JP2534136B2 - ワイヤボンダ―におけるボ―ル形成方法 - Google Patents

ワイヤボンダ―におけるボ―ル形成方法

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Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はワイヤボンダーにおけるボール形成方法に関
する。
［従来の技術］ 周知の如く、ボールボンデイング方法は、概略次の工
程によって行われる。キヤピラリに挿通されたワイヤの
先端に電気トーチの放電によってボールを形成する。そ
の後キヤピラリが下降してボールを第１ボンド点に押圧
し、熱圧着又は超音波によりボンデイングする。次にキ
ヤピラリが上昇、第２ボンド点の方向へ移動及び下降し
てワイヤを繰り出し、第２ボンド点にワイヤをボンデイ
ングする。その後ワイヤを第２ボンド点の根元部でカッ
トする。次にキヤピラリが上昇し、キヤピラリの下端に
出ているワイヤ先端の下方に電気トーチが移動して放電
を行ってボールが形成される。
ところで、ボールの出来具合はワイヤ先端と電気トー
チの距離のばらつきに大きく影響される。即ち、電気ト
ーチとワイヤ先端までの距離が一定以内に近づかないと
ボールは形成されない。
従来、電気トーチの放電によってボールが形成されな
かった場合、特公昭59−17977号公報に示すように、再
度前に印加した電圧より大きな電圧を電気トーチに印加
してボールを形成することが行われている。
［発明が解決しようとする課題］ 上記従来技術は、再度前に印加した電圧より大きな電
圧を印加するので、高圧発生電源は通常の放電電圧発生
回路の外に大きな放電電圧発生回路等を必要とし、高圧
発生電源の回路が複雑となり、高価なものとなる。
本発明の目的は、高圧発生電源の回路の簡素化が図れ
るワイヤボンダーにおけるボール形成方法を提供するこ
とにある。
［課題を解決するための手段］ 上記目的は、電気トーチを放電させてワイヤの先端に
ボールを形成するワイヤボンダーにおけるボール形成方
法において、放電電流又は電圧を検出し、ミス放電の場
合は再度前に印加した電圧と同一の電圧を印加してボー
ルを形成することにより達成される。
［作用］ 本発明者は、第１回目の放電によってボールが形成さ
れない場合について種々検討を行ったところ、次のよう
なことが判った。
第１ボンド点と第２ボンド点にワイヤを張る場合、第
２ワイヤ目以降は、従来の技術の項で述べたように、ワ
イヤがカットされ、キヤピラリが上昇した後に行われ
る。
そこで、放電時には、キヤピラリの移動によってキヤ
ピラリが振動しておりワイヤ先端がぶれていた場合に、
キヤピラリと電気トーチとの距離が離れて放電できずに
ボールが形成されないことがある。
このような場合、再度同一の電圧を印加したところ、
殆どの場合はボールが形成された。これは、第２回目の
放電時にはキヤピラリの振動が停止してワイヤ先端が安
定しており、放電し易くなったためと思われる。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。第
１図は基本的には従来装置と同じであり、動作も殆ど同
じであるので、ボール形成動作から説明する。
ボール形成時には、高圧発生電源９から高圧が電気ト
ーチ８に供給され、ワイヤ２と電気トーチ８間で放電し
て瞬時にワイヤ２の先端にボール2aが形成される。この
時、導線10に流れる放電電流を検出回路11が検出し、判
定回路13により判定する。
判定の結果、ミス放電の場合は、判定回路13より再放
電信号13aが高圧発生電源９に入力し、この再放電信号1
3aにより高圧発生電源９は再度前に印加した電圧と同一
の電圧を印加する。
このように、再度同一電圧を印加した場合、この第２
回目の放電時にはキヤピラリ４の振動が停止してワイヤ
２の先端が安定しており、殆どの場合はボール2aが形成
される。
前記した放電回数は、２回に限らない。即ち、第２回
目の放電によってもボール2aが形成されない場合は３回
以上行ってもよい。しかし、実際は２〜３回行なえば充
分である。そこで、前記のように複数回放電を行わせて
もボール2aが形成されない場合には、判定回路13から装
置停止信号13bが、キヤピラリ４をXY方向に駆動させるX
Yモータ制御回路15に入力し、ワイヤボンデイング装置
を停止させるか、又は特開昭58−131744号公報に示すよ
うにキヤピラリ４の下へワイヤ２を自動的に繰り出させ
るようにする。
図中、１はワイヤホルダ、３はクランパ、５はヒート
ブロック、６はペレット、７はリードフレーム、14は導
線を示す。
なお、図示の実施例では、導線14はワイヤ２の末端2b
に接続されているが、キヤピラリ４に接続してもよい。
また検出回路11は導線14部に配設してもよく、またワイ
ヤ２に流れる電流を検出するようにしてもよい。また電
流ではなく電圧を検出するようにしてもよい。
［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、放
電電流又は電圧を検出し、ミス放電の場合は再度前に印
加した電圧と同一の電圧を印加してボールを形成するの
で、高圧発生電源の回路の簡素化が図れる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の方法の一実施例を示す概略構成説明図
である。 2:ワイヤ、2a:ボール、 4:キヤピラリ、8:電気トーチ、 9:高圧発生電源、11:検出回路、 13:判定回路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 臼井 義博 兵庫県尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三菱電機株式会社通信機製作所内 (72)発明者 浦崎 貴実 兵庫県尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三菱電機株式会社通信機製作所内 (56)参考文献 特開 昭60−98635（ＪＰ，Ａ) 特公 昭59−17977（ＪＰ，Ｂ２)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】電気トーチを放電させてワイヤの先端にボ
    ールを形成するワイヤボンダーにおけるボール形成方法
    において、放電電流又は電圧を検出し、ミス放電の場合
    は再度前に印加した電圧と同一の電圧を印加してボール
    を形成することを特徴とするワイヤボンダーにおけるボ
    ール形成方法。
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