JPS61205059U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61205059U JPS61205059U JP8931485U JP8931485U JPS61205059U JP S61205059 U JPS61205059 U JP S61205059U JP 8931485 U JP8931485 U JP 8931485U JP 8931485 U JP8931485 U JP 8931485U JP S61205059 U JPS61205059 U JP S61205059U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test object
- reflected
- parallel light
- light
- beam splitter
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す光学配置図、第
２図は同上実施例によつて得られる被検物表面の
欠陥の有無に対する検出信号の状態を示す検出動
作説明図である。 １……半導体レーザ、２……レーザ光、３……
コリメータレンズ、５……ビームスプリツタ、６
……１／４波長板、７……光検出器、１０……被
検物としての光デイスク。
２図は同上実施例によつて得られる被検物表面の
欠陥の有無に対する検出信号の状態を示す検出動
作説明図である。 １……半導体レーザ、２……レーザ光、３……
コリメータレンズ、５……ビームスプリツタ、６
……１／４波長板、７……光検出器、１０……被
検物としての光デイスク。
Claims (1)
- 半導体レーザからのレーザ光を平行光にするコ
リメータレンズと、このコリメータレンズからの
平行光を被検物表面に向けて反射するビームスプ
リツタと、このビームスプリツタによる上記平行
光の反射光路であつて被検物表面からの上記平行
光の反射光路に配置された１／４波長板と、この
１／４波長板及び上記ビームスプリツタを透過し
た上記被検物表面からの反射光を受光する光検出
器とを有してなり、光検出器によつて検出される
被検物表面からの反射光の分布形状又は反射エネ
ルギー分布により被検物表面の形状の欠陥を判定
することを特徴とする表面形状欠陥検査機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8931485U JPS61205059U (ja) | 1985-06-13 | 1985-06-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8931485U JPS61205059U (ja) | 1985-06-13 | 1985-06-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61205059U true JPS61205059U (ja) | 1986-12-24 |
Family
ID=30643269
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8931485U Pending JPS61205059U (ja) | 1985-06-13 | 1985-06-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61205059U (ja) |
-
1985
- 1985-06-13 JP JP8931485U patent/JPS61205059U/ja active Pending
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