JPH0384501A - 反射防止膜 - Google Patents
反射防止膜Info
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- JPH0384501A JPH0384501A JP1220317A JP22031789A JPH0384501A JP H0384501 A JPH0384501 A JP H0384501A JP 1220317 A JP1220317 A JP 1220317A JP 22031789 A JP22031789 A JP 22031789A JP H0384501 A JPH0384501 A JP H0384501A
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Landscapes
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、OA機器や光通信、光情報処理、カメラなど
の光学機器等の分野において用いられる合成樹脂製光学
部品に対して施される反射防止膜に関する。
の光学機器等の分野において用いられる合成樹脂製光学
部品に対して施される反射防止膜に関する。
従来から、ビデオカメラやビデオプロジェクタなどの電
子映像機器、コンパクトディスク、レーザプリンタや光
デイスク装置などのレーザ応用機器、光情報処理機器等
に用いられるレンズ、プリズムなどの光学部品には、有
害な表面反射を低減させるために反射防止層を設けるこ
とが行われている。
子映像機器、コンパクトディスク、レーザプリンタや光
デイスク装置などのレーザ応用機器、光情報処理機器等
に用いられるレンズ、プリズムなどの光学部品には、有
害な表面反射を低減させるために反射防止層を設けるこ
とが行われている。
近年、生産性を高め、低コスト化および軽量コンパクト
化を計るために、光学部品を透明な合成樹脂材料、たと
えばアクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、As樹脂そ
の他の材料を用いて製造することが多くなっている。こ
のような合成樹脂製光学部品に対する反射防止処理とし
ては、その表面に単層または多層からなる反射防止膜を
たとえば真空蒸着法などにより形成する方法があり、ま
た、有機シラン系またはアクリル系の塗料などをデイツ
プコートあるいはスピンコードして硬化することにより
アンダーコート被膜を形成し、さらに真空蒸着法などに
より反射防止膜を設ける方法なども知られている。
化を計るために、光学部品を透明な合成樹脂材料、たと
えばアクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、As樹脂そ
の他の材料を用いて製造することが多くなっている。こ
のような合成樹脂製光学部品に対する反射防止処理とし
ては、その表面に単層または多層からなる反射防止膜を
たとえば真空蒸着法などにより形成する方法があり、ま
た、有機シラン系またはアクリル系の塗料などをデイツ
プコートあるいはスピンコードして硬化することにより
アンダーコート被膜を形成し、さらに真空蒸着法などに
より反射防止膜を設ける方法なども知られている。
上記のような真空蒸着法などによる反射防止処理では、
MgF、等の単層膜の場合には反射率が1.5%以上で
あるうえ密着性や耐久性も良くなく、反射防止膜として
の性能が充分でない。また多層膜構成の場合には、2層
構成のものは比較的に低コストで形成することができ、
中心波長域での反射率を0.5%以下にすることが可能
であるものの、他の波長域では0.5%以下とすること
は困難であり、光学部品の反射防止膜として満足できる
ものではなかった。
MgF、等の単層膜の場合には反射率が1.5%以上で
あるうえ密着性や耐久性も良くなく、反射防止膜として
の性能が充分でない。また多層膜構成の場合には、2層
構成のものは比較的に低コストで形成することができ、
中心波長域での反射率を0.5%以下にすることが可能
であるものの、他の波長域では0.5%以下とすること
は困難であり、光学部品の反射防止膜として満足できる
ものではなかった。
一方、合成樹脂製光学部品の表面にアンダーコート処理
する方法は、光学部品の表面形状によっては均一塗布が
困難であってコスト高となり、精密光学部品には適しな
いという問題がある。
する方法は、光学部品の表面形状によっては均一塗布が
困難であってコスト高となり、精密光学部品には適しな
いという問題がある。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、広い
波長域にわたって反射防止効果が優れるとともに充分な
耐久性を有する、合成樹脂製光学部品の反射防止膜を提
供することを目的とする。
波長域にわたって反射防止効果が優れるとともに充分な
耐久性を有する、合成樹脂製光学部品の反射防止膜を提
供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段]
かかる本発明の目的は、Sf3N4とSiO□との複合
材料からなる第1層と、屈折率が2.0〜2.2の範囲
内にある誘電体材料からなる第2層と、Singからな
る第3層とを基板表面側から順次積層してなることを特
徴とする合成樹脂製光学部品の反射防止膜によって達成
することができる。
材料からなる第1層と、屈折率が2.0〜2.2の範囲
内にある誘電体材料からなる第2層と、Singからな
る第3層とを基板表面側から順次積層してなることを特
徴とする合成樹脂製光学部品の反射防止膜によって達成
することができる。
本発明の反射防止膜を合成樹脂製光学部品の表面上に形
成するには、まず第1層として、たとえば真空蒸着法や
イオンブレーティング法などを用いて5iJaとSin
、との複合材料からなる層を形成するが、この複合材料
は5iJ4と5iftとを同時に堆積することによって
得られた単純な混合物であってよい、つぎに第2層とし
て、前記と同様な方法でTi0z、CeO,、Ta、O
,、Zr0z−TiOzなどの屈折率が2.0−2.2
の範囲内にある誘電体材料からなる層を、前記の第1層
の上に形成する。この第2層は単一材料のみならず2種
以上からなる混合材料で形成されていてもよい、そして
最後に、前記と同様な方法でStowからなる第3層を
、前記の第2Nの上に積層して形成する。
成するには、まず第1層として、たとえば真空蒸着法や
イオンブレーティング法などを用いて5iJaとSin
、との複合材料からなる層を形成するが、この複合材料
は5iJ4と5iftとを同時に堆積することによって
得られた単純な混合物であってよい、つぎに第2層とし
て、前記と同様な方法でTi0z、CeO,、Ta、O
,、Zr0z−TiOzなどの屈折率が2.0−2.2
の範囲内にある誘電体材料からなる層を、前記の第1層
の上に形成する。この第2層は単一材料のみならず2種
以上からなる混合材料で形成されていてもよい、そして
最後に、前記と同様な方法でStowからなる第3層を
、前記の第2Nの上に積層して形成する。
上記のようにして形成された本発明の反射防止膜は、優
れた光学特性と耐久性とを有するものである。
れた光学特性と耐久性とを有するものである。
[実施例1]
特殊な脂環基を有するアクリル樹脂(日立化成0Z−1
000.屈折率:1.49)で成形した板状の光学部品
を精密洗浄したのちに充分乾燥し、真空蒸着装置内に取
り付けたうえ約70°Cに加熱し、5t3N、とSin
、とを75 : 25の割合で混合して得たターゲット
を用い、真空度lXl0−’)−ルの条件下で電子ビー
ム加熱によって、厚さが195na+となるよう蒸着し
て第1層を形成した。この蒸着層は屈折率が1.8であ
った。
000.屈折率:1.49)で成形した板状の光学部品
を精密洗浄したのちに充分乾燥し、真空蒸着装置内に取
り付けたうえ約70°Cに加熱し、5t3N、とSin
、とを75 : 25の割合で混合して得たターゲット
を用い、真空度lXl0−’)−ルの条件下で電子ビー
ム加熱によって、厚さが195na+となるよう蒸着し
て第1層を形成した。この蒸着層は屈折率が1.8であ
った。
次に、Ce0t (屈折率:2.1)のターゲットを用
い、この第1層の上に同様にして厚さが195nmとな
るよう蒸着して第2層を形成した。
い、この第1層の上に同様にして厚さが195nmとな
るよう蒸着して第2層を形成した。
更に、Sing (屈折率:1.45)のターゲットを
用い、この第2層の上に同様にして厚さが195nmと
なるよう蒸着して第3層を形成して、3層構成の反射防
止膜を得た。
用い、この第2層の上に同様にして厚さが195nmと
なるよう蒸着して第3層を形成して、3層構成の反射防
止膜を得た。
これらの各層の膜厚は、λが780nmの光に対して0
.25λに相当するものである。
.25λに相当するものである。
こうして得た反射防止膜について分光反射率を測定した
結果を第1図に示すが、700から900nmの波長域
にわたって反射率が0.2%以下であった。
結果を第1図に示すが、700から900nmの波長域
にわたって反射率が0.2%以下であった。
〔実施例2〕
ポリカーボネート樹脂(帝人化或AD−5503、屈折
率:1.58)で成形した板状の光学部品の表面上に、
第2層としてTaxes (屈折率: 2.0 )の
蒸着膜を形成した他はすべて実施例1と同様にして、3
層構成の反射防止膜を得た。
率:1.58)で成形した板状の光学部品の表面上に、
第2層としてTaxes (屈折率: 2.0 )の
蒸着膜を形成した他はすべて実施例1と同様にして、3
層構成の反射防止膜を得た。
こうして得た反射防止膜について分光反射率を測定した
結果を第2図に示すが、700から900nmの波長域
にわたって反射率が0.4%以下であった。
結果を第2図に示すが、700から900nmの波長域
にわたって反射率が0.4%以下であった。
〔比較例1]
実施例1と同様な板状の光学部品の表面に、実施例1と
同様な方法により、層の厚さが195nn+のMgF、
の単一層の反射防止膜を形成した。
同様な方法により、層の厚さが195nn+のMgF、
の単一層の反射防止膜を形成した。
この反射防止膜について分光反射率を測定した結果を第
3図に示すが、反射率が1.5%以上であった。
3図に示すが、反射率が1.5%以上であった。
〔比較例2〕
実施例2と同様な板状の光学部品の表面に、実施例1と
同様な方法により、膜厚が195nn+となるよう蒸着
したLa、0.の第1層と、膜厚が195n*となるよ
う蒸着したSin、の第2層とからなる積層反射防止膜
を形成した。
同様な方法により、膜厚が195nn+となるよう蒸着
したLa、0.の第1層と、膜厚が195n*となるよ
う蒸着したSin、の第2層とからなる積層反射防止膜
を形成した。
この反射防止膜について分光反射率を測定した結果を第
4図に示す。この場合、中心波長7BOnI11での反
射率は0.1%以下となるが、波長が中心から離れるに
従って、反射率は1%あるいはそれ以上に達している。
4図に示す。この場合、中心波長7BOnI11での反
射率は0.1%以下となるが、波長が中心から離れるに
従って、反射率は1%あるいはそれ以上に達している。
光学部品の表面に設けた反射防止膜の耐久性を以下の方
法で評価した。
法で評価した。
付着性試験:
セロファン粘着テープを膜の表面に密着させたのち垂直
方向に剥がして、膜の付着性を調べた。実施例1,2お
よび比較例1,2の膜はいずれも剥離が認められなかっ
た。
方向に剥がして、膜の付着性を調べた。実施例1,2お
よび比較例1,2の膜はいずれも剥離が認められなかっ
た。
耐湿試験:
温度45℃、相対湿度95%の恒温恒湿槽内に24時間
放置後乾燥して、膜の状態の変化を観察した。実施例1
,2および比較例2の膜には何らの異常も認められなか
ったが、比較例1の膜には曇りが発生していた。
放置後乾燥して、膜の状態の変化を観察した。実施例1
,2および比較例2の膜には何らの異常も認められなか
ったが、比較例1の膜には曇りが発生していた。
熱衝WJ試Mニ
ー30℃および70 ’Cの環境に交互に各30分間放
置することを10回繰り返したのち常温に戻し、表面状
態を観察した。実施例1,2および比較例2の膜には何
らの変化も認められなかったが、比較例1の膜にはクラ
ンクや曇りが生じていた。
置することを10回繰り返したのち常温に戻し、表面状
態を観察した。実施例1,2および比較例2の膜には何
らの変化も認められなかったが、比較例1の膜にはクラ
ンクや曇りが生じていた。
〔発明の効果)
本発明の反射防止膜は、特定材料からなる層を三層構成
となるように特定順序に積層してなるもので、700か
ら900nmという広い波長域において優れた分光反射
特性を示すものであり、また優れた耐久性を有しており
、極めて有用である。
となるように特定順序に積層してなるもので、700か
ら900nmという広い波長域において優れた分光反射
特性を示すものであり、また優れた耐久性を有しており
、極めて有用である。
第1図および第2図はそれぞれ本発明の実施例1および
実施例2の反射防止膜の分光反射特性図であり、 第3図および第4図は比較例1および比較例2の反射防
止膜の分光反射特性図である。 780 820 製表+nm l 第1図 860CnI′I′I) 78Q 820 4哀fnm1 860 (nm+ 第 図
実施例2の反射防止膜の分光反射特性図であり、 第3図および第4図は比較例1および比較例2の反射防
止膜の分光反射特性図である。 780 820 製表+nm l 第1図 860CnI′I′I) 78Q 820 4哀fnm1 860 (nm+ 第 図
Claims (1)
- Si_3N_4とSiO_2との複合材料からなる第1
層と、屈折率が2.0〜2.2の範囲内にある誘電体材
料からなる第2層と、SiO_2からなる第3層とを基
板表面側から順次積層してなることを特徴とする合成樹
脂製光学部品の反射防止膜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1220317A JPH0384501A (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 | 反射防止膜 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1220317A JPH0384501A (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 | 反射防止膜 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0384501A true JPH0384501A (ja) | 1991-04-10 |
Family
ID=16749249
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1220317A Pending JPH0384501A (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 | 反射防止膜 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0384501A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7880966B2 (en) | 2006-02-01 | 2011-02-01 | Seiko Epson Corporation | Optical article including a layer siox as main component and manufacturing method of the same |
-
1989
- 1989-08-29 JP JP1220317A patent/JPH0384501A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7880966B2 (en) | 2006-02-01 | 2011-02-01 | Seiko Epson Corporation | Optical article including a layer siox as main component and manufacturing method of the same |
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