JPS62162911A - 計測装置 - Google Patents
計測装置Info
- Publication number
- JPS62162911A JPS62162911A JP419986A JP419986A JPS62162911A JP S62162911 A JPS62162911 A JP S62162911A JP 419986 A JP419986 A JP 419986A JP 419986 A JP419986 A JP 419986A JP S62162911 A JPS62162911 A JP S62162911A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- laser
- distance
- light receiving
- photodetection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、レーザ光等を利用して測定対象面を元ビーム
で走査し、対象面上の一点までの距離を求める計測装置
に関する。
で走査し、対象面上の一点までの距離を求める計測装置
に関する。
（従来技術）
従来のこの種計測装置は、第を図に示す如く計測ヘッド
ｌにはレーザ光源／／、収束レンズ１２、受光レンズ１
３、リニアポジションセンナｌμを備え、被測定対象面
ｉｓの位置が７３ｍ ＋ ／ｊ ｂ ＊ｌｊＣの如く変
化したとき、リニアセンサ／≠上の結像位置が／６ＪＩ
Ｉ ／Ａｂ＋ ／Ａｃの如く変化し、その時の受光レン
ズの角度θａ、θｂ、θｃｆ検出し、距離ｄ（レーザ光
源１／とリニアポジションセンナｌ≠）とから演算処理
を行っている。すなわちレーザ光源／／で発生するレー
ザ光は、収束レンズｌコによシ被測定対象面／Ｊ′の上
に収束する。
ｌにはレーザ光源／／、収束レンズ１２、受光レンズ１
３、リニアポジションセンナｌμを備え、被測定対象面
ｉｓの位置が７３ｍ ＋ ／ｊ ｂ ＊ｌｊＣの如く変
化したとき、リニアセンサ／≠上の結像位置が／６ＪＩ
Ｉ ／Ａｂ＋ ／Ａｃの如く変化し、その時の受光レン
ズの角度θａ、θｂ、θｃｆ検出し、距離ｄ（レーザ光
源１／とリニアポジションセンナｌ≠）とから演算処理
を行っている。すなわちレーザ光源／／で発生するレー
ザ光は、収束レンズｌコによシ被測定対象面／Ｊ′の上
に収束する。
この光点の反射光はレーザ照射軸と一定の角度（θａ、
θｂ、θｃ）を持つ受光軸上の受光レンズ１３により集
光されてリニアポジションセンサ／≠上に結像する。計
測ヘッドｌと被測定対象面ｌ！との距離が、／ｊａ・
／ｊｂ、／ｊｃ のように変化するとこのりニアセン
サ／４上の結像位置は／ ６ａ ＋ｌ乙す、／ｌｓｃに
示すように移動する。リニアポジションセンサｌ≠は第
７図に示すような３つの電極■、■、■を持つ抵抗とし
て表わされ、結像位置の変化によりＲ，、Ｒｔの比が変
化し、電極■。
θｂ、θｃ）を持つ受光軸上の受光レンズ１３により集
光されてリニアポジションセンサ／≠上に結像する。計
測ヘッドｌと被測定対象面ｌ！との距離が、／ｊａ・
／ｊｂ、／ｊｃ のように変化するとこのりニアセン
サ／４上の結像位置は／ ６ａ ＋ｌ乙す、／ｌｓｃに
示すように移動する。リニアポジションセンサｌ≠は第
７図に示すような３つの電極■、■、■を持つ抵抗とし
て表わされ、結像位置の変化によりＲ，、Ｒｔの比が変
化し、電極■。
■の′ｔ８；流比が変る。この電流の変化を検出し両者
の加減算処理を行なっ”ｒ ＋Ｊニアセンサ上の結像位
置を検出して投光軸と受光軸の角度を求め、被測定対象
面上での距離を計算する。
の加減算処理を行なっ”ｒ ＋Ｊニアセンサ上の結像位
置を検出して投光軸と受光軸の角度を求め、被測定対象
面上での距離を計算する。
（発明が解決しようとする問題点）
このような測定方法は計測のための可動部分がない利点
があるが微小な′ル流検出のリニア処理と複離な演算処
理とが必要で、かつ外部より別に外乱光が入射するとｔ
流の比が変化する欠点があった。またその影＃を除くた
めレーザ光に変調を行′なう方法も用いられているが、
リニアポジションセンサの周波数特性から外乱光に影響
されない充分高い周波数に選択できない場合もある等の
欠点があった。
があるが微小な′ル流検出のリニア処理と複離な演算処
理とが必要で、かつ外部より別に外乱光が入射するとｔ
流の比が変化する欠点があった。またその影＃を除くた
めレーザ光に変調を行′なう方法も用いられているが、
リニアポジションセンサの周波数特性から外乱光に影響
されない充分高い周波数に選択できない場合もある等の
欠点があった。
（問題点を解決するための手段）
本発明はかかる点に鑑みなされたものであって、その目
的とするところは投光器と受光器とからなる光学系が同
一平面上に形成され、該投光器のレーザ光源は一定周波
数で光強度変調を行ったレーザ光ビームを一定角度内で
往復移動させて被測定対象面上を走査し、この被測定対
象面上に生ずるレーザ光ビームの暉点が微小受光域を持
つ受光器の形成する受光軸と交わる点における上記受光
器の受光出力が最大レベルになるタイミング、或は受光
軸の両側に微小距離で配置した２個の受光素る信号を用
いてピーク値を検出し、この時のレーザ光ビームの基準
線からの角度を求め、前記投光器と受光器間の距離と前
記検出角度とから被測定対象面までの距離を計算し求め
るようにしたことを特徴とする計測装置である。以下図
面によシ本発明の詳細な説明する。
的とするところは投光器と受光器とからなる光学系が同
一平面上に形成され、該投光器のレーザ光源は一定周波
数で光強度変調を行ったレーザ光ビームを一定角度内で
往復移動させて被測定対象面上を走査し、この被測定対
象面上に生ずるレーザ光ビームの暉点が微小受光域を持
つ受光器の形成する受光軸と交わる点における上記受光
器の受光出力が最大レベルになるタイミング、或は受光
軸の両側に微小距離で配置した２個の受光素る信号を用
いてピーク値を検出し、この時のレーザ光ビームの基準
線からの角度を求め、前記投光器と受光器間の距離と前
記検出角度とから被測定対象面までの距離を計算し求め
るようにしたことを特徴とする計測装置である。以下図
面によシ本発明の詳細な説明する。
（実施例）
第１図は、本発明の一実施例を示すブロック図であり、
コは計測ヘッドで、これはレーザ２１、レーザ駆動回路
ココ、レーザ尤集東しンズコ３、揺動ミラー、２≠、集
光レンズ２６、受光素子２７からなる。レーザＪ／の発
光は集束レンズ２３で集光され、回転軸コｒにより回転
する揺動ミラー２１の回転角に従って元ビームを被測定
対象面コ！上を走査する。この元ビームは被測定対象面
で反射し、集光レンズ、２６、受光素子、２７で形成さ
れる受光系の元軸上を照射した時、反射光の一光が集光
されて受光素子２７上に結像し受光出力を生ずる。すな
わち被測定対象面が、２！ａの距離にある時はミラー２
１Ａａの状態（角度θａ）で受光出力を生じ、被対象測
定面が、２Ｊ−ｂの時はミラー２１Ａｂ（角度θｂ）で
受光出力を生ずる７被測定対象面までの距離は、第２図
に示すごとく受光レンズコ乙の中心と揺動ミラー２μの
回転中心２１−／の距離をｄとし、この両者を結ぶ線に
受光レンズ２ｔおよび受光素子２７で形成する受光軸が
直角になるように配置すれば被測定対象面、２ｊ−口２
ｊ、＠ １．２１−ｓまでの距離ｈｔ ＋ ｈｔ＋ ｈ
ｓは、それぞれ次式で表わされる。
コは計測ヘッドで、これはレーザ２１、レーザ駆動回路
ココ、レーザ尤集東しンズコ３、揺動ミラー、２≠、集
光レンズ２６、受光素子２７からなる。レーザＪ／の発
光は集束レンズ２３で集光され、回転軸コｒにより回転
する揺動ミラー２１の回転角に従って元ビームを被測定
対象面コ！上を走査する。この元ビームは被測定対象面
で反射し、集光レンズ、２６、受光素子、２７で形成さ
れる受光系の元軸上を照射した時、反射光の一光が集光
されて受光素子２７上に結像し受光出力を生ずる。すな
わち被測定対象面が、２！ａの距離にある時はミラー２
１Ａａの状態（角度θａ）で受光出力を生じ、被対象測
定面が、２Ｊ−ｂの時はミラー２１Ａｂ（角度θｂ）で
受光出力を生ずる７被測定対象面までの距離は、第２図
に示すごとく受光レンズコ乙の中心と揺動ミラー２μの
回転中心２１−／の距離をｄとし、この両者を結ぶ線に
受光レンズ２ｔおよび受光素子２７で形成する受光軸が
直角になるように配置すれば被測定対象面、２ｊ−口２
ｊ、＠ １．２１−ｓまでの距離ｈｔ ＋ ｈｔ＋ ｈ
ｓは、それぞれ次式で表わされる。
一θ１＝（・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・ （１）一θｔ ＝に！ ・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ （２
）上式かられかるように容易に計算できる特長を有する
。
・・・・・・・ （１）一θｔ ＝に！ ・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ （２
）上式かられかるように容易に計算できる特長を有する
。
さて、第１図にもどってのべると、レーザ２１は発振器
３６の出力をレーザ駆動回路−一を介して高周波で強度
変調される。この発振器３６の出力は同時にカウンタ３
夕を動作させ、Ｄ／Ａ コンバータ等を用いたディジ
タル−アナログＤ／Ａ 変換器３１Ａにより時間的に
変化するリニア信号に変換し、駆動回路３３を介して電
流−回転角がりニアな関係にある揺動ミラー２弘の回転
軸コｒを回転させる。すなわち揺動ミラーで反射される
レーザ元ビームの角度は駆動電流に対して第３図に例示
するように変化（横軸に電流、縦軸に元ビーム角度の変
化）し、電流値はカウンタ（第１図の３３）のカウント
値と比例するようにしておけば、カウント値を求めるこ
とによシレーザ元ビーム角度が得られ、第２図に示した
方法で被測定対象面までの距離りが求められる。
３６の出力をレーザ駆動回路−一を介して高周波で強度
変調される。この発振器３６の出力は同時にカウンタ３
夕を動作させ、Ｄ／Ａ コンバータ等を用いたディジ
タル−アナログＤ／Ａ 変換器３１Ａにより時間的に
変化するリニア信号に変換し、駆動回路３３を介して電
流−回転角がりニアな関係にある揺動ミラー２弘の回転
軸コｒを回転させる。すなわち揺動ミラーで反射される
レーザ元ビームの角度は駆動電流に対して第３図に例示
するように変化（横軸に電流、縦軸に元ビーム角度の変
化）し、電流値はカウンタ（第１図の３３）のカウント
値と比例するようにしておけば、カウント値を求めるこ
とによシレーザ元ビーム角度が得られ、第２図に示した
方法で被測定対象面までの距離りが求められる。
第１図に示す受光素子２７の出力は、増幅器３７を介し
て変調周波数に整合したバンドパスフィルタ・整流平滑
回路２りにより選択、直流信号化が行なわれ、直流信号
のピーク値をピーク検出回路３０により検出し、この時
点のカウンタ３ｊのカウント値（すなわち回転角）をゲ
ート回路３１を介して演算処理回路３２に与え、前記（
１）〜（８）式に示す計算処理を行なう。
て変調周波数に整合したバンドパスフィルタ・整流平滑
回路２りにより選択、直流信号化が行なわれ、直流信号
のピーク値をピーク検出回路３０により検出し、この時
点のカウンタ３ｊのカウント値（すなわち回転角）をゲ
ート回路３１を介して演算処理回路３２に与え、前記（
１）〜（８）式に示す計算処理を行なう。
第≠図は、第１図に示す構成の動作を説明するだめの電
流波形の関係図を示し、（４）は回転角が電流（カウン
ト）に対する変化を示し、θ、からθ２の角度で揺動す
る。（Ｂ）は受光素子２７の出力波形、（Ｃり ハバン
ドパスフィルタコタの出力波形、■）ハ整流・平滑回路
２りの出力、［有］）はピーク検出回路３０の出力を示
し、実線が回転角中心位置での出力であり、第１図で距
離が変化した場合の出力の変化例を点線で示している。
流波形の関係図を示し、（４）は回転角が電流（カウン
ト）に対する変化を示し、θ、からθ２の角度で揺動す
る。（Ｂ）は受光素子２７の出力波形、（Ｃり ハバン
ドパスフィルタコタの出力波形、■）ハ整流・平滑回路
２りの出力、［有］）はピーク検出回路３０の出力を示
し、実線が回転角中心位置での出力であり、第１図で距
離が変化した場合の出力の変化例を点線で示している。
ここで前記出力の）を得るには受光素子、２７の受光幅
が小さく、レーザ元の集束が充分な程尖鋭になり、１０
μｍ程度の受光幅を持つホトダイオード等が好適である
。このことは外乱光に対する影響のない高周波変調の受
光に適したものといえる。つぎに第５図は別の実施例の
構成を示すブロック図で、第６図はその主要動作を説明
するための図である。この別の実施例においては計測ヘ
ッド２′の受光素子を２組設け２７−／、２７−２は受
光軸の両側に微小距離はなれて第６図に例示するような
関係で配置される。
が小さく、レーザ元の集束が充分な程尖鋭になり、１０
μｍ程度の受光幅を持つホトダイオード等が好適である
。このことは外乱光に対する影響のない高周波変調の受
光に適したものといえる。つぎに第５図は別の実施例の
構成を示すブロック図で、第６図はその主要動作を説明
するための図である。この別の実施例においては計測ヘ
ッド２′の受光素子を２組設け２７−／、２７−２は受
光軸の両側に微小距離はなれて第６図に例示するような
関係で配置される。
各受光素子はそれぞれ増幅器３７−／、３７−２、バン
ドパスフィルタ・整流平滑回路コター／、２ターコを介
して直流レベル信号に変換される。レーザ元ビームの回
転移動に従ったこの２つの出力の変化を第７図で説明す
る。
ドパスフィルタ・整流平滑回路コター／、２ターコを介
して直流レベル信号に変換される。レーザ元ビームの回
転移動に従ったこの２つの出力の変化を第７図で説明す
る。
すなわちその一方には電流変化（角度変化）に従って（
Ａ）のように電流Ｉ、の時最大になり、他の出力（０）
は（４）より回転角が変化した電流■、の時最大になり
、受光軸の中心工、ではこの２つの出力レベルｔＡとｔ
ｃとは等しくなる。第１図のように受光軸上に単一の受
光素子がある場合は第７図ω）のような関係で出力し、
このピーク検出を行なうことと、第５図に示す比較回路
３０により（Ａ）、（Ｂ）のレベル一致検出を行なうこ
とは同じ効果が得られる。この実施例においては第１図
の場合に比べて受光精度がより精密になり、複雑な被測
定対象面も確実に距離測定が可能となる。
Ａ）のように電流Ｉ、の時最大になり、他の出力（０）
は（４）より回転角が変化した電流■、の時最大になり
、受光軸の中心工、ではこの２つの出力レベルｔＡとｔ
ｃとは等しくなる。第１図のように受光軸上に単一の受
光素子がある場合は第７図ω）のような関係で出力し、
このピーク検出を行なうことと、第５図に示す比較回路
３０により（Ａ）、（Ｂ）のレベル一致検出を行なうこ
とは同じ効果が得られる。この実施例においては第１図
の場合に比べて受光精度がより精密になり、複雑な被測
定対象面も確実に距離測定が可能となる。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明によれば、複雑なＩＪ ニ
ア回路処理を必要とせず、外乱光に対する影響のない高
周波変調の受光に適した微小受光素子を使用することで
、その出力レベル監視処理により容易に距離が計測でき
、経済的な計測装置を６４成し得る効果を有する。
ア回路処理を必要とせず、外乱光に対する影響のない高
周波変調の受光に適した微小受光素子を使用することで
、その出力レベル監視処理により容易に距離が計測でき
、経済的な計測装置を６４成し得る効果を有する。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック構成図、第２
図は計測原理を説明する図、第３図はミラー駆動電流と
元ビーム角度の対応を説明する図、第５図は回転角検出
を説明する図、第５図は別の実施例を示すブロック構成
図、第６図は受光素子の配ｔｉを説明する図、第７図は
検出動作を説明する図、第ｒ図は従来の計測方法を説明
する図、第り図は従来使用されているリニアポジション
センサの等価回路である。 λ・・・計測ヘッド、２１・・・レーザ、２３・・・ｖ
−ザ元集束レンズ、２μ・・・揺動ミラー１．２６・・
・集光レンズ コア・・・受光素子、λり・・・バンド
パスフィルタ・整流平滑回路、３０・・・ピーク検出回
路、３２・・・演算処理回路、３３・・・ミラー駆動回
路、３１Ａ・・・Ｄ／Ａ変換回路、３ｊ・・・カウンタ
、３６・・・発振器、３７・・・増巾器。 ・Ｊ５． ・ ＃ ｌ 図 隷）！′Ｉ足対足面 像面２ 図 電充 −Ｉ Ｏ＋１ （電流） ＊ ４ 図 ￥ ５ 区 亨６ 図 電 ）Ｌ ＊ ７ 図 第 ６（２１１ 箒 ９ 凹
図は計測原理を説明する図、第３図はミラー駆動電流と
元ビーム角度の対応を説明する図、第５図は回転角検出
を説明する図、第５図は別の実施例を示すブロック構成
図、第６図は受光素子の配ｔｉを説明する図、第７図は
検出動作を説明する図、第ｒ図は従来の計測方法を説明
する図、第り図は従来使用されているリニアポジション
センサの等価回路である。 λ・・・計測ヘッド、２１・・・レーザ、２３・・・ｖ
−ザ元集束レンズ、２μ・・・揺動ミラー１．２６・・
・集光レンズ コア・・・受光素子、λり・・・バンド
パスフィルタ・整流平滑回路、３０・・・ピーク検出回
路、３２・・・演算処理回路、３３・・・ミラー駆動回
路、３１Ａ・・・Ｄ／Ａ変換回路、３ｊ・・・カウンタ
、３６・・・発振器、３７・・・増巾器。 ・Ｊ５． ・ ＃ ｌ 図 隷）！′Ｉ足対足面 像面２ 図 電充 −Ｉ Ｏ＋１ （電流） ＊ ４ 図 ￥ ５ 区 亨６ 図 電 ）Ｌ ＊ ７ 図 第 ６（２１１ 箒 ９ 凹
Claims (1)
- 投光器と受光器とからなる光学系が同一平面上に形成さ
れ、該投光器のレーザ光源は一定周波数で光強度変調を
行ったレーザ光ビームを一定角度内で往復移動させて被
測定対象面上を走査し、この被測定対象面上に生ずるレ
ーザ光ビームの輝点が微小受光域を持つ受光器の形成す
る受光軸と交わる点における上記受光器の受光出力が最
大レベルになるタイミング、或は受光軸の両側に微小距
離で配置した２個の受光素子の出力レベルが等しくなる
タイミングで変調周波数成分のみを取出すバンドパスフ
ィルタ・整流平滑回路を介して得られる信号を用いてピ
ーク値を検出し、この時のレーザ光ビームの基準線から
の角度を求め、前記投光器と受光器間の距離と前記検出
角度とから被測定対象面までの距離を計算し求めるよう
にしたことを特徴とする計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP419986A JPS62162911A (ja) | 1986-01-14 | 1986-01-14 | 計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP419986A JPS62162911A (ja) | 1986-01-14 | 1986-01-14 | 計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62162911A true JPS62162911A (ja) | 1987-07-18 |
Family
ID=11577988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP419986A Pending JPS62162911A (ja) | 1986-01-14 | 1986-01-14 | 計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62162911A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102549378A (zh) * | 2009-09-15 | 2012-07-04 | 高通股份有限公司 | 小形状因子的大小传感器 |
| US8798959B2 (en) | 2009-09-15 | 2014-08-05 | Qualcomm Incorporated | Small form-factor distance sensor |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53132371A (en) * | 1977-04-25 | 1978-11-18 | Iwatsu Electric Co Ltd | Distance measuring device |
| JPS5999308A (ja) * | 1982-11-30 | 1984-06-08 | Komatsu Ltd | 測距センサ |
| JPS59226812A (ja) * | 1983-06-07 | 1984-12-20 | Fujitsu Ten Ltd | 近距離測距センサ |
-
1986
- 1986-01-14 JP JP419986A patent/JPS62162911A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53132371A (en) * | 1977-04-25 | 1978-11-18 | Iwatsu Electric Co Ltd | Distance measuring device |
| JPS5999308A (ja) * | 1982-11-30 | 1984-06-08 | Komatsu Ltd | 測距センサ |
| JPS59226812A (ja) * | 1983-06-07 | 1984-12-20 | Fujitsu Ten Ltd | 近距離測距センサ |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102549378A (zh) * | 2009-09-15 | 2012-07-04 | 高通股份有限公司 | 小形状因子的大小传感器 |
| JP2013504770A (ja) * | 2009-09-15 | 2013-02-07 | クアルコム，インコーポレイテッド | フォームファクタが小さいサイズセンサ |
| US8798959B2 (en) | 2009-09-15 | 2014-08-05 | Qualcomm Incorporated | Small form-factor distance sensor |
| US9146308B2 (en) | 2009-09-15 | 2015-09-29 | Qualcomm Incorporated | Small form-factor distance sensor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4168126A (en) | Electro-optical measuring system using precision light translator | |
| JPS6249562B2 (ja) | ||
| JPS62162911A (ja) | 計測装置 | |
| JPH0224590A (ja) | 振幅変調形測距装置 | |
| JPS633212A (ja) | 計測装置 | |
| JP3250627B2 (ja) | 距離測定装置 | |
| JPS61112905A (ja) | 光応用計測装置 | |
| JPS5826325Y2 (ja) | 位置検出装置 | |
| JPH02187933A (ja) | 傾き角測定方法 | |
| JPH0318887Y2 (ja) | ||
| JPH10339605A (ja) | 光学式距離計 | |
| SU968604A2 (ru) | Фотоэлектрическое устройство дл измерени линейных размеров | |
| JPH07218634A (ja) | 距離測定装置 | |
| JPH0331367B2 (ja) | ||
| SU1004773A1 (ru) | Устройство измерени угловых флуктуаций оптического излучени | |
| JPS61153502A (ja) | 高さ検出装置 | |
| JPH0357913A (ja) | 測距センサー | |
| JPS614914A (ja) | 距離測定装置 | |
| JPH04130239A (ja) | 動的面出入り測定装置 | |
| JPH0357914A (ja) | 光学式プローブ | |
| JPS62503049A (ja) | 二次元的な対象物を整向、検査及び／または測定するための方法及び装置 | |
| JPS6217607A (ja) | 光学式傾き検出装置 | |
| JPH0710244Y2 (ja) | 光学式形状測定装置 | |
| JPH06222129A (ja) | 位置検出装置 | |
| JPS5940107A (ja) | 距離測定装置 |