JPH0388330A - ブラシスクラバー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 ・本発明は半導体ウェーハのごみ除去に用いられるブラ
シスクラバーに関する。

〔従来の技術〕

従来、この種のブラシスクラバーでは、ウェーハがウェ
ーハの中心を軸に回転運動する機構と、ウェーハ上に平
行に位置する円筒型のブラシが円筒の軸を中心に回転運
動する機構とを有し、同ウェーへの回転運動と同ブラシ
の回転運動によるブラシの毛とウェーハの接触により、
接触部に水を供給しながらごみを除去していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら上述した従来のブラシスクラバーでは、ウ
ェーハ上に位置する円筒形のブラシの毛の内、ウェーハ
の中心部に接する領域のブラシの毛先が乱れる為、ウェ
ーハ上のごみ除去能力が低下する。これは、ウェーハ中
心を境にブラシの両側の毛の向きが逆方向になる為に、
ウェーハ中心部の毛が乱れることに起因する。

この為、ウェーハ中心部に残ったごみにより、フォトレ
ジスト工程でのパターンニングが部分的に異常となった
り、或はイオン注入技術を用いた不純物導入工程で、不
純物が導入されない領域が発生する等、ウェーハ中央部
のＰ／Ｗ歩留りが低下するという欠点がある。

上述した従来のブラシスクラバーのブラシが回転運動を
行なう機構のみを有するのに対し、本発明のブラシスク
ラバーでは、ブラシの回転運動を行なう機構に加え、ブ
ラシがウェーハ面に平行に移動する機構を有するという
相違点がある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、ウェーハがウェーハの中心を軸に回転運動す
る機構と、ウェーハ上にウェーハ面と平行に位置する円
筒型のブラシが円筒の軸を中心に回転運動する機構とを
有するブラシスクラバーにおいて、前記ブラシがウェー
ハ面に平行に移動する機構を有するブラシスクラバーで
ある。

〔実施例〕

次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の第１の実施例の平面図である。

第１図は、ブラシ１の運動方向がｙ軸を往復運動する場
合を示している。ブラシ１の往復運動は、ｌ往復あたり
３秒程度で行なう、又、ウェーハ２の回転数は３６００
ｒｐｍ程度にする。

第２図は本発明の第２の実施例の平面図である。同図に
おいて、ブラシ１はＸ軸、ｙ軸に対し約４５°の方向で
往復運動する場合を示したものである。ウェーハ２の回
転数は約３６００ｒｐｍである。

〔発明の効果〕

以上説明した様に、従来はブラシの回転軸が移動しなか
ったのに対し、本発明はブラシの回転軸がウェーハ面に
平行な面を往復運動することにより、ブラシの毛が均等
にウェーハに当たり、ウェーハ中央部近辺に接するブラ
シの毛の乱れが無くなり、ウェーハ中央部のごみの除去
ができる効果がある。この為、ウェーハ中央部で発生す
るブラシスクラバーのごみ除去能力の低下に起因するＰ
／Ｗ歩留りの低下をほぼ完全に無くす事が出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例の平面図、図は本発明の
第２の実施例の平面図である。 １・・・ブラシ、２・・・ウェーハ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ウェーハがウェーハの中心を軸に回転運動する機構と、
   ウェーハ上にウェーハ面と平行に位置する円筒型のブラ
   シが円筒の軸を中心に回転運動する機構とを有するブラ
   シスクラバーにおいて、前記ブラシがウェーハ面に平行
   に移動する機構を有することを特徴とするブラシスクラ
   バー。