JPH0367163A - 超音波探傷装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ この発明は、超音波探傷装置に関し、さらに詳しくは、
セラミック、複合材料等の素材、その他の新素材の欠陥
探傷をはじめとして、半導体等の電子部品の各種の検査
を超音波を用いて行う場合において、その傷とか欠陥に
ついて被検体（前記の材料、部品等）の内部状態が全体
との関係で明瞭に把握できるような超音波探傷装置に関
する。

［従来の技術］ 超音波探傷装置は、セラミック、複合材料等の素材、電
子部品刃の欠陥検査をはじめとして、これらの相互比較
、熱処理、引張、圧縮、加圧、減圧等の種々の処Ｆ’Ｕ
を行った後の状態検査など、材料、電ｒ・部品に対する
種々の試験に利用される。

この秤の超音波探傷装置としては、Ｘ、Ｙ、Ｚ座標内で
被検体”を走査するＸＹＺ走査装置（又はスキャナ）を
備えていて、材料、電子部品等の被検体の状態をＣスキ
ャンし、そのＣスコープ像を得て、得た画像を観測又は
データ処理することで検査が行なわれる。

この種の検査では、被検体としての検査部品。

検査材料等と欠陥との縦断面方向の状態を把握したいと
いう要請があって、Ｃスキャン機能を備えた超音波探傷
装置の中にはＸ−Ｚスキャンが可能なものがある。

［解決しようとする課題］ しかし、材料とか、電子部品の検査にあっては、単に欠
陥の位置とか、傷の状態にとどまらず、材料９部品の表
面とか、底面の外形から見た全体的な形状との関係から
欠陥位置とか状態、傷の関係等を把握することが必要に
なる。

しかし、前記の場合、Ｃスコープ像とＢスコープ像の測
定は、その走査条件や走査範囲を独弘し、これらはそれ
ぞれ独立な測定モードとなっているので、部品の断面形
態が画面上に表示されたとしても前記のようなりスコー
プ像を個別的に採ることでは、それは、単にある一部の
縦断面方向における欠陥等が分かるだけに過ぎない。そ
こで、従来では、測定されたＢスコープ像とＣスコープ
像とのそれぞれの像を見て検査員が頭脳でイメージして
被検体の全体像を把握しなければならず、被検体の外形
から見た欠陥や傷に対する全体的な関係が把握し難いも
のとなっている。したがって、検査効率がよくない。

この発明は、このような従来技術の問題点を解決するも
のであって、Ｂスコープ像をＣスコープ像との関連にお
いて測定し、表示することにより、材料、電子部品等の
被検体に対して全体と、傷とか欠陥との関係を被検体全
体との関係で把握し易く、効率のよい測定ができる超音
波探傷装置を提供することを［１的とする。

［課題を解決するための手段］ このような目的を達成するためのこの発明の超音波探傷
装置における手段は、Ｃスコープ像をディスプレイに表
示しているときにＰｊ１検体の平面からみた走査領域の
各／Ｉｔｌ＋定点の座標位置とディスプレイに表示され
る画面りの各画素の座標位置とを設定されたＣスキャン
の走査条件に応じて対応付ける座標管理手段と、ディス
プレイにＣスコープ像が表示された状態でカーソルが画
面上に表示されているときにこのカーソルが位置する画
素の座標位置に基づき座標管理手段により管理されるこ
のカーソルが位置する座標位置に対応する走査領域の座
標位置にプローブを位置決めするプローブ位置決め手段
と、測定されたＣスコープ像を記憶する手段と、外部か
らのＣスコープ像表示指示に応じて記憶手段から測定さ
れたＣスコープ像を読出してそれをディスプレイ上に画
像表示する表示制御手段とを備えていて、Ｃスコープ像
が表示されているときにカーソルの座標位置に対応じて
位置決めされたプローブの座標位置においてＢモード測
定手段が起動されてＸ−Ｚスキャンが行われ、ディスプ
レイにその位置を含むＢスコープ像が表示され、Ｃスコ
ープ像の表示指示を受けたときに表示制御手段が管理手
段によりプローブの座標位置又はカーソルの座標位置の
いずれか一方を他方に対応させてディスプレイ上にカー
ソル表示するものである。

［作用］ このように、Ｃスコープ像の表示状態でカーソルの位置
とプローブの位置とを連動させ、カーソルの位置決めに
よりＸ−Ｚスキャンする位置を選択し、Ｃスコープ像に
表示された欠陥の位置をＸ−２スキヤンしてＢスコープ
像表示して確認し、また、元のＣスコープ像に戻り、別
の位置をＸ−ＺスキャンしてＢスフ−１表示できるので
、Ｃスコープ像に対応させてＢスコープ像を多数の箇所
で採取し、観察することができる。しかも、そのＸ−Ｚ
スキャンの位置もカーソルと連動となっているので容易
に選択できる。

その結果、Ｃスコープ像との関係でＢスコープ像が効率
よく得られ、被検体に対して全体と、傷とか欠陥との関
係をその全体との関係で把握し易く、効率的な検査がで
きる。

［実施例コ 以ド、この発明の−・実施例について図面を参照して計
則に説明する。

第を図は、この発明を適用した材料９部品等を検査する
ための画像処理のフローチャート、業２図は、この発明
を適用した材料９部品等を検査するためのＣスコープ画
像処理機能に加えてＢスフ−１画像処理機能を有する超
Ｈ波深傷装置のブロック図、第３図は、表示画像とそれ
に対応するＣスキャンの説明図、第４図は、Ｃスコープ
像の表示画面の一例の説明図、第５図は、そのＸ−Ｚス
キャン位置設定をする場合の説明図、第６図は、Ｘ−Ｚ
スキャン状態の説明図、第７図は、その表示画面の説明
図である。

第２図において、２０は、超音波探傷装置であって、Ｘ
ＹＺ走査装置ｔと画像処理装置ｉ６とからなる。ＸＹＺ
走査装置１は、ＸＹＺ軸移動機横１３を有していて、画
像処理装置１６からの制御信号に応じて、Ｘ、Ｙ、Ｚの
各軸が駆動される。

なお、ｘ、ｙ、ｚの各軸は、ｘ、ｙ、ｚの三次元の座標
系における各軸に対応じていて、プローブ３をその軸の
方向に直線移動するための基準軸である。

ＸＹＺ軸移動機構１ａのド側には、水槽４が配置されて
いて、水槽４には媒質４ａ（媒質として例えば水）が満
たされ、被検体２（例えば、セラミ’７クス材料とか電
子部品）がこの媒質４ａの中に浸漬され、取付は部材４
ｂを介して水槽４の中で取付られている。

一方、プローブ３は、ＸＹＺ軸移動機横１ａのＺ軸杵動
部２１に固定され、この２軸移動部２１がＸ及びＹ軸移
動部２２に支承され、プローブ３がｘ、ｙ、ｚ方向に移
動可能となっている。

画像処理装置１６は、プローブ３に送信パルス信号を送
出し、これから超音波エコーの受信信号を受ける、プロ
ーブ３に接続されたパルサ・レシーバ５と、このパルサ
・レシーバ５によって増幅又は減衰したエコー受信信号
にゲートを設け、ゲート内の受信超音波エコーの強度に
合ったアナログ出力を得て、エコー受信信号をモニタリ
ングするオシロスコープ６、同様に、パルサ・レシーバ
５からのエコー受信信号に対してゲートを設けて特定の
エコー受信信号を選択するゲート回路７、ゲート回路７
により選択されたエコー受信信号（アナログ山力信号）
のピーク値をとるピークディテクタ９と、そのピーク値
信号をデジタル信号に変換して演算処理装置１０に送出
するＡ　／　Ｄ変換器８と、Ａ／Ｄ変換器８の出力信号
に対して所定の演算処理する演算処理装置１０１とを備
えている。

ここで、演算処理装置１０は、マイクロプロセッサ１０
ａとメモリ１０ｂとをイアしていて、メモリ１０ｂには
、ＸＹＺ走査装置１の各軸をＸ−Ｚスキャン制御するＸ
−Ｚスキャン制御プログラム２３ａと、各軸をＣスキャ
ン制御するＣスキャン制御プログラム２３ｂと、プロー
ブ位置設定プログラム２３ｃ１送信パルス信号及び各エ
コー受信信号のデータからこれらの信号間の時間間隔を
算出する時間計測プログラム２３ｄ１走査座標表示座標
管理プログラム２３ｅ１そして表示状態制御プログラム
２３ｆ等とが記憶され、さらに、測定された画像データ
等を記憶する画像データ記憶部２３ｇと測定条件や入力
された走査条件を採取された画像対応に記憶し、最新カ
ーソル位置等を記憶する各種データ記憶領域２３ｈ等と
を有している。また、キーボード１１から人力される探
傷データ及び画像処理データに関するその他の各種のデ
ータもメモリ１０ｂに記憶される。

一方、マイクロプロセッサ１０ａは、メモリ１ｏｂに記
憶されたこれらのデータと各種の処理プログラムに基づ
き、所定の演算処理を行い、探傷結果に相当するＣモー
ド動作における画像データ（Ｃスコープ像）を生成する
とともに、モータコントローラ１５に対して位置制御デ
ータを送出してＸＹＺ方向の位置制御を行う。また、マ
イクロプロセッサ１０ａは、キーボード１１から入力さ
れた各種のデータ及び現在の制御状態のデータ、そして
表示状態をＣＲＴディスプレイ１４に送出して表示する
処理を行う。

キーボード１１は、そのキーによりＣモード動作、Ｂモ
ード動作の測定状態或はこれらの表示状態の選択的な設
定、画像処理データ、走査範囲等のデータ等を人力する
ものであり、マイクロプロセッサ１０ａは、これらのデ
ータを受けてメモリ１０ｂにこれらのデータを一旦記憶
する。

画像入出力装置１２は、演算処理装置１０より伝送され
たデータを画像データとして記憶し、そのデータをＣス
コープ像又はＢスコープ像としてディスプレイ１３に送
出して表示する処理を行う。

さらに、表示画面上のカーソル位置の割出しを行い、演
算処理装置１０にそのデータを転送する。

モータコントローラ１５は、演算処理装置１０からの位
置制御データに従って、ＸＹＺ走査装置１を制御するも
のであって、ＸＹＺの各軸に沿ってプローブ３を所定部
移動させる駆動信号をＸＹＺ軸移動機構１ａの各軸に供
給する。

さて、被検体２は、ここでは、第３図に見るように、そ
の甲面から見て四角い形状の材料又は電子部品であって
、例えば、ここでＸ方向をその横方向に、Ｙ方向をその
縦の方向に採るとすると、走査座標表示座標管理プログ
ラム２３ｅは、このＸ、Ｙに従って被検体２をプローブ
３により走査する走査領域（キーボード１１により入力
されたデータで設定された領域）及びＸ方向、Ｙ方向の
測定ピッチ等の走査条件に応じてディスプレイ１３の画
面の各画素（画面−Ｌの各ドツト）の表示位置が測定ピ
ッチで決定される各測定位置に対応するように走査領域
の座標と画面りの座標（実際には１Ｉｆ１１而メモＩＪ
の座標に相当）のそれぞれの座標を管理する。

その対応付けは、Ｃスコープ像表示状態において行われ
、例えば、キーボード１１からのＣモードを指定する機
能キーとＣスキャンにおける走査領域が決定されたとき
に、或はＣスコープ像表示を指示する機能キーが人力さ
れたときに、走査領域（又は測定領域）を表示画面に対
応する画素数の画面メモリの各ドツト記憶位置に対応さ
せることで、各走査ピッチを算出し、或は指定された測
定ピッチから逆に対応する走査領域に対応する画素領域
を割出して表示画像の各画素が走査領域の各測定位置に
対応するように管理するものである。

具体的には、表示画面のホームボジシａン（又は表示画
面の中心位置）と走査開始点（又は走査領域の中心位置
）とを一致させる。そして、例えば、画像入出力装置１
２が十字カーソルを使用してカーソルの位置制御を表示
ドツト対応（その縦×横をｎＸｎとする通常のカーソル
位置対応でも可）の移動として制御している場合には、
横×縦のトン）が２５０Ｘ２４０ドツト構成（又は６０
０Ｘ４００ドツト構成）等の画面において、走査ピッチ
で決定される各測定位置座標（走査領域におけるプロー
ブのＸ、Ｙアドレス）と、画像入出力装置１２から得ら
れるカーソル位置座標（その表示ドツト対応で決定され
るカーソルのＸ、Ｙアドレス）とを設定された走査領域
の範囲に応じて対応付けして管理することである。

さらに、走査座標表示座標管理プログラム２３ｅは、キ
ーボード１１からの指示によりカーソルが画面上に表示
されたときには表示された現在のカーソルアドレスを画
像入出力装置１２から得て、プローブ位置設定プログラ
ム２３ｃを起動する。

そして、プローブ位置設定プログラム２３ｅがカーソル
アドレスを画像入出力装置１２から得たカーソルの座標
位置に対地する走査領域の座標位置にプローブ３を位置
付けてプローブ３の座標とカーソルの座標位置とを−・
致するようにプローブ３を位置決め制御する。

この種のプローブの位置座標と画商のカーソル位ｉ？ｉ
′、＋標との連動管理については、特開昭６２第２４０
８５６号に開示されて公知であるのでその詳細は割愛す
る。

表示状態制御プログラム２３ｆは、キーボード１１から
のキー人力によりＢスコープ像が選択されたとき、或は
、Ｂモード動作が選択されたときには、表示状態をＣス
コープ像からＢスコープ像表示へと切換え、逆に、キー
人力によりＣスコープ像が選択されたとき、或は、Ｃモ
ード動作が選択されたときには、表示状態をＢスコープ
像或は他の表示状態からＣスコープ像表示へと切換える
。

さらに、キー人力によりＣスコープ像が選択されたとき
にはＣスコープ像とともにその測定条件としてＣモード
設定のときに人力されて記憶されている走査領域の中心
座標をカーソルの位置座標として読出してそれを画像入
出力装置１２へと転送してその座標位置にカーソルを表
示し、かつ、プローブ位置設定プログラム２３ｅを起動
して読出した前記の中心座標位置に対応する位置にプロ
ーブ３を位置付けてプローブ３をカーソルの座標位置に
対応させる位置決め制御をする。

Ｃスキャン制御プログラム２３ｂは、キーボード１１上
の所定のキー人力によりＣモード動作が選択されたとき
に演算処理装置１０がＣモード測定状態に設定されて起
動される。このモードのときには、演算記憶装置１０は
、Ｃスキャン制御プログラム２３ｂとを起動するととも
に、ゲート回路７とＡ／Ｄ変換器８、モしてＣスキャン
制御プログラム２３ｂの処理に従って表示状態制御プロ
グラム２３ｆのプログラムを起動する。

なお、前記のＢモードが選択されたときには、Ｃスコー
プ像表示状態における最新のカーソルの位置座標（その
表示ドツト対応のＸアドレス、Ｙアドレス）を画像入出
力装置１２から得て、それをＣスキャンして得たＣスコ
ープ像の測定データに対応じて記憶するようにし、Ｃス
コープ像表示に戻ったときに、この最新の位置にカーソ
ルを合わせ、かつ、プローブ３を対応じて合わせるよう
にしてもよい。

Ｃスキャン制御プログラム２３ｂは、第３図に后すよう
に、人力された走査条４ｊｔ＝に応じてＸ方向に設定さ
れたピンチで１ピツチごと１ライン走査を行い、その後
、Ｙ方向にｌピッチ送られて同様な１ライン走査をする
Ｃスキャンを行う。この場合の測定範囲（Ｘ方向の長さ
ＪｘとＹ方向の長さＪｙ）と走査条件（６Ｊ定ピツチを
画素対応とする、或はｎＸｎ画素対応でも可）等の測定
条件は、キーボード１１から人力されてメモリに記憶さ
れ、先の走査座標表示座標管理プログラム２３ｅにより
カーソル移動位置と対応付けて管理されているものであ
る。

そこで、このＣモードではＣスキャン制御プログラム２
３ｂの実行により、第３図に示されるように、ＸＹｚ走
査装置１を制御して測定条件に従ってＣスキャンが行わ
れ、Ａ／Ｄ変換４８から測定データを受けてそれが画像
データとして処理されて画像データ記憶部２３ｇに記憶
される。さらに、その画像データが画像入出力装置１２
に送られてＣスコープ像として表示される。

キーボード１１−Ｌの対応するキー人力によりＢモード
動作が選択されると、演算処理装置ｊＯがＢモード測定
状態に設定される。このとき演算記憶装置１０は、Ｘ−
Ｚスキャン制御プログラム２３ａを起動し、Ｘ−Ｚスキ
ャン制御プログラム２３ａの処理に従って時間計測プロ
グラム２３ｄと表示状態制御プログラム２３ｆの各プロ
グラムを起動する。

Ｘ−Ｚスキャン制御プログラム２３ａは、キーボード１
１から人力された測定範囲（Ｘ方向の長さＪｘｖＺ方向
の長さＪｚ＋Ｚ方向の測定ピッチＰｚｔなお、Ｙ方向は
１側像入出力装置１２から得られるカーソル位置として
指定される）に従ってＸＹＺ走査装置１を制御して前記
の測定条件に従ってＸ−Ｚスキャンを行い、測定データ
をピークディテクタ９から受けて画像データとして処理
して画像データ記憶部２３ｇに記憶するとともに、画像
入出力装置１２に送ってＢスコープ像を表示する処理を
する。なお、ここでは、プローブ３は、焦点型のプロー
ブを使用し、プローブをＸ−Ｚ移動させてＸ−Ｚスキャ
ンを行うが、非魚点型プローブ又は長焦点型プローブを
使用するときは、プローブをＺ方向に移動させずにゲー
トを測定ピッチニ従ってＺ方向に移動させてＸ−Ｚスキ
ャンをしてもよい。

このＢモードではＸ−Ｚスキャン制御プログラム２３ａ
の実行により、第６図に見るようにプローブ３を被検体
２に対してＸ−Ｚスキャンして縦断面像を採取する制御
に移る。なお、図中、Ｆ【。

Ｆ２は、探傷される欠陥である。各測定位置において漂
さ方向に対応するエコー受信信−号のデジタル信号によ
って送信パルス信号Ｔのトリガから表面エコーのエコー
受信信号Ｓまでの時間、及び表面エコーのエコー受信信
号Ｓから欠陥エコーのエコー受信信号Ｆまでの時間、表
面エコーのエコー受信信号Ｓから底層エコーのエコー受
信信号Ｂｓまでの時間がＸ−Ｚスキャンの各探傷ピッチ
ごとに演算する処理が時間計測プログラム２３ｄにより
順次行われ、それぞれの時間データが測定点対応に画像
データ記憶部２３ｇに記憶される。なお、この場合、先
に記憶したＣスコープ像の画像データの記憶領域がなけ
れば、外部記憶装置にＣスコープ像の画像データを待避
させてからＢスコープ像の画像データが記憶される。

画像データ記憶部２３ｇに記憶されたＸ−Ｚスキャンの
データは、表示状態制御プログラム２３ｆに従って第７
図に見るようにＢスコープ像としてデイスプレイエ３上
に表示される。

次に、第１図に従って演算処理装置１０のＣモード動作
とＢモード動作、そしてそれぞれの表示状態の切換えと
の切換えを中心に超音波探傷装置２０の全体的な処につ
いて説明する。

まず、ステンブ■において、キーボード１１の特定の機
能キーを人力してＣモード動作の設定する。次にステッ
プ■において演算処理ＷｉＲｌｏは、Ｃスキャン制御プ
ログラム２３ｂを起動して、第３図に示すようにプロー
ブ３を被検体２に対して、表示ドツトに対応するある走
査ピッチでＣスキャンを行い、ゲートをかけて、パルサ
・レシーバ５゜ゲート回路７．Ａ／Ｄ変換４８を介して
、各探傷ビ、チにおけるＣスキャンに対応じてゲート位
置の欠陥エコーの受信信号を得る。このようにしてＣモ
ードに対応するＣスコープ像を得て、それを画像データ
記憶部２３ｇに記憶するとともに、画像入出列装Ｗ１２
へと送り、第４図に示すような画像をディスプレイ１３
−ＬにＣスコープ像として表示する。なお、第４図にお
いて、２５は欠陥の映像を示すものであり、２６は被検
体２の平面から見た外形映像である。この場合、走査範
囲は、被検体１をカバーしているが、その一部の領域で
あってもよい。

次のステップ■において、カーソル表示キーをキーボー
ド１１から入力して、第４図に示されるように、Ｆ字カ
ーソルｋを表示し、このカーソルＫを移動して、第５図
に示すように、カーソルＫを移動して、Ｘ−Ｚスキャン
するＹ座標の位置に設定する。なお、このときのプロー
ブ３もこのカーソルの移動に対応じてその座標が移動し
て走査領域上、の対応するＹ座標（＝カーソルと同じＹ
座標）に設定される。また、このときカーソルは、ｌ−
・７カーソルのままであっても、第５図に示すようにカ
ーソル表示をＸ−Ｚスキャンに合わせて直線カーソルに
切換えて図示するようにしてもよい。

そして、ステップ■にてキーボード１１から測定条件を
人力して（あらかじめ人力されていれば不要）Ｂモード
動作に設定する特定の機能キーを入力する。その結果、
演算処理装置１０によりＸ−Ｚスキャン制御プログラム
２３ａが起動されて、プローブ３が走査領域のうちの測
定開始位置に位置決めされてディスプレイ１３−Ｌに表
示されたカーソルにのＹ座標の位置において走査領域を
Ｘ方向に左から右へと人力された走査条件でＸ−Ｚスキ
ャン（第３図のＣスキャンと走査方向も同じ）が開始し
される。このときには、パルサ・レシーバ５．Ａ／Ｄ変
換４８を介して、デジタル化されたエコー受信信号に対
応するデータを演算処理装置１０が受ける。

なお、このとき最新のカーソルの位置座標を記憶する場
合には、表示状態制御プログラム２３ｆが起動され、Ｃ
スコープ像表示状態における最新のカーソルの位置座標
（その表示ドツト対応のＸアドレス、Ｙアドレス）をＣ
スキャンして得りＣスコープ像の測定データに対応じて
データ領域２３ｈに記憶する。

次のステップ■にて、演算処理装置１０は、Ｘ−２スキ
＋ンの各探傷ピッチごとに、表示ドツトに対応じて各ピ
ッチ１〜ｎに対応じて表面エコーのエコー受信ず３号Ｓ
までの時間、そして各欠陥ごとのエコー受信信号Ｆまで
の時間、底面エコーのエコー受信信号Ｂｓまでの時間を
順次メモリ１０ｂに記憶する。

そして、ステップ■にて、各探傷ピッチ間の表面エコー
と底面エコーの各データに対応じて表面及び底面を線で
結ぶように演算処理を行って、表面状態情報及び底面状
態情報を生成する。そして、これらの表示情報を加えて
Ｂスコープ像の欠陥データを画像入出力装置１２に転送
する。そこで、ディスプレイ１３上に第７図に示すよう
なりスコープ像が表示される。なお、このＢスコープ像
は、Ｘ−ＺスキャンしたＹ座標情報とともに画像データ
記憶部２３ｇに記憶し、さらに、先に記憶したＢスコー
プ像の画像データの記憶領域がなければ、外部記憶装置
にＢスコープ像の画像データを記憶して必要に応じて読
出すようにしてもよい。

このようにすれば、後からそのＹ座標でＢスコープ像を
いつでも読出して表示することができる。

次に、ステップ■にて、Ｃスコープ表示か否かの判定待
ちループに入る。ここで、Ｃスコープ表示キーが入力さ
れると、表示状態制御プログラム２３ｆが起動されてこ
れにより表示状態がＢスコープ像からＣスコープ像表示
へと切換えられる。

このとき先に表示した第４図のＣスコープ像がメモ１Ｊ
１０ｂ又は外部記憶装置から読出されて表示される。こ
のとき、カーソルにの表示位置がＣスキャンの際の測定
中心座標とされて読出され、その位置にカーソルが表示
される。また、プローブ位置設定プログラム２３ｅを起
動し、このカーソルにの位置座標に従ってプローブ３を
対応する座標に位置付けてプローブ３とカーソルにの座
標とを−・致させる。なお、最新のカーソル位置を表示
する場合には記憶されたカーソル座標が読出される。

そして、ステップ■にて処部終ｒか否かの判定をして終
ｒでないときには、ステップ■の処理へと戻り、同様な
処理を繰り返す。また、処理が終Ｔ　したときには、次
のホリ定か、他の処理へと移行する。

このように、Ｃスコープ像を表示している状態でＣスコ
ープ像の任意の位はでＢモード動作でＸ−Ｚスキャンを
行ってＢスコープ像を得ることができ、Ｂスコープ像を
得ても元のＣスコープ像をｉｌｌび戻ることができ、Ｃ
スコープ像の表示状態において設定したＹ座標でいくつ
ものＢスコープ像を得ることができる。また、これら得
られたＢスコープ像は、カーソルをそのＹ座標に合わせ
たとき、特定のキー人力で読出せるようにすることもで
きるので、Ｃスコープ像をＢスコープ像との関係で把握
することが容易となり、被検体全体の状態が理解し易い
。

以ヒ説明してきたが、実施例では、Ｃスコープ像の表示
に戻ったときに、１つ前にＣスコープ表示された像の走
査領域の中心位置にカーソル位置とプローブとを位置決
めするようにしているが、これは、最新の位置やホーム
ボジシゴン等の特定（７）　位置にカーソルを表示し、
それにプローブを合わせるようにしてもよく、さらに、
現在のプローブのある位置を読込んでプローブの位置に
カーソル位置を合わせるように表示してもよい。

実施例では、表面エコーの受信信号及び底面エコーの受
信信号に基づき、表面状態情報及び底面状態情報を得て
いるが、これらはいずれか一方であってよく、これらの
端を直線で結んで被検体の外形表示をしてもよい。

Ｃ発明の効果コ 以にの説明から理解できるように、この発明にあっては
、Ｃスコープ像の表示状態でカーソルの位置とプローブ
の位置とを連動させ、カーソルの位置決めによりＸ−ｚ
スキャンする位置を選択し、Ｃスコープ像に表示された
欠陥の位置をＸ−ＺスキャンしてＢスコープ像表示して
確認し、また、元のＣスコープ像に戻り、別の位置をＸ
−ＺスキャンしてＢスフ−１表示できるので、Ｃスコー
プ像に対応させてＢスコープ像を多数の箇所で採取し、
観察することができる。しかも、そのＸ−Ｚスキャンの
位置もカーソルと連動となっているので容易に選択でき
る。

その結果、Ｃスコープ像との関係でＢスコープ像が効率
よく得られ、被検体に対して全体と、傷とか欠陥との関
係をその全体との関係で把握し易く、効率的な検査がで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明を適用した材料１部品等を検査する
ための画像処理のフローチャート、第２園は、この発明
を適用した材料２部品等を検査するためのＣスコープ画
像処理機能に加えてＢスコープ画像処ｆ弔機能を有する
超音波探傷装置のブロック図、第３図は、表示画像とそ
れに対応するＣスキャンの説明図、第４図は、Ｃスコー
プ像の表示画面の一例の説明図、第５図は、そのＸ−Ｚ
スキャン位置設定をする場合の説明図、第６図は、Ｘ−
Ｚスキャン状態の説明図、第７図は、その表示画面の説
明図である。 ｉ・・・ＸＹＺ走査装置、 １ａ・・・ＸＹＺ軸移動機構、２・・・被検体、３・・
・プローブ、４・・・水槽、４ａ・・・媒質、５…パル
ザ・レシーバ、６・◆・オシロスコープ、７・・・ゲー
ト回路、８・・・Ａ／Ｄ変換器、９・・・ピークディテ
クタ、１０・・・演算処理装置、１１・・・キーボード
、１２・・・画像入出力装置、１３・・・ディスプレイ
、１４・・・ＣＲＴディスプレイ、１５・・・モータコ
ントローラ、 １６・・・画像処理装置、２０・・・超音波探傷装置、
２１・・・Ｚ軸移動部、２２・・・Ｘ及びＹ軸移動部、
２３ａ・・・Ｘ−Ｚスキャン制御プログラム、２３ｂ・
・・Ｃスキャン制御プログラム、２３ｃ・・・プローブ
位置設定プログラム、２３ｅ・・・時間計測プログラム
、 ２３ｄ・・・走査座標表示座標管理プログラム、２３ｆ
・・・表示状態制御プログラム、２３ｇ・・・画像デー
タ記憶部。 第　二　図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）被検体をＣスキャンして測定したＣスコープ像を
   ディスプレイに表示するＣモード測定手段と、前記被検
   体をＸ−Ｚスキャンして測定したＢスコープ像を前記デ
   ィスプレイに表示するＢモード測定手段とを有し、これ
   ら測定モードが選択できる超音波探傷装置において、前
   記Ｃスコープ像をディスプレイに表示しているときに前
   記被検体の平面からみた走査領域の各測定点の座標位置
   と前記ディスプレイに表示される画面上の各画素の座標
   位置とを設定されたＣスキャンの走査条件に応じて対応
   付ける座標管理手段と、前記ディスプレイにＣスコープ
   像が表示された状態でカーソルが画面上に表示されてい
   るときにこのカーソルが位置する前記画素の座標位置に
   基づき前記座標管理手段により管理されるこのカーソル
   が位置する座標位置に対応する前記走査領域の座標位置
   に前記プローブを位置決めするプローブ位置決め手段と
   、測定されたＣスコープ像を記憶する手段と、外部から
   のＣスコープ像表示指示に応じて前記記憶手段から前記
   測定されたＣスコープ像を読出してそれを前記ディスプ
   レイ上に画像表示する表示制御手段とを備え、前記Ｃス
   コープ像が表示されているときに前記カーソルの座標位
   置に対応して位置決めされた前記プローブの座標位置に
   おいて前記Ｂモード測定手段が起動されてＸ−Ｚスキャ
   ンが行われ、前記ディスプレイにその位置を含むＢスコ
   ープ像が表示され、前記表示制御手段は前記Ｃスコープ
   像の表示指示を受けたときに前記管理手段により前記プ
   ローブの座標位置又はカーソルの座標位置のいずれか一
   方を他方に対応させて前記ディスプレイ上に前記カーソ
   ル表示することを特徴とする超音波探傷装置。
2. （２）記憶手段は、測定されたＣスコープ像とともに走
   査条件を記憶し、前記Ｃスコープ像の表示状態において
   カーソルの座標位置に対応して位置決めされたプローブ
   の座標位置においてＢモード測定手段が起動されて、Ｂ
   モード測定手段が前記カーソルの座標位置に従って前記
   走査条件に従ってＸ−Ｚスキャンを行うことを特徴とす
   る請求項１記載の超音波探傷装置。