JP3438555B2 - 高透明酸化珪素蒸着フィルム - Google Patents
高透明酸化珪素蒸着フィルムInfo
- Publication number
- JP3438555B2 JP3438555B2 JP32730397A JP32730397A JP3438555B2 JP 3438555 B2 JP3438555 B2 JP 3438555B2 JP 32730397 A JP32730397 A JP 32730397A JP 32730397 A JP32730397 A JP 32730397A JP 3438555 B2 JP3438555 B2 JP 3438555B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon oxide
- oxidation
- film
- oxide layer
- degree
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)
Description
ルム上に酸化珪素を積層した複合フィルムに関するもの
であり、さらに詳細には、食品や医薬品の包装に適した
高度の酸素や水蒸気バリア性を有し、さらに高度の透明
性をも有した複合フィルムに関する。
リエステルフィルムで代表されるプラスチックフィルム
上に積層された複合フィルムは、酸素バリア性や水蒸気
バリア性を有し、かつ透明性を有するので食品などの包
装フィルムとして好んで用いられてきた。
バリア性を有する酸化珪素膜を形成するには、その酸化
度に留意する必要があった。この酸化度とは、酸化珪素
の組成式SiOx で表されるxの値であって、フィルム
上に積層された酸化珪素の酸化度が1.8以上の場合
は、酸化珪素膜は高透明となり、透明性を必要とする包
装用途としては好適となるが、酸素バリア性や水蒸気バ
リア性には不十分であり、バリア性を要求される包装用
途には不適なものとなる。すなわち一般的には透明性と
酸素バリア性や水蒸気バリア性を必要とするので、上記
範囲の酸化度の酸化珪素が積層されたフィルムは、包装
用途としては用いられていない。実際には、酸素バリア
性や水蒸気バリア性を優先するので、透明性を犠牲にし
て、酸化度が1.3〜1.6の酸化珪素を積層した複合
フィルムが食品などの包装用途として使用されているの
が現状である。
〜1.6の酸化珪素膜が形成された複合フィルムの透明
度は、使用されるプラスチックフィルムと比較して、若
干黄色味をおびたものとなり、包装用途には、美粧性に
欠け、特に容物が食品の場合、見かけ上の清潔性や新鮮
さに欠けるという問題があった。
技術の問題点を解決するものであり、その課題とすると
ころは、酸素バリア性や水蒸気バリア性に優れ、かつ高
透明性を有する複合フィルムとしての酸化珪素蒸着フィ
ルムを提供することにある。
を達成するために、まず請求項1の発明では、プラスチ
ックフィルムからなる基材の少なくとも片面に、真空蒸
着法等ドライコーティング法によって、厚さ100〜5
00Åで、酸化度1.8以上の高酸化度酸化珪素層を施
し、該高酸化度酸化珪素層上に厚さ10〜50Åで、酸
化度1.0〜1.6の低酸化度酸化珪素層を積層してな
ることを特徴とする高透明酸化珪素蒸着フィルムとした
ものである。
酸化珪素層上に、ゾル・ゲル法によって酸化珪素塗膜を
形成してなることを特徴とする請求項1記載の高透明酸
化珪素蒸着フィルムとしたものである。
る。本発明の高透明酸化珪素蒸着フィルムは、図1に示
すように、プラスチックフィルムからなる基材(10)
の少なくとも片面に、真空蒸着法によって、厚さが10
0〜500Åで、酸化度が1.8以上の高酸化度酸化珪
素層(20)を施し、該高酸化度酸化珪素層(20)上
に厚さ10〜50Åで、酸化度1.0〜1.6の低酸化
度酸化珪素層(30)を積層してなることを特徴とする
高透明酸化珪素蒸着フィルム(100)としたものであ
る。
明酸化珪素蒸着フィルム(100)の応力を緩和し、そ
の上層となる低酸化度酸化珪素層(30)が容易に破壊
されないようにするもので、バリア性には乏しいが優れ
た透明性を付与するものであり、この上にバリア性に優
れた低酸化度酸化珪素層(30)を極薄く積層すること
によって、高酸化度酸化珪素層(20)のバリア性不足
を補うものである。よって、高酸化度酸化珪素層(2
0)と低酸化度酸化珪素層(30)の相乗効果により酸
素バリア性と水蒸気バリア性に優れた、かつ高透明性の
高透明酸化珪素蒸着フィルム(100)とすることがで
きるものである。
に、さらにゾル・ゲル法によって酸化珪素塗膜(40)
を形成してなることを特徴とする高透明酸化珪素蒸着フ
ィルムとしたものである。
は、低酸化度酸化珪素層(30)のキズ等破壊を防止す
るとともに、印刷や他のプラスチックフィルムとの貼り
合わせ等後加工に対する適性を高め、上記酸素バリア性
と水蒸気バリア性をより一層向上させるものである。
高酸化度酸化珪素層(20)について説明する。この高
酸化度酸化珪素層(20)は、透明性を第一義にするた
め、酸化度を大きくし、つまり、Si02 に近づけるよ
うにする必要があり、具体的には1.8以上が望まし
い。もし、酸化度1.8以下の酸化珪素膜で、実際上問
題のない透明性を得るには、膜厚を小さくする必要があ
り、このように薄い膜では、基材(10)の凹凸を埋
め、応力を緩和するという高酸化度酸化珪素層(20)
の本来の目的を果たすことができなくなるので、酸化度
1.8以上の高酸化度酸化珪素層(20)の厚さは、1
00〜500Åが望ましい値である。この厚さが100
Å未満では、基材(10)の凹凸等を埋めることができ
ず、500Å以上では、透明性が損なわれるからであ
る。
(10)上への積層法としては、真空蒸着法、スパッタ
リング法、CVD法等ドライコーティング法が好ましく
用いられ、例えば、真空蒸着法を用いる場合の蒸着材料
の加熱方法として、抵抗加熱、誘導加熱、電子加熱等か
ら適宜選択できる。
層される低酸化度酸化珪素層(30)には、酸素バリア
性、水蒸気バリア性が要求される。そのため、酸化珪素
の酸化度を低く抑え、SiOに近い組成とする必要があ
る。具体的には、1.0〜1.6が好ましく、1.0〜
1.4がより好ましい。この酸化度が1.6以上では、
酸素バリア性、水蒸気バリア性が損なわれるので好まし
くない。
は、10〜50Åが好ましく、10Å以下では酸素バリ
ア性、水蒸気バリア性に欠けるほか、膜の強靱性も不十
分となり、50Å以上では、透明性が損なわれて好まし
くない。
度酸化珪素層(20)上への積層方法は、上記高酸化度
酸化珪素層(20)の基材(10)上への積層法と同
様、真空蒸着法、スパッタリング法等である。
ムとしては、延伸フィルムおよび未延伸フィルムが使用
され、その種類としては、エチレン、プロピレン等の単
独重合体または共重合体等のポリオレフィン系樹脂フィ
ルム、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル系
樹脂フィルム、ナイロン12、ナイロン6共重合ナイロ
ン等のポリアミド系樹脂フィルム、ポリビニルアルコー
ル系樹脂フィルム、ポリエーテルケトン樹脂フィルム、
ポリカーボネート樹脂フィルム、ポリイミド樹脂フィル
ムなどが挙げられ、用途等に応じて適宜選択できる。
般的には10〜100μmが使用されるが特に限定する
ものではない。また、用途や後加工などに応じて、上記
プラスチックフィルムに、プラズマ処理、火炎処理、グ
ロー放電処理等の表面処理や、例えば上記高酸化度酸化
珪素層(20)等との密着を高めるためのアンカーコー
ト処理を行うこともできる。そのアンカーコート剤とし
ては、イソシアネート樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹
脂、エチレンビニルアルコール樹脂、ポリエステル樹
脂、エポキシ樹脂等単独または併合にて使用することが
できる。
成する酸化珪素塗膜(40)としては、金属アルコキシ
ド等の加水分解物と水酸基を有する水溶性樹脂との混合
物からなるものを乾燥によって得られるもので、この水
酸基を有する水溶性樹脂としては、ポリビニルアルコー
ルなどが挙げられる。
方法としては、バーコート、グラビアコート、ロールコ
ート等が挙げられ、生産性などから適宜選択することが
できる。
説明する。 〈実施例1〉基材(10)として、厚さ12μmのポリ
エステルフィルムを用い、その片面に、酸化度1.9の
酸化珪素を真空蒸着法によって積層し高酸化度酸化珪素
層(20)を形成した。さらにその上に、酸化度1.5
の酸化珪素を同じ真空蒸着法によって、積層し低酸化度
酸化珪素層(30)を形成して高透明酸化珪素蒸着フィ
ルム(100)とした。
ーP−60(東レ社製)で、この片面にコロナ放電処理
が施されていて、この処理面に上記高酸化度酸化珪素層
(20)を形成した。
すように、巻き取り式真空蒸着装置(200)であっ
て、内部が二つの部屋からなり、下方にあるその一つ
は、蒸着源(60)である蒸着材料を加熱し、気化した
材料を基材(10)表面に積層させる蒸着室(A)で、
上方にあるもう一つは、巻き出しロール(61)から蒸
着前のフィルムを蒸着用クーリングロール(62)を介
して蒸着室(A)に送り出し、蒸着されたフィルムを巻
き取る巻き取りロール(63)を備えた巻き取り室
(B)である。
(20)の積層において、1.2E−5Toorの真空
度まで排気したのち、蒸着室(A)内にある坩堝(60
a)に満たされた一酸化珪素からなる蒸着源(60)に
電子銃を照射した。蒸着材料が充分に加熱され、蒸着が
可能になるまで、蒸着源(60)と蒸着用クーリングロ
ール(62)との間は金属製のシャッターで遮断してお
いた。蒸着源(60)が充分に加熱された状態で、巻き
出しロール(61)から上記ポリエステルフィルムを蒸
着用クーリングロール(62)を介して巻き取りロール
(63)側へ600m/minの速さで送り、シャッタ
ーを開いて蒸着を開始した。
ロール(62)の間には、坩堝(60a)から出る一酸
化珪素の蒸気内に酸素を導入するためのパイプ(図示せ
ず)を設けてあり、このパイプより蒸着開始と同時に酸
素を導入し、この酸素の流量を変化させて蒸着物の酸化
度を1.9になるように調整した。
ムの送り速度を一定とし、ポリエステルフィルムが蒸着
室(A)内で、酸化珪素の蒸気に接触する長さの調節に
よって300Åになるように設定した。
には、酸素導入量を酸化度1.5となるように調整し、
厚さ30Åになるようにそれぞれを調整した。
化珪素層(20)の厚さを50Åとした以外は、実施例
1と同様の条件で複合フィルムを作製した。
化珪素層(20)の厚さを1000Åとした以外は、実
施例1と同様の条件で複合フィルムを作製した。
化珪素層(20)の酸化度が1.7となるように調整し
た以外は、実施例1と同様の条件で複合フィルムを作製
した。
化珪素層(30)の厚さを100Åとした以外は、実施
例1と同様の条件で複合フィルムを作製した。
化珪素層(30)の厚さを7Åとした以外は、実施例1
と同様の条件で複合フィルムを作製した。
化珪素層(30)の酸化度が1.7となるように調整し
た以外は、実施例1と同様の条件で複合フィルムを作製
した。
透明酸化珪素蒸着フィルム(100)上に、金属アルコ
キシドの加水分解物と水酸基を有する水溶性樹脂との混
合物からなる皮膜を形成した。
ソシリレート(TEOS)8.3gに塩酸でPHを1に
調整した水3.6gを加え、30分間攪拌して加水分解
溶液を作製した。これに水を加えて、SiO2 分として
固形分濃度が5%になるように調整した。さらにポリビ
ニルアルコール(PVA)(重合度約2000、鹸化度
88%)の5%水溶液を重量比で1/1(アルコキシド
はSiO2 換算)になるように混合して複合溶液とし
た。
珪素層(30)上にバーコーターによって、塗布した
後、乾燥機内で100℃10分間乾燥して高透明酸化珪
素蒸着フィルム(100)とした。
の複合フィルムについて、酸素透過度等評価した結果を
表1に示した。なお、評価方法として、 (1)酸素バリア性・・・MOCONOXTRAN10
/50A酸素ガス透過度測定装置(モダンコントロール
社製)を用いて、30℃、70%RHの雰囲気下で測定
し、酸素透過度とした。 (2)水蒸気バリア性・・・JIS Z−0208のカ
ップ法により、40℃、90%の雰囲気下で測定し、水
蒸気透過度とした。 (3)透明性・・・自記分光光度計UV−3100(島
津製作所社製)を用いて波長366nmにおける光線透
過率を測定し、光線透過度とした。 (4)膜の厚さ・・・蛍光X線分析装置システム327
0(理学電気工業社製)を用いて測定し、光線透過度と
した。
素透過度の単位は、cc/m2/ Day、水蒸気透過度の単位
は、g/m2/ Day 、光線透過度の単位は、%である。
と比較して高酸化度酸化珪素層(20)、低酸化度酸化
珪素層(30)の厚さを大きくしたものは、透明度に劣
り、小さくしたものは、酸素および水蒸気のバリア性に
劣るものであった。また、高酸化度酸化珪素層(20)
の酸化度を小さくすると、透明度が劣り、低酸化度酸化
珪素層(30)の酸化度を小さくすると各バリア性が劣
るものであった。これに対して、実施例1では、各バリ
ア性透明性とも良好なものであった。また、実施例2で
は、実施例1に比較して、透明度が若干劣るが、各バリ
ア性をさらに向上させるものであった。
示す如き効果がある。即ち、プラスチックフィルムから
なる被処理基材の少なくとも片面に、真空蒸着法によっ
て、厚さ100〜500Åで、酸化度1.8以上の高酸
化度酸化珪素層を施し、該高酸化度酸化珪素層上に厚さ
10〜50Åで、酸化度1.0〜1.6の低酸化度酸化
珪素層を積層することによって、酸素バリア性や水蒸気
バリア性に優れ、かつ高透明性を有する複合フィルムと
することができる。
コート等ゾル・ゲル法によるバーコート等によって酸化
珪素塗膜を形成することによって、低酸化度酸化珪素層
表面のキズ等破壊を防止するとともに、より酸素等のバ
リア性を向上させることができる。
着フィルムを側断面で表した説明図である。
ィルムの作製を説明するための巻き取り式真空蒸着装置
の概略図である。
Claims (2)
- 【請求項1】プラスチックフィルムからなる基材の少な
くとも片面に、ドライコーティング法によって、厚さ1
00〜500Åで、酸化度1.8以上の高酸化度酸化珪
素層を施し、該高酸化度酸化珪素層上に厚さ10〜50
Åで、酸化度1.0〜1.6の低酸化度酸化珪素層を積
層してなることを特徴とする高透明酸化珪素蒸着フィル
ム。 - 【請求項2】前記低酸化度酸化珪素層上に、ゾル・ゲル
法によって酸化珪素塗膜を形成してなることを特徴とす
る請求項1記載の高透明酸化珪素蒸着フィルム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32730397A JP3438555B2 (ja) | 1997-11-28 | 1997-11-28 | 高透明酸化珪素蒸着フィルム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32730397A JP3438555B2 (ja) | 1997-11-28 | 1997-11-28 | 高透明酸化珪素蒸着フィルム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11156989A JPH11156989A (ja) | 1999-06-15 |
JP3438555B2 true JP3438555B2 (ja) | 2003-08-18 |
Family
ID=18197630
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32730397A Expired - Fee Related JP3438555B2 (ja) | 1997-11-28 | 1997-11-28 | 高透明酸化珪素蒸着フィルム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3438555B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006116704A (ja) * | 2004-10-19 | 2006-05-11 | Dainippon Printing Co Ltd | バリア性フィルムおよびそれを使用した積層材 |
CN114845861B (zh) * | 2019-12-18 | 2024-03-15 | Agc株式会社 | 带有多层膜的透明基体 |
-
1997
- 1997-11-28 JP JP32730397A patent/JP3438555B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11156989A (ja) | 1999-06-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101392300B1 (ko) | 가스 배리어성 적층 필름 및 그 제조 방법 | |
US5434008A (en) | Thin gas barrier films | |
US20120168301A1 (en) | Transparent barrier film and method for producing the same | |
JP5228284B2 (ja) | 透明バリア性積層フィルム及びその製造方法 | |
JP3443976B2 (ja) | 透明なガスバリア性フィルムの製造方法 | |
JP2005119155A (ja) | ガスバリアフィルム及びその製造方法 | |
US6709757B2 (en) | Barrier films | |
JP2007210262A (ja) | 透明バリアフィルムおよびその製造方法 | |
JP3438555B2 (ja) | 高透明酸化珪素蒸着フィルム | |
KR20020092812A (ko) | 가스 차단제, 가스 차단 필름 및 그 제조 방법 | |
EP0460966B1 (en) | Barrier film having high colorless transparency and method of manufacture thereof | |
JP2003243679A (ja) | 太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ル | |
JP2004203023A (ja) | 高性能バリアフィルム | |
JP4110884B2 (ja) | 高ガスバリア性フィルムの製造方法 | |
JPS63222849A (ja) | 包装用フイルム | |
JP2674827B2 (ja) | 透明ガスバリヤフィルムの製造方法 | |
JP2009208429A (ja) | ディスプレイ用耐湿熱性フィルム | |
JP5034258B2 (ja) | 透明蒸着フィルム、およびその製造方法 | |
JPH11300875A (ja) | 高バリアポリマー複合フィルムおよび包装体 | |
JP3123371B2 (ja) | バリアー性積層体 | |
JPH11300876A (ja) | ガスバリア材およびその製造方法および包装体 | |
JPS63205609A (ja) | 熱線反射膜 | |
JP2002292777A (ja) | ハイガスバリア性フィルム及びその製造方法 | |
JP5151037B2 (ja) | 透明バリアフィルムおよびその製造方法 | |
JPH08224825A (ja) | ガスバリアフィルム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080613 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090613 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100613 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100613 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110613 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110613 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120613 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120613 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130613 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140613 Year of fee payment: 11 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |