JPH037044B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH037044B2 JPH037044B2 JP57023885A JP2388582A JPH037044B2 JP H037044 B2 JPH037044 B2 JP H037044B2 JP 57023885 A JP57023885 A JP 57023885A JP 2388582 A JP2388582 A JP 2388582A JP H037044 B2 JPH037044 B2 JP H037044B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable
- fixed
- displacement
- stylus
- moving direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 55
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 claims description 21
- 239000000700 radioactive tracer Substances 0.000 claims description 5
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
- B23Q1/36—Springs
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/004—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
- G01B7/008—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
- G01B7/012—Contact-making feeler heads therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、スタイラスを支持する可動体をス
タイラスの軸線と直交する面内で移動可能に支持
し、このスタイラス軸線と直交する方向の変位を
一対の変位検出器によつて互いに直交する２方向
の変位に分離して検出するようにしたトレーサヘ
ツドに関するものである。
タイラスの軸線と直交する面内で移動可能に支持
し、このスタイラス軸線と直交する方向の変位を
一対の変位検出器によつて互いに直交する２方向
の変位に分離して検出するようにしたトレーサヘ
ツドに関するものである。
従来のこのようなトレーサヘツドにおいては、
スタイラスを上下動可能に支持する可動体を、水
平面内の特定の方向に移動できるように第１の平
行ばねを介して別の中間可動体に支持するととも
に、この中間可動体を前記特定の方向と直交する
水平方向に移動できるように第２の平行ばねを介
してヘツド本体に固着し、前記中間可動体と可動
体との間に可動体の前記特定方向の変位を検出す
る変位検出器を配設し、ヘツド本体と中間可動体
との間に前記可動体の前記特定方向と直交する方
向の変位を検出する変位検出器を配設して、可動
体のスタイラス軸線と直交する面内での変位を検
出するようにしていた。
スタイラスを上下動可能に支持する可動体を、水
平面内の特定の方向に移動できるように第１の平
行ばねを介して別の中間可動体に支持するととも
に、この中間可動体を前記特定の方向と直交する
水平方向に移動できるように第２の平行ばねを介
してヘツド本体に固着し、前記中間可動体と可動
体との間に可動体の前記特定方向の変位を検出す
る変位検出器を配設し、ヘツド本体と中間可動体
との間に前記可動体の前記特定方向と直交する方
向の変位を検出する変位検出器を配設して、可動
体のスタイラス軸線と直交する面内での変位を検
出するようにしていた。
しかしながら、このものにおいては一対の変位
検出器の少なくとも一方は中間可動体に取付けな
ければならないために、スタイラスとともに変位
する可動部の重量が増大することになり、慣性力
が増して追従速度が低下する問題があるだけでな
く、中間可動体のない支持構成のものでは、変位
検出器をこのような配置で取付けることができな
い問題がある。
検出器の少なくとも一方は中間可動体に取付けな
ければならないために、スタイラスとともに変位
する可動部の重量が増大することになり、慣性力
が増して追従速度が低下する問題があるだけでな
く、中間可動体のない支持構成のものでは、変位
検出器をこのような配置で取付けることができな
い問題がある。
また、ヘツド本体に一対の変位検出器を互いに
直交して配置して、それぞれの可動部がスタイラ
スの軸線に向つて進退できるようにし、この一対
の変位検出器の可動部先端を、可動体の互いに直
交する一対の外側面にそれぞれ押圧係合させたも
のでは上述した問題はないが、このものでは可動
体と変位検出器の可動部との間が摺接しているた
め、長時間の使用の間には可動体の側面および変
位検出器の可動部先端が摩耗して、測定精度が悪
化する恐れがある。
直交して配置して、それぞれの可動部がスタイラ
スの軸線に向つて進退できるようにし、この一対
の変位検出器の可動部先端を、可動体の互いに直
交する一対の外側面にそれぞれ押圧係合させたも
のでは上述した問題はないが、このものでは可動
体と変位検出器の可動部との間が摺接しているた
め、長時間の使用の間には可動体の側面および変
位検出器の可動部先端が摩耗して、測定精度が悪
化する恐れがある。
本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなさ
れたもので、第１の移動方向に所定の幅を有しか
つ前記第１の移動方向と直交する方向のみに弾性
変形する第１変形部と、この第１変形部の下端に
位置して前記可動体に固定される第１固定部と、
前記第１変形部の上端に位置して前記第１の可動
部に固定される第１変位伝達部とからなる板ばね
１９と、前記第１の移動方向に対して直交状態に
ある第２の移動方向に所定の幅を有しかつ前記第
２の移動方向と直交する方向のみに弾性変形する
第２変形部と、この第２変形部の下端に位置して
前記可動体に固定される第２固定部と、前記第２
変形部の上端に位置して前記第２の可動部に固定
される第２変位伝達部とからなる板ばね１８とを
設けたことによつて、スタイラス軸線と直交する
方向の可動体の変位を、ヘツド本体に設けられた
一対の変位検出器によつて高精度にかつ長期にわ
たつて安定的に検出できるようにすることを目的
とするものである。
れたもので、第１の移動方向に所定の幅を有しか
つ前記第１の移動方向と直交する方向のみに弾性
変形する第１変形部と、この第１変形部の下端に
位置して前記可動体に固定される第１固定部と、
前記第１変形部の上端に位置して前記第１の可動
部に固定される第１変位伝達部とからなる板ばね
１９と、前記第１の移動方向に対して直交状態に
ある第２の移動方向に所定の幅を有しかつ前記第
２の移動方向と直交する方向のみに弾性変形する
第２変形部と、この第２変形部の下端に位置して
前記可動体に固定される第２固定部と、前記第２
変形部の上端に位置して前記第２の可動部に固定
される第２変位伝達部とからなる板ばね１８とを
設けたことによつて、スタイラス軸線と直交する
方向の可動体の変位を、ヘツド本体に設けられた
一対の変位検出器によつて高精度にかつ長期にわ
たつて安定的に検出できるようにすることを目的
とするものである。
以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。
る。
第１図、第２図において、１は横断面が正方形
の筒状の可動体であり、この可動体１はカバー２
内の中心に軸線方向を垂直方向（以下Ｚ方向とい
う）にして配設されている。可動体１の下端には
可動ヘツド３が固定され、可動ヘツド３はカバー
２の下方に延びている。可動ヘツド３内の中心に
はスタイラス４が可動体１と同軸線上に配設さ
れ、スタイラス４は上、下板ばね５，６によつて
可動ヘツド３にＺ方向への移動可能に弾性支持さ
れている。前記スタイラス４の下部は可動ヘツド
３の下方に延び、スタイラス４の下端には球状接
触部４ａが形成されている。差動トランスからな
るＺ方向変位検出器７の可動コア８がスタイラス
４の上、下板ばね５，６間に位置する部分に設け
られ、前記可動コア８と対応する位置にコイル９
が配置され、コイル９は可動ヘツド３に固定され
ている。前記可動ヘツド３内下部には吸振ダンパ
１０の筒体１０ａが固定され、この筒体１０ａの
上、下端にベローズ１０ｂ，１０ｃの一端が固定
され、これらの他端がスタイラス４に固定され、
筒体１０ａおよびベローズ１０ｂ，１０ｃで囲ま
れた内部にはシリコーンオイルが封入され、スタ
イラス４に設けた鍔４ｂがシリコーンオイル内に
挿入されている。前記カバー２内にはこれと一体
にヘツド本体１１が固定され、ヘツド本体１１に
はこれの一部を構成する左、右支持ブロツク１２
が相対向して固定されている。前記可動体１の各
角部外面には、水平方向の第２図上下方向（以下
Ｙ方向という）に延びる４個の第１連結体１３が
配設され、第１連結体１３の外端と前記支持ブロ
ツク１２の両端部との間には水平方向の第２図左
右方向（以下Ｘ方向という）に延びる４個の第２
連結体１４が配設されている。第１、第２連結体
１３，１４は、金属などの剛体からなり、Ｚ方向
に可動体１より少し短い長さをもつている。可動
体１の角部外面と第１連結体１３の内端部とが十
字ばね１５を介して連結され、第１連結体１３の
外端部と第２連結体１４の一端部とが十字ばね１
６を介して連結され、さらに第２連結体１４の他
端部と支持ブロツク１２の両端とが十字ばね１７
を介して連結されて、それぞれ上下２個所で可動
体１が支持ブロツク１２にＸ、Ｙ方向への移動可
能に弾性支持されている。なお、前記十字ばね１
５，１６，１７は、Ｚ方向寸法が短い２枚のばね
片を互に直角をなすように配置して立体交差さ
せ、前述した各部材にばね片の両端部をビスで締
付け固定するものであり、すべての十字ばねのば
ね常数を互に等しくすることにより、Ｘ、Ｙ各方
向に相等しくかつ板ばね５，６によるＺ方向のば
ね常数とも等しいばね常数で可動体１を支持ブロ
ツク１２に弾性支持している。さらに、第１図、
第３図に示すように、可動体１の上端部の隣接す
る２辺にそれぞれＹ方向およびＸ方向に所定の幅
を有する板ばね１８，１９の下端部が固定され、
これらの上端部にはＹ方向、Ｘ方向連結部材２
０，２１がそれぞれ固定されている。Ｙ方向、Ｘ
方向連結部材２０，２１は、Ｙ方向、Ｘ方向に延
びて、可動体１上方で互に接触しないように直角
に立体交差されている。Ｙ方向、Ｘ方向連結部材
２０，２１の一端は差動トランスからなるＹ方
向、Ｘ方向変位検出器２２，２３の可動コア２
４，２５の内端とそれぞれ固定され、これらの可
動コア２４，２５と対応する位置に配置されたコ
イル２６，２７がヘツド本体１１に固定され、可
動コア２４，２５の他端がＺ方向に延びる板ばね
２８，２９でヘツド本体１１に連結支持されてい
る。また、Ｙ方向、Ｘ方向連結部材２０，２１の
他端はダンパ軸３０，３１の内端と固定され、こ
れらの軸３０，３１はコア２４，２５の軸線延長
方向に延びる軸線をもち、ダンパ軸３０，３１の
外端がＺ方向に延びる板ばね３２，３３を介して
ヘツド本体１１に連結支持されている。そして、
可動コア２４とＸ方向連結部材２１は、板ばね２
８，３３により、可動体１のＸ方向の移動に移動
可能に支持され、また可動コア２５とＹ方向連結
部材２０は、板ばね２９，３２により、可動体１
のＹ方向の移動に移動可能に支持される。ヘツド
本体１１に吸振ダンパ１０と同様な吸振ダンパ３
４，３５の筒体３４ａ，３５ａが固定され、これ
らの筒体３４ａ，３５ａの両端にベローズ３４
ｂ，３４ｃ，３５ｂ，３５ｃの一端が固定され、
これらの他端がダンパ軸３０，３１に固定され、
吸振ダンパ１０内に封入されたシリコーンオイル
内にダンパ軸３０，３１に設けた鍔３０ａ，３１
ａがそれぞれ挿入されている。
の筒状の可動体であり、この可動体１はカバー２
内の中心に軸線方向を垂直方向（以下Ｚ方向とい
う）にして配設されている。可動体１の下端には
可動ヘツド３が固定され、可動ヘツド３はカバー
２の下方に延びている。可動ヘツド３内の中心に
はスタイラス４が可動体１と同軸線上に配設さ
れ、スタイラス４は上、下板ばね５，６によつて
可動ヘツド３にＺ方向への移動可能に弾性支持さ
れている。前記スタイラス４の下部は可動ヘツド
３の下方に延び、スタイラス４の下端には球状接
触部４ａが形成されている。差動トランスからな
るＺ方向変位検出器７の可動コア８がスタイラス
４の上、下板ばね５，６間に位置する部分に設け
られ、前記可動コア８と対応する位置にコイル９
が配置され、コイル９は可動ヘツド３に固定され
ている。前記可動ヘツド３内下部には吸振ダンパ
１０の筒体１０ａが固定され、この筒体１０ａの
上、下端にベローズ１０ｂ，１０ｃの一端が固定
され、これらの他端がスタイラス４に固定され、
筒体１０ａおよびベローズ１０ｂ，１０ｃで囲ま
れた内部にはシリコーンオイルが封入され、スタ
イラス４に設けた鍔４ｂがシリコーンオイル内に
挿入されている。前記カバー２内にはこれと一体
にヘツド本体１１が固定され、ヘツド本体１１に
はこれの一部を構成する左、右支持ブロツク１２
が相対向して固定されている。前記可動体１の各
角部外面には、水平方向の第２図上下方向（以下
Ｙ方向という）に延びる４個の第１連結体１３が
配設され、第１連結体１３の外端と前記支持ブロ
ツク１２の両端部との間には水平方向の第２図左
右方向（以下Ｘ方向という）に延びる４個の第２
連結体１４が配設されている。第１、第２連結体
１３，１４は、金属などの剛体からなり、Ｚ方向
に可動体１より少し短い長さをもつている。可動
体１の角部外面と第１連結体１３の内端部とが十
字ばね１５を介して連結され、第１連結体１３の
外端部と第２連結体１４の一端部とが十字ばね１
６を介して連結され、さらに第２連結体１４の他
端部と支持ブロツク１２の両端とが十字ばね１７
を介して連結されて、それぞれ上下２個所で可動
体１が支持ブロツク１２にＸ、Ｙ方向への移動可
能に弾性支持されている。なお、前記十字ばね１
５，１６，１７は、Ｚ方向寸法が短い２枚のばね
片を互に直角をなすように配置して立体交差さ
せ、前述した各部材にばね片の両端部をビスで締
付け固定するものであり、すべての十字ばねのば
ね常数を互に等しくすることにより、Ｘ、Ｙ各方
向に相等しくかつ板ばね５，６によるＺ方向のば
ね常数とも等しいばね常数で可動体１を支持ブロ
ツク１２に弾性支持している。さらに、第１図、
第３図に示すように、可動体１の上端部の隣接す
る２辺にそれぞれＹ方向およびＸ方向に所定の幅
を有する板ばね１８，１９の下端部が固定され、
これらの上端部にはＹ方向、Ｘ方向連結部材２
０，２１がそれぞれ固定されている。Ｙ方向、Ｘ
方向連結部材２０，２１は、Ｙ方向、Ｘ方向に延
びて、可動体１上方で互に接触しないように直角
に立体交差されている。Ｙ方向、Ｘ方向連結部材
２０，２１の一端は差動トランスからなるＹ方
向、Ｘ方向変位検出器２２，２３の可動コア２
４，２５の内端とそれぞれ固定され、これらの可
動コア２４，２５と対応する位置に配置されたコ
イル２６，２７がヘツド本体１１に固定され、可
動コア２４，２５の他端がＺ方向に延びる板ばね
２８，２９でヘツド本体１１に連結支持されてい
る。また、Ｙ方向、Ｘ方向連結部材２０，２１の
他端はダンパ軸３０，３１の内端と固定され、こ
れらの軸３０，３１はコア２４，２５の軸線延長
方向に延びる軸線をもち、ダンパ軸３０，３１の
外端がＺ方向に延びる板ばね３２，３３を介して
ヘツド本体１１に連結支持されている。そして、
可動コア２４とＸ方向連結部材２１は、板ばね２
８，３３により、可動体１のＸ方向の移動に移動
可能に支持され、また可動コア２５とＹ方向連結
部材２０は、板ばね２９，３２により、可動体１
のＹ方向の移動に移動可能に支持される。ヘツド
本体１１に吸振ダンパ１０と同様な吸振ダンパ３
４，３５の筒体３４ａ，３５ａが固定され、これ
らの筒体３４ａ，３５ａの両端にベローズ３４
ｂ，３４ｃ，３５ｂ，３５ｃの一端が固定され、
これらの他端がダンパ軸３０，３１に固定され、
吸振ダンパ１０内に封入されたシリコーンオイル
内にダンパ軸３０，３１に設けた鍔３０ａ，３１
ａがそれぞれ挿入されている。
次に、以上のように構成されたトレーサヘツド
の動作について説明する。トレーサヘツド被検出
物と相対移動により、スタイラス４の接触部４ａ
が被検出物と接触し、スタイラス４がＺ方向に
上、下板ばね５，６のばね力に抗して移動する
と、Ｚ方向変位検出器７のコア８がコイル９に抗
して変位するので、Ｚ方向変位検出器７によつて
Ｚ方向の変位が検出される。また、スタイラス４
にＹ方向の力が作用し、十字ばね１５，１６，１
７のばね力に抗して可動体１がＹ方向に移動する
と、板ばね１８、Ｙ方向連結部材２０を介してＹ
方向変位検出器２２の可動コア２５が、板ばね２
９に支持されながら可動体１の変位に応じて、コ
イル２６に対して変位するので、Ｙ方向変位検出
器２２によつてＹ方向の変位が検出される。さら
に、スタイラス４にＸ方向の力が作用して可動体
１がＸ方向に移動すると、板ばね１９、Ｘ方向連
結部材２１を介してＸ方向変位検出器２３の可動
コア２４が、板ばね２８に支持されながら可動体
１の変位に応じて変位するので、Ｘ軸方向変位検
出器２３によつてＸ軸方向の変位が検出される。
そして、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向変位検出器２３，２２，
７からの検出信号によつて被検出物Ｘ、Ｙ、Ｚ方
向の座標により、被検出物の形状を検出すること
ができる。また、被検出物を被測定物にした場合
には、その形状を正確に測定できる。
の動作について説明する。トレーサヘツド被検出
物と相対移動により、スタイラス４の接触部４ａ
が被検出物と接触し、スタイラス４がＺ方向に
上、下板ばね５，６のばね力に抗して移動する
と、Ｚ方向変位検出器７のコア８がコイル９に抗
して変位するので、Ｚ方向変位検出器７によつて
Ｚ方向の変位が検出される。また、スタイラス４
にＹ方向の力が作用し、十字ばね１５，１６，１
７のばね力に抗して可動体１がＹ方向に移動する
と、板ばね１８、Ｙ方向連結部材２０を介してＹ
方向変位検出器２２の可動コア２５が、板ばね２
９に支持されながら可動体１の変位に応じて、コ
イル２６に対して変位するので、Ｙ方向変位検出
器２２によつてＹ方向の変位が検出される。さら
に、スタイラス４にＸ方向の力が作用して可動体
１がＸ方向に移動すると、板ばね１９、Ｘ方向連
結部材２１を介してＸ方向変位検出器２３の可動
コア２４が、板ばね２８に支持されながら可動体
１の変位に応じて変位するので、Ｘ軸方向変位検
出器２３によつてＸ軸方向の変位が検出される。
そして、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向変位検出器２３，２２，
７からの検出信号によつて被検出物Ｘ、Ｙ、Ｚ方
向の座標により、被検出物の形状を検出すること
ができる。また、被検出物を被測定物にした場合
には、その形状を正確に測定できる。
以上述べたように本発明においては、第１の移
動方向に所定の幅を有しかつ前記第１の移動方向
と直交する方向のみに弾性変形する第１変形部
と、この第１変形部の下端に位置して前記可動体
に固定される第１固定部と、前記第１変形部の上
端に位置して前記第１の可動部に固定される第１
変位伝達部とからなる板ばね１９と、前記第１の
移動方向に対して直交状態にある第２の移動方向
に所定の幅を有しかつ前記第２の移動方向と直交
する方向のみに弾性変形する第２変形部と、この
第２変形部の下端に位置して前記可動体に固定さ
れる第２固定部と、前記第２変形部の上端に位置
して前記第２の可動部に固定される第２変位伝達
部とからなる板ばね１８とを設けたことによつ
て、可動体のスタイラス軸線と直交する面内での
特定方向の変位のみを一方の変位検出器に伝達
し、特定方向と直交する他方向の変位のみを他方
の変位検出器に伝達するようにし、また変位検出
器の可動部ヘツド本体に板ばねで支持するように
した構成であるので、可動体のスタイラス軸線と
直交する方向の変位をヘツド本体に取付けた一対
の変位検出器によつて高精度に測定できるだけで
なく、可動体と変位検出器の可動部との間に摺動
部がないため、高精度な測定を長期にわたつて行
なえる利点がある。また変位検出器は可動体の変
位に応じて移動する可動部と、可動部を移動方向
に沿つて移動可能に挿入した固定部からなつてい
るため、可動体の比較的大きな変位にも対応する
ことができる。
動方向に所定の幅を有しかつ前記第１の移動方向
と直交する方向のみに弾性変形する第１変形部
と、この第１変形部の下端に位置して前記可動体
に固定される第１固定部と、前記第１変形部の上
端に位置して前記第１の可動部に固定される第１
変位伝達部とからなる板ばね１９と、前記第１の
移動方向に対して直交状態にある第２の移動方向
に所定の幅を有しかつ前記第２の移動方向と直交
する方向のみに弾性変形する第２変形部と、この
第２変形部の下端に位置して前記可動体に固定さ
れる第２固定部と、前記第２変形部の上端に位置
して前記第２の可動部に固定される第２変位伝達
部とからなる板ばね１８とを設けたことによつ
て、可動体のスタイラス軸線と直交する面内での
特定方向の変位のみを一方の変位検出器に伝達
し、特定方向と直交する他方向の変位のみを他方
の変位検出器に伝達するようにし、また変位検出
器の可動部ヘツド本体に板ばねで支持するように
した構成であるので、可動体のスタイラス軸線と
直交する方向の変位をヘツド本体に取付けた一対
の変位検出器によつて高精度に測定できるだけで
なく、可動体と変位検出器の可動部との間に摺動
部がないため、高精度な測定を長期にわたつて行
なえる利点がある。また変位検出器は可動体の変
位に応じて移動する可動部と、可動部を移動方向
に沿つて移動可能に挿入した固定部からなつてい
るため、可動体の比較的大きな変位にも対応する
ことができる。
第１図はこの発明の実施例を示す縦断面図、第
２図および第３図は第１図の−線および−
線に沿う断面図である。 １……可動体、４……スタイラス、５，６……
上、下板ばね、１１……ヘツド本体、１２……支
持ブロツク、１３，１４……第１、第２連結体、
１５，１６，１７……十字ばね、１８，１９……
板ばね、２０，２１……連結体、２２，２３……
変位検出器、２４，２５……可動コア。
２図および第３図は第１図の−線および−
線に沿う断面図である。 １……可動体、４……スタイラス、５，６……
上、下板ばね、１１……ヘツド本体、１２……支
持ブロツク、１３，１４……第１、第２連結体、
１５，１６，１７……十字ばね、１８，１９……
板ばね、２０，２１……連結体、２２，２３……
変位検出器、２４，２５……可動コア。
Claims (1)
- １ スタイラスを支持した可動体をヘツド本体に
対して前記スタイラスの軸線と直交する面内で移
動可能に支持し、前記可動体の前記スタイラス軸
線と直交する面内での変位を前記ヘツド本体に固
着した一対の変位検出器によつて検出するように
したトレーサヘツドにおいて、前記可動体の変位
平面と平行な第１の移動方向に沿つて移動可能な
前記変位検出器の第１の可動部と、その第１の可
動部を前記ヘツド本体に前記第１の移動方向に移
動可能に支持する１組の平行な板ばね２８，３３
と、前記ヘツド本体に固定されて前記第１の可動
部を前記第１の移動方向に沿つて移動可能に挿入
した前記変位検出器の第１の固定部と、前記第１
の移動方向に対して前記スタイラスの軸線と直交
する面内で直交状態にある第２の移動方向に沿つ
て移動可能な前記変位検出器の第２の可動部と、
その第２の可動部を前記ヘツド本体に前記第２の
移動方向に移動可能に支持する１組の平行な板ば
ね２９，３２と、前記ヘツド本体に固定されて前
記第２の可動部を前記第２の移動方向に沿つて移
動可能に挿入した前記変位検出器の第２の固定部
を有し、前記第１の移動方向に所定の幅を有しか
つ前記第１の移動方向と直交する方向のみに弾性
変形する第１変形部と、この第１変形部の下端に
位置して前記可動体に固定される第１固定部と、
前記第１変形部の上端に位置して前記第１の可動
部に固定される第１変位伝達部とからなる板ばね
１９と、前記第２の移動方向に所定の幅を有しか
つ前記第２の移動方向と直交する方向のみに弾性
変形する第２変形部と、この第２変形部の下端に
位置して前記可動体に固定される第２固定部と、
前記第２変形部の上端に位置して前記第２の可動
部に固定される第２変位伝達部とからなる板ばね
１８とを設けたことを特徴とするトレーサヘツ
ド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2388582A JPS5888612A (ja) | 1982-02-17 | 1982-02-17 | トレ−サヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2388582A JPS5888612A (ja) | 1982-02-17 | 1982-02-17 | トレ−サヘツド |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18734081A Division JPS5888604A (ja) | 1981-11-21 | 1981-11-21 | トレ−サヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5888612A JPS5888612A (ja) | 1983-05-26 |
| JPH037044B2 true JPH037044B2 (ja) | 1991-01-31 |
Family
ID=12122897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2388582A Granted JPS5888612A (ja) | 1982-02-17 | 1982-02-17 | トレ−サヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5888612A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6074004U (ja) * | 1983-10-26 | 1985-05-24 | 日立精機株式会社 | 工作機械の接触形計測装置 |
| DE102008037926B3 (de) * | 2008-08-14 | 2010-02-04 | SIOS Meßtechnik GmbH | Vorrichtung zur taktilen Messung von dreidimensionalen Kräften |
| CN108007357A (zh) * | 2017-11-14 | 2018-05-08 | 成都华量传感器有限公司 | 板弹簧测量结构及位移传感器 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51149050A (en) * | 1975-05-13 | 1976-12-21 | Rolls Royce | Measuring device |
| JPS52145058A (en) * | 1976-03-24 | 1977-12-02 | Rolls Royce | Displacement measuring device |
-
1982
- 1982-02-17 JP JP2388582A patent/JPS5888612A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51149050A (en) * | 1975-05-13 | 1976-12-21 | Rolls Royce | Measuring device |
| JPS52145058A (en) * | 1976-03-24 | 1977-12-02 | Rolls Royce | Displacement measuring device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5888612A (ja) | 1983-05-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4852267A (en) | Coordinate measuring machine having a guide section for a column of a measuring member support body | |
| US3945124A (en) | Contact sensor for workpiece calipering | |
| US4530160A (en) | Sensing pin mounting arrangement for multicoordinate sensing head | |
| EP0407489B1 (en) | Measurement probe using bearings with centralised rolling elements | |
| EP2251635B1 (en) | Probe for three-dimensional shape measuring apparatus and three-dimensional shape measuring apparatus. | |
| JP4970707B2 (ja) | ダンパーを備えるキネマティックカップリング | |
| JP4434452B2 (ja) | 測尺装置 | |
| US4523383A (en) | Position sensing apparatus | |
| JPH04500562A (ja) | 位置測定装置 | |
| EP0299033B1 (en) | Feeler device, particularly for copying machines | |
| EP0568120B1 (en) | Position sensing probe | |
| US5548902A (en) | Multi-coordinate probe | |
| US4575947A (en) | Measuring arm for a multiple coordinate measuring machine | |
| JPS6341001B2 (ja) | ||
| JPH037044B2 (ja) | ||
| US5505004A (en) | Machine frame | |
| JPS6322526B2 (ja) | ||
| JP6395542B2 (ja) | 接触式プローブ及び形状測定装置 | |
| JPS6130688B2 (ja) | ||
| JP4079534B2 (ja) | 測定ヘッド | |
| JPH05309551A (ja) | 変位検出装置 | |
| JP2521438B2 (ja) | トレ−サヘツド | |
| US5040305A (en) | Apparatus for linear measurements | |
| GB1583504A (en) | Measuring gauge | |
| JPH025362Y2 (ja) |