JPH07109384B2 - 試料面切り出し装置を具備する自動検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、理科学試料分析、食品
分析、医療分析、工業材料分析等の検査、分析を行なう
自動検査装置に関し、特に被分析試料材料から厚さの薄
い試験片を作成する装置を有し、その試験片作成装置で
作成された試験片の検査、分析を行なう自動検査装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、理科学試料分析、食品分析、医療
分析、工業材料分析等を顕微鏡等により検査、分析を行
なう際には、試料から厚さの薄い試験片を作成して、そ
の試料を顕微鏡等により観察したり、試料を切断して被
測定断面を露出させ、その被測定断面を各種のセンサに
より測定していた。例えば、細胞組織の観察を行なうた
めに、細胞組織をミクロトームにより薄切り、顕微鏡に
より観察することが行なわれている。

【０００３】また、医用工学の分野において、計算機に
よる信号処理により、ＸＣＴスキャナや超音波を用いた
リアルタイムの断層撮影装置のように、試料の内部を切
断することなく非破壊的に検査することも行なわれてい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、試料か
ら薄い試験片を作成して、その試料を顕微鏡等により観
察するには、その試料の標本の作成が必要であって、そ
の作成にはかなりの時間と技術を要していた。そのた
め、試料の標本の作成と観察の間、あるいは、試料の標
本の作成と近赤光法やｐｈセンサ、その他のセンサによ
る分析との間には、かなりの時間的ずれがあり、これら
の試料の標本の作成と観察、分析の工程を連続的な動作
により行なうことはできなかった。この時間的ずれは、
変質しやすい試料の分析においては問題であり、試料作
成時の観察が行ないにくい、あるいは、多数の試料を観
察、分析する場合には、試料間に差が生じるといった欠
点があった。また、これらの工程は人手により行なわれ
ており、一連の検査、分析の自動化が求められていた。

【０００５】本発明の第１の目的は、上記状況に鑑み
て、試料の標本の作成と観察との間の時間的ずれを少な
くし、試料の標本の作成と観察、分析の工程を連続的な
動作により行ない得る試料面取り出し装置を具備する自
動検査装置を提供することにある。また、本発明の第２
の目的は、これらの検査工程から人手による部分を除
き、一連の検査、分析の自動化を推進する試料面取り出
し装置を具備する自動検査装置を提供することにある。

【０００６】更に、本発明の第３の目的は、試料の任意
の断面における長手方向を含む全体像を表示し、観察す
ることにより、表示面においては、データに基づいた表
示とともに、表示断面の試料における位置を表示し得る
試料面取り出し装置を具備する自動検査装置を提供する
ことにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、試料の画像、物理的特性、化学的特性を
自動的に検査する装置において、試料を支持する装置
と、前記試料を押し出す装置と、押し出された試料を切
り出す装置と、この装置により切り出され前記試料端部
に新たに現れた試料面を撮像・分析する撮像装置及びセ
ンサと、この撮像装置とセンサとから得られるデータか
ら前記試料内部の状態を表すデータを演算するデータ処
理装置と、このデータ処理装置の出力データを表示する
表示装置とを設けるようにしたものである。

【０００８】

【作用】本発明によれば、ミクロトーム等の薄片の試料
を形成する装置に隣接させて、観察装置や分析装置を設
けることにより構成される。観察装置や分析装置に続い
て、画像データおよび分析データの処理装置が接続さ
れ、表示装置、記憶装置に出力される。さらに、データ
処理装置は、記憶装置に記憶された各薄片ごとのデータ
から薄片間にわたるデータを形成し、試料の内部状態の
全体像のデータを形成する装置も含んでいる。

【０００９】分析装置に用いるセンサとしては、例えば
温度、圧力、色などを測定する物理センサや化学物質を
計測する化学センサや、イオン選択性電極、ガスセン
サ、バイオセンサ等を測定対象に応じて選択して用い
る。表示装置は、試料の画像データとともに、分析デー
タを同一画面上に重ね合わせて表示することができる。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の実施例について図１乃至図１
１を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の実施
例を示す自動検査装置の斜視図であり、回転式ミクロト
ームに適応した例を示している。図２はその自動検査装
置の平面図、図３はその自動検査装置のカメラ側よりの
一部破断側面図である。

【００１１】これらの図に示すように、基台上に配置さ
れるベース板Ｂ１上には、試料Ｓを薄く切るためのカッ
ター刃２を回転可能にするカッター取付円盤１と、該円
盤１を回転駆動させる円盤駆動機構５１〜５３と、試料
Ｓを微動させるためのステージ５８を直進駆動させるス
テージ駆動機構５４〜５９と、カッター刃２により、新
たに切り出された試料面を観察し分析するための機構等
が搭載されている。試料Ｓとステージ５８およびステー
ジ駆動機構５４〜５９は、ベースＢ１上に設けられた第
二のステージ送り装置ベース板Ｂ２上に搭載されてい
る。なお、図１には観察、分析機構は示されていない。

【００１２】図２において、カッター取付円盤１に対し
て一方の側には、試料面を観察し分析する顕微鏡４、カ
メラ（撮像装置）１０および各種のセンサ１２、１４が
設置され、カッター取付円盤１の反対側には試料Ｓと、
円盤駆動機構５１〜５３と、ステージ駆動機構５４〜５
９が設置されている。ここで、円盤駆動機構は、円盤駆
動用モータ５１と、円盤駆動用モータ５１の回転を、カ
ッター取付円盤１の回転軸５３に伝達する円盤駆動ギヤ
５２により構成され、カッター取付円盤１を回転させ、
カッター刃２により試料Ｓをスライスする。

【００１３】一方、ステージ駆動機構は、ステージ駆動
用モータ５４と、該ステージ駆動用モータ５４の回転駆
動力を伝達する駆動ギヤ５５と、該駆動ギヤ５５の駆動
をステージ５８をスライド可能に支持する支持軸５７に
伝達する減速ギヤ５６と、試料Ｓをカッター取付円盤１
の方向に押し出すステージ５８と、支持軸５７を支持す
るよう支持軸５７の両端に設置された軸支持部５９とか
ら成る。

【００１４】支持軸５７は、２本の軸から成り、試料Ｓ
の両側に該試料Ｓを挟むよう互いに並行に軸支持部５９
により支持され、減速ギヤ５６により減速されて回転す
る。支持軸５７の回転により、ステージ５８は微速前進
し、試料Ｓをカッター取付円盤１の方向に押し出す。カ
ッター取付円盤１の方向に押し出された状態で、カッタ
ー取付円盤１が回転すると、試料Ｓはカッター刃２によ
り薄く切り取られ、新しい試料面が現れる。顕微鏡４、
カメラ（撮像装置）１０および各種のセンサ１（１２）
・・・，センサＫ（１４）は、その新しい試料面を観
察、分析する。

【００１５】図３は図２において顕微鏡４、カメラ（撮
像装置）１０および各種のセンサ１（１２）・・・，セ
ンサＫ（１４）のある側から見た図であり、顕微鏡４、
カメラ（撮像装置）１０および各種のセンサ１（１２）
・・・，センサＫ（１４）を略して示してある。カッタ
ー取付円盤１は、回転軸５３により支持され、カッター
刃２が取り付けられている。また、カッター取付円盤１
には、弧状の切り欠き部３が開けられている。弧状の切
り欠き部３は、該切り欠き部３を介して試料Ｓと顕微鏡
４、カメラ（撮像装置）１０および各種のセンサ１（１
２）・・・，センサＫ（１４）が対向する位置に形成さ
れている。

【００１６】カッター取付円盤１が回転してカッター刃
２が試料Ｓを通過すると、試料Ｓは薄切されて新たな試
料面が現れる。さらにカッター取付円盤１が回転する
と、弧状の切り欠き部３が試料面の位置に移動し、該弧
状の切り欠き部３を介して、顕微鏡４、カメラ（撮像装
置）１０および各種のセンサ１（１２）・・・，センサ
Ｋ（１４）が試料面に対向し、観察および分析が行なわ
れる。

【００１７】顕微鏡４、カメラ（撮像装置）１０、およ
び各種のセンサ１（１２）・・・，センサＫ（１４）に
よる観察および分析が終了すると、再びカッター取付円
盤１が回転してカッター刃２が試料Ｓを薄切し、新たな
スライス面における観察および分析が行なわれる。それ
ぞれのスライス面における観察および分析のデータはメ
モリに記憶され、それらのデータを処理することによ
り、試料の断面の解析像を表示することができる。

【００１８】図４において、本発明の装置の信号処理の
概略を示す。撮像装置１０が試料面と対向すると、走査
制御装置１６により試料面は走査されて画像信号を出力
する。撮像装置１０の画像信号は、Ａ／Ｄ変換回路１７
によりデジタル信号に変換され、バッファメモリ２０に
記憶される。バッファメモリ２０には、走査制御装置１
６のアドレス信号が入力され、画像デジタル信号がアド
レス設定されて記憶される。このバッファメモリ２０に
おけるアドレスをアドレス（Ｌ０，Ｍ，Ｎ）とする。ア
ドレス（Ｍ，Ｎ）は撮像装置１０で画像をＭ×Ｎのマト
リックス画素により走査して得られる画像信号のアドレ
スであり、アドレス（Ｌ０）は記憶されているデータが
画像データであることを示している。

【００１９】また、センサ１（１２）が試料面と対向す
る〔機構は、図示しないが、センサ１（１２）が試料面
に対向する位置に移動できればよく、一般的な移動機構
を用いることができる〕と、走査制御装置１６により試
料面は走査されて画像信号を出力する。センサ１２の検
出信号は、Ａ／Ｄ変換回路１７によりデジタル信号に変
換され、バッファメモリ２２に記憶される。バッファメ
モリ２２には走査制御装置１６のアドレス信号が入力さ
れ、検出デジタル信号がアドレス設定されて記憶され
る。このバッファメモリ２２におけるアドレスをアドレ
ス（Ｌ１，Ｍ，Ｎ）とする。アドレス（Ｍ，Ｎ）は、セ
ンサ１（１２）で画像をＭ×Ｎのマトリックス画素によ
り走査して得られる画像信号のアドレスであり、アドレ
ス（Ｌ１）は記憶されているデータがセンサ１（１２）
の検出データであることを示している。

【００２０】センサ１（１２）と同様にしてセンサＫ
（１４）の検出データがアドレス（ＬＫ，Ｍ，Ｎ）によ
りバッファメモリ２４に記憶される。撮像装置１０、セ
ンサ１（１２）、・・・センサＫ（１４）の走査を制御
するそれぞれの走査制御装置１６からは、スライス面の
走査が終了したことを知らせる信号が出力され、論理回
路１８に入力される。論理回路１８は、撮像装置１０、
センサ１（１２）、・・・センサＫ（１４）のすべての
走査が完了したことを検知し、走査完了信号をミクロト
ーム駆動制御装置５０に送る。

【００２１】ミクロトーム駆動制御装置５０は、走査完
了信号を受け取ると、円盤駆動用モータ５１およびステ
ージ駆動用モータ５４を駆動して試料Ｓの新しい試料面
を薄切し、次のスライス面の画像データおよび検出デー
タの抽出の準備を行なう。ミクロトーム駆動制御装置５
０は、円盤駆動用モータ５１およびステージ駆動用モー
タ５４に駆動信号を送るとともに、入出力制御回路３２
に制御信号を送る。

【００２２】制御信号を受けた入出力制御回路３２は、
さらにバッファメモリ２０，２２，２４に制御信号を送
り、バッファメモリ２０，２２，２４に記憶されている
画像データ、検出データをデータメモリ２６に送る。ミ
クロトーム駆動制御装置５０は、入出力制御回路３２に
制御信号を送る際、アドレス（Ｓｉ）で表されるアドレ
ス信号を付与し、バッファメモリ２０の画像データはア
ドレス（Ｓｉ，Ｌ０，Ｍ，Ｎ）のアドレスにより設定さ
れる。

【００２３】また、バッファメモリ２２の検出データは
アドレス（Ｓｉ，Ｌ１，Ｍ，Ｎ）のアドレスにより設定
される。同様にバッファメモリ２４の検出データは（Ｓ
ｉ，ＬＫ，Ｍ，Ｎ）のアドレスにより設定される。ここ
でアドレス（Ｓｉ）は、ミクロトームにより薄切される
試料Ｓのｉ番目の試料面Ｓｉを表している。ｉ番目の試
料面Ｓｉの画像データおよび検出データの抽出が終了す
ると、それらの画像データおよび検出データを前記のよ
うにアドレスを指定してバッファメモリ２０，２２，２
４からデータメモリ２６への伝送が行なわれ、次に、試
料Ｓのｉ＋１番目の試料面Ｓｉ＋１の画像データおよび
検出データの抽出が行なわれる。

【００２４】同様にして、順次試料Ｓの試料面の観察お
よび分析が行なわれ、それらのデータはデータメモリ２
６に記憶される。最後の試料面の観察および分析が終了
すると、データメモリ２６には試料Ｓの全体の画像デー
タ、検出データが記憶されることになる。図５に上述の
関係が示されている。試料Ｓは、輪切りにされた試料面
が順に並べられたものとしてみることができ、ミクロト
ームによる薄切りによりにその試料面が順に観察および
分析されることになる。

【００２５】次いで、データメモリ２６に記憶されたデ
ータは、データ処理装置３０を介して信号処理された
後、バッファメモリ２８を介してディスプレイ４０、記
録装置６０に出力される。データ処理装置３０では、例
えば画像データにおいては、境界線、辺、縁の抽出や画
像の領域分割、解析や線の追跡や線図形のコード化、リ
スト表現や図形構造のシンタックス表現等の画像の特徴
抽出、あるいは、テクスチャーパラメータ計測や面積、
濃度、モーメント等幾何学的特徴量計測や線図形の位相
的性質の計測や色彩パラメータ計測や各種統計量の計算
等の画像特徴量計測等のデータ処理が行なわれる。

【００２６】また、検出データにおいては、温度、圧
力、色などを測定する物理センサや化学物質を計測する
化学センサ、イオン選択性電極、ガスセンサ、バイオセ
ンサ等のセンサの出力の分析が行なわれる。センサの種
類はこれに限られるわけではなく、必要に応じて任意の
ものを用いることができる。上記のデータ処理装置３０
の処理の内容は、モード選択装置３４からの選択信号に
より選択される。モード選択装置３４からの選択信号
は、入出力制御回路３２に入力され、処理の内容に応じ
て必要とするデータをデータメモリ２６から選択し、デ
ータ処理装置３０において処理が行なわれる。データメ
モリ２６からのデータの選択およびデータ処理の手順
は、モード選択装置３４内のメモリに予め記憶されてお
り、モード選択を行なうことによりメモリの読み出しが
行なわれる。

【００２７】また、バッファメモリ２０を直接ディスプ
レイ４０に接続して撮像装置１０の画像データを表示し
てもよい。これにより、センサ１（１２）・・・センサ
Ｋ（１４）のデータ抽出に要する時間の間ディスプレイ
４０に表示を行なうことができる。これは一般に撮像装
置１０の画像データに要する時間は、センサ１（１２）
・・・センサＫ（１４）のデータ抽出に要する時間より
も短いからである。

【００２８】本発明の特徴の一つである、試料の任意の
断面の解析像の表示は、モード選択装置３４の選択信号
を入出力制御回路３２、データ処理装置３０、および表
示制御装置３６に入力することにより行なわれる。モー
ド選択装置３４の選択信号により解析したい断面を指定
すると、それに対応したデータが入出力制御回路３２を
介してデータメモリ２６から取り出し、該データをデー
タ処理装置３０において処理し、表示制御装置３６によ
りディスプレイ４０に表示あるいは記録装置６０に出力
される。また、ディスプレイ４０あるいは記録装置６０
には解析断面の位置を同時に表示してデータの理解を容
易にさせることもできる。

【００２９】表示の例を、試料がハムの場合をとって図
６〜図１１に示す。図６は試料がロースハムやボンレス
ハムの例である。図において、符号４２はスライス面Ｓ
ｉの断面であり、符号４１は解析断面である。解析断面
４１には符号４２が表示しているスライス面Ｓｉを示す
マーカ４５が併設されている。また、解析断面４１の試
料に対する位置、角度を示す表示４３が成されている。
これにより、試料においてどの断面の解析であるかを知
ることができる。

【００３０】ロースハムは豚のロース（背肉）を用い、
ボンレスハムはもも肉を用いて、血絞り、塩せき、くん
煙、湯煮、冷却等の加工により形成されるが、ハムの構
成要素の性質をセンサの出力により識別して、解析断面
上において表示することができる。このセンサの出力の
識別は、データ処理装置３０において行なわれる。図に
示すロースハムやボンレスハムの例では、斜線部分は脂
肪の部分を示し、その他の部分は赤身の部分を示してい
る。

【００３１】図７は、図６と同様に試料がロースハムや
ボンレスハムの例であり、符号４６は塩濃度を検出する
センサの出力を表示したものである。図６と同様に符号
４２はスライス面Ｓｉの断面であり、表示４３は符号４
６で表される解析断面の試料に対する位置、角度を表す
他の表示方法である。また、マーカ４５は、符号４２が
表示しているスライス面Ｓｉを示す他の表示方法であ
る。

【００３２】図８は、図６において脂肪の部分のみを表
示した例である。図９は試料があらびきウィンナーの例
であり、図６と同様な表示が成されている。図９におい
ては、画像データと分析データが同一の場所に重ねて表
示されている。図１０は試料がファインメッシュの例で
あり、図６と同様な表示が成されている。ファインメッ
シュは、脂身と赤身が細かく粉砕され均一に分布してい
るものであるが、図において斜線部分は粉砕が不十分な
部分を示している。本発明の装置においては、化学的に
異なる性質のみならず、物理的に異なる性質についても
識別し表示することができる。

【００３３】図１１は、試料がプレスハムの例であり、
図６と同様な表示が成されている。プレスハムは、豚肉
のほか、牛肉、馬肉、マトンなどの肉片を混ぜ合わせて
ケーシングに詰め、一つの肉塊からできたようにしたも
ので、原料肉の配合割合や、肉塊と肉塊の間に使われる
つなぎの量などによって特級、上級、標準に分けられ
る。したがって、図の斜線部分で表されるつなぎの部分
とその他の肉塊部分の識別を表示している。

【００３４】図１２は、試料が魚の例であり、固形化処
理された魚が、図６のＳｉ断面と同様に表示されてい
る。すなわち、図１２（ａ）におけるＡ断面が図１２
（ｂ）に、Ｂ断面が図１２（ｃ）に、Ｃ断面が図１２
（ｄ）にそれぞれ表示されている。これらの図におい
て、５１は背鰭、５２は脊柱、５３は肋骨、５４は浮
袋、５５は肝臓、５６は胃、５７は腸、５８は腎臓、５
９は生殖線、６０は尻鰭である。

【００３５】図１３は、試料が蚕の例であり、固形化処
理された蚕が、図６のＳｉ断面と同様に表示されてい
る。すなわち、図１３（ａ）におけるＡ断面が図１３
（ｂ）に、Ｂ断面が図１３（ｃ）に、Ｃ断面が図１３
（ｄ）に、Ｄ断面が図１３（ｅ）にそれぞれ表示されて
いる。これらの図において、６１は頭、６２は脳、６３
は食道、６４は神経、６５は胸脚、６６は胸、６７は絹
糸腺、６８は心臓、６９は生殖線原基、７０は胃、７１
はマルピーギ管、７２は腹部、７３は後腸、７４は尾
脚、７５は肛門である。

【００３６】図１４は、試料がミミズの例であり、固形
化処理されたミミズが、図６のＳｉ断面と同様に表示さ
れている。すなわち、図１４（ａ）におけるＡ−Ａ断面
が図１４（ｂ）に、Ａ−Ｂ線断面が図１４（ｃ）にそれ
ぞれ表示されている。これらの図において、８０は表
皮、８１はクチクラ層、８２は腎管、８３は体腔、８４
は腹行血管、８５は背行血管、８６は複神経、８７は環
状筋、８８は縦走筋、８９は体腔上皮、９０は卵、９１
は消化管、９２は隔膜である。

【００３７】上記したように、ミクロトーム等の薄片の
試料を形成する装置の駆動の制御と、観察装置や分析装
置のデータ処理装置とは関連性を有して駆動される。試
料はミクロトーム等の装置により薄片の試料片に形成さ
れ、薄片を形成するごとにその装置に隣接して設けられ
た観察装置や分析装置により観察、分析が行なわれて、
画像データおよび分析データが得られる。各薄片ごとの
観察装置からの画像データや分析装置からの分析データ
は、直接あるいは画像処理、演算処理等のデータ処理が
施されたのち、記憶装置に記憶されたり、表示装置にお
いて表示される。分析センサは、試料の測定特性に応じ
て選択され、カッターにより試料の新しい断面が現れる
とすぐに分析が行なわれる。

【００３８】画像データおよび分析データは、Ａ／Ｄ変
換器によりデジタル信号に変換された後、試料の立体的
なアドレスとともにデータメモリに記憶される。データ
メモリに記憶されたデータは、データの種類と、スライ
ス面の位置と、画素の位置に関するアドレスを指定する
ことにより特定される。アドレスを指定することにより
特定されたデータは、画像処理や分析処理を行なうデー
タ処理装置において信号処理され、表示あるいは記憶さ
れる。

【００３９】また、モード選択装置により観察したい試
料の断面部を指定することにより、アドレスを選択し、
データメモリからのデータの読み出しを行ない、試料の
任意の面でのデータ処理及び各種のデータの表示を行う
ことができる。なお、上記実施例は回転式ミクロトーム
を用いたが、滑走式ミクロトームや他の装置を用いて本
発明の装置を実施することができることは、言うまでも
ない。

【００４０】また、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能で
あり、それらを本発明の範囲から排除するものではな
い。

【００４１】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、試料の標本の作成と観察との間の時間的ずれを
少なくし、試料の標本の作成と観察、分析の工程を連続
的な動作により行なうことができる。これにより変質し
やすい試料の分析においては問題を解消でき、多数の試
料を観察、分析する場合の試料間の差をなくすことがで
きる。

【００４２】また、これらの工程から人手による部分を
除き、一連の検査、分析の自動化を行なうことができ
る。更に、試料の任意の断面における長手方向を含む全
体像を表示し、観察することができる。表示面において
は、データに基づいた表示とともに、表示断面の試料に
おける位置を表示することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示す自動検査装置の斜視図で
ある。

【図２】本発明の実施例を示す自動検査装置の平面図で
ある。

【図３】本発明の実施例を示す自動検査装置のカメラ側
よりの一部破断側面図である。

【図４】本発明の実施例を示す自動検査装置の信号処理
の概略を示す図である。

【図５】本発明の装置において試料とスライス面との関
係を示す概略図である。

【図６】本発明の装置において試料がロースハムやボン
レスハムの第１の例である。

【図７】本発明の装置において試料がロースハムやボン
レスハムの第２の例である。

【図８】本発明の装置において脂肪の部分のみを表示し
た例である。

【図９】本発明の装置において試料があらびきウィンナ
ーの例である。

【図１０】本発明の装置において試料がファインメッシ
ュの例である。

【図１１】本発明の装置において試料がプレスハムの例
である。

【図１２】本発明の装置において試料が魚の例である。

【図１３】本発明の装置において試料が蚕の例である。

【図１４】本発明の装置において試料がミミズの例であ
る。

【符号の説明】

Ｓ 試料 １ カッター取付円盤 ２ カッター刃 ３ 弧状の切り欠き部 ４ 顕微鏡 １０ カメラ（撮像装置） １２，１４ センサ １６ 走査制御装置 １７ Ａ／Ｄ変換回路 １８ 論理回路 ２０，２２，２４，２８ バッファメモリ ２６ データメモリ ３０ データ処理装置 ３２ 入出力制御回路 ３４ モード選択装置 ３６ 表示制御装置 ４０ ディスプレイ ５０ ミクロトーム駆動制御装置 ５１ 円盤駆動用モータ ５２ 円盤駆動ギヤ ５３ 回転軸 ５４ ステージ駆動用モータ ５５ 駆動ギヤ ５６ 減速ギヤ ５７ 支持軸 ５８ ステージ ５９ 軸支持部 ６０ 記録装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 樋口 俊郎 神奈川県横浜市港北区茅ヶ崎南４−14−１ −109 審査官 白石 光男 (56)参考文献 特開 平２−299643（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−148278（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−67163（ＪＰ，Ａ) 特表 平４−507296（ＪＰ，Ａ)

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料の画像、物理的特性、化学的特性を
   検査する自動装置において、（ａ）試料を支持する装置と 、（ｂ）前記試料を押し出す装置と、 （ｃ）押し出された 試料を切り出す装置と、（ｄ）該装置により切り出され前記試料端部に新たに現
   れた試料面を撮像・分析する撮像装置及び センサと、（ｅ）該撮像装置と センサとから得られるデータから前
   記試料内部の状態を表すデータを演算するデータ処理装
   置と、 （ｆ）該データ処理装置の出力データを表示する表示装
   置とを有する試料面切り出し装置を具備する自動検査装
   置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の自動検査装置において、
   前記試料を切り出す装置は、ミクロトームであることを
   特徴とする試料面切り出し装置を具備する自動検査装
   置。
3. 【請求項３】 請求項１記載の自動検査装置において、
   前記試料内部の状態は、試料の長手方向の任意の断面状
   態であることを特徴とする試料面切り出し装置を具備す
   る自動検査装置。
4. 【請求項４】 請求項１記載の自動検査装置において、
   前記表示装置は、試料における表示断面位置を同時に表
   示することを特徴とする試料面切り出し装置を具備する
   自動検査装置。
5. 【請求項５】 請求項１記載の自動検査装置において、
   前記試料内部の状態は、モード選択装置により選択可能
   であることを特徴とする試料面切り出し装置を具備する
   自動検査装置。