持部材１１１を介して回転体としてのエンコー
ダディスク１１２が、固着手段としての固定ねじ１１４
を介して着脱可能に取付けられている。このエンコーダ
ディスク１１２と、エンコーダディスク１１２に対向し
て配置されるインデックススケール１１３と、図示しな
い光学式の目盛検出ヘッドとによって、ロータリーエン
コーダ１１０が構成されている。このロータリーエンコ
ーダ１１０により、ロータ６４ひいてはダイレクトドラ
イブモータ６０の回転数が検知される。

なお、第１図においては、保持部材１１１に、後に詳述
する位置決め治具１３０が取着されているため、インデ
ックススケール１１３及び光学式検出器は、箱体２１側
に取付けられておらず、これらは、位置決め治具１３０
を取外した後、取着される。

ターンテーブル５０のインナプレート５７の下面には、
ステンレス等の金属板からなる円盤としてのダイアフラ
ム８０がボルト８１により固定されている。

ダイアフラム８０に対向される位置において、固定部２
０側である箱体２１には、ダイアフラム８０を挟み込ん
で、ターンテーブル５０の回転を停止させるクランプ手
段９０が装着されている。

エンコーダディスク１１２の一側面には、第２図に示さ
れるように、微細な目盛からなる検出部１１５と基準円
１１６とが設けられている。

ロータリーエンコーダ１１０の下部近傍には、第３図な
いし第５図にも示されるように、本実施例に係る簡易型
微少位置決め機構１２０が装着されている。この簡易型
微少位置決め機構１２０は、ロータリーエンコーダ１１
０に取着される位置決め治具１３０と、それぞれ等間隔
（好適には１２０度）離間する位置において、箱体２１
等の固定部２０に取着される３つの同一構成の観測手段
１５０とを備えている。

位置決め治具１３０は、第３図に拡大して示されるよう
に、回転軸６５に設けられた突軸６５Ｃを証にして回転
軸６５にボルト１３１で固定される中間板１３２を含み
、この中間板１３２には、円周方向等配位置に複数本の
スプリングプランジャ１３３が軸方向進退可能にねじ込
まれている。

このスプリングプランジャ１３３は、ボール１３４と、
このボール１３４を突出方向に付勢する付勢手段として
の圧縮コイルばね１３５とを含み、このスプリングプラ
ンジャ１３３のボール１３４は、樹脂板等からなる押え
板１３６を介して保持部材１１１に当接されている。こ
れにより、保持部材１１１が常時鉛直上方に付勢される
ようになっている。

中間板１３２には、ねじ１３７を介して治具本体１４０
が取着されている。この治具本体１４０には、２本のス
プリングプランジャ１４１　（第２図参照）が９０度位
置に螺合される一方、これらのスプリングプランジャ１
４１の反対位置において、治具本体１４０には略コ字状
の２つの切欠部１４２が画成されている。これらの各切
欠部１４２内において、治具本体１４０に一体に切り残
された薄板状の支点部１４３から、上下に突出された角
柱状の突出部１４４がそれぞれ設けられている。この突
出部１４４の下部には、セットねじ１４５がそれぞれ切
欠部１４２に当接するように螺合されている。

スプリングプランジャ１４１は、ボール１４６と、この
ボール１４６を突出方向に付勢する付勢手段としての圧
縮コイルばね１４７とを備え、このコイルばね１４７の
付勢力により、治具本体１４０は、突出部１４４の上部
内面１４４Ａとスプリングプランジャ１４１とにより、
保持部材１１■を挟持できるようになっている。

従って、保持部材１１１に固定されるエンコーダディス
ク１１２が回転軸６５に対して偏心している時には、こ
の２本のセットねじ１４５を調整すれば、治具本体１４
０が矢印Ｘ、Ｙ方向に微少距離（数μｍ）変位して、エ
ンコーダディスク１１２の微少な位置決めができるよう
構成される。

各観測手段１５０は、それぞれ同一構成であり、各々半
径内外方向に変位可能なＸＹステージ１５１を含み、こ
のＸＹステージ１５１上には矢印Ｚ方向に変位するＺス
ライダ１５２が装着され、更に、このＺスライダ１５２
の先端には芯出し顕微鏡１５３か設けられる。各芯出し
顕微鏡１５３は、エンコーダディスク１．１２の検出部
１１５及び基準円１１６を視認できるように配置され、
３つの芯出し顕微鏡１５３でエンコーダディスク１１２
の１２０度の３位置を監視するようになっている。

この各芯出し顕微鏡１５３には、カメラ１５４が取着さ
れ、このカメラ１５４はケーブル１５５を介して図示し
ないモニタ装置に接続されている。

本実施例に係る回転体の簡易型微少位置決め機構１２０
が装着されたロータリーテーブル１０は、基本的には、
以上のように構成されるものであり、次に、その作用に
ついて説明する。

先ず、微少位置決め機構１２０の取付方法について説明
する。

初めに、保持部材１１１を回転軸６５における下部小径
部６５Ｂの外周に装着してから、固定ねじ１１４を締め
込んで仮固定する。この際、各固定ねじ１１４のねじ込
み量を調整して回転軸６５に対する保持部材１１１、ひ
いては回転体としてのエンコーダディスク１１２の偏心
がある程度の値、例えば、数十μｍ程度となるように位
置決めする。

次いで、微少位置決め機構１２０の位置決め治具１３０
を回転軸６５に取り付けるには、次のようにする。

すなわち、保持部材１１１との間に位置決め治具１３０
の押え板１３６を介装した状態で、ボルト１３１を介し
て中間板１３２を回転軸６５に取着するとともに、押え
板１３６とスプリングプランジャ１３３とで保持部材１
１１を鉛直上方向に付勢させる。この際、エンコーダデ
ィスク１１２のサブミクロンメータオーダ（数／１０μ
ｍ）の微調整を可能とするために、固定ねじ１１４を取
り外す。

次に、ねじ１３７を介して位置決め治具１３０の治具本
体１４０を中間板１３２に取着し、治具本体１４０のス
プリングプランジャ１４１の部分及び突出部１４４の上
部内面１４４Ａが保持部材１１１の外周にかぶるように
する。この際、突出部１４４に螺合されたセットねじ１
４５を予めある程度ねじ込んでおき、突出部１４４を支
点部１４３を中心として予備変形させておく。

次いで、スプリングプランジャ１４１を締め込んで保持
部材１１１に治具本体１４０の突出部１４４の上部内面
１４４Ａを当接させて、スプリングプランジャ１４１内
の付勢手段である圧縮コイルばね１４７の付勢力に抗し
てスプリングプランジャ１４１と突出部１４０とで保持
部材１１１ひいては回転体としてのエンコーダディスク
１１２を挟持する。

次に、第４図及び第５図に示されるように、３つの観測
手段１５０を固定部２０である箱体２１に装着する。こ
の時、エンコーダディスク１１２の基準円１１６の真上
に各芯出し顕微鏡１５３が位置するようにセットする。

具体的には、各ＸＹステージ１５１を半径内外方向に変
位させて、各芯出し顕微鏡１５３の中心に基準円１１６
がくるようにし、その後、各Ｚスライダ１５２を介して
その焦点位置を図示しないモニタ装置を視認しながら調
整する。

一方、図示しない圧縮空気供給源よりエアーを連通孔７
４に供給して、エアーベアリング７０を形成するととも
に、ダイレクトドライブモータ６０を作動させる。この
モータ６０の作動により、回転軸６５に取着される保持
部材１１１およびこの保持部材１１１に固定されるエン
コーダディスク１１２並びに保持部材１１１に装着され
る位置決め治具１５０が回転する。

これに伴い、図示しないモニタ装置には、回転する基準
円１１６が表示される。この時、前記モニタ装置に表示
される基準円１１６が上下、左右に振れていないときは
、前記エンコーダディスク１１２が回転軸６５に対して
偏心していないことを示し、一方、基準円１１６が上下
、左右に振れるときには回転軸６５に対してエンコーダ
ディスク１１２が偏心していることを示している。

例えば、組み込み公差等の影響で、エンコーダディスク
１１２の軸心が回転軸６５に対して、第３図に示される
ように、矢印Ｘ方向にΔＸだけ偏心した場合には、所定
の、すなわち、第３図図示のセットねじ１４５をねじ込
む。すると、切欠部１４２の幅Ｔが幅広となるので治具
本体１４０の突出部１４４の上部内面１４４Ａが矢印Ｘ
１方向に押圧される。このため、保持部材１１１が矢印
Ｘ１方向に変位され、これに伴いエンコーダディスク１
１２も矢印Ｘ１方向に変位される。

従って、偏心量ΔＸが略０となるようにセットねじ１４
５のねじ込み量を調整すれば、エンコーダディスク１１
２のサブミクロンメータオーダ（数／１０μｍ）の微少
な位置決めができる。この微少な位置決めは、支点部１
４３からセットねじ１４５が螺合される位置までの寸法
りがある程度大きいことから、セットねじ１４５のリー
トが極端に小さくなくとも、極めて精密、かつ、簡易に
行なえる。

一方、エンコーダディスク１１２が矢印Ｙ方向に偏心し
ている場合には、前述のセットねじ１４５とは９０度異
なる位置のセットねじ１４５を調整して、前述と同様に
その偏心を補正する。

このようにして、エンコーダディスク１１２の微少位置
決め作業が終了した時点で１．保持部材１１１に固定ね
じ１１４を螺合してエンコーダディスク１１２を正式に
回転軸６５に固定する。この後、観測手段１５０、位置
決め治具１３０、中間板１３２等を取り外して、残りの
部品、すなわち、インデックススケール１１３、図示し
ない目盛検出ヘッド、底蓋等を装着してこのロータリー
テーブル１０を仕上げ、出荷に先立って梱包する。

前述のような本実施例によれば、次のような効果がある
。

すなわち、微少位置決め機構１２０として、位置決め治
具１３０と、観測手段１５０とを設けているので、エン
コーダディスク１１２が偏心している場合には、２本の
セットねじ１４５を適宜に調整するだけでそのサブミク
ロンメータオーダの微少位置決めが可能となる。従って
、ロータリーエンコーダ１１０ひいては回転機器として
のロータリーテーブル１０の角度割り出し精度を向上で
き、この結果、被測定物の精密測定並びにワークの精密
加工等を可能とできる。しかも、その位置決め方法は、
作業を簡略化でき、かつ、作業時間を短縮することが可
能となる効果を奏する。

また、微少位置決め機構１２０は、従来のようにパイブ
レーク等の振動手段を装着する必要がないので、安価で
、しかも、小型化することが可能となる効果が得られる
。

更に、回転軸６５に対するエンコーダディスク１１２の
偏心を調整するためのセットねじ１４５は、突出部１４
４の変形の支点部１４３から寸法りだけ離れた位置に螺
合されているため、セットねじ１４５のリードが極端に
小さくなくとも、極めて微少な位置決めを行える。

また、エンコーダディスク１１２の基準円１１６を監視
する観測手段１５０は、エンコーダディスク１１２の全
体を監視する大きなものではなく、３箇所を監視する３
台から構成されているため、エンコーダディスク１１２
の偏心状況を正確に監視できる。

更に、各観測手段１５０は、ＸＹステージ１５１及びＺ
スライダ１５２により、エンコーダディスク１１２の半
径方向及び軸方向に任意に移動でき、基準円１１６への
位置合せ及び焦点合せを容易に行える。

以上、本発明について好適な実施例を挙げて説明したが
、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、本発
明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに設
計の変更が可能なことは勿論である。

例えば、回転機器としては、ロータリーテーブル１０に
限らず、単体としてのロータリーエンコーダそのもの、
真円度測定機、その他の機器でもよい。

また、治具本体１４０の回転軸６５への取付けは、中間
板１３２を介することなく、直接取付けてもよい。この
際、中間板１３２を用いない場合は、保持部材１１１の
固定ねじ１１４の解放は、回転軸６５に治具本体１４０
が取付られてから行なうのは、勿論である。

更に、回転体としては、エンコーダディスク１１２のみ
でなく、保持部材１１１を含むものであってもよく、従
ってエンコーダディスク１１２としては、エンコーダデ
ィスク１１２と一体に肉厚の保持部が設けられているも
のでもよい。要するに、回転体は、回転軸６５に微少位
置決めをして取付けられる回転する部材であればよく、
エンコーダディスク状の部材に限らない。

また、回転軸６５もダイレクトドライブモータ６０の軸
である必要はない。

〔発明の効果〕

前述のように本発明によれば、回転軸に対する回転体を
簡易に微少位置決めできるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る簡易型微少位置決め機構の一実施
例を取付けたロータリーテーブルの一例を示す全体構成
の拡大縦断面図、第２図は第１図の要部の底面図、第３
図は第１図の要部の拡大断面図、第４図及び第５図はそ
れぞれ前記ロータリーテーブルの一例に観測手段を取付
けた状態を示す断面図及び底面図である。 １０・・・回転機器としてのロータリーテーブル、６５
・・・回転軸、１１０・・・ロータリーエンコーダ、１
１２・・・回転体としてのエンコーダディスク、１１４
・・・固着手段としての固定ねじ、１２０・・・簡易型
微少位置決め機構、１３０・・・位置決め治具、１４０
・・・治具本体、１４１・・・スプリンクプランジャ、
１４４・・・突出部、１４４Ａ・・・上部内面、１４５
・・・セラＩ・ねじ、１４７・・・イ」初手段としての
圧縮コイルばね、１５０・・・観測手段、１５３・・・
芯出し顕微鏡。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）回転機器の回転軸に固着手段を介して一体的に固
   着可能とされる回転体を、回転軸に対して簡易に半径方
   向の微少位置決めをする簡易型微少位置決め機構であっ
   て、前記回転軸に着脱可能に取付けられるとともに前記
   回転体を支持しこの回転体の回転軸に対する半径方向位
   置を微少変化させる位置決め治具と、前記回転体の回転
   状態を監視する観測手段とを具備したことを特徴とする
   簡易型微少位置決め機構。
2. （２）請求項１に記載の簡易型微少位置決め機構におい
   て、前記回転体の回転軸に対する固着手段は、回転体の
   円周方向に沿って複数本設けられた固定ねじにより構成
   され、前記位置決め治具による回転体の支持は、回転体
   の一側面に付勢手段を介して当接されるとともに位置決
   め治具に進退可能にねじ込まれたプランジャと、このプ
   ランジャの反対位置において回転体の他側面に当接され
   るとともに位置決め治具に一体かつ弾性変形可能に設け
   られた突出部とによる挟持によってなされ、かつ、前記
   位置決め治具による回転体の微少変位は、前記突出部を
   位置決め治具に対して弾性変形させて前記回転体をプラ
   ンジャの付勢手段に抗して変位させ得るセットねじによ
   りなされることを特徴とする簡易型微少位置決め機構。
3. （３）回転機器の回転軸に固着手段を介して一体的に固
   着可能とされる回転体を、回転軸に対する半径方向の微
   少位置決めをするにあたり、前記回転軸に着脱可能に取
   付けられるとともに前記回転体を支持しこの回転体の回
   転軸に対する半径方向位置を微少変化させる位置決め治
   具と、前記回転体の回転状態を監視する観測手段とを用
   い、前記位置決め治具は、回転体の一側面に付勢手段を
   介して当接されるとともに位置決め治具に進退可能にね
   じ込まれたプランジャと、このプランジャの反対位置に
   おいて回転体の他側面に当接されるとともに位置決め治
   具に一体かつ弾性変形可能に設けられた突出部と、この
   突出部を位置決め治具に対して弾性変形させて前記回転
   体をプランジャの付勢手段に抗して変位させ得るセット
   ねじとを具備しており、前記回転体を前記回転軸に固着
   手段により仮固定した後、前記位置決め治具の突出部が
   前記セットねじにより予備変形された状態で回転体の他
   側面に当接されるようにプランジャをねじ込み、このプ
   ランジャと突出部とで回転体を所定圧力で挟持して位置
   決め治具を回転体に取付け、次いで、位置決め治具を回
   転軸に固定した後、回転体を回転軸に仮固定している固
   着手段を解放し、次いで、回転軸を回転させ、この回転
   に伴う回転体の回転状態を前記観察手段で監視しながら
   、前記セットねじを進退させて回転体の回転軸に対する
   偏心がなくなるように調整した後、前記固着手段により
   回転体を回転軸に固定することを特徴とする微少位置決
   め方法。