JPH0368148A - ワイヤボンダーにおけるボール形成方法 - Google Patents

ワイヤボンダーにおけるボール形成方法

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JPH0368148A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 未発明はワイヤボンダーにおけるボール形成方法に関す
る。
［従来の技術］ 周知の如く、ボールポンディング方法は、概路次の工程
によって行われる。キャピラリに挿通されたワイヤの先
端に電気トーチの放電によってボールを形成する。その
後キャピラリが下降してボールを第１ポンド点に押圧し
、熱圧着又は超音波によりポンディングする０次にキャ
ピラリが上昇、第２ポンド点の方向へ移動及び下降して
ワイヤを繰り出し、第２ポンド点にワイヤをポンディン
グする。その後ワイヤを第２ポンド点の根元部でカット
する０次にキャピラリが上昇し、キャピラリの下端に出
ているワイヤ先端の下方に電気トーチが移動して放電を
行ってボールが形成される。
ところで、ボールの出来具合はワイヤ先端と電気トーチ
の距離のばらつきに大きく影響される。
即ち、電気トーチとワイヤ先端までの距離が一定以内に
近づかないとボールは形成されない。
従来、電気トーチの放電によってボールが形成されなか
った場合、特公昭５９−１７９７７号公報に示すように
、再度前に印加した電圧より大きな電圧を電気トーチに
印加してボールを形成することが行われている。
［発明が解決しようとする課８］ 上記従来技術は、再度前に印加した電圧より大きな電圧
を印加するので、高圧発生電源は通常の放電電圧発生回
路の外に大きな放電電圧発生回路等を必要とし、高圧発
生電源の回路が複雑となり、高価なものとなる。
本発明の目的は、高圧発生電源の回路の簡素化が図れる
ワイヤボンダーにおけるボール形成方法を提供すること
にある。
［課題を解決するための手段］ 上記目的は、電気トーチを放電させてワイヤの先端にボ
ールを形成するワイヤボンダーにおけるボール形成方法
において、放電電流又は電圧を検出し、ミス放電の場合
は再度前に印加した電圧と同一の電圧を印加してボール
を形成することにより達成される。
［作用］ 本発明者は、第１回目の放電によってボールが形成され
ない場合について種々検討を行ったところ、次のような
ことが判った。
第１ポンド点と第２ポンド点にワイヤを張る場合、第２
ワイヤ目以降は、従来の技術の項で述べたように、ワイ
ヤがカットされ、キャピラリがＬ昇した後に行われる。
そこで、放電時には、キャピラリの移動によってキャピ
ラリが振動しておりワイヤ先端がぶれていた場合に、キ
ャピラリと電気トーチとの距離が離れて放電できずにボ
ールが形成されないことがある。
このような場合、再度同一の電圧を印加したところ、殆
どの場合はボールが形成された。これは、第２回目の放
電時にはキャピラリの振動が停止してワイヤ先端が安定
しており、放電し易くなったためと思われる。
［実施例］ 以下１本発明の一実施例を第１図により説明する。第１
図は基本的には従来装置と同じであり、動作も殆ど同じ
であるので、ボール形成動作から説明する。
ボール形成時には、高圧発生電源９から高圧が電気トー
チ８に供給され、ワイヤ２と電気トーチ８間で放電して
瞬時にワイヤ２の先端にボール２ａが形成される。この
時、導線１０に流れる放電電流を検出回路１１が検出し
、判定回路１３により判定する。
判定の結果、ミス放電の場合は、判定回路１３より再放
電信号１３ａが高圧発生電源９に入力し、この再放電信
号１３ａにより高圧発生電源９は再度前に印加した電圧
と同一の電圧を印加する。
このように、再度同一電圧を印加した場合、この第２回
目の放電時にはキャピラリ４の振動が停止してワイヤ２
の先端が安定しており、殆どの場合はボール２ａが形成
される。
前記した放電回数は、２回に限らない、即ち、第２回目
の放電によってもボール２ａが形成されない場合は３回
以上行ってもよい、しかし、実際は２〜３回行なえば充
分である。そこで、前記のように複数回放電を行わせて
もボール２ａが形成されない場合には、判定回路１３か
ら装置停止信号１３ｂが、キャピラリ４をｘＹ力方向駆
動させるＸＹモータ制御回路１５に入力し、ワイヤポン
ディング装置を停止させるか、又は特開昭５８−１３１
７４４号公報に示すようにキャピラリ４の下へワイヤ２
を自動的に繰り出させるようにする。
図中、ｌはワイヤホルダ、３はクランパ、５はヒートブ
ロック、６はペレット、７はリードフレーム、１４は導
線を示す。
なお、図示の実施例では、導線１４はワイヤ２の末端２
ｂに接続されているが、キャピラリ４に接続してもよい
、また検出回路１目士導線１４部に配設してもよく、ま
たワイヤ２に流れる電流を検出するようにしてもよい、
また電流ではなく電圧を検出するようにしてもよい。
［発明の効果Ｊ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、放電
電流又は電圧を検出し、ミス放電の場合は再度前に印加
した電圧と同一の電圧を印加してボールを形成するので
、高圧発生電源の回路の簡素化が図れる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の方法の一実施例を示す概略構成説明図
である。 ２：ワイヤ、 ４：キャピラリ、 ９：高圧発生電源、 １３：判定回路。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）電気トーチを放電させてワイヤの先端にボールを
    形成するワイヤボンダーにおけるボール形成方法におい
    て、放電電流又は電圧を検出し、ミス放電の場合は再度
    前に印加した電圧と同一の電圧を印加してボールを形成
    することを特徴とするワイヤボンダーにおけるボール形
    成方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001097256A3 (en) * 2000-06-13 2002-05-30 Asm Tech Singapore Pte Ltd A method of and apparatus for monitoring a ball forming process

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JPS5917977A (ja) * 1983-06-28 1984-01-30 Takashi Mori クロレラ培養装置

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US6660956B1 (en) 2000-06-13 2003-12-09 Asm Technology Singapore Pte Method of and apparatus for monitoring a ball forming process

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