JPH035807Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、良好な作業性、汚染の防止並びに構
造の簡易性を目的とした産業機械用などに供され
るクリーントンネル装置に関する。

本考案は、これらの目的を好適に達成する工業
用クリーントンネルとして、図面に示したよう
に、クリーンルーム１内に、このクリーンルーム
１と連通する開口２を有するクリーントンネル３
を形成した設備であつて、該クリーントンネル３
の天井部にクリーンルーム１用のHEPAフイル
ター４よりもハイクラスのHEPAフイルター５
を水平に配置すると共に前記開口２の上部に垂直
なフード６を設置し、斯くして構成されるクリー
ントンネル３内に機械または作業台７を設置した
うえこれらに向けて該HEPAフイルター５から
清浄空気を下向きに吹付けるようにしたクリーン
トンネル装置において、該フード６の垂直面と平
行な垂直面をもつ整流板９を、該開口２の位置に
該機械または作業台７とは間隔をあけて且つ該機
械または作業台７の天面よりも上端縁が高くなる
ように、該機械または作業台７に設置したことを
特徴とするクリーントンネル装置を提供する。

第１図において、１は0.3μ；クラス10000程度
のクリーンルーム（通路）を示しており、このた
めに0.3μHEPAフイルター４をその天井面に設置
し、このHEPAフイルター４からクリーンルー
ム１内に清浄空気が供給される。ここで、0.3μ；
クラス10000とは、0.3μ以上の微粒子が累積微粒
子数10000個／ft³以下の清浄度を有することを意
味し、0.3μHEPAフイルターとは、0.3μ以上の微
粒子を実質上通さない高性能フイルターを意味し
ている。このようなクリーンルーム通路１の壁面
に沿つて産業機械あるいは作業台７（以下単に機
械類と呼ぶことがある）を設置し、この部分の清
浄度を例えば0.1〜0.3μ；クラス10〜100に維持す
るためにクリーントンネル３を形成する。

このクリーントンネル３は、クリーンルーム通
路１の壁面１０そのものまたはこれに密着した垂
直壁を１方の側壁とし、クリーンルーム通路１の
天井部１１から垂下するフード６を他方の側壁と
して形成される。このフード６（垂直な垂れ壁）
の下縁と床面１２との間には相当な間隔を有して
おり、この間隔がクリーンルーム通路１とクリー
ントンネル３とを連通する開口２となり、この開
口２を通じて機械類７の操作その他が行えるよう
にする。図中の１３はクリーントンネル内を照ら
すようにフード６の内面に配設された螢光灯を示
している。

クリーントンネル３の天井部には0.1μHEPAフ
イルター５が水平に配置され、クリーントンネル
３の床面近の後壁部に排気口１４が配置されてい
て、HEPAフイルター５からこのクリーントン
ネル３内に設置された機械類７に向けて、クリー
ンルーム通路１の空気とは別系統で清浄空気が吹
付けられたあと排気口１４から排気される。この
ために、クリーントンネル用の送風機１５がクリ
ーンルーム通路１の系外に設けられている。

このように構成したクリーントンネルによると
装置構成が簡易であると共に機械類等の作業性も
良好となるが、開口２からの気流の巻込みによる
汚染が問題となる。

本考案はこの装置構成の簡易性と作業性を損な
うことなく該開口２からの汚染を効果的に防止す
るものであり、このために整流板９を使用する。
この整流板９は第１図の場合は機械類７の前面に
取付けられている。すなわち、フード６の垂直面
と平行な垂直面をもつ整流板９が、該開口２の位
置に該機械または作業台７とは間隔をあけて設置
されており、その設置は、クリーントンネル３内
に設置される機械または作業台７を利用して行わ
れている。

第２図はこの整流板９の取付け部を拡大して示
したものであり、吸盤１７を有した支持棒１８を
用いて、機械類７の前表面８に固定されている。
この整流板９は横に長く伸びた垂直な板体であ
り、その長さは機械類の清浄度を必要とする幅よ
りも長くし、その取付けにさいしては、機械類の
天面１９よりも上端縁が高くなるようにするとよ
い。そしてこの上端縁２０に先細りのテーパを付
けておくと一層効果的である。材質は問わない
が、透明アクリル板などを使用するとみばえがよ
い。この整流板９の取付けによつて、この整流板
９の両側において空気流れが整流化される結果、
クリーンルーム通路１の空気の開口２からの巻込
みが効果的に防止されると共に、機械類７をクリ
ーントンネル３内の奥の方に設置しなくとも（開
口２の近くまで張り出して設置しても）よくな
り、大きな機械類を収容できると共に、作業性も
よくなり、一石二鳥の効果がある。

第３図と第４図は、整流板９を用いない場合と
用いた場合の空気流れを比較したもので、第３図
のように整流板９がない場合は上部からの気流が
機械類７の上面でつき当つたあと、この機械類７
の前面さらには側面で乱流域２５が発生し、通気
側の気流とのコンタミネーシヨンが起こる。これ
に対し、整流板９を設けた第４図の場合は、この
ような乱流域が発生しないので、コンタミネーシ
ヨンが効果的に防止される。

第５図は本考案のクリーントンネル装置を通路
１の両サイドに設置する場合の配置例を示した天
井部平面図であり、このような配置を採用するこ
とにより、通路両側で多数の生産機械を高度な清
浄環境で運転できることになり、作業性も良好と
なる。

以上のようにして、本考案のクリーントンネル
は、構造簡易性と作業性にすぐれると共に、機械
類の作業用開口からのコンタミネーシヨンが防止
され、またこのクリーントンネル内に設置される
機械類にあわせて空気巻込みの防止が図れかつ機
械類のトンネル内への設置融通性も増大するなど
工業用クリーントンネルとして有益かつ実用的な
効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のクリーントンネルの縦断面
図、第２図は第１図のＡ部拡大図、第３図および
第４図は整流板を有しない場合と有する場合の気
流分布を示した図、第５図は本考案のクリーント
ンネル装置の配置例を示した天井部平面図であ
る。 １……クリーンルーム（通路）、２……開口、
３……クリーントンネル、４……HEPAフイル
ター、５……HEPAフイルター、６……フード、
７……機械類、９……整流板、１４……排気口、
１７……吸盤、１８……支持棒。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. クリーンルーム１内に、このクリーンルーム１
   と連通する開口２を有するクリーントンネル３を
   形成した設備であつて、該クリーントンネル３の
   天井部にクリーンルーム１用のHEPAフイルタ
   ー４よりもハイクラスのHEPAフイルター５を
   水平に配置すると共に前記開口２の上部に垂直な
   フード６を設置し、斯くして構成されるクリーン
   トンネル３内に機械または作業台７を設置したう
   えこれらに向けて該HEPAフイルター５から清
   浄空気を下向きに吹付けるようにしたクリーント
   ンネル装置において、該フード６の垂直面と平行
   な垂直面をもつ整流板９を、該開口２の位置に、
   該機械または作業台７とは間隔をあけて且つ該機
   械または作業台７の天面よりも上端縁が高くなる
   ように、該機械または作業台７に取付けたことを
   特徴とするクリーントンネル装置。