JPH0361505U - - Google Patents

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JPH0361505U
JPH0361505U JP12260589U JP12260589U JPH0361505U JP H0361505 U JPH0361505 U JP H0361505U JP 12260589 U JP12260589 U JP 12260589U JP 12260589 U JP12260589 U JP 12260589U JP H0361505 U JPH0361505 U JP H0361505U
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JP
Japan
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circumferential surface
support
movable element
contact
casing
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Pending
Application number
JP12260589U
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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案に係るタツチ信号プローブの第
1実施例を三次元測定機に適用した斜視図、第2
図は第1実施例の概略構成を示す断面図、第3図
及び第4図はそれぞれ本考案の第2、第3実施例
の概略構成を示す断面図、第5図は従来例の断面
図である。 10……三次元測定機、20……タツチ信号プ
ローブ、21……ケーシング、23……支持体、
23A……内周面、23B……外周面、25……
スタイラス、27……支持体付勢手段としてのコ
イルスプリング、31……可動子、35……可動
子付勢手段としてのコイルスプリング、41……
光学的変位検出手段、60……タツチ信号プロー
ブ、61……電気的変位検出手段、62……可動
子付勢手段としてのコイルスプリング、64……
圧電アクチユエータ、70……タツチ信号プロー
ブ、71……電気的変位検出手段、72……コア
、73……コイル、W……被測定物。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ケーシングと、 このケーシングに揺動自在に支持されるととも
    に、外周面を円弧面に形成され、かつ、内周面を
    外周面とは異なる曲率の弧面に形成されて断面略
    三日月形状にされた支持対と、 この支持体の外周面がケーシングに常時当接す
    るように支持体を付勢する支持体付勢手段と、 前記支持体の外周面に取付けられるとともに、
    先端側をケーシングから突出されて被測定物に当
    接可能にされ、かつ、この被測定物に当接してい
    ない状態を基準位置とされたスタイラスと、 前記支持体の内周面に一端を当接されるととも
    に、軸方向変位可能に前記ケーシングに支持され
    た可動子と、 この可動子の一端が前記支持体の内周面に当接
    するように可動子を付勢する可動子付勢手段と、 前記可動子の軸方向の変位を検出する変位検出
    手段と、 を備え、 前記支持体の内周面は、スタイラスが基準位置
    にあるとき、前記可動子と支持体の内周面との当
    接位置が支持体の外周面から最も離れた位置にあ
    つて可動子付勢手段を最も撓ませ、一方、スタイ
    ラスが被測定物に当接して前記基準位置から所定
    の方向に変位したとき、前記可動子と支持体の内
    周面との当接位置が支持体の外周面に近づくよう
    に設定されたことを特徴とするタツチ信号プロー
    ブ。 (2) 請求項1に記載のタツチ信号プローブにお
    いて、前記支持体の内周面は円弧面とされるとと
    もに、この内周面の円弧の半径が外周面の円弧の
    半径より大径とされたことを特徴とするタツチ信
    号プローブ。 (3) 請求項1または2に記載のタツチ信号プロ
    ーブにおいて、前記変位検出手段は、光フアイバ
    を有する光学的変位検出手段であることを特徴と
    するタツチ信号プローブ。 (4) 請求項1または2に記載のタツチ信号プロ
    ーブにおいて、前記変位検出手段は、圧電アクチ
    ユエータを含む電気的変位検出手段であることを
    特徴とするタツチ信号プローブ。 (5) 請求項1または2に記載のタツチ信号プロ
    ーブにおいて、前記変位検出手段は、差動トラン
    スを備える電気的変位検出手段であることを特徴
    とするタツチ信号プローブ。
JP12260589U 1989-10-18 1989-10-18 Pending JPH0361505U (ja)

Priority Applications (2)

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JP12260589U JPH0361505U (ja) 1989-10-18 1989-10-18
GB9022708A GB2238616B (en) 1989-10-18 1990-10-18 Touch signal probe

Applications Claiming Priority (1)

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JP12260589U JPH0361505U (ja) 1989-10-18 1989-10-18

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JPH0361505U true JPH0361505U (ja) 1991-06-17

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ID=31670602

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JP12260589U Pending JPH0361505U (ja) 1989-10-18 1989-10-18

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JP (1) JPH0361505U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002541445A (ja) * 1999-04-06 2002-12-03 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー 光センサ付き表面検査装置
JP2008539410A (ja) * 2005-04-26 2008-11-13 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー 光学センサ付きの表面検出装置

Cited By (4)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002541445A (ja) * 1999-04-06 2002-12-03 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー 光センサ付き表面検査装置
JP4695762B2 (ja) * 1999-04-06 2011-06-08 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー 光センサ付き表面検査装置
JP2008539410A (ja) * 2005-04-26 2008-11-13 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー 光学センサ付きの表面検出装置
JP2013057671A (ja) * 2005-04-26 2013-03-28 Renishaw Plc 光学センサ付きの表面検出装置

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