JPH0359823A

JPH0359823A - 対物レンズ駆動装置

Info

Publication number: JPH0359823A
Application number: JP19517489A
Authority: JP
Inventors: Takashi Obara; 隆小原
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1989-07-27
Filing date: 1989-07-27
Publication date: 1991-03-14

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、原盤露光機用対物レンズ駆動装置、または記
録媒体上に光学的に情報を書き込んだり読み取る装置の
対物レンズ駆動装置に関する。

（従来の技術）対物レンズ駆動装置は、コンパクトディスクなどの原盤
または記録媒体の、反りの上下運動によるフォーカスず
れや、偏心等によるトラッキングずれを補正するための
装置である。

従来この種の対物レンズ駆動装置は、第４図に示すよう
に、対物レンズｌを取り付けたレンズホルダ２を、磁石
６　ａ、６　ｂと磁気ヨーク７　ａ、７　ｂからなる磁
気回路の空隙中にフォーカス用コイル９およびトラッキ
ング用コイル８を配置した動電型変換器によって、板ば
ね５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄを介して、それぞれフォーカ
ス方向Ｆおよびトラッキング方向Ｔに並進運動させるこ
とによって。

対物レンズ１のフォーカスずれやトラッキングずれを補
正するように構成されている（特開昭６３−２２４０３
９号公報）。

また、この対物レンズ駆動装置では、駆動時の、基板と
フォーカス用コイル９或いはトラッキング用コイル８と
の間の接点部分に生じる繰返し応力による、フォーカス
用コイル９或いはトラッキング用コイル８の＊ａを防止
する手段として、第５図に示すように、板ばね５ａ等に
粘弾性材１１を介して、銅箔等の導電性材１２を接着し
、フォーカス用コイル９或いはトラッキング用コイル８
を、導電性材１２のレンズホルダ２上に半田付けするこ
とによって、駆動電流を送るように構成している。

（発明が解決しようとする課題）ところで、上記従来の対物レンズ駆動装置は、複数枚の
平行な板ばね５ａ、５ｂ等を取り付けたときの、取り付
は不整合や、板ばね５ａ、５ｂ等の弾力のばらつき、お
よび磁気回路と各コイル８゜９の組立誤差による電磁力
の光軸直角方向分等の影響により、対物レンズ１および
レンズホルダ２からなる可動部にモーメント力が生じて
、この可動部が倒れ振動を起こし制御不能となる不具合
がある。

すなわち、この対物レンズ駆動装置では、板ばね５ａ、
５ｂ等に取り付は不整合や弾力のばらつきなどがあると
、各板ばねの曲げ開始点が個々の板ばねで異なったり、
個々の板ばねのたわみ量がアンバランスになるため、第
６図に示すように。

対物レンズ１およびレンズホルダ２からなる可動体Ａが
光軸方向に動かず、それ以外の方向で回転し易くなる。

また、この装置では、磁気回路と各コイル８，９との組
立て位置に誤差があると、コイル８，９に発生する電磁
力の方向が対物レンズエの光軸方向と一致せず、コイル
８，９の電磁力によって光軸に対して可動体Ａを回転さ
せようとする分力（モーメント力）が生じるため、可動
体Ａが回転し易くなる。

このように、上記従来の対物レンズ駆動装置では、その
駆動時に可動体Ａが回転して倒れ振動を生じ易い。

ここで、倒れ振動とは、対物レンズｌを含む可動体Ａの
光軸方向に対する全回転振動のことを意味する。従って
、制御的には、光軸方向（フォーカス方向）および光軸
直角方向（トラッキング方向）に可動体を駆動すること
であるから、可動体Ａが全回転方向に振動した場合には
、光軸方向に対する可動体の制御ができなくなり、その
フォーカスサーボ系が発振してしまう、また、この装置
は、可動体Ａが倒れ振動を発生すると、対物レンズｌが
回転するために、その焦点位置もずれてしまうため、制
御上好ましくない。

一方、上記従来の対物レンズ駆動装置では、可動部に駆
動電流を送る手段として、各板ばね５ａ。

５ｂ等に、粘弾性材１１を介して導電性材１２を接着し
であるため、可動体Ａの直進特性にヒステリシス特性を
生じ、また、この可動体Ａの直進特性が環境条件（特に
温度）により変化してしまうなどの不具合がある。

（課題を解決するための手段）本発明は、上述の課題を解消するために、各板ばねの曲
がり支点を回動支点とする互いに平行な上下２枚の剛体
板を、可動部と固定枠ａの間に、各板ばねと同一平面を
なすようにそれぞれ配設した構成とする。さらに、上記
各剛体板を導電性セラミックで形成して、この剛体板を
通して駆動電流を送る構成とする。

（作　用）本発明によれば、各板ばねと同一平面をなすように、可
動部と固定枠との間に、各板ばねの曲がり支点を回動し
点とする互いに平行な上下２枚の剛体板が配設されるの
で、これらの剛体板の各回動支点が常に平行四辺形の頂
点をなすように、可動部が光軸方向に沿って直線的に移
動される。

また、駆動電流を送る送電手段として、各剛体板を導電
性セラミックで形成することにより行なうので、各板ば
ねが他の部材の悪影響を受けることなく湾曲される。

（実　施　例）以下、本発明の実施例を図に基づいて詳細に説明する。

第１図において、対物レンズ１０はレンズ枠１１に収納
されている。レンズ枠１１は、互いに平行な上下２枚の
板ばね１２．１３の自由端にねじ止めされることによっ
て、光軸方向に向けて移動自在に支持されている。

各板ばね１２．１３は、板ばね押え１４．１５によって
、固定枠１６に基部が固定されている。

また、レンズ枠１１は、互いに平行な上下２枚の剛体板
１７．１８によって支持されている。これらの剛体板１
７．１８は、第２図に示すように、それらの両端をナイ
フェツジ状に形成し、これらの両端をレンズ枠１１およ
び固定枠１６に形成したＶ状溝に嵌合させることによっ
て、それらの回動支点Ｂが形成されている。

また、これらの剛体板１７．１８は、第１図に示すよう
に、各板ばね１２．１３と同一平面をなすように、これ
ら板ばね１２．１３の曲げ支点Ｃ（第６図参照）と各剛
体板１７．１８の回動支点Ｂとを一致させてレンズ枠１
１と固定枠１６との間に配設されている。

一方、レンズ枠１１の腔部には、コイル１９が巻装され
ている。このコイル１９は、一対の永久磁石２０゜２１
によって形成されたギャップ内に臨むように配置されて
いる。各永久磁石２０．２１は固定枠１６に固着された
一対の磁気ヨーク２２．２３に接着固定されている。

また、レンズ枠１１の上部円筒部には、カバーガラス２
４が取り付けられたダンププレート２５が、１０μｍ程
度のギャップを保って対向配置されている。

このダンププレート２５は、固定枠１６に固定されてい
る。これにより、レンズ枠１１は、その移動時に発生す
る流体摩擦によって適度のダンピングが得られる。

さらに、コイル１９に対する通電は、固定枠１６および
レンズ枠１１を絶縁処理（もしくは絶縁体で形成）する
と共に、各剛体板１７．１８を通電性セラミックで形成
し、コイル１９の両端末をそれぞれの剛体板１７．１８
のレンズ枠１１側に半田付けする一方、これら剛体板１
７．１８の固定枠１６側に図示しない電源の両端末を半
田付けすることにより行なわれる。

このコイル１９への通電手段としては、各剛体板１７゜
１８に１例えば粘弾性材等の絶縁材を複合し、この絶縁
材の上に通電パターンを形成するようにｉ或しても良い
。

上述のように構成された対物レンズ駆動装置は。

各板ばね１２．１３と同一平面をなすように、レンズ枠
１１と固定枠１６との間に、各板ばね１２．１３の曲が
り支点Ｃを回動支点Ｂとする互いに平行な上下２枚の剛
体板１７．１８が配設されているので、コイル１９に通
電することにより、これらの剛体板１７．１８の各回動
支点Ｂが常に平行四辺形の頂点をなすように、レンズ枠
１１が直線的に極めてスムーズに移動される。従って、
このレンズ枠１１の微小動作範囲内においては、各剛体
板１７．１８がガイドの役割を果たすので、レンズ枠１
１の光軸方向に対する回転振動、すなわちレンズ枠１１
の倒れ振動が抑制される。このように、レンズ枠１１の
倒れ振動が抑制されることにより、第３図のレンズ枠１
１の周波数特性においてｆｃで示すような不要振動（破
線で図示）を排除することができる。

また、この対物レンズ邸動装置は、コイル１９への通電
手段として、各剛体板１７．１８を使用し、各板ばね１
２．１３を使用していないので、レンズ枠１１の直進特
性にヒステリシスや温度特性変化を生じることなく通電
することができる。

（発明の効果）本発明によれば、レンズ枠の倒れ振動が防止されるので
、対物レンズの焦点制御精度が向上される。

また、環境条件の変化によって対物レンズの制御精度や
諸特性に悪影響をおよぼすことなくコイルへの通電を行
なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の斜視図、第２図は上記実施例
の要部概略側面図、第３図は上記実施例の可動部の周波
数特性を示す線図、第４図は従来の対物レンズ駆動装置
の斜視図、第５図は上記従来の対物レンズ邸動装置の要
部分解斜視図、第６図は上記従来の対物レンズ駆動装置
の動作説明図である。１０・・・対物レンズ、１１・・・レンズ枠、１２．１
３・・・板ばね、１４．１５・・・板ばね押え、１６・
・・５固定枠、１７゜１８・・・剛体板、１９・・・コ
イル、　２０’、　２１・・・永久磁石、２２、２３・
・・磁気ヨーク。氾４図先２図 □同城校

Claims

【特許請求の範囲】１、原盤露光機用対物レンズ駆動装置または記録媒体上
に光学的に情報を書き込んだり読み取る装置の対物レン
ズ駆動装置であって、対物レンズが収納されたレンズ枠
からなる可動部を、上記対物レンズの光軸方向に駆動す
る駆動機構を備え、互いに平行な上下２枚の板ばねを介
して装置の固定枠に上記可動部を支持してなる対物レン
ズ駆動装置において、上記各板ばねの曲がり支点を回動
支点とする互いに平行な上下２枚の剛体板を、上記可動
部と固定枠との間に、上記各板ばねと同一平面をなすよ
うにそれぞれ配設したことを特徴とする対物レンズ駆動
装置。２、上記各剛体板を導電性セラミックで形成し、上記駆
動機構に駆動電流を送る送電手段として上記各剛体板を
使用したことを特徴とする請求項１記載の対物レンズ駆
動装置。