JPH0364449A - 透明蒸着フィルム - Google Patents
透明蒸着フィルムInfo
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- JPH0364449A JPH0364449A JP20153989A JP20153989A JPH0364449A JP H0364449 A JPH0364449 A JP H0364449A JP 20153989 A JP20153989 A JP 20153989A JP 20153989 A JP20153989 A JP 20153989A JP H0364449 A JPH0364449 A JP H0364449A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、工業材料、医薬品、食品等の包装材、袋、
容器等の各種の用途に使用出来る透明蒸着フィルムに関
し、詳細には、酸素等のガスや水蒸気の透過を防止する
いわゆるバリヤー性に特に優れたハイバリヤー性、強密
着性、及び非カール性の透明蒸着フィルムに係るもので
ある。
容器等の各種の用途に使用出来る透明蒸着フィルムに関
し、詳細には、酸素等のガスや水蒸気の透過を防止する
いわゆるバリヤー性に特に優れたハイバリヤー性、強密
着性、及び非カール性の透明蒸着フィルムに係るもので
ある。
（従来の技術）
バリヤー性を右する透明蒸着フィルムとしては従来、透
り１フイルムの表面に、珪素酸化物蒸着膜又はアルミ酸
化物蒸着膜を形成したものが知られていて、いずれも、
袋、容器等に使用されている。
り１フイルムの表面に、珪素酸化物蒸着膜又はアルミ酸
化物蒸着膜を形成したものが知られていて、いずれも、
袋、容器等に使用されている。
〈発明が解決しようとする課題）
しかし、珪素酸化物自体Ｕ＜ｔを形成したもの（よ、蒸
着膜厚を大にすると、ひび割れ、ひび割れに伴うバリヤ
ー性不良、密着不良、カール性等々の各種の品質不良が
生じる。そのため蒸着膜厚を比較的小にすると、バリヤ
ー性がそれ程得られない。
着膜厚を大にすると、ひび割れ、ひび割れに伴うバリヤ
ー性不良、密着不良、カール性等々の各種の品質不良が
生じる。そのため蒸着膜厚を比較的小にすると、バリヤ
ー性がそれ程得られない。
また、アルミ酸化物蒸着１ｉ、ｊを形成したものも、蒸
着膜厚を大にすると、珪素酸化物蒸着膜を形成したもの
と同様の欠点があると共に、蒸着膜厚を比較的小にする
と、珪素酸化物蒸着膜を形成したものよりバリヤー性が
劣る。
着膜厚を大にすると、珪素酸化物蒸着膜を形成したもの
と同様の欠点があると共に、蒸着膜厚を比較的小にする
と、珪素酸化物蒸着膜を形成したものよりバリヤー性が
劣る。
この発明は、特に優れたバリヤー性を有し、しかも、ひ
び割れ、ひび割れに（ｌうバリヤー性不良、密着不良、
カール性等々の各種の品質不良のない、ハイバリヤー性
、強密着性、及び非カール性の透明蒸着フィルムを提供
するものである。
び割れ、ひび割れに（ｌうバリヤー性不良、密着不良、
カール性等々の各種の品質不良のない、ハイバリヤー性
、強密着性、及び非カール性の透明蒸着フィルムを提供
するものである。
（課題を解決するだめの手段〉
この発明は、透明フィルムの少くとも片面に、厚さ２０
００λ以下のアルミ酸化物蒸着膜を形成し、そのアルミ
酸化物蒸着膜の」二に、厚さ２０００Ａ以下の珪素酸化
物蒸着膜を形成したことを特徴とする、ハイバリヤー性
、強密着性、及び非カール性の透明蒸着フィルムである
。
００λ以下のアルミ酸化物蒸着膜を形成し、そのアルミ
酸化物蒸着膜の」二に、厚さ２０００Ａ以下の珪素酸化
物蒸着膜を形成したことを特徴とする、ハイバリヤー性
、強密着性、及び非カール性の透明蒸着フィルムである
。
また、この発明は、透明フィルムの少くとも片面に、厚
さ２０００Å以下のアルミ酸化物蒸着膜を形成し、その
アルミ酸化物蒸着膜の上に、厚さ２０００Å以下の珪素
酸化物蒸着膜を形成し、その珪素酸化物蒸着膜の上に、
厚さ２０００大以下のアルミ酸化物蒸着膜を形成したこ
とを特徴とする、ハイバリヤー性、強密着性、及び非カ
ール性の透明蒸着フィルムである。
さ２０００Å以下のアルミ酸化物蒸着膜を形成し、その
アルミ酸化物蒸着膜の上に、厚さ２０００Å以下の珪素
酸化物蒸着膜を形成し、その珪素酸化物蒸着膜の上に、
厚さ２０００大以下のアルミ酸化物蒸着膜を形成したこ
とを特徴とする、ハイバリヤー性、強密着性、及び非カ
ール性の透明蒸着フィルムである。
さらに、この発明は、透明フィルムの少くとも片面に、
厚さ２０００大以下の珪素酸化物蒸着膜を形成し、その
珪素酸化物蒸着膜の」二に、厚さ２ｏｏｏÅ以下のアル
ミ酸化物蒸着膜を形成したことを特徴とする、ハイパリ
Ａ・−性、強密若性、及び非カール性の透明蒸着フィル
ムである。
厚さ２０００大以下の珪素酸化物蒸着膜を形成し、その
珪素酸化物蒸着膜の」二に、厚さ２ｏｏｏÅ以下のアル
ミ酸化物蒸着膜を形成したことを特徴とする、ハイパリ
Ａ・−性、強密若性、及び非カール性の透明蒸着フィル
ムである。
さらにまた、この発明は、透明フィルムの少くとも片面
に、厚さ２０００Å以下の珪素酸化物蒸着膜を形成し、
その珪素酸化物蒸着膜の」二に、Ｊｒｉさ２０００Å以
下のアルミ酸化物蒸着膜を形成し、そのアルミ酸化物蒸
着膜の上に、厚さ２０００Å以下の珪素酸化物蒸着膜を
形成したことを特徴とする、ハイバリヤー性、強密着性
、及び非カール性の透明蒸着フィルムである。
に、厚さ２０００Å以下の珪素酸化物蒸着膜を形成し、
その珪素酸化物蒸着膜の」二に、Ｊｒｉさ２０００Å以
下のアルミ酸化物蒸着膜を形成し、そのアルミ酸化物蒸
着膜の上に、厚さ２０００Å以下の珪素酸化物蒸着膜を
形成したことを特徴とする、ハイバリヤー性、強密着性
、及び非カール性の透明蒸着フィルムである。
透明フィルムとしては、Ｉ）＋７．Ｔ、ＯＰＰ、ナイロ
ン、エバール、ｐｖｃ、フッ素、ＬＤＰＩＥ、ＰＶＡ等
の透明フィルムやポリイミド等のエンプラ透明フィルム
等々が使用出来る。透明フィルムは、適宜の樹脂ヨー１
〜をしたり適宜のフィルムをラミネートしたものでもよ
く、この様なものもこの発明の透明フィルムに含まれる
。樹脂コートやラミホー１〜は、ヒー１−シール性を付
ｊｉ−する等のために有益である。
ン、エバール、ｐｖｃ、フッ素、ＬＤＰＩＥ、ＰＶＡ等
の透明フィルムやポリイミド等のエンプラ透明フィルム
等々が使用出来る。透明フィルムは、適宜の樹脂ヨー１
〜をしたり適宜のフィルムをラミネートしたものでもよ
く、この様なものもこの発明の透明フィルムに含まれる
。樹脂コートやラミホー１〜は、ヒー１−シール性を付
ｊｉ−する等のために有益である。
アルミ酸化物蒸着１３！の形成は、真空蒸着、スパッタ
リング、イオンブレーティング等の公知の蒸着手段によ
りアルミ酸化物自体を蒸着すればよく、また、アルミ又
はアルミ酸化物を酸化雰囲気中で蒸着する反応蒸着を採
用してもよい。
リング、イオンブレーティング等の公知の蒸着手段によ
りアルミ酸化物自体を蒸着すればよく、また、アルミ又
はアルミ酸化物を酸化雰囲気中で蒸着する反応蒸着を採
用してもよい。
アルミ酸化物蒸着膜は、Ｊゾさ２０００Å以下に、好ま
しくは８００六以下に形成する。アルミ酸化物蒸着膜が
２０００人より厚いと、ひび割れや密着不良等が生じて
くる。
しくは８００六以下に形成する。アルミ酸化物蒸着膜が
２０００人より厚いと、ひび割れや密着不良等が生じて
くる。
アルミ酸化物蒸着膜は全光線透過率が大体７０％以」二
の透明に形成する。
の透明に形成する。
珪素酸化物蒸着膜の形成は、真空蒸着等のアルミ酸化物
蒸着膜と同じ手段により珪素酸化物自体を蒸着すればよ
く、また、珪素又は珪素酸化物を酸化雰囲気中で蒸着す
る反応蒸着を採用してもよい。
蒸着膜と同じ手段により珪素酸化物自体を蒸着すればよ
く、また、珪素又は珪素酸化物を酸化雰囲気中で蒸着す
る反応蒸着を採用してもよい。
珪素酸化物蒸着膜は、厚さ２０００大以下に、好ましく
は１５ｏｏＡ以下に形成する。珪素酸化物蒸着膜が２０
００Ａより厚いと、珪素酸化物蒸着膜が透明から淡黄色
となると共に、ひび割れが発生し易くなる。
は１５ｏｏＡ以下に形成する。珪素酸化物蒸着膜が２０
００Ａより厚いと、珪素酸化物蒸着膜が透明から淡黄色
となると共に、ひび割れが発生し易くなる。
珪素酸化物蒸着膜は全光線透過率が大体７０％以上の透
明に形成する。
明に形成する。
透明フィルムとアルミ酸化物蒸着膜と珪素酸化物蒸着膜
とは次のように構成する。
とは次のように構成する。
第１の構成としては、透明フィルムの少くとも片面に、
アルミ酸化物蒸着膜を形成し、そのアルミ酸化物蒸着膜
の上に、珪素酸化物蒸着膜を形成する。
アルミ酸化物蒸着膜を形成し、そのアルミ酸化物蒸着膜
の上に、珪素酸化物蒸着膜を形成する。
第２の構成としては、透明フィルムの少くとも片面に、
アルミ酸化物蒸着膜を形成し、そのアルミ酸化物蒸着膜
の上に、珪素酸化物蒸着膜を形成し、その珪素酸化物蒸
着膜の上に、アルミ酸化物蒸着膜を形成する。
アルミ酸化物蒸着膜を形成し、そのアルミ酸化物蒸着膜
の上に、珪素酸化物蒸着膜を形成し、その珪素酸化物蒸
着膜の上に、アルミ酸化物蒸着膜を形成する。
第３の構成としては、透明フィルムの少くとも片面に、
珪素酸化物蒸着膜を形成し、その珪素酸化物蒸着膜の上
に、アルミ酸化物蒸着膜を形成する。
珪素酸化物蒸着膜を形成し、その珪素酸化物蒸着膜の上
に、アルミ酸化物蒸着膜を形成する。
第４の構成としては、透明フィルムの少くとも片面に、
珪素酸化物蒸着膜を形成し、その珪素酸化物蒸着膜の上
に、アルミ酸化物蒸着膜を形成し、そのアルミ酸化物蒸
着膜の上に、珪素酸化物蒸着膜を形成する。
珪素酸化物蒸着膜を形成し、その珪素酸化物蒸着膜の上
に、アルミ酸化物蒸着膜を形成し、そのアルミ酸化物蒸
着膜の上に、珪素酸化物蒸着膜を形成する。
このようにこの発明は、透明フィルムの少くとも片面に
、アルミ酸化物蒸着膜と珪素酸化物蒸着膜とを積層した
もの、又はその積層したものにさらにアルミ酸化物蒸着
膜か珪素酸化物蒸着膜を積層してサンドイッチしたもの
を、形成することを特徴とするものである。
、アルミ酸化物蒸着膜と珪素酸化物蒸着膜とを積層した
もの、又はその積層したものにさらにアルミ酸化物蒸着
膜か珪素酸化物蒸着膜を積層してサンドイッチしたもの
を、形成することを特徴とするものである。
アルミ酸化物蒸着膜と珪素酸化物蒸着膜は、同一真空中
で一工程で形成してもよく、また、別々の真空中で別々
の工程で形成してもよい。
で一工程で形成してもよく、また、別々の真空中で別々
の工程で形成してもよい。
アルミ酸化物蒸着膜又は珪素酸化物蒸着股上には、別途
透明な酸化物の薄膜を設けたり、別途フィルムをラミネ
ートしたり、適宜の樹脂により保護層を設けたり、或い
は、アルミ酸化物蒸着膜、珪素酸化物蒸着膜、別途設け
た透明な酸化物の薄膜、別途ラミネートしたフィルム、
又は保護層の上に、接着層を全面的又は部分的に設けて
もよく、この発明はこの様にしたものも含む、接着層は
、ヒートシール性を付与する等のために有益である。
透明な酸化物の薄膜を設けたり、別途フィルムをラミネ
ートしたり、適宜の樹脂により保護層を設けたり、或い
は、アルミ酸化物蒸着膜、珪素酸化物蒸着膜、別途設け
た透明な酸化物の薄膜、別途ラミネートしたフィルム、
又は保護層の上に、接着層を全面的又は部分的に設けて
もよく、この発明はこの様にしたものも含む、接着層は
、ヒートシール性を付与する等のために有益である。
この発明は、ハイバリヤー性、強密着性、及び非カール
性の透明蒸着フィルムとして、工業材料医薬品、食品等
の包装材、袋、容器等の各種の用途に使用出来る。特に
、電子レンジ用食品に使用した場合には、ハイバリヤー
性、強密着性、及び非カール性を有するのみならず、ス
パークすることがなく、とりわけ有益である６ （実施例〉 厚さ１２μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムの
片面に、真空蒸着に上りアルミ酸化物蒸着膜を、各種の
膜厚に変化させて形成した。
性の透明蒸着フィルムとして、工業材料医薬品、食品等
の包装材、袋、容器等の各種の用途に使用出来る。特に
、電子レンジ用食品に使用した場合には、ハイバリヤー
性、強密着性、及び非カール性を有するのみならず、ス
パークすることがなく、とりわけ有益である６ （実施例〉 厚さ１２μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムの
片面に、真空蒸着に上りアルミ酸化物蒸着膜を、各種の
膜厚に変化させて形成した。
次に、そのアルミ酸化物蒸着股上に、真空蒸着により珪
素酸化物蒸着膜を、各種の膜厚に変化させて形成し、こ
の発明の、ハイバリヤー性、強密着性、及び非カール性
の透明蒸着フィルムを各種得た。
素酸化物蒸着膜を、各種の膜厚に変化させて形成し、こ
の発明の、ハイバリヤー性、強密着性、及び非カール性
の透明蒸着フィルムを各種得た。
得られた夫々について、酸素透過量、水蒸気透過量、密
着強度、及び非カール性について測定又は評価した。
着強度、及び非カール性について測定又は評価した。
結果は表１〜表４に記載の通りであった。
表１．酸素透過量（ｃｃ／ｎ？、２４ｈｒｓ、ａｔｍ）
表２．水蒸気透過量（ｇ／ｎ？、２４ｈｒｓ）表３．密
着強度（ｇ／１５ｍｍ幅 Ｔ型剥離試＠）表４．非カー
ル竹ハカールなし一〇 カールあり−×）（発明の効果
） この発明は、透１’ＪＩフィルムの少くとも片面に、厚
さ２０００Å以下のアルミ酸化物蒸着膜と厚さ２０００
Å以下の珪素酸化物蒸着膜とを積層して形成したから、
酸素透過量が少なく酸素バリヤー性が特に殴れていて、
ハイバリヤー性を有している。
表２．水蒸気透過量（ｇ／ｎ？、２４ｈｒｓ）表３．密
着強度（ｇ／１５ｍｍ幅 Ｔ型剥離試＠）表４．非カー
ル竹ハカールなし一〇 カールあり−×）（発明の効果
） この発明は、透１’ＪＩフィルムの少くとも片面に、厚
さ２０００Å以下のアルミ酸化物蒸着膜と厚さ２０００
Å以下の珪素酸化物蒸着膜とを積層して形成したから、
酸素透過量が少なく酸素バリヤー性が特に殴れていて、
ハイバリヤー性を有している。
例えば、表１の値（以下単位省略）をみてみると、アル
ミ酸化物蒸着膜厚５ｏｏ入で珪素酸化物蒸着膜がないと
きの酸素透過量は】Ｏであり、珪素酸化物蒸着膜厚６０
０人、］００００人２０００大でアルミ酸化物蒸着膜が
ないときの酸素透過量は夫々、１．５．１．１，５であ
るが、アルミ酸化物蒸着膜厚５ｏｏ入Ｊ＝にＪｊ（水酸
化物蒸着）膜厚６００Ａ、１．０００ Ａ、２０００人
を形成した場合の酸素透過量は夫々、０．２．０２以下
、０゜８であり、極めて優れた酸素バリヤー性を存して
いて、酸素バリヤー性について相乗効果がある。
ミ酸化物蒸着膜厚５ｏｏ入で珪素酸化物蒸着膜がないと
きの酸素透過量は】Ｏであり、珪素酸化物蒸着膜厚６０
０人、］００００人２０００大でアルミ酸化物蒸着膜が
ないときの酸素透過量は夫々、１．５．１．１，５であ
るが、アルミ酸化物蒸着膜厚５ｏｏ入Ｊ＝にＪｊ（水酸
化物蒸着）膜厚６００Ａ、１．０００ Ａ、２０００人
を形成した場合の酸素透過量は夫々、０．２．０２以下
、０゜８であり、極めて優れた酸素バリヤー性を存して
いて、酸素バリヤー性について相乗効果がある。
アルミ酸化物蒸着ＩＢ！ ）ゾ］、 ＯＯＯＡ Ｊブ」
二又は珪素酸化物蒸着膜厚２０００ Ａ辺−１−では酸
素透過量は増える傾向にある。これは、蒸着膜の内部応
力に起因するひび割れによるものと考えられる。
二又は珪素酸化物蒸着膜厚２０００ Ａ辺−１−では酸
素透過量は増える傾向にある。これは、蒸着膜の内部応
力に起因するひび割れによるものと考えられる。
この発明は、透明フィルムの少くとも片面に、厚さ２０
００Å以下のアルミ酸化物蒸着膜と厚さ２０００Å以下
の珪素酸化物蒸着膜とを積層して形成したから、水蒸気
透過量が少なく水蒸気バリヤー性が特に優れていて、ハ
イバリヤー性を有している。
００Å以下のアルミ酸化物蒸着膜と厚さ２０００Å以下
の珪素酸化物蒸着膜とを積層して形成したから、水蒸気
透過量が少なく水蒸気バリヤー性が特に優れていて、ハ
イバリヤー性を有している。
例えば、表２の値（以下単位省略）をみてみると、アル
ミ酸化物蒸着１模ＪＶ ５００ Ａで珪素酸化物蒸着膜
がないときの水蒸気透過４ｉｔは２６であり、珪素酸化
物蒸着膜厚６００Ａ、１．０００大、２０００λでアル
ミ酸化物熱ｆｒ ＩＢ！かないときの水蒸気透過量は大
々、５．１．２であるか、アルミ酸化物蒸着膜厚５００
Ａ Ｌに工１“水酸化杓蒸着膜厚６００人、１．００
０ Ａ、２００ Ｑλを形成した場合の水蒸気透過量は
夫々、０２．０．；）す、下、１であり、極めて１憂ｉ
ｔノごノ１（５偵気バリヤー性をｔＴ していて、水蒸
気バリー＼′−性について相乗効果がある。
ミ酸化物蒸着１模ＪＶ ５００ Ａで珪素酸化物蒸着膜
がないときの水蒸気透過４ｉｔは２６であり、珪素酸化
物蒸着膜厚６００Ａ、１．０００大、２０００λでアル
ミ酸化物熱ｆｒ ＩＢ！かないときの水蒸気透過量は大
々、５．１．２であるか、アルミ酸化物蒸着膜厚５００
Ａ Ｌに工１“水酸化杓蒸着膜厚６００人、１．００
０ Ａ、２００ Ｑλを形成した場合の水蒸気透過量は
夫々、０２．０．；）す、下、１であり、極めて１憂ｉ
ｔノごノ１（５偵気バリヤー性をｔＴ していて、水蒸
気バリー＼′−性について相乗効果がある。
アルミ欣化物蒸着＋１４！Ｉゾ］ ０００ Ａ 以、、
ｌＶ、ハＬｆＩ 水酸化物蒸着Ｊ膜厚２０００λ以１−
４では水蒸気透過量は増える傾向にある。これ（」、蒸
着膜の内部応力に起因するひび割れに、１−るものと冬
えられる。
ｌＶ、ハＬｆＩ 水酸化物蒸着Ｊ膜厚２０００λ以１−
４では水蒸気透過量は増える傾向にある。これ（」、蒸
着膜の内部応力に起因するひび割れに、１−るものと冬
えられる。
この発明は、透明）１ルｌ−１の少く°−も片面に、厚
さ２０００人以Ｆ０アルミ酸化物蒸着膜とＪｌさ２００
０λ以下の珪素酸化物蒸着膜とを積層して形成し・たか
ら、密着強度が特に仙・１、強密着性を有している。
さ２０００人以Ｆ０アルミ酸化物蒸着膜とＪｌさ２００
０λ以下の珪素酸化物蒸着膜とを積層して形成し・たか
ら、密着強度が特に仙・１、強密着性を有している。
例えば、表３の値（す千単位省略）をみてみると、アル
ミ酸化物蒸着膜厚５０ｏλで珪素酸化物蒸着膜がないと
きの密着強度は］３８であり、ｆ１三素水酸物蒸着膜厚
６００人、１０００λ、２０００Åでアルミ酸化物蒸着
膜がないときの密着強度は夫々、１０５．９３．６３で
あるが、アルミ酸化物蒸着膜厚５００人上に珪素酸化物
蒸着膜厚６００人、１０００天、２０００人を形成した
場合の密着強度は夫々、２４３．２１３．２００であり
、極めて殴れた密着強度を存していて、密着強度につい
て相乗効果がある。
ミ酸化物蒸着膜厚５０ｏλで珪素酸化物蒸着膜がないと
きの密着強度は］３８であり、ｆ１三素水酸物蒸着膜厚
６００人、１０００λ、２０００Åでアルミ酸化物蒸着
膜がないときの密着強度は夫々、１０５．９３．６３で
あるが、アルミ酸化物蒸着膜厚５００人上に珪素酸化物
蒸着膜厚６００人、１０００天、２０００人を形成した
場合の密着強度は夫々、２４３．２１３．２００であり
、極めて殴れた密着強度を存していて、密着強度につい
て相乗効果がある。
この発明は、透明フィルムの少ぐとも片面に、厚さ２０
００大以下のアルミ酸化物蒸着膜と厚さ２０００λ以下
の珪素酸化物蒸着膜とを積層して形成したから、非カー
ル性について相乗効果を有している。
００大以下のアルミ酸化物蒸着膜と厚さ２０００λ以下
の珪素酸化物蒸着膜とを積層して形成したから、非カー
ル性について相乗効果を有している。
例えば、表４をみてみると、珪素酸化物蒸着膜厚１ｏｏ
ｏＡ以上でアルミ酸化物蒸着膜がないときはカールがあ
るが、アルミ酸化物蒸着股上に珪素酸化物蒸着膜を形成
した場合は、珪素酸化物蒸着膜厚１０００大以上でも、
カールがなくなる傾向がある。
ｏＡ以上でアルミ酸化物蒸着膜がないときはカールがあ
るが、アルミ酸化物蒸着股上に珪素酸化物蒸着膜を形成
した場合は、珪素酸化物蒸着膜厚１０００大以上でも、
カールがなくなる傾向がある。
Claims (4)
- （１）透明フィルムの少くとも片面に、厚さ２０００Å
以下のアルミ酸化物蒸着膜を形成し、そのアルミ酸化物
蒸着膜の上に、厚さ２０００Å以下の珪素酸化物蒸着膜
を形成したことを特徴とする、ハイバリヤー性、強密着
性、及び非カール性の透明蒸着フィルム。 - （２）透明フィルムの少くとも片面に、厚さ２０００Å
以下のアルミ酸化物蒸着膜を形成し、そのアルミ酸化物
蒸着膜の上に、厚さ２０００Å以下の珪素酸化物蒸着膜
を形成し、その珪素酸化物蒸着膜の上に、厚さ２０００
Å以下のアルミ酸化物蒸着膜を形成したことを特徴とす
る、ハイバリヤー性、強密着性、及び非カール性の透明
蒸着フィルム。 - （３）透明フィルムの少くとも片面に、厚さ２０００Å
以下の珪素酸化物蒸着膜を形成し、その珪素酸化物蒸着
膜の上に、厚さ２０００Å以下のアルミ酸化物蒸着膜を
形成したことを特徴とする、ハイバリヤー性、強密着性
、及び非カール性の透明蒸着フィルム。 - （４）透明フィルムの少くとも片面に、厚さ２０００Å
以下の珪素酸化物蒸着膜を形成し、その珪素酸化物蒸着
膜の上に、厚さ２０００Å以下のアルミ酸化物蒸着膜を
形成し、そのアルミ酸化物蒸着膜の上に、厚さ２０００
Å以下の珪素酸化物蒸着膜を形成したことを特徴とする
、ハイバリヤー性、強密着性、及び非カール性の透明蒸
着フィルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20153989A JPH0364449A (ja) | 1989-08-02 | 1989-08-02 | 透明蒸着フィルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20153989A JPH0364449A (ja) | 1989-08-02 | 1989-08-02 | 透明蒸着フィルム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0364449A true JPH0364449A (ja) | 1991-03-19 |
Family
ID=16442727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20153989A Pending JPH0364449A (ja) | 1989-08-02 | 1989-08-02 | 透明蒸着フィルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0364449A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0460966A2 (en) * | 1990-06-08 | 1991-12-11 | Flex Products, Inc. | Barrier film having high colorless transparency and method of manufacture thereof |
| WO2012133704A1 (ja) * | 2011-03-31 | 2012-10-04 | 三菱樹脂株式会社 | ガスバリア積層フィルムとその製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60189704A (ja) * | 1984-03-09 | 1985-09-27 | Univ Kyoto | 周期性を有する酸化物多層膜 |
| JPS6386860A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-18 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | 連続蒸着フイルムの製造方法 |
| JPS63223163A (ja) * | 1987-03-13 | 1988-09-16 | Toray Ind Inc | 透明ガスバリアフイルムの製造方法 |
-
1989
- 1989-08-02 JP JP20153989A patent/JPH0364449A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| EP0460966A3 (ja) * | 1990-06-08 | 1995-01-04 | Flex Products Inc | |
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| EP2692523A4 (en) * | 2011-03-31 | 2015-05-06 | Mitsubishi Plastics Inc | GAS BARRIER LAMINATE FILM AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR |
| JP5919260B2 (ja) * | 2011-03-31 | 2016-05-18 | 三菱樹脂株式会社 | ガスバリア積層フィルムとその製造方法 |
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