JPH02304501A - 自動開閉装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は合成樹脂製光学部品の反射防止膜に関する。

従来の技術および課題 反射防止膜は、屈折率に差のある物質を積層した構造と
することにより反射防止効果が得られる。

近年、カメラ、ビデオ用レンズは軽量化、低価格化の要
請からプラスチック化が進んでいるが、基板が合成樹脂
であるがゆえに、耐久性、耐溶剤性が要求されている。

しかし、それらの特性を満たし、さらに反射防止効果を
も満足する反射防止膜を得るには至っていない。

これは、反射防止膜は、基板材質に適した材料、膜構成
、製法を選択しなければず、基板材質が合成樹脂である
場合、それらの選択が困難なためである。しかも、ガラ
ス基板上での反射防止膜の技術（例えば特開昭５３−１
０２７６６号公報、特開昭５５−２２７０４号公報、特
開昭６２−２７２２０２号公報）は、合成樹脂基板には
そのまま適用することはできない。

合成樹脂基板上の反射防止膜としては、該基板上にＣｅ
Ｏ，層をするもの（特開昭６３−８１４０４号公報）、
あるいはＳｉＯ＋Ｏ，層を有するものが知られている。

しかし、ＣｅＯ２層を基板上に有する反射防止膜は、有
機溶剤（特にアルコール、エーテル等）に対する耐性が
低く、ｓｉｏ、十ｏ□層で構成された反射防止膜は、反
射防止効果が悪く、特性の経、時変化も大きい。

また、特開昭５５−２２７０４号公報には、Ｔ　ａ２０
　ｓとＺｒＯ２の混合物からなる層を有する反射防止膜
を開示するが、Ｔａ、０．は、ＺｒＯ，のみで層を形成
する場合に生じる種々の欠点（膜の不均一性、強度等）
を改良するために添加されるものであり、Ｔａ２Ｏ，は
必ずＺｒＯ２と共に用いられ、Ｔａ、Ｏ６単独で層は構
成されない。従って、本発明とは目的、構成、効果が全
く異なる。

発明が解決しようとする課題 本発明は、合成樹脂基板上に形成される耐久性、耐溶剤
性に優れｔ；多層膜、特に反射防止膜を提供することを
目的さする。そのことは、合成樹脂基板に接して酸化タ
ンタル（Ｖ）（以下、ｒＴａｚｏｓＪと記す）膜を形成
することにより達成される。

課題を解決するための手段・ すなわち、本発明はＴａ、Ｏ，を基板に接する層として
使用することを特徴とした合成樹脂製光学部品用多層膜
に関する。

合成樹脂基板上に直接設けたＴａ、Ｏ，膜を有する多層
膜は、耐久性、耐溶剤性、特に耐溶剤性に優れている。

さらに詳しく本発明の反射防止膜の構成を説明すると、
合成樹脂表面上に、空気側から合成樹脂表面に向かって
、低屈折率物質よりなる第１層、高屈折率物質よりなる
第２層、低屈折率物質よりなる第３層、およびＴａ、０
．よりなる第４層よりなる多層膜とすることにより耐久
性、耐溶剤性に優れた反射防止膜を得ることができる。

本発明に使用可能な合成樹脂としては、一般に光学部品
に使用される樹脂、例えば、アクリル樹脂（ＰＭＭＡ）
、ポリカーボネート樹脂（ｐｃ）、ポリスチレン樹脂（
ＰＳ）、紫外線（ＵＶ）硬化樹脂等の屈折率１．４９〜
１．５８のものであればよい。

第４層のＴａ１０Ｂは上記樹脂に比べ屈折率が２．００
と大きく、良好な反射防止膜を構成しうる。また、Ｔａ
、Ｏ，膜は樹脂との密着性が非常に良く、かつアルコー
ル、エーテル等の有機溶剤に対する耐性に優れている。

第４層は、その膜厚（光学的膜厚）が薄くても、樹脂と
の良好な密着性が得られ、広い波長範囲に亘り、反射率
の低減が達成される。

第３層は第４層と第２層の間に形成される。第３層は第
４層と第２層に使用される物質より低い屈折率（１，３
５〜１．８０）を有する物質で構成される。第３層に適
した物質として酸化アルミニウムまたは二酸化ケイ素を
使用することができる。

それらの物質は反射防止膜を構成するとともに、第４層
と第２層との密着性を向上させる働きをする。特に酸化
アルミニウムは密着性の効果が大きい。

第２層には酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化ハフニ
ウム、酸化セリウム、酸化タンタルあるいは酸化ジルコ
ニウムと酸化チタンの混合物を使用することができる。

それらの物質を使用し第３層と第１層の２つの層の間に
、それらの両層に使用される物質よりも高い屈折率（１
，９０〜２．５）を有する物質で第２層を構成し、反射
防止効果を上げる。さらに、第２層は第３層と第１層の
密着性を向上させる働きをする。本発明は酸化タンタル
、酸化ジルコニウムと酸化チタンの混合物を使用するの
が好ましい。

最表面層の第１層には、第２層を構成する物質の屈折率
よりも小さい屈折率（１，３５〜１．５）を有する物質
が使用され、反射防止効果を上げている。特に、硬質の
二酸化ケイ素を利用することにより、表面保護層として
の役割が十分に達成されることとなる。

第１層ないし第４層は真空蒸着により設けることができ
、特に第４層のＴａｔＯ，層は、炭素ルツボを用いるこ
とが好ましい。Ｔａ２０５単体からなる蒸着膜を合成樹
脂部品上に所望の光学特性を有するように均一に形成す
ることは、炭素ルツボを用いることによって初めて可能
となる。

各層の厚さとしては、設計主波長に対して第１層が０．
２〜０．３λｅ、第２層が０．４〜０，６λｅ、第３層
が０．２５λｅ以下、第４層が０．１λｅ以下となるよ
うに各層を形成する。第４層が厚いと、光の透過率が低
下する。第４層は薄くても反射防止膜は密着性、耐溶剤
性に優れたものとなる。

また、上記した各層の屈折率の範囲及び光学的膜厚の範
囲をはずれると、良好な反射防止効果が得られなくなっ
てしまう。

本発明の反射防止膜は、カメラ用プラスチックレンズ、
カメラ用複合型非球面しンズ等種々の合成樹脂光学部品
の表面反射防止膜に有効に使用できる。

さらに、合成樹脂に接する層にＴａ、Ｏ，を使用するこ
とで耐久性及び耐溶剤性に優れたハーフミラ−、ビーム
スプリッタ−１誘導体フィルター等の多層膜を構成する
ことも可能である。

さらに具体的に実施例を挙げて説明する。

衷裏男 電子銃方式を使用し、蒸着しようとする樹脂光学部品を
加熱することなく、到達真空度５×ｌＯ−’Ｔｏｒｒで
、蒸着速度的０　、５　ｎｍ／秒の条件下で蒸着を行い
、表１から表５に示した膜構成の反射防止膜を作製した
。

（以下、余白） 表〜ｌ（膜構成ｌ） 表−２（膜構成２） 表−３（膜構成３） 表−４（膜構成４） 本　ＰＭＭＡ：ポリメチルメタクリレート表−５（膜構
成５） 表−６（膜構成６）（従来例） 膜構成１〜６を有する反射防止膜の反射率特性を第１図
〜第６図に示した。

本発明の反射防止膜は、可視領域（４００〜７００ｎｍ
）に反射防止効果を有することがわかる。

上記表１〜表６に示した膜構成の信頼性試験として、テ
ープ剥離テストおよび有機溶剤テストを行った。

テープ剥離テスト 作製した反射防止膜薄膜面上にテープを接着させた後、
テープを表面から垂直に剥がす操作を１０回繰り返し、
膜の剥離状態を観察した。

結果を表７に示した。表中「◎」は外観上全く剥離が認
められないことを意味する。

有機溶剤テスト アルコールを浸した布で２ｋｙ重の力をかけて４０回擦
った。

結果を表７に示した。表中「◎」は全く、傷、剥離が発
生しないことを、「Ｏｊは少し傷が発生することを意味
する。

表７ 従来例の反射防止膜では、有機溶剤テストにおいて、若
干傷が観察されたが本発明の膜構成においては、全く異
常は認められなかった。

また、環境試験（５０℃、相対湿度９５％、５００時間
放置）、熱サイクル試験（−３０℃と＋７０°Ｃ各１時
間、４サイクル）においては、本発明および従来例とも
同程度の性能であった。

発明の効果 合成樹脂光学部品基板上に酸化タンタル（Ｖ）の薄膜を
有する構成の反射防止膜は、反射防止効果、密着性、耐
有機溶剤性に優れている。

【図面の簡単な説明】

第１図から第６図は本発明の反射防止膜の反射率特性を
示す図である。 特許出願人ミノルタカメラ株式会社 代　理　人　弁理士　青　山　葆　はか１名第１図 一玉長（ｎｍ） 第２図 第３図 −〕匿祝（ｎｍ） 第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、酸化タンタル（Ｖ）を基板に接する層として含む多
   層膜を使用することを特徴とした合成樹脂製光学部品用
   反射防止膜。 ２、合成樹脂表面上に、空気側から合成樹脂表面に向か
   って、低屈折率物質よりなる第１層、高屈折率物質より
   なる第２層、低屈折率物質よりなる第３層、および酸化
   タンタル（Ｖ）よりなる第４層よりなる合成樹脂製光学
   部品用反射防止膜。 ３、更に以下の条件を満足することを特徴とする請求項
   ２に記載の反射防止膜； １．３５≦ｎ＿１≦１．５：０．２λ＿ｅ≦ｎ＿１ｄ＿
   １≦０．３λ＿ｅ１．９０≦ｎ＿２≦２．５：０．４λ
   ＿ｅ≦ｎ＿２ｄ＿２≦０．６λ＿ｅ１．３５≦ｎ＿３≦
   １．８：ｎ＿３ｄ＿３≦０．２５λ＿ｅｎ＿４＝２．０
   ：ｎ＿４ｄ＿４≦０．１λ＿ｅ但し、ここで、 ｎ＿１：第１層の屈折率 ｎ＿２：第２層の屈折率 ｎ＿３：第３層の屈折率 ｎ＿４：第４層の屈折率 ｎ＿１ｄ＿１：第１層の光学的膜厚 ｎ＿２ｄ＿２：第２層の光学的膜厚 ｎ＿３ｄ＿３：第３層の光学的膜厚 ｎ＿４ｄ＿４：第４層の光学的膜厚 λ＿ｅ：設計主波長 である。