JPH0386298A - 無電解銅メッキ用ソフトエッチング廃液からの過酸化水素の除去方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 概要 無電解鋼メッキ用ソフトエツチング廃液からの過酸化水
素の除去方法に関し、 浴の管理が簡単で、処理コストが低く、しかも短時間で
過酸化水素を除去することができる方法の提供を目的と
し、 過酸化水素、硫酸及び銅イオンを含む強酸性の無電解鋼
メッキ用ソフトエツチング廃液から過酸化水素を除去す
る方法において、上記廃液と無電解鋼メッキ触媒用のキ
ャタリスト溶液とを混合して、過酸化水素を還元除去す
るようにして構成する。

産業上の利用分野 本発明は無電解鋼メッキ用ソフトエツチング廃液からの
過酸化水素の除去方法に関する。

プリント配線板製造の分野等における無電解銅メッキ工
程では、メッキ本処理に先立ち、銅表面の清浄化、粗面
化等を目的として、例えば硫酸及び過酸化水素を含んで
なる強酸性のソフトエツチング液を用いて、銅表面層を
軽く溶解除去するようにしている。ソフトエツチング液
を長期間使用していると、銅イオンその他不純物が蓄積
してきて機能が損なわれるので、これを更新して新たな
ソフトエツチング液と交換する必要がある。この機能が
損なわれて更新が必要になったソフトエツチング液（以
下「ソフトエツチング廃液」又は単に「廃液」と言う。

）は、通常、中和処理（凝集沈澱処理）して銅その他の
金属イオンを除去するようにしているが、廃液に過酸化
水素が含まれていると、中和処理に際して過酸化水素の
分解により生じた酸素ガスが、本来沈降すべき凝集沈澱
物を浮遊させてしまい良好な金属イオンの除去を行うこ
とができないので、中和処理に先立って廃液から過酸化
水素を除去する必要がある。

従来の技術 廃液からの過酸化水素の除去方法の従来例を第２図によ
り説明する。処理槽ｌに供給された廃液２は、そのｐＨ
（水素イオン濃度指数）及び○ＲＰ（酸化還元電位〉を
ｐＨ，○ＲＰ計４により測定され、これらの測定値に応
じた量の苛性ソーダ（Ｎ　ａ　ＯＨ）溶液６及び重亜硫
酸ソーダ（Ｎ　ａ　Ｈ２Ｏ，）溶液８を廃液２に加えて
過酸化水素（Ｈ２Ｏ，〉を除去した後、過酸化水素が除
去された廃液は図示しない中和処理設備に送られる。こ
こで、廃液のｐＨを測定しているのは、廃液が、過酸化
水素が比較的分解し易く、しかも金属イオンが水酸化物
として沈澱することがない弱酸性になるように、苛性ソ
ーダ溶液の供給量を調整するためである。童た、○ＲＰ
を測定しているのは、重亜硫酸ソーダによる過酸化水素
の還元反応が良好に行われるように、重亜硫酸ソーダ溶
液の供給量を調整するためである。

発明が解決しようとする課題 このように従来方法であると、ｐＨ及び○ＲＰを測定し
て苛性ソーダ溶液及び重亜硫酸ソーダ溶液の供給量を調
整する必要があるから、浴の管理が簡単でない、また、
全廃液処理コストに対する重亜硫酸ソーダのコストの占
める割合が比較的高いので、処理コストがかさむ。更に
、ソフトエツチング廃液では過酸化水素濃度が高い（パ
ーセントオーダ）ので、過酸化水素を完全に除去するた
めに長時間を要する。処理時間を短縮しようとして重亜
硫酸ソーダ溶液の供給量を増大させると、硫化水素ガス
が発生して環境安全上好ましくない。

本発明はこのような事情に鑑みて創作されたもので、浴
の管理が簡単で、処理コストが低く、しかも、短時間で
過酸化水素を除去することができる廃液からの過酸化水
素の除去方法を提供することを目的としている。

課題を解決するための手段 上述した技術的課題は、過酸化水素、硫酸及び銅イオン
を含む強酸性の無電解鋼メッキ用ソフトエツチング廃液
から過酸化水素を除去する方法において、上記廃液と無
電解鋼メッキ触媒用のキャタリスト溶液とを混合して、
過酸化水素を還元除去するようにして解決される。

作　　　用 本発明方法においては、適当な濃度及び量のキャタリス
ト溶液を廃液に混合しておけば、キャタリスト溶液の供
給量を調整することなしに廃液中の過酸化水素を除去す
ることができるので、浴の管理が簡単になる。また、本
発明方法で用いる無電解鋼メッキ触媒用のキャタリスト
溶液は、全く新品である必要はなく、既に無電解鋼メッ
キ触媒に供された廃棄すべきキャタリスト溶液で良いの
で、従来方法における重亜硫酸ソーダが不要になり、処
理コストが低下する。この場合、本発明方法に供された
キャタリスト溶液はそのまま廃液とともに中和処理を行
うことができるので、無電解鋼メッキ触媒用としてのキ
ャタリストの廃棄処理のコストが不要になる。更に、従
来方法における重亜硫酸ソーダ溶液に代えてキャタリス
ト溶液を用いているので、短時間で過酸化水素を除去す
ることが可能になる。

実　　施　　例 以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

゛第１図は本発明の実施例を示す廃液からの過酸化水素
除去装置の構成図である。ＩＯは廃液１２の貯留槽、１
４は処理槽、１６は貯留槽１０から処理槽１４に廃液１
２を供給するポンプ、１８はキャタリスト溶液２０のタ
ンク、２２はキャタリスト溶液２０を処理槽１４内に供
給するためのバルブ、２４は苛性ソーダ溶液２６のタン
ク、２８は苛性ソーダ溶液２６を処理槽１４内に供給す
るためのバルブ、３０は処理槽１４内を攪拌する攪拌器
、３２は処理槽１４内の廃液のｐＨを測定するためのｐ
Ｈ計である。

この装置を用いた処理方法を説明する。先ず、ポンプ１
６により廃液を処理槽１４内に供給したら、そのｐＨを
ｐＨ計３２により測定しながら苛性ソーダ２６を適宜供
給してゆき、廃液のｐＨが５〜６の範囲内になるように
する。この範囲にｐＨを調整するのは、この範囲よりも
ｐＨが低く強酸の状態であると、過酸化水素が比較的安
定でありｐＨが５〜６にある場合と比較して過酸化水素
の除去に時間を要すからであり、また、ｐＨが６よりも
高いと、廃液を後工程である中和処理工程に送る前に処
理槽１４内で銅イオン等が水酸化物として沈澱してしま
い甚だ都合が悪いからである。

廃液のｐＨの調整が終了したら、次いで、バルブ２２を
開いて適当量のキャタリスト溶液２０を廃液に供給する
。キャタリスト溶液が廃液と混合すると、キャタリスト
の作用によって廃液中の過酸化水素は還元除去される。

この場合、攪拌器３０で廃液を攪拌した方が処理時間の
面で有利である。過酸化水素の還元反応が終了する時間
は例えば５〜１０分である。

無電解鋼メッキ触媒用のキャタリスト溶液は、第２１イ
オン（Ｓｎ”）がパラジウム金属の周囲に保護コロイド
を形式したパラジウムのコロイド溶液であり、例えばシ
ブレイ・ファーイースト株式会社から販売されているキ
ャタポジット４４を使用することができる。新品のキャ
タリスト溶液を本発明方法の実施に使用することはでき
るが、こうすると処理コストの面から望ましくないので
、既に無電解鋼メッキ触媒用としては機能が劣化してし
まったキャタリスト溶液を用いるのがコストの面から望
ましい。

過酸化水素が除去された廃液は、図示しない中和処理設
備に送られて、ここで通常の中和処理がなされて銅成分
を凝集沈澱処理する。このとき、排水に添加されたキャ
タリスト溶液についても中和処理がなされるので、無電
解鋼メッキ工程において生じたキャタリスト溶液の廃液
についての処理が不要になる。

本実施例によれば、処理浴の管理はｐＨ管理だけである
ので、従来方法における浴の管理と比較して管理が簡単
になる。

また、無電解鋼メッキ工程において不要になったキャタ
リスト溶液を用いて廃液から過酸化水を除去することが
できるので、処理コストが極めて定見である。

さらに、無電解鋼メッキ触媒用のキャタリスト溶液を用
いて廃液中の過酸化水を還元除去するようにしているの
で、従来方法と比較して処理時間が短縮化される。

本実施例では廃液のｐＨを調整するために人手によって
苛性ソーダ溶液の供給量を調整しているが、第１図にお
いてｐＨ計３２と苛性ソーダ溶液２６の供給量を調整す
るバルブ２８とを連動させて、自動的にｐＨを調整する
ように装置を構成しても良い。

発明の詳細 な説明したように、本発明方法によれば、浴の管理が簡
単になり、処理コストが低くなり、しかも、短時間での
過酸化水素の除去が可能になるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す廃液からの過酸化水素除
去装置の構成図、 第２図は従来技術の説明図である。 １０・・・貯留槽、　　　　１２・・・廃液、１４・・
・処理槽、　　　　　１６・・・ポンプ、１８．２４・
・・タンク、 ２０・・・キャタリスト溶液、 ２ ６・・・苛性ソーダ溶液、 ２・・・ｐＨ計。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 過酸化水素、硫酸及び銅イオンを含む強酸性の無電解鋼
   メッキ用ソフトエッチング廃液から過酸化水素を除去す
   る方法において、 上記廃液と無電解銅メッキ触媒用のキャタリスト溶液（
   ２０）とを混合して、過酸化水素を還元除去することを
   特徴とする無電解銅メッキ用ソフトエッチング廃液から
   の過酸化水素の除去方法。