KR100904745B1 - 절연된 와이어를 위한 와이어 본딩 프로세스 - Google Patents

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말리아 람쿠마
룬 아이크 림
3 챨리 제이. 배쓰
크리스토퍼 카
로버트 린
존 퍼식
영-규 송
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에이에스엠 테크놀러지 싱가포르 피티이 엘티디
마이크로본즈 인코포레이티드
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Abstract

컨퍼밍 프리 에어 볼(conforming free air ball)이 절연된 와이어로부터 형성되어 볼 본드를 생성하는 절연된 와이어들을 본딩하는 프로세스가 제공된다. 절연된 와이어의 선단(tip)은 먼저 전자 플레임-오프(flame-off) 디바이스에 가까이 배치되고 절연된 와이어의 선단을 용융시켜 파일럿 볼을 생성하기 위해서 전자 플레임-오프 디바이스로부터 제 1 전기 방전을 생성한다. 이어서 전기 방전이 종료된다. 컨퍼밍 프리 에어 볼을 생성하기 위해 제 2 전기 방전이 생성되고, 그 후에 상기 볼 본드를 생성하기 위해 본딩 표면에 상기 컨퍼밍 프리 에어 볼이 부착된다.
컨퍼밍 프리 에어 볼, 절연된 와이어, 전기 방전, 전자 플레임-오프 디바이스, 볼 본드

Description

절연된 와이어를 위한 와이어 본딩 프로세스{Wire bonding process for insulated wires}
도 1은 종래 기술의 EFO 스파킹(sparking) 프로세스를 사용한 비절연 금 와이어로부터 형성된 FAB의 측면도.
도 2는 시간에 따른 방전전류의 변화로 나타낸 종래의 표준 EFO 스파킹 프로파일의 그래프도.
도 3은 종래 기술의 EFO 스파킹 프로세스를 사용한 절연 금 와이어로부터 형성된 FAB의 측면도.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 EFO 스파킹 프로세스를 사용하여 제 1 스파크 후에 형성된 파일럿 FAB의 측면도.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 EFO 스파킹 프로세스를 사용하여 제 2 스파크 후에 형성된 FAB의 측면도.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 시간에 따른 방전전류의 변화로 나타낸 EFO 스파킹 프로파일의 그래프도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
24: 제 1 스파크 100: 와이어
102: 종단 테일 104: 스파크
106: EPO 전극 108: FAB
발명의 분야
본 발명은 전자부품들에 대한 미세 와이어들의 본딩에 관한 것으로, 특히 표면들 상에 절연 혹은 비도전성 물질을 포함하는 와이어들의 본딩에 관한 것이다.
배경 및 종래 기술
와이어 본딩은 반도체 칩들과 칩들이 실장되는 리드 프레임 캐리어들 상의 리드들 간에 전기적 접속을 행하는 일반적으로 사용되는 효과적인 방법이다. 와이어 본딩 방법들은 열압착, 초음파 및 펄스 본딩을 포함한다. 사용되는 와이어들은 통상적으로 금, 알루미늄 혹은 구리와 같은 도전성 물질들로 만들어진다.
반도체 업계는 전자 패키징, 부품들 및 모듈들을 이들의 기능을 증가시킬 뿐만 아니라 이들의 보다 더 소형화 쪽으로 계속적으로 이동하였다. 그러므로, 밀집하여 패킹된 반도체 칩들에 있어서는, 와이어 본딩에 의해 전기적 도체들에 칩들의 본딩 패드들을 전기적으로 접속하기 위해 매우 미세한 와이어들이 이용된다.
그러므로 작업할 것 내의 보다 작은 면적에 기인하여 전기적 콘택들에 이들 미세 와이어들을 본딩해야 하는 것이 점점 더 문제가 되었다. 또한, 밀집하여 패킹된 반도체 칩들은 이웃한 와이어들간에 갭들을 감소시키게 되어, 이에 따라 이웃한 와이어들이 서로 접촉할 때 단락회로가 발생할 위험을 증가시킨다. 단락회로를 피하는 한 방법은 와이어들간의 갭들을 증가시키기 위해 주의해야 하지만 부품들이 밀집하여 패킹되는 항상 사용가능한 혹은 효율적인 방법은 없다.
와이어 본딩 프로세스 사이클은 일반적으로 구 형상을 갖는 본딩 와이어의 선단(tip)에 프리-에어-볼(free-air-ball)(FAB)을 만들어냄으로써 시작된다. 도 1은 종래 기술의 전자 플레임-오프(electronic flame-off; EFO) 스파킹(sparking) 프로세스를 사용하여 비절연된 금 와이어(100)로부터 형성된 FAB(108)의 측면도이다. 금 와이어(100)의 종단 테일(102)은 캐필러리(도시 생략)의 선단으로부터 확장하여 EFO 전극(106)에 가까이 놓여진다. FAB 형성은 캐필러리 밑으로 확장하는 본딩 와이어(100)의 종단 테일(102)을 가열하여 녹이는 EFO 전극(106)으로부터의 전기 방전 혹은 스파크(104)로 시작한다. 표면장력으로 인해 본딩 와이어(100)의 용융된 종단 테일(102)은 구 형상을 형성하게 되고 물질이 더 녹음에 따라 와이어 종단 테일을 위로 올라가게 한다. 이것이 FAB(108)를 생성한다. 일단 스파크(104)가 종료되면, FAB(108)는 거의 순간적으로 고화한다. FAB(108)는 이어서 캐필러리에 의해 제 1 본드 위치에서 본딩 패드에 가압되어 일정 시간동안 적절한 량의 압력, 열, 및 초음파 운동을 가함으로써 제 1 볼 본드를 형성한다.
볼 본드가 형성된 후에, 본딩 와이어(100)가 캐필러리의 종단을 통해 공급될 동안 캐필러리는 상승하여 제 2 본드 위치로 이동한다. 제 1 본드위치와 제 2 본드 위치간에 루프가 일단 형성되면, 캐필러리는 다시 일정 시간동안 적절한 량의 압력, 열, 및 초음파 운동을 가함으로써, 제2(혹은 스티치) 본드를 생성하기 위해 본딩 패드에 대해 와이어(100)를 가압한다. 제2(혹은 스티치) 본드가 형성된 후에, 캐필러리는 또 다른 종단 테일을 형성하기 위해 와이어를 공급하면서 규정된 높이까지 상승한다. 이어서 본딩 와이어(100)는 제 2 본드로부터 잘라져, 다음 FAB(108)의 형성을 위한 충분한 종단 테일 와이어(102)를 남겨놓는다.
도 2는 시간에 따른 방전전류 변화로 나타낸 종래의 표준 EFO 스파킹 프로파일의 그래프도이다. 표준 점화 방전은 일반적으로 기간 t0-t1 동안 유지되는 방전전류 I1으로 구성된다. 이것은 와이어(100)를 녹이는데 충분한 열 및 시간을 갖게 하여 컨퍼밍 FAB(108)을 생성할 것이다. 이에 따라, 비절연 혹은 배어(bare) 본딩 와이어에 대한 종래의 방법은 EFO 전극을 사용하여 단일 전기방전 혹은 고전압 스파크를 점화하여 본딩 볼을 형성한다. 스파킹 동안 일반적인 EFO 메커니즘 입력들은 전류, 시간 및 방전 갭이다. 입력/출력 계측에의 어떤 중단이 있는 경우, 시스템은 일반적으로 에러가 있음을 검출하는 능력을 가질 것이며 결국 스스로를 정정할 수 없다면 본딩 프로세스를 중단한다.
절연된 와이어들은 통상적으로 금과 같은 하지의 도전성 코어 금속 물질과, 와이어의 표면을 비도전성으로 만들기 위해 폴리이미드와 같은 절연층을 포함한다. 절연 본딩 와이어 기술의 도입은 본딩 와이어들이 단락회로들을 야기함이 없이 접촉 혹은 교차할 수 있게 함으로써 고밀도 패키징 및 고 입력/출력 기능을 갖게 한다. 그러나, 절연 본딩 와이어를 사용한 전자 패키징의 소형화는 절연물질이 본딩된 와이어와 본딩패드간 계면에서 전기적 도전성을 방해하는 새로운 문제가 야기한다. 절연물질의 존재가 신뢰성 있는 상호접속을 만드는데 있어 오염으로서 작용함에 따라, 도전성을 잃지 않게 각각의 와이어 본드를 형성할 때 절연물질을 제거하고 하지의 도전성 물질을 노출시킬 필요성이 있다. 이것은 고 용적 제조장비 및 프로세스들, 특히 와이어 본딩 장비 성능의 한계 끝까지 밀어부친다. 따라서 와이어와 본드 패드간 본딩 계면에서 와이어 표면으로부터 절연물질을 효과적으로 제거하는 방법들을 발명할 필요성이 있다.
본딩 프로세스 동안 절연된 와이어로부터 절연물질을 제거하는 방법의 예는 "Wirebonding Insulated Wire and Capillary Therefor" 명칭의 미국특허공보 2005/0045692 A1호에 기술되어 있다. 제 1 본딩패드를 제 2 본딩패드에 전기적으로 연결함에 있어 캐필러리 선단과 제 2 본딩 패드간에 본드 와이어가 러빙되도록, 본드 와이어를 유지하는 캘필러리 홀더의 선단이 제 2 본딩 패드의 표면 위에 이동되는, 절연된 와이어 본딩 방법이 기술되어 있다. 이것은 본드 와이어의 절연물질을 파열시킴으로써 와이어의 금속 코어의 적어도 일부가 제 2 본딩 패드와 접촉하게 한다. 이어서 와이어는 열압착 본딩을 사용하여 제 2 본드 패드에 본딩된다. 마찰력을 통해 절연물질을 기계적으로 제거하는 이 방법의 문제는 실제 본딩에 앞서 캐필러리 선단을 러빙하는 것이 사이클 시간을 증가시킨다는 것이다. 증가된 도전성에 관하여 상응하는 잇점은 현저하지 않을 수도 있다. 또한, 제 2 본드를 제작하기에 앞서 절연물질을 제거하는데 적용할 수 있을지라도, 캐필러리 선단으로부터 본드 와이어의 종단 테일만이 돌출하여 FAB가 종단 테일로부터 형성되어야 하는 제 1 볼 본드에는 적용할 수 없다. 이러하기 때문에, 종단 테일의 기계적 러빙은 적용이 불가하다.
도 3은 도 2에 도시된 스파킹 프로파일을 적용하는 것으로 종래 기술의 EFO 스파킹 프로세스를 사용하여 절연 금 와이어(10)로부터 형성되는 FAB(18)의 측면도이다. 종단 테일(12)을 가진 절연된 금 와이어(10)는 EFO 전극(16)에 가까이 놓여지고 스파크(14)가 와이어(10)의 종단 테일(12)을 녹이게 발생되어 FAB(18)를 형성한다. 어떤 절연물질은 구형상 볼의 표면 주위에 절연층(20)으로 거의 피복된 FAB(18)이 되게 하는 경향을 가질 것이다. FAB의 기부에 어떤 무결한 코어 물질(22)이 관찰될 수도 있고, 혹은 이 물질이 절연층(20)의 표면 주위에 패치들로 분산될 수도 있다. 이 현상은 볼 본드와 본딩 패드간 계면에 고 도전성을 갖는 볼 본드를 형성하는데 있어선 바람직하지 못하다.
EFO 동안 절연 본딩 와이어를 사용시 이러한 바람직하지 못한 FAB들(18)의 형성은 비절연된 혹은 배어 와이어(bare wire)를 사용할 때보다 더 일반적임이 관찰되었다. 절연된 본딩 와이어에 있어서, 현 FEO 프로세스는 작은, 다소 변형된 볼들을 형성하는 경향이 있는 것도 관찰되었다. 그러므로, 문제는 종래의 스파킹 프로세스가 (도 3에 도시된 바와 같은) 절연층에 의해 오염된 FAB 또는 비-구체의 변형된 FAB -일반적으로 비-컨퍼밍 FAB들이라고 칭함- 를 만들어내는 기회들을 증가시킨다는 것이다. 변형된 FAB들은 이웃한 볼 본드에의 전기적 단락을 야기하여 잠재적으로 순간적 본드 실패 혹은 약한 볼 본드를 야기할 수 있는 기형적 본드들로 될 수 있다. 그러므로, 이들은 마이크로전자 디바이스가 고장나게 할 수 있다. 또한, 절연물질로부터의 오염은 비-컨퍼밍 FAB을 야기할 뿐만 아니라 캐필러리들 및 EFO 메커니즘조차도 오염시킬 수 있다. 코팅의 점진적인 누적이 본딩 와이어를 받는 캐필러리 오리피스 상에 잔류하고 이 누적은 시간에 따른 EFO 디바이스 상에 비일관적인 FAB 형성에 기여할 수도 있다.
그럼에도 불구하고, 많은 경우들에 있어서, 강한 볼 본드를 형성할 수 있는 어떤 잔류 절연물질을 가진 수락가능한 FAB를 형성하는 것이 여전히 가능하다. 절연된 본딩 와이어 테일 종단이 전기 방전 혹은 스파크에 의해 야기되는 열을 받을 때, 용융된 부분이 볼을 형성한다. 볼이 형성됨에 따라, 때때로 코팅은 볼의 상측 반구 상에 균일한 스트립들로 분할하여 소위 워터 멜론 패턴을 형성한다. 이 경우, 코팅 혹은 절연물질이 하측 반구체를 가로막지 않는 한, 강한 볼 본드가 형성될 수 있다. 그러나, 이러한 워터 멜론 패턴들의 발생은 예측가능한 것이 아니며, 하지의 도전성 금속과 본딩패드간에 이러한 코팅 분할들에 의해 야기되는 강한 본드를 형성하기에 충분한 접촉이 있는 것에 의존하는 것은 신중하지 않을 것이다.
절연된 본딩 와이어에 종래의 EFO 프로세스들의 적용에서 발견된 문제들을 해결하기 위해서, 무결한 FAB들을 생성하고 반복하여 신뢰성 있는 볼 본드들을 얻기 위해 FAB들을 요구되는 볼륨이 되게 하는, EFO 메커니즘에의 적절한 수정들 혹은 향상들이 바람직할 것이다.
발명의 요약
따라서, 본 발명의 목적은 본딩을 위해 보다 무결한 노출된 코어 금속으로 볼을 생성하는 절연된 와이어를 본딩하는 빠르고 효과적인 방법을 구현하는 것이다.
따라서, 본 발명은 볼 본드를 생성하기 위해 절연된 와이어로부터 컨퍼밍 프리 에어 볼을 형성하는 방법에 있어서, 상기 절연된 와이어의 선단을 전자 플레임-오프 디바이스에 가까이 배치하는 단계; 상기 절연된 와이어의 선단을 용융시켜 파일럿 볼을 생성하기 위해서 상기 전자 플레임-오프 디바이스로부터 제 1 전기 방전을 생성하고, 이어서 상기 전기 방전을 종료하는 단계; 상기 컨퍼밍 프리 에어 볼을 생성하기 위해 제 2 전기 방전을 생성하는 단계; 그 후에 볼 본드를 생성하기 위해 본딩 표면에 상기 컨퍼밍 프리 에어 볼을 부착하는 단계를 포함한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예들을 도시한 첨부한 도면들을 참조하여 보다 상세히 본 발명을 기술하는 것이 편리할 것이다. 도면들 및 관계된 설명의 상세는 청구항들에 의해 정의된 본 발명의 넓은 동치성의 일반성을 대치시키는 것으로 이해해서는 안 된다.
첨부 도면을 참조하여 본 발명에 따른 와이어 본딩 프로세스의 바람직한 실시예의 예를 기술한다.
바람직한 실시예의 상세한 설명
본 발명의 바람직한 실시예는 절연된 와이어의 선단에 FAB를 형성하기 위해 2개의 개별적인 스파크들의 사용을 포함한다. 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 EFO 스파킹 프로세스를 사용하여 제 1 스파크 후에 형성되는 파일럿 볼의 측면도이다.
파일럿 볼을 생성하기 위해서, 절연된 와이어(10)의 종단 테일(12)은 캐필러리(도시생략)의 선단으로부터 확장되게 하고 EFO 전극(16)을 포함하는 EFO 디바이스에 가까이 놓여진다. 스파킹 프로세스는 캐필러리 밑으로 확장하는 본딩 와이어(10)의 종단 테일(12)을 가열하여 녹이는 EFO 전극(16)으로부터 전기 방전 혹은 스파크(24)부터 시작한다. 이 제 1 스파크(24)는 바람직하게는 프리-멜트(pre-melt)(26) 형태의 파일럿 볼 혹은 볼 본드를 형성하기 위한 최종의 요구되는 FAB보다 적은 용적을 갖는 작은 볼(28)을 형성하게 제어된다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 EFO 스파킹 프로세스를 사용한 제 2 스파크(30) 후에 형성된 FAB(34)의 측면도이다. 제 1 스파크(24)를 종료한 후에, 프리-멜트(26) 혹은 작은 볼(28)은 바람직하게는 동일 위치에 유지되고 제 2 스파크(30)가 EFO 전극(16)으로부터 발생된다. 제 1 스파크(24) 후에 형성된 프리-멜트(26) 혹은 작은 볼(28)은 소망의 크기 및 형상의 컨포밍 FAB(34)가 형성될 때까지 제 2 스파크(30)에 의해 더욱 용융된다. 검사시, FAB(34)는 실질적으로 무결 코어 금속(36)을 포함하는 것으로 나타나고 절연층(38)은 FAB(34)의 맨 위 부분만을 덮도록 물러나 있다. 이 FAB(34)는 컨퍼밍 형상을 가지며 표면에 포함된 노출된 코어 금속의 큰 면적에 기인하여 형성될 와이어 본드의 도전성을 촉진시킨다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 시간에 따른 방전전류의 변화로 나타낸 EFO 스파킹 프로파일의 그래프도이다. 프로파일은 EFO 방전시간(t) 대 EFO 전류(I)의 그래프로 표현된다. 제 1 스파크(24)는 t0-t2 동안 전류(I3)에서 발생된다. 전기 방전이 종료되는 t2-t3의 지연이 있다. 그후에, 제 2 스파크(30)가 t3-t4 기간동안 또 다른 전류(I2)에서 발생된다.
단지 예시의 목적으로, 제 1 전류(I3)은 제 2 전류(I2)보다 큰 것으로 도시되었으나, 제 2 전류(I2)는 제 1 전류(I3)이거나 이상일 수도 있음을 알 것이다. 형성되는 용융된 볼의 크기는 전류의 크기와 스파크 기간에 좌우하므로, 프리-멜트(26) 혹은 작은 볼(28)이 소망하는 최종의 컨퍼밍 FAB(34)보다 작게 되게, 그리고 생성된 최종의 무결 FAB(34)가 볼 본드를 형성하는데 필요한 요구되는 크기를 갖게 되도록 파라미터들이 가변 및 제어될 수 있다.
제 1 스파크를 발생시키는데 사용되는 전류는 100㎲ 내지 1000㎲ 동안 1600mA 내지 3000mA인 것이 바람직하다. 제 1 스파크와 제 2 스파크간 지연은 30ms 미만인 것이 바람직하다. 제 2 스파크를 발생하는데 사용되는 전류는 200㎲ 내지 1000㎲ 기간동안 발생되는 것인 1800mA 내지 3200mA인 것이 바람직하다. 정확한 전류크기 및 스파크 기간은 사용되는 와이어 직경 및 타겟의 볼 크기에 따를 것이다. 위의 파라미터들은 0.8 mil 내지 1.0 mil의 직경들을 갖는 와이어들에, 그리고 직경이 약 40㎛ 내지 55㎛의 볼 크기들을 가진 FAB들을 형성하는데 가장 적합할 것이 다.
EFO 전극에 의한 파일럿 볼에 점화되는 제 2 연속적인 전기 방전 혹은 스파크의 목적은 제 1 볼 본드를 위해 준비되는 무결 볼을 반복적으로 형성하는 것이다. FAB(34)의 상측 반구체 상에 여전히 남아 있는 절연층(38)은 본딩 프로세스가 강한 금속간 본드를 형성하지 못하게 하지 않을 것임에 유의한다. 비-컨퍼밍 볼이 하측 반구체 상에 오염되거나 제 1 스파크(24) 후에 코팅 장매물에 기인하여 볼이 전혀 형성되지 않는 경우라도, 제 2 스파크(30)는 컨퍼밍 FAB(34)의 형성을 촉진시키는데 도움을 줄 것이다.
절연된 본딩 와이어 본딩 시도들을 통해서, 감소된 용적의 프리-멜트(26) 혹은 작은 볼(28)을 형성하기 위해 제 1 전기 방전을 점화하고 이어서 제 2 전기 방전을 점화함으로써, 프로세스는 보다 일관적으로 무결한 FAB들을 생성함이 관찰되었다. 프리-멜트(26) 혹은 작은 볼(28)이 무결하다면, 볼은 제 2 스파크(30)의 결과로서 무결한 상태에 있게 될 것이다. 그러나, 프리-멜트(26) 혹은 작은 볼(28)이 오염된다면, 형성되는 최종의 FAB(34)는 제 2 스파크(30)의 결과로서 더 무결해진다.
따라서, 제 1 볼 본드의 형성을 위해 수락될 수 없는 비-컨퍼밍 FAB들의 형성에 기인한 와이어 본딩 프로세스 중단을 방지하기 위해서, EFO 스파킹 프로세스로의 로직 변경들이 제안되었다. 그러나, 로직 수정이 주된 향상이고 그 외 하드웨어 변경들이 일반적으로 필수는 아닐지라도, EFO 전극 설계에 대한 약간의 수정들 및 보다 나은 전극물질 선택뿐만 아니라 전기회로에의 다른 수정들은 대량 제조환 경에서 프로세스를 동작시키기 위해 포함될 수도 있다.
여기 기술된 발명은 구체적으로 기술된 것 이외의 변동, 수정 및/또는 추가될 수 있고 본 발명은 위의 설명의 정신 및 범위 내의 모든 이러한 변동, 수정 및/또는 추가를 포함함을 알 것이다.
본 발명에 따라, 본딩을 위해 보다 무결한 노출된 코어 물질을 가진 볼을 생성하는 절연된 와이어를 본딩하는 고속의 효과적인 방법이 제공된다.

Claims (11)

  1. 볼 본드(ball bond)를 생성하기 위해 절연된 와이어로부터 컨퍼밍 프리 에어 볼(conforming free air ball)을 형성하는 방법에 있어서:
    상기 절연된 와이어의 선단(tip)을 전자 플레임-오프(flame-off) 디바이스에 가까이 배치하는 단계;
    상기 절연된 와이어의 선단을 용융시켜 파일럿 볼을 생성하기 위해 상기 전자 플레임-오프 디바이스로부터 제 1 전기 방전을 생성하고, 이어서 상기 제 1 전기 방전을 종료하는 단계;
    상기 파일럿 볼을 또한 용융시키고 상기 컨퍼밍 프리 에어 볼을 생성하기 위해 상기 전자 플레임-오프 디바이스로부터 제 2 전기 방전을 생성하는 단계; 및 이후,
    상기 볼 본드를 생성하기 위해 본딩 표면에 상기 컨퍼밍 프리 에어 볼을 부착하는 단계를 포함하는, 컨퍼밍 프리 에어 볼 형성 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 파일럿 볼은 상기 컨퍼밍 프리 에어 볼에 비해 작은 용적을 갖는, 컨퍼밍 프리 에어 볼 형성 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 파일럿 볼은 프리-멜트(pre-melt) 혹은 작은 볼의 형태인, 컨퍼밍 프리 에어 볼 형성 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 컨퍼밍 프리 에어 볼은 구 형상이며 그 표면상에 도전성 코어 금속 물질을 포함하는, 컨퍼밍 프리 에어 볼 형성 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 전기 방전은 1600mA-3000mA의 전류로 발생되고 상기 제 2 전기 방전은 1800mA-3200mA의 전류로 발생되는, 컨퍼밍 프리 에어 볼 형성 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 전기 방전은 100㎲-1000㎲의 기간 동안 발생되고, 상기 제 2 전기 방전은 200㎲-1000㎲의 기간 동안 발생되는, 컨퍼밍 프리 에어 볼 형성 방법.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 전기 방전의 종료와 상기 제 2 전기 방전의 생성 간의 지연은 30ms보다 작은, 컨퍼밍 프리 에어 볼 형성 방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 전기 방전은 상기 제 2 전기 방전보다 큰 전류로 발생되는, 컨퍼 밍 프리 에어 볼 형성 방법.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 전기 방전은 상기 제 1 전기 방전보다 큰 전류로 발생되는, 컨퍼밍 프리 에어 볼 형성 방법.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 절연된 와이어는 상기 와이어의 표면이 비도전성이 되게 하는 절연층을 그의 표면에 포함하는, 컨퍼밍 프리 에어 볼 형성 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 절연층은 폴리이미드를 포함하는, 컨퍼밍 프리 에어 볼 형성 방법.
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