JPH06265452A - 試料面取り出し装置を具備する自動検査装置 - Google Patents

試料面取り出し装置を具備する自動検査装置

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JPH06265452A
JPH06265452A JP21824391A JP21824391A JPH06265452A JP H06265452 A JPH06265452 A JP H06265452A JP 21824391 A JP21824391 A JP 21824391A JP 21824391 A JP21824391 A JP 21824391A JP H06265452 A JPH06265452 A JP H06265452A
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直人 松芳
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 試料の任意の断面における長手方向を含む全
体像において、撮像による画像データ、およびセンサに
よる分析データを表示して、人手による工程を除き、一
連の検査、分析の自動化を行なう。 【構成】 ミクロトーム等の薄片の試料を形成するカッ
ター取付円盤1に隣接させて、観察装置4,10や分析
装置を設け、画像データおよび分析データから薄片間に
わたるデータを形成し、試料Sの内部状態の全体像を表
示するデータを形成するデータ処理装置を、観察装置
4,10や分析装置に続けて接続し、その出力を表示装
置や記憶装置に出力する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、理科学試料分析、食品
分析、医療分析、工業材料分析等の検査、分析を行なう
自動検査装置に関し、特に被分析試料材料から厚さの薄
い試験片を作成する装置を有し、その試験片作成装置で
作成された試験片の検査、分析を行なう自動検査装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】従来、理科学試料分析、食品分析、医療
分析、工業材料分析等を顕微鏡等により検査、分析を行
なう際には、試料から厚さの薄い試験片を作成して、そ
の試料を顕微鏡等により観察したり、試料を切断して被
測定断面を露出させ、その被測定断面を各種のセンサに
より測定していた。例えば、細胞組織の観察を行なうた
めに、細胞組織をミクロトームにより薄切り、顕微鏡に
より観察することが行なわれている。
【0003】また、医用工学の分野において、計算機に
よる信号処理により、XCTスキャナや超音波を用いた
リアルタイムの断層撮影装置のように、試料の内部を切
断することなく非破壊的に検査することも行なわれてい
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、試料か
ら薄い試験片を作成して、その試料を顕微鏡等により観
察するには、その試料の標本の作成が必要であって、そ
の作成にはかなりの時間と技術を要していた。そのた
め、試料の標本の作成と観察の間、あるいは、試料の標
本の作成と近赤光法やphセンサ、その他のセンサによ
る分析との間には、かなりの時間的ずれがあり、これら
の試料の標本の作成と観察、分析の工程を連続的な動作
により行なうことはできなかった。この時間的ずれは、
変質しやすい試料の分析においては問題であり、試料作
成時の観察が行ないにくい、あるいは、多数の試料を観
察、分析する場合には、試料間に差が生じるといった欠
点があった。また、これらの工程は人手により行なわれ
ており、一連の検査、分析の自動化が求められていた。
【0005】本発明の第1の目的は、上記状況に鑑み
て、試料の標本の作成と観察との間の時間的ずれを少な
くし、試料の標本の作成と観察、分析の工程を連続的な
動作により行ない得る試料面取り出し装置を具備する自
動検査装置を提供することにある。また、本発明の第2
の目的は、これらの検査工程から人手による部分を除
き、一連の検査、分析の自動化を推進する試料面取り出
し装置を具備する自動検査装置を提供することにある。
【0006】更に、本発明の第3の目的は、試料の任意
の断面における長手方向を含む全体像を表示し、観察す
ることにより、表示面においては、データに基づいた表
示とともに、表示断面の試料における位置を表示し得る
試料面取り出し装置を具備する自動検査装置を提供する
にある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、試料の画像、物理的特性、化学的特性を
自動的に検査する装置において、試料内部の試料面を取
り出す装置と、前記試料面取り出し装置に隣接される撮
像装置と、前記試料面取り出し装置に隣接されるセンサ
と、前記撮像装置とセンサとから得られるデータから試
料内部の状態を表すデータを演算するデータ処理装置
と、前記データ処理装置の出力データを表示する表示装
置とから成る。
【0008】
【作用】本発明によれば、ミクロトーム等の薄片の試料
を形成する装置に隣接させて、観察装置や分析装置を設
けることにより構成される。観察装置や分析装置に続い
て、画像データおよび分析データの処理装置が接続さ
れ、表示装置、記憶装置に出力される。さらに、データ
処理装置は、記憶装置に記憶された各薄片ごとのデータ
から薄片間にわたるデータを形成し、試料の内部状態の
全体像のデータを形成する装置も含んでいる。
【0009】分析装置に用いるセンサとしては、例えば
温度、圧力、色などを測定する物理センサや化学物質を
計測する化学センサや、イオン選択性電極、ガスセン
サ、バイオセンサ等を測定対象に応じて選択して用い
る。表示装置は、試料の画像データとともに、分析デー
タを同一画面上に重ね合わせて表示することができる。
【0010】
【実施例】以下、本発明の実施例について図1乃至図1
1を参照しながら詳細に説明する。図1は本発明の実施
例を示す自動検査装置の斜視図であり、回転式ミクロト
ームに適応した例を示している。図2はその自動検査装
置の平面図、図3はその自動検査装置のカメラ側よりの
一部破断側面図である。
【0011】これらの図に示すように、基台上に配置さ
れるベースB1上には、試料Sを薄く切るためのカッタ
ー刃2を回転可能にするカッター取り付け円盤1と、該
円盤1を回転駆動させる円盤駆動機構51、52、53
と、試料Sを微動させるためのステージ58を直進駆動
させるステージ駆動機構54〜59と、カッター刃2に
より新たに切り出された試料面を観察し分析するための
機構等が搭載されている。試料Sとステージ58および
ステージ駆動機構54〜59は、ベースB1上に設けら
れた第二のステージ送り装置ベース板B2上に搭載され
ている。なお、図1には観察、分析機構は示されていな
い。
【0012】図2において、カッター取付円盤1に対し
て一方の側には試料面を観察し分析する顕微鏡4、カメ
ラ(撮像装置)10および各種のセンサ12、14が設
置され、カッター取付円盤1の反対側には試料Sと、円
盤駆動機構51、52、53と、ステージ駆動機構54
〜59が設置されている。ここで、円盤駆動機構は、円
盤駆動用モータ51と、円盤駆動用モータの回転をカッ
ター取付円盤1の回転軸53に伝達する円盤駆動ギヤ5
2により構成され、カッター取付円盤1を回転させ、カ
ッター刃2により試料Sをスライスする。
【0013】一方、ステージ駆動機構は、ステージ駆動
用モータ54と、該ステージ駆動用モータ54の回転駆
動力を伝達する駆動ギヤ55と、該駆動ギヤ55の駆動
をステージ58をスライド可能に支持する支持軸57に
伝達する減速ギヤ56と、試料Sをカッター取付円盤1
の方向に押し出すステージ58と、支持軸57を支持す
るよう支持軸57の両端に設置された軸支持部59とか
ら成る。支持軸57は、2本の軸から成り、試料Sの両
側に該試料Sを挟むよう互いに並行に軸支持部59によ
り支持され、減速ギヤ56により減速されて回転する。
支持軸57の回転により、ステージ58は微速前進し、
試料Sをカッター取付円盤1の方向に押し出す。カッタ
ー取付円盤1の方向に押し出された状態で、カッター取
付円盤1が回転すると、試料Sはカッター刃2により薄
く切り取られ、新しい試料面が現れる。顕微鏡4、カメ
ラ(撮像装置)10および各種のセンサ1(12)・・
・,センサK(14)は、その新しい試料面を観察、分
析する。
【0014】図3は図2において顕微鏡4、カメラ(撮
像装置)10および各種のセンサ1(12)・・・,セ
ンサK(14)のある側から見た図であり、顕微鏡4、
カメラ(撮像装置)10および各種のセンサ1(12)
・・・,センサK(14)を略して示してある。カッタ
ー取付円盤1は、回転軸53により支持され、カッター
刃2が取り付けられている。また、カッター取付円盤1
には、弧状の切り欠き部3が開けられている。弧状の切
り欠き部3は、該部分3を介して試料Sと顕微鏡4、カ
メラ(撮像装置)10および各種のセンサ1(12)・
・・,センサK(14)が対向する位置に形成されてい
る。
【0015】カッター取付円盤1が回転してカッター刃
2が試料Sを通過すると、試料Sは薄切されて新たな試
料面が現れる。さらにカッター取付円盤1が回転する
と、弧状の切り欠き部3が試料面の位置に移動し、該弧
状の切り欠き部3を介して、顕微鏡4、カメラ(撮像装
置)10および各種のセンサ1(12)・・・,センサ
K(14)が試料面が対向し、観察および分析が行なわ
れる。
【0016】顕微鏡4、カメラ(撮像装置)10、およ
び各種のセンサ1(12)・・・,センサK(14)に
よる観察および分析が終了すると、再びカッター取付円
盤1が回転してカッター刃2が試料Sを薄切し、新たな
スライス面における観察および分析が行なわれる。それ
ぞれのスライス面における観察および分析のデータはメ
モリに記憶され、それらのデータを処理することによ
り、試料の断面の解析像を表示することができる。
【0017】図4において、本発明の装置の信号処理の
概略を示す。撮像装置10が試料面と対向すると、走査
制御装置16により試料面は走査されて画像信号を出力
する。撮像装置10の画像信号は、A/D変換回路17
によりデジタル信号に変換され、バッファメモリ20に
記憶される。バッファメモリ20には、走査制御装置1
6のアドレス信号が入力され、画像デジタル信号がアド
レス設定されて記憶される。このバッファメモリ20に
おけるアドレスをアドレス(L,O,M,N)とする。
アドレス(M,N)は撮像装置10で画像をM×Nのマ
トリックス画素により走査して得られる画像信号のアド
レスであり、アドレス(L0)は記憶されているデータ
が画像データであることを示している。
【0018】また、センサ1(12)が試料面と対向す
ると、走査制御装置16により試料面は走査されて画像
信号を出力する。センサ12の検出信号は、A/D変換
回路17によりデジタル信号に変換され、バッファメモ
リ22に記憶される。バッファメモリ22には走査制御
装置16のアドレス信号が入力され、検出デジタル信号
がアドレス設定されて記憶される。このバッファメモリ
22におけるアドレスをアドレス(L1,M,N)とす
る。アドレス(M,N)は、センサ1(12)で画像を
M×Nのマトリックス画素により走査して得られる画像
信号のアドレスであり、アドレス(L1)は記憶されて
いるデータがセンサ1(12)の検出データであること
を示している。
【0019】センサ1(12)と同様にしてセンサK
(14)の検出データがアドレス(LK,M,N)によ
りバッファメモリ24に記憶される。撮像装置10、セ
ンサ1(12)、・・・センサK(14)の走査を制御
するそれぞれの走査制御装置16からは、スライス面の
走査が終了したことを知らせる信号が出力され、論理回
路18に入力される。論理回路18は、撮像装置10、
センサ1(12)、・・・センサK(14)のすべての
走査が完了したことを検知し、走査完了信号をミクロト
ーム駆動制御装置50に送る。
【0020】ミクロトーム駆動制御装置50は、走査完
了信号を受け取ると、円盤駆動用モータ51およびステ
ージ駆動用モータ54を駆動して試料Sの新しい試料面
を薄切し、次のスライス面の画像データおよび検出デー
タの抽出の準備を行なう。ミクロトーム駆動制御装置5
0は、円盤駆動用モータ51およびステージ駆動用モー
タ54に駆動信号を送るとともに、入出力制御回路32
に制御信号を送る。
【0021】制御信号を受けた入出力制御回路32は、
さらにバッファメモリ20,22,24に制御信号を送
り、バッファメモリ20,22,24に記憶されている
画像データ、検出データをデータメモリ26に送る。ミ
クロトーム駆動制御装置50は、入出力制御回路32に
制御信号を送る際、アドレス(Si)で表されるアドレ
ス信号を付与し、バッファメモリ20の画像データはア
ドレス(Si,L0,M,N)のアドレスにより設定さ
れる。
【0022】また、バッファメモリ22の検出データは
アドレス(Si,L1,M,N)のアドレスにより設定
される。同様にバッファメモリ24の検出データは(S
i,LK,M,N)のアドレスにより設定される。ここ
でアドレス(Si)は、ミクロトームにより薄切される
試料Sのi番目の試料面Siを表している。i番目の試
料面Siの画像データおよび検出データの抽出が終了す
ると、それらの画像データおよび検出データを前記のよ
うにアドレスを指定してバッファメモリ20,22,2
4からデータメモリ26への伝送が行なわれ、次に試料
Sのi+1番目の試料面Si+1の画像データおよび検
出データの抽出が行なわれる。
【0023】同様にして、順次試料Sの試料面の観察お
よび分析が行なわれ、それらのデータはデータメモリ2
6に記憶される。最後の試料面の観察および分析が終了
すると、データメモリ26には試料Sの全体の画像デー
タ、検出データが記憶されることになる。図5に上述の
関係が示されている。試料Sは、輪切りにされた試料面
が順に並べられたものとしてみることができ、ミクロト
ームによる薄切りによりにその試料面が順に観察および
分析されることになる。
【0024】次いで、データメモリ26に記憶されたデ
ータは、データ処理装置30を介して信号処理された
後、バッファメモリ28を介してディスプレイ40、記
録装置60に出力される。データ処理装置30では、例
えば画像データにおいては、境界線、辺、縁の抽出や画
像の領域分割、解析や線の追跡や線図形のコード化、リ
スト表現や図形構造のシンタックス表現等の画像の特徴
抽出、あるいは、テクスチャーパラメータ計測や面積、
濃度、モーメント等幾何学的特徴量計測や線図形の位相
的性質の計測や色彩パラメータ計測や各種統計量の計算
等の画像特徴量計測等のデータ処理が行なわれる。
【0025】また、検出データにおいては、温度、圧
力、色などを測定する物理センサや化学物質を計測する
化学センサ、イオン選択性電極、ガスセンサ、バイオセ
ンサ等のセンサの出力の分析が行なわれる。センサの種
類はこれに限られるわけではなく、必要に応じて任意の
ものを用いることができる。上記のデータ処理装置30
の処理の内容は、モード選択装置34からの選択信号に
より選択される。モード選択装置34からの選択信号
は、入出力制御回路32に入力され、処理の内容に応じ
て必要とするデータをデータメモリ26から選択し、デ
ータ処理装置30において処理が行なわれる。データメ
モリ26からのデータの選択およびデータ処理の手順
は、モード選択装置34内のメモリに予め記憶されてお
り、モード選択を行なうことによりメモリの読み出しが
行なわれる。
【0026】また、バッファメモリ20を直接ディスプ
レイ40に接続して撮像装置10の画像データを表示し
てもよい。これにより、センサ1(12)・・・センサ
K(14)のデータ抽出に要する時間の間ディスプレイ
40に表示を行なうことができる。これは一般に撮像装
置10の画像データに要する時間は、センサ1(12)
・・・センサK(14)のデータ抽出に要する時間より
も短いからである。
【0027】本発明の特徴の一つである、試料の任意の
断面の解析像の表示は、モード選択装置34の選択信号
を入出力制御回路32、データ処理装置30、および表
示制御装置36に入力することにより行なわれる。モー
ド選択装置34の選択信号により解析したい断面を指定
すると、それに対応したデータが入出力制御回路32を
介してデータメモリ26から取り出し、該データをデー
タ処理装置30において処理し、表示制御装置36によ
りディスプレイ40に表示あるいは記録装置60に出力
される。また、ディスプレイ40あるいは記録装置60
には解析断面の位置を同時に表示してデータの理解を容
易にさせることもできる。
【0028】表示の例を、試料がハムの場合をとって図
6〜図11に示す。図6は試料がロースハムやボンレス
ハムの例である。図において、符号42はスライス面S
iの断面であり、符号41は解析断面である。解析断面
41には符号42が表示しているスライス面Siを示す
マーカ45が併設されている。また、解析断面41の試
料に対する位置、角度を示す表示43が成されている。
これにより、試料においてどの断面の解析であるかを知
ることができる。
【0029】ロースハムは豚のロース(背肉)を用い、
ボンレスハムはもも肉を用いて、血絞り、塩せき、くん
煙、湯煮、冷却等の加工により形成されるが、ハムの構
成要素の性質をセンサの出力により識別して、解析断面
上において表示することができる。このセンサの出力の
識別は、データ処理装置30において行なわれる。図に
示すロースハムやボンレスハムの例では、斜線部分は脂
肪の部分を示し、その他の部分は赤身の部分を示してい
る。
【0030】図7は、図6と同様に試料がロースハムや
ボンレスハムの例であり、符号46は塩濃度を検出する
センサの出力を表示したものである。図6と同様に符号
42はスライス面Siの断面であり、表示43は符号4
6で表される解析断面の試料に対する位置、角度を表す
他の表示方法である。また、マーカ45は、符号42が
表示しているスライス面Siを示す他の表示方法であ
る。
【0031】図8は、図6において脂肪の部分のみを表
示した例である。図9は試料があらびきウィンナーの例
であり、図6と同様な表示が成されている。図9におい
ては、画像データと分析データが同一の場所に重ねて表
示されている。図10は試料がファインメッシュの例で
あり、図6と同様な表示が成されている。ファインメッ
シュは、脂身と赤身が細かく粉砕され均一に分布してい
るものであるが、図において斜線部分は粉砕が不十分な
部分をしめている。本発明の装置においては、化学的に
異なる性質のみならず、物理的に異なる性質についても
識別し表示することができる。
【0032】図11は、試料がプレスハムの例であり、
図6と同様な表示が成されている。プレスハムは、豚肉
のほか、牛肉、馬肉、マトンなどの肉片を混ぜ合わせて
ケーシングに詰め、一つの肉塊からできたようにしたも
ので、原料肉の配合割合や、肉塊と肉塊の間に使われる
つなぎの量などによって特級、上級、標準に分けられ
る。したがって、図の斜線部分で表されるつなぎの部分
とその他の肉塊部分の識別を表示している。
【0033】図12は、試料が魚の例であり、固形化処
理された魚が、図6のSi断面と同様に表示されてい
る。すなわち、図12(a)におけるA断面が図12
(b)に、B断面が図12(c)に、C断面が図12
(d)にそれぞれ表示されている。これらの図におい
て、51は背鰭、52は脊柱、53は肋骨、54は浮
袋、55は肝臓、56は胃、57は腸、58は腎臓、5
9は生殖線、60は尻鰭である。
【0034】図13は、試料が蚕の例であり、固形化処
理された蚕が、図6のSi断面と同様に表示されてい
る。すなわち、図13(a)におけるA断面が図13
(b)に、B断面が図13(c)に、C断面が図13
(d)に、D断面が図13(e)にそれぞれ表示されて
いる。これらの図において、61は頭、62は脳、63
は食道、64は神経、65は胸脚、66は胸、67は絹
糸腺、68は心臓、69は生殖線原基、70は胃、71
はマルピーギ管、72は腹部、73は後腸、74は尾
脚、75は肛門である。
【0035】図14は、試料がミミズの例であり、固形
化処理されたミミズが、図6のSi断面と同様に表示さ
れている。すなわち、図14(a)におけるA断面が図
14(b)に、A−B線断面が図14(c)にそれぞれ
表示されている。これらの図において、80は表皮、8
1はクチクラ層、82は腎管、83は体腔、84は腹行
血管、85は背行血管、86は複神経、87は環状筋、
88は縦走筋、89は体腔上皮、90は卵、91は消化
管、92は隔膜である。
【0036】上記したように、ミクロトーム等の薄片の
試料を形成する装置の駆動の制御と、観察装置や分析装
置のデータ処理装置とは関連性を有して駆動される。
試料はミクロトーム等の装置により薄片の試料片に形成
され、薄片を形成するごとにその装置に隣接して設けら
れた観察装置や分析装置により観察、分析が行なわれ
て、画像データおよび分析データが得られる。各薄片ご
との観察装置からの画像データや分析装置からの分析デ
ータは、直接あるいは画像処理、演算処理等のデータ処
理が施されたのち、記憶装置に記憶されたり、表示装置
において表示される。分析センサは、試料の測定特性に
応じて選択され、カッターにより試料の新しい断面が現
れるとすぐに分析が行なわれる。
【0037】画像データおよび分析データは、A/D変
換器によりデジタル信号に変換された後、試料の立体的
なアドレスとともにデータメモリに記憶される。データ
メモリに記憶されたデータは、データの種類と、スライ
ス面の位置と、画素の位置に関するアドレスを指定する
ことにより特定される。アドレスを指定することにより
特定されたデータは、画像処理や分析処理を行なうデー
タ処理装置において信号処理され、表示あるいは記憶さ
れる。
【0038】また、モード選択装置により観察したい試
料の断面部を指定することにより、アドレスを選択し、
データメモリからのデータの読み出しを行ない、試料の
任意の面でのデータ処理及び各種のデータの表示を行う
ことができる。なお、上記実施例は回転式ミクロトーム
を用いたが、滑走式ミクロトームや他の装置を用いて本
発明の装置を実施することができることは、言うまでも
ない。
【0039】また、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能で
あり、それらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【0040】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、試料の標本の作成と観察との間の時間的ずれを
少なくし、試料の標本の作成と観察、分析の工程を連続
的な動作により行なうことができる。これにより変質し
やすい試料の分析においては問題を解消でき、多数の試
料を観察、分析する場合の試料間の差をなくすことがで
きる。
【0041】また、これらの工程から人手による部分を
除き、一連の検査、分析の自動化を行なうことができ
る。更に、試料の任意の断面における長手方向を含む全
体像を表示し、観察することができる。表示面において
は、データに基づいた表示とともに、表示断面の試料に
おける位置を表示することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す自動検査装置の斜視図で
ある。
【図2】本発明の実施例を示す自動検査装置の平面図で
ある。
【図3】本発明の実施例を示す自動検査装置のカメラ側
よりの一部破断側面図である。
【図4】本発明の実施例を示す自動検査装置の信号処理
の概略を示す図である。
【図5】本発明の装置において試料とスライス面との関
係を示す概略図である。
【図6】本発明の装置において試料がロースハムやボン
レスハムの第1の例である。
【図7】本発明の装置において試料がロースハムやボン
レスハムの第2の例である。
【図8】本発明の装置において脂肪の部分のみを表示し
た例である。
【図9】本発明の装置において試料があらびきウィンナ
ーの例である。
【図10】本発明の装置において試料がファインメッシ
ュの例である。
【図11】本発明の装置において試料がプレスハムの例
である。
【図12】本発明の装置において試料が魚の例である。
【図13】本発明の装置において試料が蚕の例である。
【図14】本発明の装置において試料がミミズの例であ
る。
【符号の説明】
S 試料 1 カッター取付円盤 2 カッター刃 3 弧状の切り欠き部 4 顕微鏡 10 カメラ,撮像装置 12,14 センサ 16 走査制御装置 17 A/D変換回路 18 論理回路 20,22,24,28 バッファメモリ 26 データメモリ 30 データ処理装置 32 入出力制御回路 34 モード選択回路 40 ディスプレイ 50 ミクロトーム駆動制御装置 51 円盤駆動用モータ 52 円盤駆動ギヤ 53 回転軸 54 ステージ駆動用モータ 55 駆動ギヤ 56 減速ギヤ 57 支持軸 58 ステージ 59 軸支持部 60 記録装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 工藤 謙一 茨城県土浦市中向原635 プリマハム株式 会社中央研究所内 (72)発明者 樋口 俊郎 神奈川県横浜市港北区茅ヶ崎南4−14−1 −109

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 試料の画像、物理的特性、化学的特性を
    検査する自動装置において、(a)試料内部の試料面を
    取り出す装置と、(b)該試料面取り出す装置に隣接さ
    れる撮像装置と、(c)前記試料面取り出す装置に隣接
    されるセンサと、(d)前記撮像装置と前記センサとか
    ら得られるデータから前記試料内部の状態を表すデータ
    を演算するデータ処理装置と、(e)該データ処理装置
    の出力データを表示する表示装置とを有する試料面取り
    出し装置を具備する自動検査装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の自動検査装置において、
    前記試料内部の試料面を取り出す装置は、ミクロトーム
    であることを特徴とする試料面取り出し装置を具備する
    自動検査装置。
  3. 【請求項3】 請求項1記載の自動検査装置において、
    前記試料内部の状態は、試料の長手方向の任意の断面で
    あることを特徴とする試料面取り出し装置を具備する自
    動検査装置。
  4. 【請求項4】 請求項1記載の自動検査装置において、
    前記表示装置は、試料における表示断面位置を同時に表
    示することを特徴とする試料面取り出し装置を具備する
    自動検査装置。
  5. 【請求項5】 請求項1記載の自動検査装置において、
    前記試料内部の状態は、モード選択装置により選択可能
    であることを特徴とする試料面取り出し装置を具備する
    自動検査装置。
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