JPH0361981B2 - - Google Patents
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- JPH0361981B2 JPH0361981B2 JP60136856A JP13685685A JPH0361981B2 JP H0361981 B2 JPH0361981 B2 JP H0361981B2 JP 60136856 A JP60136856 A JP 60136856A JP 13685685 A JP13685685 A JP 13685685A JP H0361981 B2 JPH0361981 B2 JP H0361981B2
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- high frequency
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- quadrupole mass
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 24
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 19
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 2
- 238000001819 mass spectrum Methods 0.000 description 2
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/42—Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
- H01J49/4205—Device types
- H01J49/421—Mass filters, i.e. deviating unwanted ions without trapping
- H01J49/4215—Quadrupole mass filters
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/022—Circuit arrangements, e.g. for generating deviation currents or voltages ; Components associated with high voltage supply
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、四重極型質量分析計に供給する電圧
±（Ｕ＋Vcosωt）を、簡単な構成を用いて生成す
る四重極型質量分析計電源に関するものである。
±（Ｕ＋Vcosωt）を、簡単な構成を用いて生成す
る四重極型質量分析計電源に関するものである。
四重極型質量分析計はその性質上、質量を分析
するために４本の円柱状の電極に対して、例えば
第５図に示す従来のシステム構成のように、直流
電圧±Ｕと高周波電圧±Vcosωtとを重畳した電
圧±（Ｕ＋Vcosωt）を供給する必要がある。この
重畳した電圧±（Ｕ＋Vcosωt）を生成するため
に、高周波発生器３２がOSC（発振器）３１から
供給された信号に同期した態様の高周波電圧±
Vcosωtを重畳回路３３に供給すると共に、直流
発生器３５が検波回路３４から供給された電圧
（高周波電圧±Vcosωtを分圧したものの振幅値）
に対応する直流電圧±Ｕを生成して重畳回路３３
に供給していた。そして、重畳回路３３は両者の
電圧を重畳した電圧±（Ｕ＋Vcosωt）を四重極型
質量分析計３６に供給していた。
するために４本の円柱状の電極に対して、例えば
第５図に示す従来のシステム構成のように、直流
電圧±Ｕと高周波電圧±Vcosωtとを重畳した電
圧±（Ｕ＋Vcosωt）を供給する必要がある。この
重畳した電圧±（Ｕ＋Vcosωt）を生成するため
に、高周波発生器３２がOSC（発振器）３１から
供給された信号に同期した態様の高周波電圧±
Vcosωtを重畳回路３３に供給すると共に、直流
発生器３５が検波回路３４から供給された電圧
（高周波電圧±Vcosωtを分圧したものの振幅値）
に対応する直流電圧±Ｕを生成して重畳回路３３
に供給していた。そして、重畳回路３３は両者の
電圧を重畳した電圧±（Ｕ＋Vcosωt）を四重極型
質量分析計３６に供給していた。
尚、質量分析を行うためには、イオン源３７か
ら質量分析すべきイオンを四重極型質量分析計３
６に入射させると共に、制御部４０が例えば高周
波発生器３２に鋸波状の掃引信号を供給して四重
極型質量分析計に供給する高周波電圧±Vcosωt
の振幅を鋸波で掃引する。この際、図に示すよう
に、この掃引信号に、前記検波で得た直流電圧を
比較器４１で重畳し、負帰還させることが多い。
これにより、掃引信号に同期した態様で所定の質
量数のイオンが四重極型質量分析計３６を通過し
て検出器３８によつて検出され、マススペクトラ
ムとして記録計３９によつて記録される。このマ
ススペクトラムを分析することによつていずれの
質量数のものであるかが、分析される。
ら質量分析すべきイオンを四重極型質量分析計３
６に入射させると共に、制御部４０が例えば高周
波発生器３２に鋸波状の掃引信号を供給して四重
極型質量分析計に供給する高周波電圧±Vcosωt
の振幅を鋸波で掃引する。この際、図に示すよう
に、この掃引信号に、前記検波で得た直流電圧を
比較器４１で重畳し、負帰還させることが多い。
これにより、掃引信号に同期した態様で所定の質
量数のイオンが四重極型質量分析計３６を通過し
て検出器３８によつて検出され、マススペクトラ
ムとして記録計３９によつて記録される。このマ
ススペクトラムを分析することによつていずれの
質量数のものであるかが、分析される。
従来の四重極型質量分析計電源は、第５図に示
すように、直流電圧±Ｕと、高周波電圧±
Vcosωtとを夫々別個に発生させた後、重畳回路
３３を用いて重畳させて所望の電圧±（Ｕ＋
Vcosωt）を発生させ、四重極型質量分析計３６
に供給していた。このため、高周波電圧±
Vcosωtと直流電圧±Ｕとを生成させるための電
源が個別に夫々必要となつてしまう。しかも、直
流電圧±Ｕは、質量分析を行う場合に最適な条件
が得られるように任意に電圧調整する必要がある
ため、例えば第６図に示すように、正の電源（例
えば＋350V）と負の電源（例えば−350V）とを
設け、トランジスタTR1、TR2を用いて入力信号
に対応した所望の直流電圧±Ｕを発生させる必要
があつた。このため、必要とされる最大の直流電
圧よりも高い電圧の電源、例えば数百ボルトの正
の電源と負の電源とを準備する必要があると共
に、電圧制御用トランジスタ等が必要となり、構
成が複雑となつてしまうという問題点があつた。
すように、直流電圧±Ｕと、高周波電圧±
Vcosωtとを夫々別個に発生させた後、重畳回路
３３を用いて重畳させて所望の電圧±（Ｕ＋
Vcosωt）を発生させ、四重極型質量分析計３６
に供給していた。このため、高周波電圧±
Vcosωtと直流電圧±Ｕとを生成させるための電
源が個別に夫々必要となつてしまう。しかも、直
流電圧±Ｕは、質量分析を行う場合に最適な条件
が得られるように任意に電圧調整する必要がある
ため、例えば第６図に示すように、正の電源（例
えば＋350V）と負の電源（例えば−350V）とを
設け、トランジスタTR1、TR2を用いて入力信号
に対応した所望の直流電圧±Ｕを発生させる必要
があつた。このため、必要とされる最大の直流電
圧よりも高い電圧の電源、例えば数百ボルトの正
の電源と負の電源とを準備する必要があると共
に、電圧制御用トランジスタ等が必要となり、構
成が複雑となつてしまうという問題点があつた。
本発明は、前記問題点を解決するために、四重
極型質量分析計に供給する高周波電圧±Vcosωt
を分圧し、この分圧した電圧を整流して生成した
電圧を直流電圧±Ｕとして四重極型質量分析計に
供給すると共に、この直流電圧±Ｕを高周波電圧
±Vcosωtの振幅に対応づけるよう制御を行うこ
とにより、簡単な構成によつて所定の電圧±（Ｕ
＋Vcosωt）を生成して出力している。
極型質量分析計に供給する高周波電圧±Vcosωt
を分圧し、この分圧した電圧を整流して生成した
電圧を直流電圧±Ｕとして四重極型質量分析計に
供給すると共に、この直流電圧±Ｕを高周波電圧
±Vcosωtの振幅に対応づけるよう制御を行うこ
とにより、簡単な構成によつて所定の電圧±（Ｕ
＋Vcosωt）を生成して出力している。
第１図は本発明の原理的構成を示す。図中、１
は高周波検出回路、２−１，２−２は直流電圧発
生回路、３は高周波トランス、４は高周波発生
器、５は比較器、C1ないしC7はコンデンサ、L1
ないしL3は各コイルのインダクタンスを表す。
は高周波検出回路、２−１，２−２は直流電圧発
生回路、３は高周波トランス、４は高周波発生
器、５は比較器、C1ないしC7はコンデンサ、L1
ないしL3は各コイルのインダクタンスを表す。
第１図において、高周波検出回路１には、電圧
±（Ｕ＋Vcosωt）からコンデンサC5を介して高
周波電圧成分が供給されていると共に、電圧（−
Ｕ−Vcosωt）からコンデンサC6を介して高周波
電圧成分が供給されている。そして、供給された
両者の高周波電圧成分が整流され、例えば両者の
振幅値の和に対応する検出電圧VREFが出力され
る。また、正の高周波電圧の振幅値と負の高周波
電圧の振幅値とは、ほぼ等しいから、いずれか一
方のものを整流して生成した検出電圧VREFを出力
してもよい。
±（Ｕ＋Vcosωt）からコンデンサC5を介して高
周波電圧成分が供給されていると共に、電圧（−
Ｕ−Vcosωt）からコンデンサC6を介して高周波
電圧成分が供給されている。そして、供給された
両者の高周波電圧成分が整流され、例えば両者の
振幅値の和に対応する検出電圧VREFが出力され
る。また、正の高周波電圧の振幅値と負の高周波
電圧の振幅値とは、ほぼ等しいから、いずれか一
方のものを整流して生成した検出電圧VREFを出力
してもよい。
直流電圧発生回路２−１は、コンデンサC2の
両端に発生した高周波電圧成分を整流して当該コ
ンデンサC2の両端に直流電圧±U1を発生させる
ものである。そして、この発生させた直流電圧±
U1は、基準電圧信号VINあるいは高周波検出回路
１から出力された検出電圧VREFに対して比例関係
に保持される。同様に、直流電圧発生回路２−２
によつてコンデンサC3の両端に発生させた直流
電圧−U2は、基準電圧信号VINあるいは高周波検
出回路１から出力された検出電圧VREFに対して比
例関係に保持される。
両端に発生した高周波電圧成分を整流して当該コ
ンデンサC2の両端に直流電圧±U1を発生させる
ものである。そして、この発生させた直流電圧±
U1は、基準電圧信号VINあるいは高周波検出回路
１から出力された検出電圧VREFに対して比例関係
に保持される。同様に、直流電圧発生回路２−２
によつてコンデンサC3の両端に発生させた直流
電圧−U2は、基準電圧信号VINあるいは高周波検
出回路１から出力された検出電圧VREFに対して比
例関係に保持される。
そして、コンデンサC2に生成された直流電圧
±U1は、チヨークコイルおよびインダクタンス
L2を介して電圧（Ｕ＋Vcosωt）中の直流電圧±
Ｕとして供給される。同様に、コンデンサC3に
生成された直流電圧−U2は、チヨークコイルお
よびインダクタンスL3を介して電圧（−Ｕ−
Vcosωt）中の直流電圧−Ｕとして供給される。
±U1は、チヨークコイルおよびインダクタンス
L2を介して電圧（Ｕ＋Vcosωt）中の直流電圧±
Ｕとして供給される。同様に、コンデンサC3に
生成された直流電圧−U2は、チヨークコイルお
よびインダクタンスL3を介して電圧（−Ｕ−
Vcosωt）中の直流電圧−Ｕとして供給される。
所定の高周波電圧±Vcosωtを発生させるため
の基準電圧信号VINあるいは高周波検出回路１に
よつて生成された検出電圧VREF（高周波電圧（±
Vcosωt）の振幅値に対応する電圧）と、コンデ
ンサC2、C3の両端に生成させる直流電圧＋U1、−
U2とを比例関係に保持させるように直流電圧発
生回路２−１，２−２が制御している。これによ
り、四重極型質量分析計に供給する電圧±（Ｕ＋
Vcosωt）のうち、直流電圧±Ｕが高周波電圧±
Vcosωtから自動的に生成され、かつ所定の比例
関係に保持され、しかも重畳された態様で生成さ
れる。
の基準電圧信号VINあるいは高周波検出回路１に
よつて生成された検出電圧VREF（高周波電圧（±
Vcosωt）の振幅値に対応する電圧）と、コンデ
ンサC2、C3の両端に生成させる直流電圧＋U1、−
U2とを比例関係に保持させるように直流電圧発
生回路２−１，２−２が制御している。これによ
り、四重極型質量分析計に供給する電圧±（Ｕ＋
Vcosωt）のうち、直流電圧±Ｕが高周波電圧±
Vcosωtから自動的に生成され、かつ所定の比例
関係に保持され、しかも重畳された態様で生成さ
れる。
第２図は本発明の１実施例構成図を示す。図
中、CH1、CH2はチヨークコイル、C8はコンデン
サを表す。尚、図中１ないし５、C1ないしC7、
L1ないしL3は第１図に示すものに夫々対応する
ものである。
中、CH1、CH2はチヨークコイル、C8はコンデン
サを表す。尚、図中１ないし５、C1ないしC7、
L1ないしL3は第１図に示すものに夫々対応する
ものである。
第２図において、比較器５は、外部から供給さ
れた基準電圧信号VINと、高周波検出回路１によ
つて検出された検出電圧VREF（高周波電圧±
Vcosωtの振幅値に対応する電圧）こが例えば等
しくなるように制御信号Vcを高周波発生器４に
供給する。これにより、高周波発生器４から高周
波トランス３に供給された高周波電圧が所定の高
周波電圧±Vcosωtに変圧され、四重極型質量分
析計に供給される。この供給された高周波電圧±
Vcosωtは、四重極型質量分析計を構成する電極
間の容量、可変コンデンサC7、高周波トランス
３の２次側のインダクタンス等に共振する。この
調整は、例えば可変コンデンサC7を調整して行
えばよい。
れた基準電圧信号VINと、高周波検出回路１によ
つて検出された検出電圧VREF（高周波電圧±
Vcosωtの振幅値に対応する電圧）こが例えば等
しくなるように制御信号Vcを高周波発生器４に
供給する。これにより、高周波発生器４から高周
波トランス３に供給された高周波電圧が所定の高
周波電圧±Vcosωtに変圧され、四重極型質量分
析計に供給される。この供給された高周波電圧±
Vcosωtは、四重極型質量分析計を構成する電極
間の容量、可変コンデンサC7、高周波トランス
３の２次側のインダクタンス等に共振する。この
調整は、例えば可変コンデンサC7を調整して行
えばよい。
また、電圧（Ｕ＋Vcosωt）がコンデンサC1と
コンデンサC2によつて分圧されている。コンデ
ンサC2の両端に生じる直流電圧＋U1の大きさは、
直流電圧発生回路２−１を構成するダイオード
D1を用いて高周波電圧を整流することによつて
任意の値に制御される。まず、第３図を用いてコ
ンデンサC2の両端に直流電圧＋U1が生成される
概念を説明する。
コンデンサC2によつて分圧されている。コンデ
ンサC2の両端に生じる直流電圧＋U1の大きさは、
直流電圧発生回路２−１を構成するダイオード
D1を用いて高周波電圧を整流することによつて
任意の値に制御される。まず、第３図を用いてコ
ンデンサC2の両端に直流電圧＋U1が生成される
概念を説明する。
第３図イに示すように、電圧（Ｕ＋Vcosωt）
をコンデンサC1とコンデンサC2とを用いて分圧
する。そして、分圧点P1と接地との間に図示の
向きにダイオードD1を接続する。これにより、
分圧点P1に生じる直流電圧＋U1は、第３図ロに
示すようになる。しかし、この直流電圧＋U1は、
ダイオードD1が順方向の整流特性に非直線性を
持つているために、供給された電圧（Ｕ＋
Vcosωt）に比例した電圧とはならない。このた
め、本発明では、ダイオードD1の非直線性等に
よつて影響を受けない回路構成を採用している。
以下第２図を用いて詳細に説明する。
をコンデンサC1とコンデンサC2とを用いて分圧
する。そして、分圧点P1と接地との間に図示の
向きにダイオードD1を接続する。これにより、
分圧点P1に生じる直流電圧＋U1は、第３図ロに
示すようになる。しかし、この直流電圧＋U1は、
ダイオードD1が順方向の整流特性に非直線性を
持つているために、供給された電圧（Ｕ＋
Vcosωt）に比例した電圧とはならない。このた
め、本発明では、ダイオードD1の非直線性等に
よつて影響を受けない回路構成を採用している。
以下第２図を用いて詳細に説明する。
第２図において、電圧（Ｕ＋Vcosωt）をコン
デンサC1とコンデンサC2とを用いて分圧した分
圧点P1と、アンプIC1の出力端との間にダイオー
ドD1を図示の向きに接続する。アンプIC1の正極
性（＋）端子に検出電圧VREF、即ち高周波検出回
路１によつて検出した高周波電圧±Vcosωtの振
幅値に対応する電圧を入力する。そして、アンプ
IC1の負極性（−）端子に、分圧点P1と接地との
間に接続した抵抗器R1、R2の中点を接続する。
以上説明した負帰還の構成を採用することによ
り、高周波検出回路１によつて検出された検出電
圧VREFに対して、比例関係となる直流電圧＋U1
が分圧点P1に生成される。この生成された直流
電圧＋U1はチヨークコイルCH1およびインダク
タンスL2を介して、電圧（Ｕ＋Vcosωt）のうち
の直流電圧＋Ｕとして供給される。また、検出電
圧VREFをIC1の正極性端子に供給する代わりに、
図中に示す基準電圧信号VINを当該IC1の正極性端
子に供給してもよい。これは、当該基準電圧信号
VINが高周波電圧±Vcosωtの大きさを指示するも
のであるから、直流電圧発生回路２−１によつて
生成される直流電圧＋U1は必然的に高周波電圧
Vcosωtの振幅に対応するものとなり、直流電圧
＋U1と高周波電圧Vcosωtの振幅電圧とは比例関
係となる。
デンサC1とコンデンサC2とを用いて分圧した分
圧点P1と、アンプIC1の出力端との間にダイオー
ドD1を図示の向きに接続する。アンプIC1の正極
性（＋）端子に検出電圧VREF、即ち高周波検出回
路１によつて検出した高周波電圧±Vcosωtの振
幅値に対応する電圧を入力する。そして、アンプ
IC1の負極性（−）端子に、分圧点P1と接地との
間に接続した抵抗器R1、R2の中点を接続する。
以上説明した負帰還の構成を採用することによ
り、高周波検出回路１によつて検出された検出電
圧VREFに対して、比例関係となる直流電圧＋U1
が分圧点P1に生成される。この生成された直流
電圧＋U1はチヨークコイルCH1およびインダク
タンスL2を介して、電圧（Ｕ＋Vcosωt）のうち
の直流電圧＋Ｕとして供給される。また、検出電
圧VREFをIC1の正極性端子に供給する代わりに、
図中に示す基準電圧信号VINを当該IC1の正極性端
子に供給してもよい。これは、当該基準電圧信号
VINが高周波電圧±Vcosωtの大きさを指示するも
のであるから、直流電圧発生回路２−１によつて
生成される直流電圧＋U1は必然的に高周波電圧
Vcosωtの振幅に対応するものとなり、直流電圧
＋U1と高周波電圧Vcosωtの振幅電圧とは比例関
係となる。
同様に、直流電圧回路２−２によつて、コンデ
ンサC3の両端に直流電圧−U2が生成される。こ
の生成された直流電圧−U2はチヨークコイル
CH2および高周波トランス３を構成するインダク
タンスL3を介して、電圧（−Ｕ−Vcosωt）のう
ちの直流電圧−Ｕとして供給される。
ンサC3の両端に直流電圧−U2が生成される。こ
の生成された直流電圧−U2はチヨークコイル
CH2および高周波トランス３を構成するインダク
タンスL3を介して、電圧（−Ｕ−Vcosωt）のう
ちの直流電圧−Ｕとして供給される。
第４図は本発明の他の実施例構成図であつて、
高周波トランス６にタツプを設けて電圧±（Ｕ＋
Vcosωt）を分圧した構成図を示す。
高周波トランス６にタツプを設けて電圧±（Ｕ＋
Vcosωt）を分圧した構成図を示す。
第４図において、高周波トランス６の端子ｂに
対して第２図を用いて説明した直流発生回路２−
１が接続され、かつコンデンサC8が図示のよう
に端子ｃと端子ｄとの間に接続されているため、
当該端子ｂに直流電圧＋U1が生成される。同様
に、端子ｅに直流発生回路２−２が接続されてい
るため、直流電圧−U2が生成される。このよう
な構成を採用することにより、第２図図示構成に
用いた分圧用のコンデンサC1ないしC4およびチ
ヨークコイルCH1、CH2が不要となる。
対して第２図を用いて説明した直流発生回路２−
１が接続され、かつコンデンサC8が図示のよう
に端子ｃと端子ｄとの間に接続されているため、
当該端子ｂに直流電圧＋U1が生成される。同様
に、端子ｅに直流発生回路２−２が接続されてい
るため、直流電圧−U2が生成される。このよう
な構成を採用することにより、第２図図示構成に
用いた分圧用のコンデンサC1ないしC4およびチ
ヨークコイルCH1、CH2が不要となる。
尚、第４図図示構成は、基準電圧信号VINを直
流電圧発生回路２−１，２−２に夫々入力し、生
成される直流電圧±Ｕの値が、基準入力信号VIN
に対して比例関係に保持されるようにしている。
また、第２図図示構成のように、高周波検出回路
１によつて検出された検出電圧VREFを直流電圧発
生回路２−１，２−２に夫々入力し、生成される
直流電圧±Ｕの値が、高周波電圧±Vcosωtの振
幅値に対して比例関係に保持されるようにするこ
とも可能である。
流電圧発生回路２−１，２−２に夫々入力し、生
成される直流電圧±Ｕの値が、基準入力信号VIN
に対して比例関係に保持されるようにしている。
また、第２図図示構成のように、高周波検出回路
１によつて検出された検出電圧VREFを直流電圧発
生回路２−１，２−２に夫々入力し、生成される
直流電圧±Ｕの値が、高周波電圧±Vcosωtの振
幅値に対して比例関係に保持されるようにするこ
とも可能である。
以上説明したように、本発明によれば、高周波
電圧±Vcosωtから所定の関係をもつ直流電圧±
Ｕを生成すると共に、両者の電圧を重畳した電圧
±（Ｕ＋Vcosωt）を出力するよう構成しているた
め、別個に直流電源を設ける必要がなく、電源回
路を簡単にすることができる。
電圧±Vcosωtから所定の関係をもつ直流電圧±
Ｕを生成すると共に、両者の電圧を重畳した電圧
±（Ｕ＋Vcosωt）を出力するよう構成しているた
め、別個に直流電源を設ける必要がなく、電源回
路を簡単にすることができる。
第１図は本発明の原理的構成図、第２図は本発
明の１実施例構成図、第３図は本発明の動作概念
を説明する概念説明図、第４図は本発明の他の実
施例構成図、第５図は従来の四重極型質量分析計
システム構成図、第６図は従来の直流発生器の回
路図を示す。 図中、１は高周波検出回路、２−１，２−２は
直流電圧発生回路、３は高周波トランス、４は高
周波発生器、５は比較器、C1ないしC7はコンデ
ンサ、L1ないしL3は各コイルのインダクタンス
を表す。
明の１実施例構成図、第３図は本発明の動作概念
を説明する概念説明図、第４図は本発明の他の実
施例構成図、第５図は従来の四重極型質量分析計
システム構成図、第６図は従来の直流発生器の回
路図を示す。 図中、１は高周波検出回路、２−１，２−２は
直流電圧発生回路、３は高周波トランス、４は高
周波発生器、５は比較器、C1ないしC7はコンデ
ンサ、L1ないしL3は各コイルのインダクタンス
を表す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 四重極型質量分析計に供給する電圧±（Ｕ＋
Vcosωt）の高周波電圧±Vcosωtと直流電圧±Ｕ
とを所定の関係に制御するよう構成した四重極型
質量分析計電源において、 前記高周波電圧±Vcosωtを生成して四重極型
質量分析計に供給する高周波発生器と、 この高周波発生器が四重極型質量分析計に供給
する高周波電圧±Vcosωtを夫々分圧し、この分
圧した各電圧をダイオードD1、D2によつて整流
すると共にこの整流した直流電圧（あるいは分圧
した直流電圧）と四重極型質量分析計に供給する
高周波電圧±Vcosωtの振幅に対応する電圧VREF
（あるいは上記高周波発生器に供給する基準電圧
VIN）とを差動アンプIC1、IC2に入力してその出
力を上記ダイオードD1、D2の接地側に供給し、
この整流した直流電圧を四重極型質量分析計に供
給する前記直流電圧±Ｕとして使用するよう構成
した直流電圧発生回路とを備え、 前記高周波発生器から四重極型質量分析計に供
給する高周波電圧の振幅に対応する電圧VREFを抽
出し、この抽出した電圧VREFを前記高周波発生器
に負帰還して高周波電圧±Vcosωtを所定値に制
御するよう構成したことを特徴とする四重極型質
量分析計電源。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60136856A JPS61296650A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | 四重極型質量分析計電源 |
| US06/877,923 US4703190A (en) | 1985-06-25 | 1986-06-24 | Power supply system for a quadrupole mass spectrometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60136856A JPS61296650A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | 四重極型質量分析計電源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61296650A JPS61296650A (ja) | 1986-12-27 |
| JPH0361981B2 true JPH0361981B2 (ja) | 1991-09-24 |
Family
ID=15185108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60136856A Granted JPS61296650A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | 四重極型質量分析計電源 |
Country Status (2)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPS61296650A (ja) |
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