JPS63181950U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63181950U JPS63181950U JP7248987U JP7248987U JPS63181950U JP S63181950 U JPS63181950 U JP S63181950U JP 7248987 U JP7248987 U JP 7248987U JP 7248987 U JP7248987 U JP 7248987U JP S63181950 U JPS63181950 U JP S63181950U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating mirror
- inspected
- defect inspection
- inspection device
- reflected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
第１図は本考案の表面欠陥検査装置の１実施例
を示す説明図、第２図はビームの状態の説明図、
第３図は従来例を示す説明図、第４図は疵の種類
の説明図である。 １…レーザ発振器、１ａ…集光器、２…ハーフ
ミラー、３，３ａ，３ｂ…回転ミラー、４…被検
査体、５…集光レンズ、６…受光装置、６ａ…マ
スクプレート、６ｂ…光電子増倍管、７…凹レン
ズ、８…分割プリズム、９…集光光学系レンズ、
１０…ハーフミラー。
を示す説明図、第２図はビームの状態の説明図、
第３図は従来例を示す説明図、第４図は疵の種類
の説明図である。 １…レーザ発振器、１ａ…集光器、２…ハーフ
ミラー、３，３ａ，３ｂ…回転ミラー、４…被検
査体、５…集光レンズ、６…受光装置、６ａ…マ
スクプレート、６ｂ…光電子増倍管、７…凹レン
ズ、８…分割プリズム、９…集光光学系レンズ、
１０…ハーフミラー。
Claims (1)
- レーザ発振器からのレーザ光線を回転ミラーへ
導き、該回転ミラーで反射された光線を高速走査
光線として被検査体表面に照射し、該被検査体表
面での反射回折光を集光レンズで集めて受光装置
に導く表面欠陥検査装置において、回転ミラーを
複数個とし、さらにレーザ発振器と各回転ミラー
間に、レーザ光線を光路中で分割する分割プリズ
ムと該プリズムで分割された光線を集光する手段
を設けたことを特徴とする表面欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7248987U JPS63181950U (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7248987U JPS63181950U (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63181950U true JPS63181950U (ja) | 1988-11-24 |
Family
ID=30915980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7248987U Pending JPS63181950U (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63181950U (ja) |
-
1987
- 1987-05-15 JP JP7248987U patent/JPS63181950U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS63181950U (ja) | ||
| JPH0311218U (ja) | ||
| JPS62180758U (ja) | ||
| JPS6382216U (ja) | ||
| JPS62176706U (ja) | ||
| JPS62199664U (ja) | ||
| JPS62174790U (ja) | ||
| JPS6253349U (ja) | ||
| JPS61205059U (ja) | ||
| JPH01165185U (ja) | ||
| JPS6163391U (ja) | ||
| JPS62168413U (ja) | ||
| JPS61158840U (ja) | ||
| JPH0397608U (ja) | ||
| JPS6289616U (ja) | ||
| JPS58186459U (ja) | 面分析形レ−ザラマン顕微鏡 | |
| JPS5745230A (en) | Inspecting device for photomask dry plate | |
| JPH01157301U (ja) | ||
| JPS5995205U (ja) | レ−ザ−干渉計 | |
| JPS6321901U (ja) | ||
| JPS62195223U (ja) | ||
| JPS6173142U (ja) | ||
| JPS6199043U (ja) | ||
| JPS5512931A (en) | Device for scanning light spot | |
| JPS61131648U (ja) |