JPH0369567A - 粒子分散型セラミックスの製造方法 - Google Patents
粒子分散型セラミックスの製造方法Info
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- JPH0369567A JPH0369567A JP1205461A JP20546189A JPH0369567A JP H0369567 A JPH0369567 A JP H0369567A JP 1205461 A JP1205461 A JP 1205461A JP 20546189 A JP20546189 A JP 20546189A JP H0369567 A JPH0369567 A JP H0369567A
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、粒子分散型セラミックスの製造に係り、特に
、化学反応を利用してセラミックス母相に粒子を微細且
つ均一に分散させる方法に関する。
、化学反応を利用してセラミックス母相に粒子を微細且
つ均一に分散させる方法に関する。
(従来の技術と解決しようとする課題)従来、セラミッ
クスは、高強度であるものの、脆性的で破壊靭性値が小
さいため、構造材料としての応用範囲が限られていた。
クスは、高強度であるものの、脆性的で破壊靭性値が小
さいため、構造材料としての応用範囲が限られていた。
このセラミックスを高靭性化する方法は、幾つか存在す
るが、そのうち最も有効な方法の]一つに粒子分散強化
法がある。この方法による場合、セラミックスに粒子を
分散させて強化するときに最も重要なことは、分散させ
る粒子が細かく、しかも、均一に分散していることであ
る。
るが、そのうち最も有効な方法の]一つに粒子分散強化
法がある。この方法による場合、セラミックスに粒子を
分散させて強化するときに最も重要なことは、分散させ
る粒子が細かく、しかも、均一に分散していることであ
る。
通常、分散粒子は、セラミックスの出発原料に混合する
ので、この微粒原料をセラミックスに均一に混合するこ
とが従来の焼結法で最も重要なことであった。この点、
従来法は、箒士骨賢千方壬−゛、焼結の出発原料に分散
粒子を混 合する場合には、分散粒子とセラミックス母相粒子とを
物理的、機械的に混合していたので、原料を混合すると
きに特殊な技術と長時間を要し、それでも、分散粒子と
セラミックス母相粒子とを良い混合状態にすることは困
難であった。このため、粒子の均一分散性に欠け、高靭
性のセラミックス製品が得られないという問題があった
。
ので、この微粒原料をセラミックスに均一に混合するこ
とが従来の焼結法で最も重要なことであった。この点、
従来法は、箒士骨賢千方壬−゛、焼結の出発原料に分散
粒子を混 合する場合には、分散粒子とセラミックス母相粒子とを
物理的、機械的に混合していたので、原料を混合すると
きに特殊な技術と長時間を要し、それでも、分散粒子と
セラミックス母相粒子とを良い混合状態にすることは困
難であった。このため、粒子の均一分散性に欠け、高靭
性のセラミックス製品が得られないという問題があった
。
本発明は、粒子が微細且つ均一に分散されて高靭性を有
する粒子分散型セラミックスの製造法を提供することを
目的とするものである。
する粒子分散型セラミックスの製造法を提供することを
目的とするものである。
(課題を解決するための手段)
本発明者は、従来の粒子分散法では、予め分散粒子とセ
ラミックス母相粒子とを混合してから焼結するため、原
料混合段階での制約を受けて均一混合が困難であること
に鑑みて、予め粒子とセラミックス粒子とを混合するの
ではなく、焼結過程或いは焼結後において化学反応によ
りセラミックスマトリックス中に分散粒子を合成し析出
させるならば、分散微粒子の粒径が細かくなり、且つ均
一に分散させることができ、破壊靭性値が大幅に改善で
きるとの知見を得て、ここに本発明を完成したものであ
る。
ラミックス母相粒子とを混合してから焼結するため、原
料混合段階での制約を受けて均一混合が困難であること
に鑑みて、予め粒子とセラミックス粒子とを混合するの
ではなく、焼結過程或いは焼結後において化学反応によ
りセラミックスマトリックス中に分散粒子を合成し析出
させるならば、分散微粒子の粒径が細かくなり、且つ均
一に分散させることができ、破壊靭性値が大幅に改善で
きるとの知見を得て、ここに本発明を完成したものであ
る。
すなわち、本発明に係る粒子分散型セラミックスの製造
方法は、セラミックス母相原料と分散粒子生成可能原料
とを混合し、その焼結過程或いは焼結後に、セラミック
ス母相原料と分散粒子生成可能原料、又は分散粒子生成
可能原料同士を化学反応させることにより、セラミック
ス母相中に微粒子を析出させ分散させることを特徴とす
るものである。
方法は、セラミックス母相原料と分散粒子生成可能原料
とを混合し、その焼結過程或いは焼結後に、セラミック
ス母相原料と分散粒子生成可能原料、又は分散粒子生成
可能原料同士を化学反応させることにより、セラミック
ス母相中に微粒子を析出させ分散させることを特徴とす
るものである。
以下に本発明を更に詳細に説明する。
(作用)
前述の如く、本発明では、従来法の如く分散粒子を予め
セラミックス原料と混合するのではなく、混合後の過程
において化学反応により粒子を合或し、これをセラミッ
クス母相中に分散させること3 4− を骨子としている。
セラミックス原料と混合するのではなく、混合後の過程
において化学反応により粒子を合或し、これをセラミッ
クス母相中に分散させること3 4− を骨子としている。
化学反応により合成する分散粒子は、焼結過程で合成し
ても、或いは焼結後の熱処理により合成しても、いずれ
でもよい。
ても、或いは焼結後の熱処理により合成しても、いずれ
でもよい。
また、分散粒子の合成は、粒子生成可能原料同士の化学
反応によっても、またセラミックス母相原料と粒子生成
可能原料との化学反応によってもよく、或いはこれらの
双方の化学反応によってもよい。
反応によっても、またセラミックス母相原料と粒子生成
可能原料との化学反応によってもよく、或いはこれらの
双方の化学反応によってもよい。
分散粒子の化学反応としては、セラミックス母相原料や
粒子生成可能原料の組合せによって種々の化学反応が可
能であるが、例えば、分散させる粒子が炭素或いは金属
炭化物の場合には、MxC+B(又はB、C)→My
B + C−(1)MxC+NyB−+MzB+NwC
−(2)但し、IvlN:金属元素、 x、 y、 f: FX子価整合のための適当な数値の
化学反応を利用する。
粒子生成可能原料の組合せによって種々の化学反応が可
能であるが、例えば、分散させる粒子が炭素或いは金属
炭化物の場合には、MxC+B(又はB、C)→My
B + C−(1)MxC+NyB−+MzB+NwC
−(2)但し、IvlN:金属元素、 x、 y、 f: FX子価整合のための適当な数値の
化学反応を利用する。
ここで、左辺のMxC,B又はB4C,NyBは混合し
た粒子生成可能原料であって、このうち、MxCはセラ
ミックス母相原料であってもよい。
た粒子生成可能原料であって、このうち、MxCはセラ
ミックス母相原料であってもよい。
右辺のC,NwCは合成された粒子であってセラミック
ス母相中に析出し、分散され、靭性強化作用をする粒子
である。化学反応の利用により粒子を分散させるので、
粒子が細かく、しかも均一に分散される。勿論、他の反
応生成物MyB、MzBも分散強化の役割を担い、強化
作用を助長させる。
ス母相中に析出し、分散され、靭性強化作用をする粒子
である。化学反応の利用により粒子を分散させるので、
粒子が細かく、しかも均一に分散される。勿論、他の反
応生成物MyB、MzBも分散強化の役割を担い、強化
作用を助長させる。
これによってセラミックスマトリックスに内部応力を蓄
積して亀裂進展方向を変えさせ、また、分散粒子は亀裂
の橋かけ(阻止)を行い、このため、破壊の抵抗が増加
してセラミックスの靭性値を増大するものと考えられる
。従来の粒子分散法では仮に均一に原料を混合できたと
しても、このような作用は期待できない。
積して亀裂進展方向を変えさせ、また、分散粒子は亀裂
の橋かけ(阻止)を行い、このため、破壊の抵抗が増加
してセラミックスの靭性値を増大するものと考えられる
。従来の粒子分散法では仮に均一に原料を混合できたと
しても、このような作用は期待できない。
勿論、上記(1)、(2)の反応式のようなセラミック
ス母相原料と粒子生成可能原料との反応に限られず、粒
子生成可能原料同士の反応によっても粒子を合成でき、
同様の効果が得られる。
ス母相原料と粒子生成可能原料との反応に限られず、粒
子生成可能原料同士の反応によっても粒子を合成でき、
同様の効果が得られる。
材質の粒子が可能であり、特に制限されるものではない
。要は、分散させたい所望の材質の粒子が得られればよ
い。
。要は、分散させたい所望の材質の粒子が得られればよ
い。
また、粒子の分散量は適当にコントロールできるが、1
〜50vol%の範囲が望ましい。
〜50vol%の範囲が望ましい。
セラミックス母相原料としては、通常のセラミックスが
選ばれる。SiC,TiC,TjB、Si3Nいサイア
ロンなどの炭化物、窒化物、硼化物或いは炭窒化物が本
来高強度を持つ点から好ましいが、AQ、03、ZrO
2、ムライトなどの酸化物でもよく、硼素も可能である
。
選ばれる。SiC,TiC,TjB、Si3Nいサイア
ロンなどの炭化物、窒化物、硼化物或いは炭窒化物が本
来高強度を持つ点から好ましいが、AQ、03、ZrO
2、ムライトなどの酸化物でもよく、硼素も可能である
。
また、粒子生成可能原料としては、セラミックス母相原
料との化学反応、或いは粒子生成可能原料同士の化学反
応により安定した分散粒子をつくる原料であればよく、
元素又は化合物から選ばれる。例えば、元素とシテは、
B、C,AQ、Si、Ca、 Sc、Ti、V、Cr−
Mn、 Fe、Co、Ni、Y、 Zr、 Nb
、Mo、 Tc、 Hf、 Ta、W、 Re
、U、Thなどが挙げられる。化合物としては、上記各
元素の炭化物、硼化物、窒化物、炭化物などが挙げられ
る。
料との化学反応、或いは粒子生成可能原料同士の化学反
応により安定した分散粒子をつくる原料であればよく、
元素又は化合物から選ばれる。例えば、元素とシテは、
B、C,AQ、Si、Ca、 Sc、Ti、V、Cr−
Mn、 Fe、Co、Ni、Y、 Zr、 Nb
、Mo、 Tc、 Hf、 Ta、W、 Re
、U、Thなどが挙げられる。化合物としては、上記各
元素の炭化物、硼化物、窒化物、炭化物などが挙げられ
る。
セラミック母相原料と粒子生成可能原料との焼結には、
常圧焼結、反応焼結、加圧焼結(ホットプレス、HIP
(熱間ガス加圧焼結))などが利用される。その焼結条
件は、上記のような化学反応を起こす条件、或いは化学
反応を起こさない条件のいずれでもよい。焼結過程で化
学反応が起こらない場合には、焼結後の熱処理により化
学反応を起こさせる。いずれを選択するかは、化学反応
の種類に依存している。例えば、前記(1)式の代表的
な例としては 2TiC+B、C10T iB 2 + 3 C・・(
3)2WC+B−+W、、B+2C・・・(4)Cr、
C2+14B→3 CrB、+ 284C−45)2Z
rC十B、C−+2ZrB2+3C=(6)VN+3B
−+VB2+BN ・(7)7− などがあり、生成したC或いは硼化物がセラミックス母
相中に分散する。
常圧焼結、反応焼結、加圧焼結(ホットプレス、HIP
(熱間ガス加圧焼結))などが利用される。その焼結条
件は、上記のような化学反応を起こす条件、或いは化学
反応を起こさない条件のいずれでもよい。焼結過程で化
学反応が起こらない場合には、焼結後の熱処理により化
学反応を起こさせる。いずれを選択するかは、化学反応
の種類に依存している。例えば、前記(1)式の代表的
な例としては 2TiC+B、C10T iB 2 + 3 C・・(
3)2WC+B−+W、、B+2C・・・(4)Cr、
C2+14B→3 CrB、+ 284C−45)2Z
rC十B、C−+2ZrB2+3C=(6)VN+3B
−+VB2+BN ・(7)7− などがあり、生成したC或いは硼化物がセラミックス母
相中に分散する。
前記(2)式の代表的な例としては
3TiC+LaBI+−+3TiB2+LaC,+eC
=48)ZrC+TiB2→ZrB2+TiC
−49)などがあり、生成したLaC.TiC或いは
TiB2などがセラミックス母相中に分散する。
=48)ZrC+TiB2→ZrB2+TiC
−49)などがあり、生成したLaC.TiC或いは
TiB2などがセラミックス母相中に分散する。
その他の反応の代表的な例としでは、
S]3N4十B4C+2C→3SiC+48N4TjN
+3B4C→4 T i B 2+4 8 N + 3
CVB2+ZrN−+VN+ZrB2 などがあり、更に VN+Zr−)ZrN+V などの反応もある。
+3B4C→4 T i B 2+4 8 N + 3
CVB2+ZrN−+VN+ZrB2 などがあり、更に VN+Zr−)ZrN+V などの反応もある。
これらの化学反応のうち、式(3)から(7)の反応は
比較的低温(約1400’C)で起こるが、他の反応は
高温で起こり、また雰囲気のガス(窒素)分圧などによ
っても影響を受けるので、反応を促進させるための熱処
理(加熱処理)が必要である。
比較的低温(約1400’C)で起こるが、他の反応は
高温で起こり、また雰囲気のガス(窒素)分圧などによ
っても影響を受けるので、反応を促進させるための熱処
理(加熱処理)が必要である。
このような加熱処理としては、焼結過程の場合には10
00〜2000℃で加熱温度を一定に保ち、焼結後の場
合には1500〜2500℃の高温で、それぞれ雰囲気
を調整して熱処理する。雰囲気は、セラミックス母相に
応してj〜3000気圧、好ましくは0.1〜99気圧
の空気、又は窒素、アルゴンなどの不活性雰囲気とし、
必要であれば加圧する。
00〜2000℃で加熱温度を一定に保ち、焼結後の場
合には1500〜2500℃の高温で、それぞれ雰囲気
を調整して熱処理する。雰囲気は、セラミックス母相に
応してj〜3000気圧、好ましくは0.1〜99気圧
の空気、又は窒素、アルゴンなどの不活性雰囲気とし、
必要であれば加圧する。
なお、原料粉体の焼結性が悪い場合には、焼結助剤を混
合しても支障はない。
合しても支障はない。
(実施例)
次に本発明の実施例を示す。
失凰班上
第1表に示す混合比で原料を調合し、簡単なボールミル
で6時間混合した。これを円盤状に成形し、ホットプレ
ス或いは常圧焼結法しこより、1700℃から2300
℃までの温度でアルゴン雰囲気中で焼結を行った。一部
のものについては焼結後熱処理を施した。なお、ホラ1
−プレスの場合は、圧力を20MPaとした。
で6時間混合した。これを円盤状に成形し、ホットプレ
ス或いは常圧焼結法しこより、1700℃から2300
℃までの温度でアルゴン雰囲気中で焼結を行った。一部
のものについては焼結後熱処理を施した。なお、ホラ1
−プレスの場合は、圧力を20MPaとした。
また、比較のため、第↓表に示す条件にて焼結を行った
。分散粒子を出発原料から配合し、その際、少量のBは
焼結助剤として加えた。ホットプレスは上記の場合と同
じ条件とした。
。分散粒子を出発原料から配合し、その際、少量のBは
焼結助剤として加えた。ホットプレスは上記の場合と同
じ条件とした。
得られた焼結体について、組成を分析すると共に強度と
破壊靭性値を測定した。組成はX線分析、EDAXや光
学顕微鏡による組織学的分析、化学分析などによって決
定した。強度はJISR1601に基づき測定し、破壊
靭性値に1Cは、ASTME399(ヴイッカース圧痕
とブレクラソク、5ENB法)により測定した。それら
の結果を第1表に併記する。
破壊靭性値を測定した。組成はX線分析、EDAXや光
学顕微鏡による組織学的分析、化学分析などによって決
定した。強度はJISR1601に基づき測定し、破壊
靭性値に1Cは、ASTME399(ヴイッカース圧痕
とブレクラソク、5ENB法)により測定した。それら
の結果を第1表に併記する。
第↓表において、本発明例Nα工、Nα2、Nα5と比
較例Nα7、Nα8とを比較すると明らかなとおり、焼
結体の組成は同じであっても、本発明例では高靭性高強
度の材料が得られている。これは、以下のように考察さ
れる。
較例Nα7、Nα8とを比較すると明らかなとおり、焼
結体の組成は同じであっても、本発明例では高靭性高強
度の材料が得られている。これは、以下のように考察さ
れる。
比較例の場合、焼結体の母相SjCに分散した硼化物と
C粒子は原料配合の時の形状と粒径が殆ど変わらず、硼
化物の平均粒径は30μm、 Cのそれは工μmであり
、一部に分散粒子の凝集も認められ、分散状態はよくな
かった。母相であるSiC単体の破壊靭性値は2 、2
0 M Pam”であったので、従来法によっても硼化
物とCを分散させたことにより破壊靭性値は増大するが
、その値はせいぜい3.02−3.45MPam”にと
どまっている。
C粒子は原料配合の時の形状と粒径が殆ど変わらず、硼
化物の平均粒径は30μm、 Cのそれは工μmであり
、一部に分散粒子の凝集も認められ、分散状態はよくな
かった。母相であるSiC単体の破壊靭性値は2 、2
0 M Pam”であったので、従来法によっても硼化
物とCを分散させたことにより破壊靭性値は増大するが
、その値はせいぜい3.02−3.45MPam”にと
どまっている。
一方、本発明例Nα工〜Nα3の場合は、焼結中にCと
B4Cが生威し、焼結後に焼結体のSiC又はTiB2
母相に平均粒径0.2μmと細かく、均一に分散してい
た。また、本発明例N[14〜No、 6の場合は平均
粒径が約0.3μmの硼化物とCが生威し、母相に均一
に分散していた。そのため、焼結した○ 材料の強度は45公〜943MPaと高く、破壊靭性値
3 、6−4 、7 M Pam1/2と大きい。
B4Cが生威し、焼結後に焼結体のSiC又はTiB2
母相に平均粒径0.2μmと細かく、均一に分散してい
た。また、本発明例N[14〜No、 6の場合は平均
粒径が約0.3μmの硼化物とCが生威し、母相に均一
に分散していた。そのため、焼結した○ 材料の強度は45公〜943MPaと高く、破壊靭性値
3 、6−4 、7 M Pam1/2と大きい。
【以下余白]
特開平3
69567 (5)
矢A−舛−染
第2表に示す混合比で原料を調合し、簡単なボールミル
で6時間混合した。これを円盤状に成形し、反応焼結法
、HIP、ホットプレス或い常圧焼結法により焼結した
。ホントプレスの場合は、圧力を20MPaとした。な
お、本発明例Ha 11でのFe(Cfl )3は焼結
助剤である。
で6時間混合した。これを円盤状に成形し、反応焼結法
、HIP、ホットプレス或い常圧焼結法により焼結した
。ホントプレスの場合は、圧力を20MPaとした。な
お、本発明例Ha 11でのFe(Cfl )3は焼結
助剤である。
その後、焼結体を窒素雰囲気下で熱処理し、セラミック
ス中に金属窒化物粒子の生成を行った。
ス中に金属窒化物粒子の生成を行った。
また、比較のため、第2表に示す条件にて焼結を行った
。分散粒子を出発原料から配合し、ホットプレス等によ
り焼結を行った。
。分散粒子を出発原料から配合し、ホットプレス等によ
り焼結を行った。
得られた焼結体についての組成、強度及び破壊靭性値を
第2表に併記する。なお、組成の分析、強度、破壊靭性
値に1cの測定は、実施例1の場合と同様の要領で行っ
た。
第2表に併記する。なお、組成の分析、強度、破壊靭性
値に1cの測定は、実施例1の場合と同様の要領で行っ
た。
本発明例Nα9では■B2とBNが生成し、本発明例N
o10ではTiB2、BNとCが生成し、セラミックス
母相中に均一に分散していた。本発明例Na 11−
Ha 1.2ではBNが生1戊し、本発明例Na 13
でばBNとZrB2が生成し、平均粒径が0.3μmの
大きさでセラミックス母相中に均一に分散していた。
o10ではTiB2、BNとCが生成し、セラミックス
母相中に均一に分散していた。本発明例Na 11−
Ha 1.2ではBNが生1戊し、本発明例Na 13
でばBNとZrB2が生成し、平均粒径が0.3μmの
大きさでセラミックス母相中に均一に分散していた。
焼結後の熱処理によって生成したこれらの粒子は、焼結
体の強度及び破壊靭性値を増大させ、母相がSiCであ
る本発明例Na 9〜Nα10では強度が452−55
4MPa、破壊靭性値が4.0−5゜2 M P am
1′’と大きく、母相がSユ、N4である本発明例Nn
11−&13では強度が327−712MPa、破壊靭
性値が4.8−7.8MPam112と大きい。
体の強度及び破壊靭性値を増大させ、母相がSiCであ
る本発明例Na 9〜Nα10では強度が452−55
4MPa、破壊靭性値が4.0−5゜2 M P am
1′’と大きく、母相がSユ、N4である本発明例Nn
11−&13では強度が327−712MPa、破壊靭
性値が4.8−7.8MPam112と大きい。
一方、比較例はいずれも、焼結後の組成は出発原料配合
と同しで、特に分散粒子と母相の化学反応による粒子の
析出は認められなかった。焼結体の母相SiCやSi3
N4に分散した硼化物と窒化物粒子については、配合時
の形状と粒径が殆ど変わらず、それらの平均粒径は2〜
30μm、一部については分散粒子の凝集も認められ、
分散状態はよくなかった。
と同しで、特に分散粒子と母相の化学反応による粒子の
析出は認められなかった。焼結体の母相SiCやSi3
N4に分散した硼化物と窒化物粒子については、配合時
の形状と粒径が殆ど変わらず、それらの平均粒径は2〜
30μm、一部については分散粒子の凝集も認められ、
分散状態はよくなかった。
比較例Nα14は本発明例Na9と、比較例N0]54
15
は本発明例N(111と、比較例Nα16は本発明例N
α13と、それぞれ最終組成が同じになるように出発原
料を調整し焼結したが、いずれも本発明例にみられるよ
うな高強度、高破壊靭性値は得られていない。
α13と、それぞれ最終組成が同じになるように出発原
料を調整し焼結したが、いずれも本発明例にみられるよ
うな高強度、高破壊靭性値は得られていない。
このように、組成が同じであっても、本発明例で高強度
高靭性の材料が得られるのは、分散粒子力が導入された
ためである。セラミックス、特にSiC,Si3N、は
硼化物、窒化物などで靭性強化できるものの、分散粒子
は微細で均一に分散している方が効果的である。
高靭性の材料が得られるのは、分散粒子力が導入された
ためである。セラミックス、特にSiC,Si3N、は
硼化物、窒化物などで靭性強化できるものの、分散粒子
は微細で均一に分散している方が効果的である。
【以下余白]
(発明の効果)
以上詳述したように、本発明によれば、焼結過程或いは
焼結後におけるセラミックス母相原料と粒子生成可能原
料、或いは粒子生成可能原料同士の化学反応により、分
散粒子を合成しセラミックス母相中に微細且つ均一に分
散させるので、焼結体の強度、破壊靭性値を顕著に向上
させることができる。
焼結後におけるセラミックス母相原料と粒子生成可能原
料、或いは粒子生成可能原料同士の化学反応により、分
散粒子を合成しセラミックス母相中に微細且つ均一に分
散させるので、焼結体の強度、破壊靭性値を顕著に向上
させることができる。
8
Claims (5)
- (1) セラミックス母相原料と分散粒子生成可能原料
とを混合し、その焼結過程或いは焼結後に、セラミック
ス母相原料と分散粒子生成可能原料、又は分散粒子生成
可能原料同士を化学反応させることにより、セラミック
ス母相中に微粒子を析出させ分散させることを特徴とす
る粒子分散型セラミックスの製造方法。 - (2) 前記化学反応は、焼結過程での加熱処理或いは
焼結後の加熱処理により行う請求項1に記載の方法。 - (3) 生成分散した微粒子が、炭素、炭化物、窒化物
又は硼化物であり、その生成分散量が1〜50vol%
である請求項1に記載の方法。 - (4) セラミックス母相原料が、硼化物、窒化物、炭
化物、炭窒化物、酸化物或いはそれらの混合物からなる
セラミックスである請求項1に記載の方法。 - (5) 分散粒子生成可能原料が、硼素、硼化物、窒化
物、炭化物のうちの少なくとも1種である請求項1、2
又は3に記載の方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1205461A JPH0369567A (ja) | 1989-08-08 | 1989-08-08 | 粒子分散型セラミックスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1205461A JPH0369567A (ja) | 1989-08-08 | 1989-08-08 | 粒子分散型セラミックスの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0369567A true JPH0369567A (ja) | 1991-03-25 |
Family
ID=16507263
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1205461A Pending JPH0369567A (ja) | 1989-08-08 | 1989-08-08 | 粒子分散型セラミックスの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0369567A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015521150A (ja) * | 2012-05-01 | 2015-07-27 | アメリカ合衆国 | 耐熱金属ホウ化物セラミック、及びそれを生産する方法 |
US10179342B2 (en) | 2012-02-21 | 2019-01-15 | Eisenmann Se | Immersion treatment installation |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6252128A (ja) * | 1985-06-04 | 1987-03-06 | モンテヂソン・エス・ピイ・エイ | アルミナ−ジルコニア混合酸化物及びその製造方法 |
-
1989
- 1989-08-08 JP JP1205461A patent/JPH0369567A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6252128A (ja) * | 1985-06-04 | 1987-03-06 | モンテヂソン・エス・ピイ・エイ | アルミナ−ジルコニア混合酸化物及びその製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10179342B2 (en) | 2012-02-21 | 2019-01-15 | Eisenmann Se | Immersion treatment installation |
JP2015521150A (ja) * | 2012-05-01 | 2015-07-27 | アメリカ合衆国 | 耐熱金属ホウ化物セラミック、及びそれを生産する方法 |
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