JPH0395906U - - Google Patents

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JPH0395906U
JPH0395906U JP527890U JP527890U JPH0395906U JP H0395906 U JPH0395906 U JP H0395906U JP 527890 U JP527890 U JP 527890U JP 527890 U JP527890 U JP 527890U JP H0395906 U JPH0395906 U JP H0395906U
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measurement
beat signal
peak
objective lens
measured
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JP527890U
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  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例である光ヘテロダイ
ン干渉測定装置の光学的構成を説明する図である
。第２図は第１図における計測装置の構成を説明
するブロツク線図である。第３図および第４図は
それぞれ本考案の他の実施例の要部を説明する図
である。 １０……レーザ光源、２６……対物レンズ、２
８……被測定物、３０……表面、５３……集光レ
ンズ、５４……光センサ、｛７８……マイクロコ
ンピユータ、９２……除算回路｝（演算手段）、
８６……振幅測定回路（検出手段）、｛９４……
レンズ駆動ユニツト、９６……オートフオーカス
制御装置｝（駆動装置）、ＬＲ……計測ビーム、
ＬＲ……参照ビーム、ＲＬＭ……反射光、ＳＭ…
…計測ビート信号、ＳＲ……基準ビート信号。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 同一の光源から出射された互いに周波数が
    異なる計測ビームと参照ビームとを用い、該計測
    ビームを対物レンズにより被測定物の表面に集光
    させるとともに該表面で反射された反射光と前記
    参照ビームとを干渉させ、その干渉光を光センサ
    に入射させることにより計測ビート信号を取り出
    し、該計測ビート信号の周波数変化や位相変化に
    基づいて測定を行う光ヘテロダイン干渉測定装置
    であつて、 前記計測ビート信号の信号強度またはピークピ
    ーク振幅を検出する検出手段と、 該検出手段によつて検出された前記信号強度ま
    たはピークピーク振幅に基づいて前記被測定物表
    面の反射率を求める演算手段と を有することを特徴とする光ヘテロダイン干渉
    測定装置。 (2) 前記検出手段は計測ビート信号のピークピ
    ーク振幅を検出するものであり、前記演算手段は
    、該計測ビート信号のピークピーク振幅を前記被
    測定物に照射される前の計測ビームと参照ビーム
    とを干渉させることによつて得られる基準ビート
    信号のピークピーク振幅で割算する除算回路を備
    え、該除算回路によつて得られた除算値から前記
    被測定物表面の反射率を求めるものである請求項
    (1)に記載の光ヘテロダイン干渉測定装置。 (3) 同一の光源から出射された互いに周波数が
    異なる計測ビームと参照ビームとを用い、該計測
    ビームを対物レンズにより被測定物の表面に集光
    させるとともに該表面で反射された反射光と前記
    参照ビームとを干渉させ、その干渉光を光センサ
    に入射させることにより計測ビート信号を取り出
    し、該計測ビート信号の周波数変化や位相変化に
    基づいて測定を行う光ヘテロダイン干渉測定装置
    であつて、 前記計測ビート信号の信号強度またはピークピ
    ーク振幅を検出する検出手段と、 前記対物レンズを通過した反射光が平行光であ
    る場合に、該反射光を前記光センサの受光面に集
    光させる位置に配置された集光レンズと、 前記検出手段によつて検出される前記信号強度
    またはピークピーク振幅が最大となるように、前
    記対物レンズと前記被測定物とを該対物レンズの
    光軸方向へ相対移動させる駆動装置と を有することを特徴とする光ヘテロダイン干渉
    測定装置。
JP527890U 1990-01-23 1990-01-23 Pending JPH0395906U (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001343222A (ja) * 2000-06-05 2001-12-14 Canon Inc 三次元形状計測方法及び装置
JP2008178437A (ja) * 2007-01-23 2008-08-07 Eisuke Tachikawa クニフォルム・ケース
US9499296B2 (en) 2013-07-25 2016-11-22 Graphic Packaging International, Inc. Carton for a food product

Cited By (4)

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