JPH0388372A - 半導体発光素子の発光出力測定装置 - Google Patents

半導体発光素子の発光出力測定装置

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JPH0388372A JP1222957A JP22295789A JPH0388372A JP H0388372 A JPH0388372 A JP H0388372A JP 1222957 A JP1222957 A JP 1222957A JP 22295789 A JP22295789 A JP 22295789A JP H0388372 A JPH0388372 A JP H0388372A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【発明の目的】 (産業上の利用分野) この発明は、例えば発光ダイオード等の半導体発光素子
の発光出力測定装置に関する。 (従来の技術) 一般に、発光ダイオード等の半導体発光素子は、製造後
に発光出力が測定され、この測定結果に応じて良品、不
良品を選別したり、発光出力に応じて分類している。 第4図は、従来の発光出力測定装置の一例を示すもので
ある。 発光ダイオード等の発光索子1の一方のオーミック電極
2は平面状の電極板3に接触され、この発光素子1の他
方のオーミック電極4には、針状電極5が接触されてい
る。これら電極3.5の相互間には、電流供給源6が設
けられ、この電流供給源6から発光素子1に一定の電流
が供給される。 前記発光素子1の上方には、直径が1’0〜201のフ
ォトダイオード等からなる受光素子7が配設され、この
受光素子7によって発光素子1から出力される光が受光
され光電変換される。この受光素子7の出力は、出力測
定回路8を構成する電圧計8aによって測定される。 第5図は、従来の発光出力測定装置の他の例を示すもの
であり、第4図と同一部分については同一符号を付し、
異なる部分についてのみ説明する。 この測定装置においては、針状電極5に代えて、受光素
子7の外囲器7aの表面に酸化錫などの透明導電性電極
層9を設け、この透明導電性電極層9を発光素子1の他
方のオーミック電極4に接触して電流を供給し、受光素
子6によって発光素子1の発光出力を測定している。 (発明が解決しようとする課題) ところで、上記第4図に示す装置において、発光索子1
と受光素子7との相互間隔は、発光素子1の一辺の長さ
pが0.3−  程度であるのに対して、針状電極5を
配設するスペースを確保するために、通常数十鳳m以上
とする必要がある。このため、受光面積が有限な受光素
子7では、発光素子1から出力される光の極一部しか検
出することができないものである。したがって、この測
定装置では、発光素子1の発光出力を正確に測定するこ
とが困難なものであった。 また、上記第5図に示す装置においては、受光素子7を
発光素子1の表面に接近することが可能であるため、発
光出力の測定精度そのものは改善することができるわし
かし、透明導電性電極層9の電気伝導度は、例えばρ5
−100Ω/am2であり、金属と比較して低いため、
印加電流によって発熱し、発光素子1の発光出力に悪影
響を与えるという欠点を有していた。 しかも、透明導電性電極層9の電気伝導度が低いため、
発光素子1の順方向電圧特性をこの測定装置によって測
定した場合、透明導電性電極層9の電圧降下を含んで測
定することとなり、正確な測定が困難なものであった。 この発明は、上記従来の測定装置が有する課題を解決す
るものであり、その目的とするところは、半導体発光素
子の発光出力を正確に測定することが可能な半導体発光
素子の発光出力測定装置を提供しようとするものである
。 [発明の構成] (課題を解決するための手段) この発明は、上記課題を財決するため、半導体発光素子
の第1、第2の電極にそれぞれ接触され、半導体発光素
子に動作電流を供給する第3、第4の電極と、この第4
の電極が受光面に配設され、前記半導体発光素子から出
力される光を受光する受光素子とを設け、第4の電極を
網目状の金属によって構成している。 (作用) すなわち、この発明は、受光素子の受光面に網目状の金
属によって構成された第4の電極を設け、この第4の電
極を介して発光素子に動作電流を供給するとともに、発
光素子から発生された光を受光素子に導くことにより、
受光素子を発光素子に近接することがで、きるとともに
、発光素子の発熱を防止して発光素子の発光出力を正確
に測定可能としている。 (一実施例) 以下、この発明の一実施例について図面を参照して説明
する。 第1図において、発光ダイオード等の発光素子11には
、オーミック電極12.13が設けられている。これら
オーミック電極12.13のうち、一方のオーミック電
極12は平面状の電極板14に接触されている。この電
極板14は金属材料の表面に金メツキが施されている。 一方、受光素子15の受光面には、網目状の電極16が
設けられている。この網目状の電極16は、例えばガラ
ス等からなる透明絶縁物によって構成された受光素子1
5の外囲器15aの表面に金を蒸着して形成されている
。この網目状の電極16は、測定時に前記発光素子11
の他方のオーミック電極13に接触される。この網目状
の電極16と前記電極板14の相互間には電流供給源1
7が設けられており、この電流供給源17から発光素子
11の動作電流が供給される。 発光素子11から出力される光は、電極16の網目を介
して受光素子15に供給され、この受光素子15によっ
て光電変換される。この受光素子15には、電源18を
介して出力測定回路19が接続されており、この出力測
定回路19を構成する電圧計20に、受光素子15の光
電変換出力が供給され、発光素子11の出力光が測定さ
れる。 第2図は、前記網目状の電極16を示すものである。同
図に示すように、電極16の幅aは90μm、電極16
の相互間Sbは10μ麿とされている。 また、前記発光素子11の他方のオーミック電極13の
直径Cは、第3図に示すごとく、100μ口に設定され
ている。したがって、網目状の電極16は、発光素子1
1のオーミック電極13のどのような位置関係であって
も、このオーミック電極13に接触することができる。 上記実施例によれば、受光索子15の受光面に網目状の
電極16を設け、この網目状の電極16を介して受光素
子15を発光素子11に対向させている。したがって、
発光素子11と受光素子15との相互間角を数量−程度
に設定することができ、しかも、網目状の電極16によ
る発光素子11からの光の遮断は、受光面の中での網目
状の電極16の面積比に基づくと、この実施例では約2
0%に過ぎないため、発光索子11から出力される光の
大部分を受光素子15に入射することができ、発光素子
11の出力光を正確に測定することができるものである
。 また、網目状の電極16は金によって構成されているた
め、電気伝導度が従来の透明導電性電極層9に比べて極
めて高い。したがって、網目状の電極16からの発熱は
殆ど無視することができ、発熱により発光素子11の出
力光が変化することを防止するできるものである。 さらに、網目状の電極16の電気伝導度が高いため、網
目状の電極16の電圧降下を無視することができる。し
たがって、発光素子の順方向電圧特性を正確に測定する
ことができるものであり、汎用性の高い測定装置とする
ことができるものである。 また、網目状の電極16の電極相互間隔は、発光素子1
1のオーミック電極13の直径より狭く設定されている
。したがって、網目状の電極16を確実にオーミック電
極13に接触することができる。 しかも、網目状の電極16の電気伝導度が高いため、網
目状の電極16のどの部分が電極13に接触した場合に
おいても、抵抗値が変化せず正確に測定を行うことがで
きる。 なお、この発明は、発光ダイオードの発光出力の測定に
限定されるものではなく、例えば前面発光タイプの半導
体レーザの発光出力の測定に適用することも可能である
。 また、上記実施例においては、網目状の電極16を受光
索子15の外囲器15aに蒸着したが、これに限らず、
予め作製された網目状の金属電極を外囲器15aに取付
ける構成としても同様の効果を得ることが可能である。 その他、この発明の要旨を変えない範囲において種々変
形実施可能なことは勿論である。 [発明の効果] 以上、詳述したようにこの発明によれば、受光素子の受
光面に網目状の金属によって構成された第4の電極を設
け、この第4の電極を介して発光素子に動作電流を供給
するとともに、発光素子から発生された光を受光素子に
導くことにより、受光素子を発光素子に近接することが
できるとともに、発光素子の発熱を防止して発光素子の
発光出力を正確に測定することが可能な半導体発光素子
の発光出力測定装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例を示す一部切除した構成図
、第2図は網目状の電極を示す平面図、第3図は発光素
子を示す上面図、第4図、第5図はそれぞれ従来の発光
出力測定装置を示すものであり、第4図は構成図、第5
図は一部切除した構成図である。 11・・・発光素子、12.13・・・オーミック電極
、14・・・電極板、15・・・受光素子、15a・・
・外囲器、16・・・網目状の電極、19・・・出力測
定回路。 第 1 図 第3図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)第1、第2の電極を有する半導体発光素子の前記
    第1の電極に接触される第3の電極と、前記半導体発光
    素子の出力光を受光する受光素子と、 この受光素子の受光面に配設され、前記半導体発光素子
    の第2の電極に接触され、前記第3の電極ともに半導体
    発光素子に動作電流を供給する網目状金属によって構成
    された第4の電極と、を具備したことを特徴とする半導
    体発光素子の発光出力測定装置。
  2. (2)前記第4の電極の網目のサイズは半導体発光素子
    の第2の電極の直径より若干小さくされていることを特
    徴とする請求項1記載の半導体発光素子の発光出力測定
    装置。
JP22295789A 1989-08-31 1989-08-31 半導体発光素子の発光出力測定装置 Expired - Lifetime JPH06101592B2 (ja)

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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5381103A (en) * 1992-10-13 1995-01-10 Cree Research, Inc. System and method for accelerated degradation testing of semiconductor devices
GB9824671D0 (en) * 1998-11-11 1999-01-06 Cashmaster Int Ltd Monitoring apparatus
US6760124B1 (en) * 2000-03-22 2004-07-06 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Software determination of led brightness and exposure
US6970811B1 (en) * 2000-03-22 2005-11-29 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Hardware modeling of LED relative brightness
US6490037B1 (en) * 2000-11-13 2002-12-03 Test Coach Corporation Method and apparatus for verifying a color of an LED in a printed circuit board
US7023554B2 (en) * 2003-11-14 2006-04-04 Test Coach Corporation Method and apparatus for determining a color and brightness of an LED in a printed circuit board
US7265822B2 (en) * 2004-10-01 2007-09-04 Test Coach Corporation Method and apparatus for determining presence of a component in a printed circuit board
KR100768884B1 (ko) * 2007-04-26 2007-10-19 서승환 기판의 발광소자 검사장치
US8593148B2 (en) * 2009-08-03 2013-11-26 Sof-Tek Integrators, Inc. System and method of testing high brightness LED (HBLED)
KR100953753B1 (ko) * 2009-08-25 2010-04-19 주식회사 대한전광 집단 광원 측정 장치
JP2017508272A (ja) * 2013-12-22 2017-03-23 リハイトン エレクトロニクス, インコーポレイテッドLehighton Electronics,Inc. 光起電性半導体の最大開路電圧を非接触で検知するためのシステムおよび方法
US10302496B2 (en) 2016-02-09 2019-05-28 Nasa Solutions, Llc Method and apparatus for determining presence and operation of a component in a printed circuit board

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD118942A1 (ja) * 1975-04-01 1976-03-20
DE3328899C2 (de) * 1983-08-10 1985-07-11 Nukem Gmbh, 6450 Hanau Photovoltaische Zelle
JPS62278423A (ja) * 1986-05-28 1987-12-03 Mitsubishi Electric Corp 発光装置の検査装置
US4859939A (en) * 1987-12-21 1989-08-22 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Non-destructive testing of SOS wafers using surface photovoltage measurements
US5008617A (en) * 1989-06-20 1991-04-16 Energy Conversion Devices, Inc. Functional testing of ultra large area, ultra large scale integrated circuits

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US5065007A (en) 1991-11-12
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DE69003911D1 (de) 1993-11-18
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EP0415440A2 (en) 1991-03-06
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JPH06101592B2 (ja) 1994-12-12

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