JPH02110803U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02110803U JPH02110803U JP1880889U JP1880889U JPH02110803U JP H02110803 U JPH02110803 U JP H02110803U JP 1880889 U JP1880889 U JP 1880889U JP 1880889 U JP1880889 U JP 1880889U JP H02110803 U JPH02110803 U JP H02110803U
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- JP
- Japan
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- light spot
- defocus
- light
- measuring device
- focus
- Prior art date
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- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案に係わる光学式形状測定装置の
一実施例を示す構成図、第２図は従来例を示す図
である。 １０…レーザダイオード、１１…コリメータレ
ンズ、１２…偏光ビームスプリツタ、１３…λ／
４板、１４…対物レンズ、１５…被測定物、１６
…ビームスプリツタ、１７…アレイ素子、１８，
２０…演算処理部、１９…フオーカスエラー検出
光学系、３０…デイフオーカス装置、３１…デイ
フオーカス信号発生器、３２…加算増幅器、３３
…フオーカス制御回路。
一実施例を示す構成図、第２図は従来例を示す図
である。 １０…レーザダイオード、１１…コリメータレ
ンズ、１２…偏光ビームスプリツタ、１３…λ／
４板、１４…対物レンズ、１５…被測定物、１６
…ビームスプリツタ、１７…アレイ素子、１８，
２０…演算処理部、１９…フオーカスエラー検出
光学系、３０…デイフオーカス装置、３１…デイ
フオーカス信号発生器、３２…加算増幅器、３３
…フオーカス制御回路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 対物レンズをフオーカス方向に駆動し被測定物
上に光スポツトを集光しその反射光の光強度パタ
ーンをアレイ素子で測定し演算処理する事により
被測定物の形状を測定する様にした光学式形状測
定装置において、 前記光スポツトのデイフオーカス状態を作る為
のデイフオーカス装置を設けた事を特徴とする光
学式形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1880889U JPH0710244Y2 (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | 光学式形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1880889U JPH0710244Y2 (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | 光学式形状測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02110803U true JPH02110803U (ja) | 1990-09-05 |
| JPH0710244Y2 JPH0710244Y2 (ja) | 1995-03-08 |
Family
ID=31233778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1880889U Expired - Lifetime JPH0710244Y2 (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | 光学式形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0710244Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-02-20 JP JP1880889U patent/JPH0710244Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0710244Y2 (ja) | 1995-03-08 |