JPH0352808B2 - - Google Patents
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- JPH0352808B2 JPH0352808B2 JP59056398A JP5639884A JPH0352808B2 JP H0352808 B2 JPH0352808 B2 JP H0352808B2 JP 59056398 A JP59056398 A JP 59056398A JP 5639884 A JP5639884 A JP 5639884A JP H0352808 B2 JPH0352808 B2 JP H0352808B2
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- measuring
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 23
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
- G01D3/06—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups with provision for operation by a null method
- G01D3/063—Comparing the measuring value with a reference value which periodically or incidentally scans the measuring range
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、インクレメンタル距離測定装置を用
いて相対位置が測定される相対的に相互に移動す
対象物の参照位置を再生するための装置であつ
て、その際少なくとも一つの参照マークを備えた
インクレメンタル測定目盛が前記対象物の一方に
固定され、かつ測定目盛と参照マークを走査する
走査装置が前記対象物の他方に固定されている装
置に関する。
いて相対位置が測定される相対的に相互に移動す
対象物の参照位置を再生するための装置であつ
て、その際少なくとも一つの参照マークを備えた
インクレメンタル測定目盛が前記対象物の一方に
固定され、かつ測定目盛と参照マークを走査する
走査装置が前記対象物の他方に固定されている装
置に関する。
相対的に互に移動可能な機械−または測定シス
テム−構成要素を出発位置から参照マークまで動
かして、そこまで進められた値を検出して貯える
か、または参照マークを“ゼロ”の値を有する参
照位置に対して定義する、参照位置を検出する方
法が知られている。このような方法は、ドイツ特
許明細書1964381に記載されているようなインク
リメンタル長さ−または角度測定装置で可能であ
る。しかしながら、この方法は被測定対象物の妨
げられない相対運動を必要とする。なぜなら、測
定装置の構成部材が被測定対象物とかたく結合さ
れ、かつこれと一緒に参照マークまで移動させな
ければならないからである。
テム−構成要素を出発位置から参照マークまで動
かして、そこまで進められた値を検出して貯える
か、または参照マークを“ゼロ”の値を有する参
照位置に対して定義する、参照位置を検出する方
法が知られている。このような方法は、ドイツ特
許明細書1964381に記載されているようなインク
リメンタル長さ−または角度測定装置で可能であ
る。しかしながら、この方法は被測定対象物の妨
げられない相対運動を必要とする。なぜなら、測
定装置の構成部材が被測定対象物とかたく結合さ
れ、かつこれと一緒に参照マークまで移動させな
ければならないからである。
ドイツ公開公報1673887から、機械ベツトに固
く締めつけられた機械スライダで参照位置を検出
できる、機械の測定システムが知られている。第
一段階として、スライダが、後で参照位置として
ゼロに定義しなければならないと位置に駆動され
る。その後、スライダが機械ベツトに締めつけ固
定される。引き続き、参照マークが検出されるま
で走査板がスケールに対して動かされる。参照マ
ークに到達すると、測定装置の電子的計数器がゼ
ロに設定される。それから、機械部品の締付をゆ
るめて、スライダを所望の位置に移動させること
ができる。従つて、参照マークの位置は、別の作
業過程のための参照位置を表す。
く締めつけられた機械スライダで参照位置を検出
できる、機械の測定システムが知られている。第
一段階として、スライダが、後で参照位置として
ゼロに定義しなければならないと位置に駆動され
る。その後、スライダが機械ベツトに締めつけ固
定される。引き続き、参照マークが検出されるま
で走査板がスケールに対して動かされる。参照マ
ークに到達すると、測定装置の電子的計数器がゼ
ロに設定される。それから、機械部品の締付をゆ
るめて、スライダを所望の位置に移動させること
ができる。従つて、参照マークの位置は、別の作
業過程のための参照位置を表す。
出発位置として定義された参照位置を検出する
ための周知の方法−これは本来の作業過程の前に
行われる−は、すでに作業過程が実施されている
とき、および例えば進行している作業過程が中断
されるときには、上記のインクリメンタル測定装
置ではもはや不可能である。進行する作業過程の
中断は、例えば自動ハンドラー−一般に産業ロボ
ツトと呼ばれている−の場合に電流しや断により
起こりうる。そのとき、ロボツトはその瞬間位置
に静止したままである。しかしながら、その元の
参照位置に関連した、上記の方法に従つて検出さ
れた測定値は、事故により測定も中断されるので
消失する。
ための周知の方法−これは本来の作業過程の前に
行われる−は、すでに作業過程が実施されている
とき、および例えば進行している作業過程が中断
されるときには、上記のインクリメンタル測定装
置ではもはや不可能である。進行する作業過程の
中断は、例えば自動ハンドラー−一般に産業ロボ
ツトと呼ばれている−の場合に電流しや断により
起こりうる。そのとき、ロボツトはその瞬間位置
に静止したままである。しかしながら、その元の
参照位置に関連した、上記の方法に従つて検出さ
れた測定値は、事故により測定も中断されるので
消失する。
しかしながら、中断された作業過程を続行する
ために、参照位置を知らなければならない。しか
しながら、ロボツトがその瞬間位置から元の出発
位置へ戻る運動は、例えば正に工具が係合してい
るので、一般に不可能である。
ために、参照位置を知らなければならない。しか
しながら、ロボツトがその瞬間位置から元の出発
位置へ戻る運動は、例えば正に工具が係合してい
るので、一般に不可能である。
従つて、本発明の課題は、周知の装置の欠点を
除去して、測定と運動の中断後知られてない瞬間
位置から、被測定対象物を移動させずに参照位置
を検出することができる、参照位置を再生する装
置を提供することである。
除去して、測定と運動の中断後知られてない瞬間
位置から、被測定対象物を移動させずに参照位置
を検出することができる、参照位置を再生する装
置を提供することである。
この課題は、特許請求の範囲第１項に記載され
た装置により解決される。
た装置により解決される。
特許請求の範囲第１項の装置の有利な発展は実
施様項に記載されている。
施様項に記載されている。
本発明でなしとげられる利点は、特に、提案さ
れた装置により、測定と運動の中断後未知の瞬間
位置から簡単なかつ迅速な仕方で参照位置を再生
することができ、被測定対象物を動かす必要がな
いことにある。従つて、工具の形態のこのような
被測定対象物は、故障により測定過程が中断した
ときに加工片に係合したままになりうるので、故
障を除いて参照位置を検出した後、中断した加工
過程をただちに再び続行することができる。工具
を加工片との係合個所から引き上げて、この係合
個所を新規に正確に再び始めることは、時間がか
かり、厄介であり、加工片が損傷することになり
うる。さらに、この装置によれば、例えばロボツ
トの場合、個々の作業の間でその都度の参照位置
のプログラム制御された検査を行うことができ、
それによりそのようなシステムの操作の安全性が
著しく高められる。
れた装置により、測定と運動の中断後未知の瞬間
位置から簡単なかつ迅速な仕方で参照位置を再生
することができ、被測定対象物を動かす必要がな
いことにある。従つて、工具の形態のこのような
被測定対象物は、故障により測定過程が中断した
ときに加工片に係合したままになりうるので、故
障を除いて参照位置を検出した後、中断した加工
過程をただちに再び続行することができる。工具
を加工片との係合個所から引き上げて、この係合
個所を新規に正確に再び始めることは、時間がか
かり、厄介であり、加工片が損傷することになり
うる。さらに、この装置によれば、例えばロボツ
トの場合、個々の作業の間でその都度の参照位置
のプログラム制御された検査を行うことができ、
それによりそのようなシステムの操作の安全性が
著しく高められる。
以下、本発明を実施例について図面により詳細
に説明する。
に説明する。
第１図に示した角度測定装置はハウジング１を
有し、このハウジングが産業ロボツト（図示省
略）のハウジングＡに固定される。ハウジング１
に回転可能に支承された軸２がハウジング１内へ
突出していて、かつ格子の形のインクリメンタル
目盛４を有する円板３を担持している。インクリ
メンタル目盛４は光電的に走査される。この目的
のために、第二の円板５が設けられ、この円板５
が軸２に回転可能に支承されている。通常の作用
状態では、第二の円板５が静止しているので、こ
れに固定された照明装置６がコンデンサ７、走査
板８および光電要素９と共に同様に静止してお
り、目盛円板３が回転すると、その運動が、格子
目盛４と走査板８を通つて進む光束の変調により
周知の仕方で光電要素９により捕えられて、電子
計数器Ｚに測定値として計数される。
有し、このハウジングが産業ロボツト（図示省
略）のハウジングＡに固定される。ハウジング１
に回転可能に支承された軸２がハウジング１内へ
突出していて、かつ格子の形のインクリメンタル
目盛４を有する円板３を担持している。インクリ
メンタル目盛４は光電的に走査される。この目的
のために、第二の円板５が設けられ、この円板５
が軸２に回転可能に支承されている。通常の作用
状態では、第二の円板５が静止しているので、こ
れに固定された照明装置６がコンデンサ７、走査
板８および光電要素９と共に同様に静止してお
り、目盛円板３が回転すると、その運動が、格子
目盛４と走査板８を通つて進む光束の変調により
周知の仕方で光電要素９により捕えられて、電子
計数器Ｚに測定値として計数される。
要するに第二の円板５が全体にハウジング１と
一緒に静止しているので、このようにして−目盛
円板３を担持する−軸２の回転運動を正確に検出
することができる。
一緒に静止しているので、このようにして−目盛
円板３を担持する−軸２の回転運動を正確に検出
することができる。
産業ロボツトでは、ハウジング１が産業ロボツ
トのハウジングＡにかたく固定され、かつ軸２が
ハンドリング構成要素、例えば把持装置Ｂとかた
く連結される。把持装置Ｂが行う回転が測定装置
により捕えられて、測定または制御の目的のため
に評価装置Ｚに再び導かれる。
トのハウジングＡにかたく固定され、かつ軸２が
ハンドリング構成要素、例えば把持装置Ｂとかた
く連結される。把持装置Ｂが行う回転が測定装置
により捕えられて、測定または制御の目的のため
に評価装置Ｚに再び導かれる。
このようなインクリメンタル測定装置で参照ベ
ースを得るために、目盛トラツクに沿つて参照マ
ークが設けられている（例えば初めに述べたドイ
ツ公開公報1673887またはドイツ特許明細書
2952106にも記載されているように）。加工サイク
ルを始める前に、従つて新しい測定を始める前
に、参照マークのうちの一つの到達するまでの間
把持装置Ｂが回転される。この位置が“ゼロ”と
して定義されるか、または先に定されたまたはプ
ログラムにより決められた他の数値として計数器
Ｚに設定される。ロボツトの引き続く作業動作
中、この初めに選択された値が参照ベースであ
る。参照ベースへの調整は、ドイツ公開公報
1673887の14頁に記載されているように行うこと
ができる。
ースを得るために、目盛トラツクに沿つて参照マ
ークが設けられている（例えば初めに述べたドイ
ツ公開公報1673887またはドイツ特許明細書
2952106にも記載されているように）。加工サイク
ルを始める前に、従つて新しい測定を始める前
に、参照マークのうちの一つの到達するまでの間
把持装置Ｂが回転される。この位置が“ゼロ”と
して定義されるか、または先に定されたまたはプ
ログラムにより決められた他の数値として計数器
Ｚに設定される。ロボツトの引き続く作業動作
中、この初めに選択された値が参照ベースであ
る。参照ベースへの調整は、ドイツ公開公報
1673887の14頁に記載されているように行うこと
ができる。
さて加工サイクル中、電流のしや断による故障
が生じた場合、作業過程を中断しなければなら
ず、このためもちろん測定も中断する。
が生じた場合、作業過程を中断しなければなら
ず、このためもちろん測定も中断する。
電流がしや断すると、故障が発生したときに定
められている測定値が消失し、従つて出発位置の
参照ベースも消失する。しかしながら、故障の場
合に、一般に把持装置Ｂの工具がちようど係合し
ているので、作業サイクルの始めのように、走査
装置により元の参照マークが捕えられるまでの間
把持装置Ｂを回転させることができない。
められている測定値が消失し、従つて出発位置の
参照ベースも消失する。しかしながら、故障の場
合に、一般に把持装置Ｂの工具がちようど係合し
ているので、作業サイクルの始めのように、走査
装置により元の参照マークが捕えられるまでの間
把持装置Ｂを回転させることができない。
しかしながら、本発明による装置では、この場
合にも参照位置を再び決めることができる。本発
明により、測定装置は駆動モータ１０を備えてい
る。駆動モータ１０はピニオン１１を有し、この
ピニオンが円板５の外歯１２と噛み合つている
（第２図）。故障の場合に、駆動モータ１０が制御
されて、伝動装置11/12を介して円板５が回転さ
れ、ついには照明装置６、コンデンサ７、走査板
８および光電要素９からなる走査装置が参照マー
クと整合する。参照マークにより計数器が再び
“ゼロ”に設定されるか、または他の選択された
値に設定され、駆動モータ１０が切られ、そして
円板５が故障のときの位置に戻る。そのとき、格
子目盛４のインクリメントが計数され、かつ参照
位置からの瞬間位置の距離が再び知られる。
合にも参照位置を再び決めることができる。本発
明により、測定装置は駆動モータ１０を備えてい
る。駆動モータ１０はピニオン１１を有し、この
ピニオンが円板５の外歯１２と噛み合つている
（第２図）。故障の場合に、駆動モータ１０が制御
されて、伝動装置11/12を介して円板５が回転さ
れ、ついには照明装置６、コンデンサ７、走査板
８および光電要素９からなる走査装置が参照マー
クと整合する。参照マークにより計数器が再び
“ゼロ”に設定されるか、または他の選択された
値に設定され、駆動モータ１０が切られ、そして
円板５が故障のときの位置に戻る。そのとき、格
子目盛４のインクリメントが計数され、かつ参照
位置からの瞬間位置の距離が再び知られる。
この過程中ロボツトが静止している。ハウジン
グ１、軸２および目盛円板３は動かない。
グ１、軸２および目盛円板３は動かない。
参照位置を再生するためのこの方法に続いて、
作業サイクルを続行することができる。
作業サイクルを続行することができる。
特に有利な本発明の実施例を第３図〜第５図に
示す。
示す。
ハウジング３１になかんずく軸３２が支承さ
れ、この軸は、インクリメンタル格子目盛３４を
有する円板３３を担持している（第５図も参照）。
ハウジング内部に軸３２が別の円板３５を担持し
ており、この円板に走査板３８が取りつけられて
いる。円板３５が軸３２に回転可能に支承され、
かつ目盛円板３３と反対側の上側に、切換え腕３
５１と二叉３５２を備えた構造を有する。二叉３
５２の腕の間に偏心輪３１１が係合しており、こ
の偏心輪は駆動モータ３１０の軸に着座してい
る。駆動モータ３１０がハウジング３１にホルダ
３０に固定されている。照明装置３６、コンデン
サ３７および光電要素３９が格子目盛３４と参照
マークR1〜Roを走査するために同様にハウジン
グ３１に固定されて配置されている。休止状態
で、円板３５がストツパー３５３によりその位置
に調整される。この位置を円板３５が通常の作用
状態で占めている。正常の機能が、第１図と第２
図について記載されたように行われる。
れ、この軸は、インクリメンタル格子目盛３４を
有する円板３３を担持している（第５図も参照）。
ハウジング内部に軸３２が別の円板３５を担持し
ており、この円板に走査板３８が取りつけられて
いる。円板３５が軸３２に回転可能に支承され、
かつ目盛円板３３と反対側の上側に、切換え腕３
５１と二叉３５２を備えた構造を有する。二叉３
５２の腕の間に偏心輪３１１が係合しており、こ
の偏心輪は駆動モータ３１０の軸に着座してい
る。駆動モータ３１０がハウジング３１にホルダ
３０に固定されている。照明装置３６、コンデン
サ３７および光電要素３９が格子目盛３４と参照
マークR1〜Roを走査するために同様にハウジン
グ３１に固定されて配置されている。休止状態
で、円板３５がストツパー３５３によりその位置
に調整される。この位置を円板３５が通常の作用
状態で占めている。正常の機能が、第１図と第２
図について記載されたように行われる。
しかしながら、故障の場合に、参照位置を再生
するための方法を非常に迅速に実施することがで
きる。
するための方法を非常に迅速に実施することがで
きる。
照明装置３６とコンデンサ３７により、められ
た大きさの場が照明される。この照明の場の大き
さに、参照マークR1〜Roの配列および光電要素
３９が同調される。第５図から明らかなように、
格子目盛３４に沿つて一列の参照マークR1〜Ro
が設けられており、これらの参照マークは同心の
トラツクに配置されている。個々の参照マーク
R1〜RoにはコードマークC1〜Coが設けられ、従
つて言わば番号が付けられている。コードマーク
C1は格子目盛３４の決められたゼロ点からの所
属の参照マークRiの間隔を明らかにする。参照
マークR1〜Roの分布は、参照マークR1が目盛の
ゼロ点から正確に100の格子分割線だけ離れ、参
照マークR2が正確に200の格子分割線だけ離れ、
…ているように寸法決めされている。格子定数
40μmの場合に、参照マークRiが４mmごとに配置
されていることを意味する。
た大きさの場が照明される。この照明の場の大き
さに、参照マークR1〜Roの配列および光電要素
３９が同調される。第５図から明らかなように、
格子目盛３４に沿つて一列の参照マークR1〜Ro
が設けられており、これらの参照マークは同心の
トラツクに配置されている。個々の参照マーク
R1〜RoにはコードマークC1〜Coが設けられ、従
つて言わば番号が付けられている。コードマーク
C1は格子目盛３４の決められたゼロ点からの所
属の参照マークRiの間隔を明らかにする。参照
マークR1〜Roの分布は、参照マークR1が目盛の
ゼロ点から正確に100の格子分割線だけ離れ、参
照マークR2が正確に200の格子分割線だけ離れ、
…ているように寸法決めされている。格子定数
40μmの場合に、参照マークRiが４mmごとに配置
されていることを意味する。
目盛板３３の各位置で参照マークR1〜Roの一
つおよび所属のコードマーククC1〜Coがこの照
明の場の内方に存在するように参照の場の大きさ
を選択する。
つおよび所属のコードマーククC1〜Coがこの照
明の場の内方に存在するように参照の場の大きさ
を選択する。
従つて、故障の場合に、参照マークR1〜Roの
一つおよびその都度参照マークに存在するコード
マークを確実に走査するために、走査板３８を有
する回転可能な円板３５の第二をただ最大４mmの
道程だけ回転させるだけで良い。それから、参照
マークRiで、計数器Ｚを、走査された参照マー
クRiのコードマークCiにより確定される数値に
設定する。この値から、円板３５の逆回転運動の
ときに、目盛３４の格子直線が計数され、ついに
は円板３５がその出発位置−ストツパー３５３に
より固定された−に再び到達する。参照位置に関
して瞬間位置が今や再び検出され、そして（コー
ドマークにより決められた）参照マーク位置から
得られる測定値として、および目盛３４の格子直
線のこの重畳された計数値として表わされ、この
計数値は円板３５と共に走査板３８が逆転運動す
るときに検出された。
一つおよびその都度参照マークに存在するコード
マークを確実に走査するために、走査板３８を有
する回転可能な円板３５の第二をただ最大４mmの
道程だけ回転させるだけで良い。それから、参照
マークRiで、計数器Ｚを、走査された参照マー
クRiのコードマークCiにより確定される数値に
設定する。この値から、円板３５の逆回転運動の
ときに、目盛３４の格子直線が計数され、ついに
は円板３５がその出発位置−ストツパー３５３に
より固定された−に再び到達する。参照位置に関
して瞬間位置が今や再び検出され、そして（コー
ドマークにより決められた）参照マーク位置から
得られる測定値として、および目盛３４の格子直
線のこの重畳された計数値として表わされ、この
計数値は円板３５と共に走査板３８が逆転運動す
るときに検出された。
振動に敏感な照明装置３６は、この過程では動
かされないことを必要とし、従つて比較的長い寿
命を有する。調整問題は、照明装置３６の位置が
変化できないため生じない。
かされないことを必要とし、従つて比較的長い寿
命を有する。調整問題は、照明装置３６の位置が
変化できないため生じない。
円板３５の揺動が駆動モータ３１０により実施
され、その軸に偏心輪３１１が着座している。偏
心輪３１１が二叉３５２の腕の間に存在してお
り、これらの腕は円板３５の上側に構造体を形成
する。モータが回転すると、偏心輪３１１と二叉
３５２との協働により円板３５が４mmの道程だけ
回転されて、ストツパー３５３のその出発位置に
戻される。ばね３５４が戻りの揺動を助せて、ス
トツパー３５３に正確に当接することを保証す
る。出発位置へ逆転の瞬間に、円板３５の上側の
構造にある切換腕３５１によりスイツチ３５５が
作用され、このスイツチが駆動モータ３１０を停
止させる。
され、その軸に偏心輪３１１が着座している。偏
心輪３１１が二叉３５２の腕の間に存在してお
り、これらの腕は円板３５の上側に構造体を形成
する。モータが回転すると、偏心輪３１１と二叉
３５２との協働により円板３５が４mmの道程だけ
回転されて、ストツパー３５３のその出発位置に
戻される。ばね３５４が戻りの揺動を助せて、ス
トツパー３５３に正確に当接することを保証す
る。出発位置へ逆転の瞬間に、円板３５の上側の
構造にある切換腕３５１によりスイツチ３５５が
作用され、このスイツチが駆動モータ３１０を停
止させる。
駆動モータ３１０は、偏心輪３１１の回転、従
つて円板３５の完全な揺動が十分の一秒内で実施
されるように小さい時間定数を有する。
つて円板３５の完全な揺動が十分の一秒内で実施
されるように小さい時間定数を有する。
上記の測定装置では、参照位置の再生を次のよ
うに迅速に実施することができる。すなわち、故
障の場合に参照位置を再び確実に再生できるだけ
ではなく、ただ十分の一秒のみの継続時間のその
ような“較正過程”で、ロボツトの場合、直ちに
個々の作業の間に、プログラムで制御されるなお
そのような“較正過程”を与えることができこれ
によりそのようなシステムの操作の安全性が蓄し
く高められる。
うに迅速に実施することができる。すなわち、故
障の場合に参照位置を再び確実に再生できるだけ
ではなく、ただ十分の一秒のみの継続時間のその
ような“較正過程”で、ロボツトの場合、直ちに
個々の作業の間に、プログラムで制御されるなお
そのような“較正過程”を与えることができこれ
によりそのようなシステムの操作の安全性が蓄し
く高められる。
この特別有利な方法を、他の測定装置の場合に
も、例えば長さ測定装置で実施することも本発明
の範囲内にある。
も、例えば長さ測定装置で実施することも本発明
の範囲内にある。
同様に、走査装置を調整するために駆動モータ
の代りに他の駆動装置を選択することも当業者の
意向にゆだねられている。
の代りに他の駆動装置を選択することも当業者の
意向にゆだねられている。
第６図に縦断面で示した角度測定装置はハウジ
ングＧを有し、このハウジングが被測定対象物
O1に、例えば産業ロボツト（図示省略）のハウ
ジングに固定される。ハウジングＧの内部には第
一軸W1が軸受L1により回転可能に支承され、か
つインクリメンタル目盛およびインクリメンタル
目盛に絶対的に所属する参照マークを有する目盛
円板Ｔを担持している。目盛円板Ｔのインクリメ
ンタル目盛と参照マークが、ハウジングＧに固定
された走査ユニツトAEにより光電的に走査され、
走査ユニツトAEは、照明ユニツトBEをコンデン
サCD、走査板APおよびハウジングＧに固定され
た板PLの上の光電要素Ｐと共に有する。目盛円
板Ｔの回転が、目盛円板Ｔと走査板APの目盛を
通つて進む光束の変調により周知の仕方で光電要
素Ｐにより捕えられ、その周期的走査信号が、走
査ユニツトAEに関する目盛板Ｔの相対位置の測
定値を検出するために計数器に導かれる。
ングＧを有し、このハウジングが被測定対象物
O1に、例えば産業ロボツト（図示省略）のハウ
ジングに固定される。ハウジングＧの内部には第
一軸W1が軸受L1により回転可能に支承され、か
つインクリメンタル目盛およびインクリメンタル
目盛に絶対的に所属する参照マークを有する目盛
円板Ｔを担持している。目盛円板Ｔのインクリメ
ンタル目盛と参照マークが、ハウジングＧに固定
された走査ユニツトAEにより光電的に走査され、
走査ユニツトAEは、照明ユニツトBEをコンデン
サCD、走査板APおよびハウジングＧに固定され
た板PLの上の光電要素Ｐと共に有する。目盛円
板Ｔの回転が、目盛円板Ｔと走査板APの目盛を
通つて進む光束の変調により周知の仕方で光電要
素Ｐにより捕えられ、その周期的走査信号が、走
査ユニツトAEに関する目盛板Ｔの相対位置の測
定値を検出するために計数器に導かれる。
目盛円板Ｔを有する第一の軸W1が連行継手K1
を介して第二の軸W2と連結されており、この第
二の軸W2が同様にハウジングＧの内部に軸受L2
により支承され、かつ測定すべき回転可能な他の
対象物O2に、例えば産業ロボツトの把持装置に
固定するためにハウジングＧから突出している。
を介して第二の軸W2と連結されており、この第
二の軸W2が同様にハウジングＧの内部に軸受L2
により支承され、かつ測定すべき回転可能な他の
対象物O2に、例えば産業ロボツトの把持装置に
固定するためにハウジングＧから突出している。
連行継手K1は、軸W1に固定された接続ボスF1
と、軸W2に固定された接続ボスF2と、環状板RS
とからなる。両方の接続ボスF1，F2の外周で、
120゜だけ互にずらされたそれぞれ三つのストツパ
ーS1，S2が半径方向に突出している。両方の接続
ボスF1，F2の間には、環状板RSが配置されてお
り、この環状板RSはその外周に、120゜だけ互に
ずらされた三本のボルトBZを有し、これらのボ
ルトBZは環状板RSの両側に突出していて、かつ
軸W1，W2の回転中、接続ボスF1，F2のストツパ
ーS1，S2と接触している。環状板RSは自己の軸
受をもたず、ボルトBZの対称的な配置により、
軸W1，W2の回転中自動的に心出しされて、軸
W1，W2の軸受L1，L2に全く横方向の力を及ぼさ
ない。
と、軸W2に固定された接続ボスF2と、環状板RS
とからなる。両方の接続ボスF1，F2の外周で、
120゜だけ互にずらされたそれぞれ三つのストツパ
ーS1，S2が半径方向に突出している。両方の接続
ボスF1，F2の間には、環状板RSが配置されてお
り、この環状板RSはその外周に、120゜だけ互に
ずらされた三本のボルトBZを有し、これらのボ
ルトBZは環状板RSの両側に突出していて、かつ
軸W1，W2の回転中、接続ボスF1，F2のストツパ
ーS1，S2と接触している。環状板RSは自己の軸
受をもたず、ボルトBZの対称的な配置により、
軸W1，W2の回転中自動的に心出しされて、軸
W1，W2の軸受L1，L2に全く横方向の力を及ぼさ
ない。
連行継手K1が、回転可能な対象物O2の、従つ
て軸W2の所定の回転方向で、互に接触している
環状板RSのボルトBZと接続ボスF1，F2のストツ
パーS1，S2を介して目盛円板Ｔを有する軸W1を
連行する。軸W2の所定の回転方向を逆転させる
と、軸W1がもはや連行されない。なぜなら、環
状板RSのボルトBZと接続ボスF2のストツパーS2
が接触しなくなるからである。この逆転した軸
W2の回転方向のときにも環状板RSのボルトBZ
と接続ボスF2のストツパーS2の間の接触を確保
するために、連行継手K1と反対側の軸W1の軸端
が、ハウジングＧに固定された駆動モータＭとす
べりクラツチK2を介して連結され、駆動モータ
Ｍは軸W1を軸W2の所定の回転方向と反対に駆動
する。それ故、被測定対象物O2の両回転方向で、
両方の軸W1とW2が互にかたく結合されているの
で、両方の被測定対象物O1，O2の相対位置が角
度測定装置により正確に検出することができる。
て軸W2の所定の回転方向で、互に接触している
環状板RSのボルトBZと接続ボスF1，F2のストツ
パーS1，S2を介して目盛円板Ｔを有する軸W1を
連行する。軸W2の所定の回転方向を逆転させる
と、軸W1がもはや連行されない。なぜなら、環
状板RSのボルトBZと接続ボスF2のストツパーS2
が接触しなくなるからである。この逆転した軸
W2の回転方向のときにも環状板RSのボルトBZ
と接続ボスF2のストツパーS2の間の接触を確保
するために、連行継手K1と反対側の軸W1の軸端
が、ハウジングＧに固定された駆動モータＭとす
べりクラツチK2を介して連結され、駆動モータ
Ｍは軸W1を軸W2の所定の回転方向と反対に駆動
する。それ故、被測定対象物O2の両回転方向で、
両方の軸W1とW2が互にかたく結合されているの
で、両方の被測定対象物O1，O2の相対位置が角
度測定装置により正確に検出することができる。
両方の対象物O1，O2の相対位置を測定するた
めに決められた参照位置を得るために、新しい測
定の開始前に、駆動モータＭを作動させたとき
に、被測定対象物O2が参照マークを走査するま
での間回転される。この参照マークで、計数器が
値“ゼロ”に、または以前に確定された、または
プログラムにより決められた他の計数値に設定さ
れる。
めに決められた参照位置を得るために、新しい測
定の開始前に、駆動モータＭを作動させたとき
に、被測定対象物O2が参照マークを走査するま
での間回転される。この参照マークで、計数器が
値“ゼロ”に、または以前に確定された、または
プログラムにより決められた他の計数値に設定さ
れる。
加工過程中、従つて測定中、電流しや断による
故障が起こつた場合、作業過程が、従つて回転可
能な対象物O2の測定も中断される。電流がしや
断すると、故障が発生したときに存在する測定
値、従つて参照位置も消失する。しかしながら、
故障の発生たときに、産業ロボツトの把持装置の
形態の被測定対象物O2が一般にちようど係合し
ているので、対象物O2を、作業過程と測定の開
始前に、走査ユニツトAEがもとの参照マークを
走査するまでの間回転させることができない。
故障が起こつた場合、作業過程が、従つて回転可
能な対象物O2の測定も中断される。電流がしや
断すると、故障が発生したときに存在する測定
値、従つて参照位置も消失する。しかしながら、
故障の発生たときに、産業ロボツトの把持装置の
形態の被測定対象物O2が一般にちようど係合し
ているので、対象物O2を、作業過程と測定の開
始前に、走査ユニツトAEがもとの参照マークを
走査するまでの間回転させることができない。
参照位置を再生するために、本発明により、軸
W2が静止しているときに、駆動モータＭの極性
を逆にする。駆動モータＭが目盛板Ｔを有する軸
W1をすべり継手K2を介して逆の回転方向に回転
させ、ついには走査ユニツトAEが再び元の参照
マークを走査するので、計数器が再び元の値に設
定される。引き続き、駆動モータＭの極性が新し
く元の回転方向に逆転され、そして目盛板Ｔを有
する軸W1を、再び接続ボスF1のストツパーS1が
環状板RSのボルトBZと接触するまで戻し転させ
るので、軸W1と目盛Ｔが再び故障発生時の瞬間
位置をとる。このように軸W1と目盛板Ｔがもと
の参照マークから故障の発生時の瞬間位置まで戻
る間、目盛板Ｔの目盛のインクリメンタルが計数
器に設定されるので、消失した測定値が再び得ら
れ、かつ中断された作業過程と測定過程を続行す
ることができる。
W2が静止しているときに、駆動モータＭの極性
を逆にする。駆動モータＭが目盛板Ｔを有する軸
W1をすべり継手K2を介して逆の回転方向に回転
させ、ついには走査ユニツトAEが再び元の参照
マークを走査するので、計数器が再び元の値に設
定される。引き続き、駆動モータＭの極性が新し
く元の回転方向に逆転され、そして目盛板Ｔを有
する軸W1を、再び接続ボスF1のストツパーS1が
環状板RSのボルトBZと接触するまで戻し転させ
るので、軸W1と目盛Ｔが再び故障発生時の瞬間
位置をとる。このように軸W1と目盛板Ｔがもと
の参照マークから故障の発生時の瞬間位置まで戻
る間、目盛板Ｔの目盛のインクリメンタルが計数
器に設定されるので、消失した測定値が再び得ら
れ、かつ中断された作業過程と測定過程を続行す
ることができる。
連行継手K1がその都度120゜だけ互にずらされた
ボルトBZとストツパーS1，S2を有し、従つて、
参照位置を再生するときの軸W2に対する軸W1の
相対運動が角度＜240゜内でのみ可能であるので、
目盛円板Ｔには、消失した参照位置を再生するた
めに二つの参照マークが必要であり、これらの参
照マークは、例えばドイツ特許明細書2952106に
記載されているように、コードマークの形のコー
ド化を相互に区別するために必要とする。
ボルトBZとストツパーS1，S2を有し、従つて、
参照位置を再生するときの軸W2に対する軸W1の
相対運動が角度＜240゜内でのみ可能であるので、
目盛円板Ｔには、消失した参照位置を再生するた
めに二つの参照マークが必要であり、これらの参
照マークは、例えばドイツ特許明細書2952106に
記載されているように、コードマークの形のコー
ド化を相互に区別するために必要とする。
消失した参照位置を目盛円板Ｔのただ一つの参
照マーク（そのときもはやコード化を必要としな
い）で十分に再生できるようにするために、第７
図による連行継手K1′を提案する。この連行継手
によれば、軸W2に対して軸W1を360゜の角度にわ
たつて相対回転させることができる。軸W2を停
止させるために120゜だけ互にずらされた三つのス
トツパーS2′を有する接続ボスF2′は第６図の接続
ボスF2と同一である（７ｂ図）。軸W1を接続する
ための接続ボスF1′が、第７ｂ，７ｃ図によれば、
半径方向と軸方向に変位された三つの同心の段部
U1′，U2′，U3′を有し、各段部U1′，U2′，U3′から
ストツパーS1′が半径方向に突出している。三つ
の段部U1′，U2′，U3′の三つのストツパーS1′は互
に120゜だけずらされている。環状板RS′では、接
続ボスF2′に向けられた周囲の側から120゜だけ互
にずらされた三本のボルトBZ2′が軸方向に突出
しており、これらのボルトBZ2′は接続ボスF2′の
ストツパーS2′と接触している（第７ｂ図）。接続
ボスF1′に向けられた側では、環状板RS′が、半径
方向と軸方向に変位された三つの同心の段部
U1″，U2″，U3″を有し、各段部U1″，U2″，U3″か
らボルトBZ1′が軸方向に突出している。段部
U1″，U2″，U3″の三本のボルトBZ1′が互い120゜だ
けずらされ、かつ接続ボスF1′のそれぞれ所属の
ストツパーS1′と接触するようになる。
照マーク（そのときもはやコード化を必要としな
い）で十分に再生できるようにするために、第７
図による連行継手K1′を提案する。この連行継手
によれば、軸W2に対して軸W1を360゜の角度にわ
たつて相対回転させることができる。軸W2を停
止させるために120゜だけ互にずらされた三つのス
トツパーS2′を有する接続ボスF2′は第６図の接続
ボスF2と同一である（７ｂ図）。軸W1を接続する
ための接続ボスF1′が、第７ｂ，７ｃ図によれば、
半径方向と軸方向に変位された三つの同心の段部
U1′，U2′，U3′を有し、各段部U1′，U2′，U3′から
ストツパーS1′が半径方向に突出している。三つ
の段部U1′，U2′，U3′の三つのストツパーS1′は互
に120゜だけずらされている。環状板RS′では、接
続ボスF2′に向けられた周囲の側から120゜だけ互
にずらされた三本のボルトBZ2′が軸方向に突出
しており、これらのボルトBZ2′は接続ボスF2′の
ストツパーS2′と接触している（第７ｂ図）。接続
ボスF1′に向けられた側では、環状板RS′が、半径
方向と軸方向に変位された三つの同心の段部
U1″，U2″，U3″を有し、各段部U1″，U2″，U3″か
らボルトBZ1′が軸方向に突出している。段部
U1″，U2″，U3″の三本のボルトBZ1′が互い120゜だ
けずらされ、かつ接続ボスF1′のそれぞれ所属の
ストツパーS1′と接触するようになる。
図示してない仕方で、接続ボスF2′のストツパ
ーS2′と環状板RS′の所属のボルトBZ2′を、半径方
向と軸方向に変位された同心の段部に配置するこ
ともできる。継手K1を簡単な連行部材として形
成することもできる。
ーS2′と環状板RS′の所属のボルトBZ2′を、半径方
向と軸方向に変位された同心の段部に配置するこ
ともできる。継手K1を簡単な連行部材として形
成することもできる。
すべり継手K2は、過流ブレーキとして、液圧
継手としてまたは磁気的連行部材として形成する
ことができる。目盛円板Ｔを直接駆動ユニツトＭ
と連結することもできる。
継手としてまたは磁気的連行部材として形成する
ことができる。目盛円板Ｔを直接駆動ユニツトＭ
と連結することもできる。
第１図は本発明による角度測定装置の断面図、
第２図は第１図の装置の断面平面図、第３図は角
度測定装置の変形例の断面図、第４図は第３図の
線−に沿つて切断した断面図、第５図は目盛
円板部分の上を見たときの第３図の線Ｖ−Ｖに沿
つた断面図、第６図は角度測定装置の縦断面図、
第７ａ，７ｂ，７ｃ図は連行継手の縦断面と二つ
の端面図である。 Ａ，BO1，O2……被測定対象物、４，３４，
Ｔ……測定目盛、８，３８……走査装置、Ri…
…参照マーク、Ｚ……評価装置。
第２図は第１図の装置の断面平面図、第３図は角
度測定装置の変形例の断面図、第４図は第３図の
線−に沿つて切断した断面図、第５図は目盛
円板部分の上を見たときの第３図の線Ｖ−Ｖに沿
つた断面図、第６図は角度測定装置の縦断面図、
第７ａ，７ｂ，７ｃ図は連行継手の縦断面と二つ
の端面図である。 Ａ，BO1，O2……被測定対象物、４，３４，
Ｔ……測定目盛、８，３８……走査装置、Ri…
…参照マーク、Ｚ……評価装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ インクレメンタル距離測定装置を用いて相対
位置が測定される相対的に相互に移動する対象物
の参照位置を再生するための装置であつて、その
際少なくとも一つの参照マークを備えたインクレ
メンタル測定目盛が前記対象物の一方に固定さ
れ、かつ測定目盛と参照マークを走査する走査装
置が前記対象物の他方に固定されている装置にお
いて、前記対象物Ａ，Ｂ，O2の任意の、未知の
および不変の瞬間位置で測定および相互の運動の
中断後、測定目盛４，３４，Ｔまたは走査装置
８，３８が所属の不動のままの対象物Ａ，Ｂ，
O1，O2から切り離され、測定目盛４，３４，Ｔ
が走査装置８，３８に対し相対的にまたは走査装
置８，３８が測定目盛４，３４，Ｔに対し相対的
にこの瞬間位置から少なくとも最も近い参照マー
クRiを走査するまで移動され、その際この参照
マークRiの位置の値がその絶対位置を測定目盛
４，３４，Ｔのゼロ点に関して確定し、引き続き
測定目盛４，３４，Ｔまたは走査装置８，３８が
再び前記瞬間位置に戻されならびに所属の対象物
Ａ，Ｂ，O2と接続され、測定目盛４，３４，Ｔ
の走査により確かめられた、走査された参照マー
クRiの位置から前記瞬間位置までの測定目盛４，
３４，Ｔまたは走査装置８，３８の移動行程が評
価装置Ｚにより参照マークRiの位置の値と結合
されて瞬間位置の失われた瞬間測定値を得ること
により参照位置が再生されることを特徴とする装
置。 ２ ａ 走査装置８が所属の対象物Ａから切り離
し可能でありかつその瞬間位置から駆動装置１
０，１１，１２により少なくとも最も近い参照
マークRiを走査するまでおよび元へ移動可能
であり、 ｂ インクレメンタル測定目盛４のための担持体
３が、目盛ゼロ点に関してその位置が絶対的に
確定される少なくとも一つの参照マークRiを
有し、 ｃ 走査装置８を参照マークRiから前記瞬間位
置に戻すときに計数された目盛インクレメント
が参照マークRiの位置の値と共に評価装置Ｚ
に供給され、そして目盛ゼロ点に関して瞬間測
定値を表す特許請求の範囲第１項記載の装置。 ３ ａ 走査板３８のための担持体３５が所属の
対象物Ａから切り離し可能でありかつ瞬間位置
から駆動装置３１９，３１１，３５２により少
なくとも最も近い参照マークRiを走査するま
でおよび元へ移動可能であり、 ｂ インクレメンタル測定目盛３４のための担持
体３３は、コードマークC1〜Coが設けられた
或る数の参照マークR1〜Roを有し、その位置
が目盛ゼロ点に関して絶対的に確定されかつコ
ードマークC1〜Coにより表され、 ｃ 照明装置３６，３７と光電要素３９が固定し
て配置され、かつ参照マークR1〜Roのための
光電要素の一つ３９が少なくとも二つの隣接す
る参照マークRiおよびRi＋１）の長さにわたつ
て延びており、 ｄ 走査板３８が参照マークRiの一つから前記
瞬間位置へ戻るときに計数された目盛インクレ
メントが、走査された参照マークRiの位置の
値と共に評価装置Ｚに供給され、かつ目盛ゼロ
点に関して瞬間的な測定値を表す特許請求の範
囲第１項記載の装置。 ４ ａ インクレメンタル測定目盛Ｔが、所属の
対象物O2の運動方向のみに作用する連行接手
K1を介してこの対象物O2と連結され、かつ逆
の運動方向に作用するが、その運動方向に逆転
可能な駆動ユニツトＭにより作用され、 ｂ 走査ユニツトAEが所属の対象物O1とかたく
連結され、 ｃ インクレメンタル測定目盛Ｔが少なくとも一
つの参照マークを有し、その位置が目盛ゼロ点
に関して絶対的に確定され、 ｄ インクレメンタル測定目盛Ｔが所属の対象物
O2から切り離し可能でありかつその瞬間位置
から走査ユニツトＭにより少なくとも最も近い
参照マークを走査するまでおよび元に移動可能
であり、 ｅ インクレメンタル測定目盛Ｔが参照マークの
走査後前記瞬間位置に戻るときに計数された目
盛インクレメントが参照マークの位置の値と共
に評価装置に供給されかつ目盛ゼロ点に関して
瞬間測定値を表す特許請求の範囲第１項記載の
装置。 ５ 各任意の瞬間位置で少なくとも一つのコード
化された参照マークRiが照明装置３６，３７の
放射経路の範囲に存在するように、コード化され
た参照マークR1〜R2が担持体３３に分配されて
いる特許請求の範囲第３項記載の装置。 ６ 切り離された走査装置８の運動がモータ１０
および歯車伝動装置１１，１２により行われる特
許請求の範囲第２項記載の装置。 ７ 歯車１２が、走査装置８のための担持体５の
外周により形成されている特許請求の範囲第６項
記載の装置。 ８ 走査板３８のための切り離された担持体３５
の揺動がモータ３１０および偏心伝動装置３１
１，３５２を用いて行われる特許請求の範囲第３
項記載の装置。 ９ 走査板３８の前進および後退運動が、二股３
５２の腕の間に係合するモータ駆動される偏心輪
３１１の回転により行われる特許請求の範囲第８
項記載の装置。 １０ 前記瞬間位置が機械的ストツパー５３，３
５３により決められる特許請求の範囲第２項また
は第３項に記載の装置。 １１ 切り換え腕３５１とスイツチ３５５が設け
られ、これによりモータ３１０がストツパー５
３，３５３に当接した瞬間に静止する特許請求の
範囲第８項または第１０項記載の装置。 １２ 測定装置が回転発生装置であり、この回転
発生装置の軸３２に測定目盛３４のための担持体
３３がおよび走査板３８を担持する担持体３５が
回転可能に配置されている特許請求の範囲第３項
記載の装置。 １３ 連行接手K1が、所属の対象物O2と連結さ
れた軸W2のための接続ボスF2と、測定目盛Ｔと
連結された軸W1のための接続ボスF1と、環状板
RSとを有し、接続ボスF1，F2が、それらの外周
にそれぞれ三つの120゜だけ互いにずらされた、半
径方向に走るストツパーS1，S2を有し、これらの
ストツパーは、三つの120゜だけ互いにずらされ
た、軸方向に走るボルトBZと、接続ボスF1，F2
の間に配置された環状板RSの周囲で接触してい
る特許請求の範囲第４項記載の装置ｑ １４ 接続ボスF1′のストツパーS1′および／また
は接続ボスF2′のストツパーS2′がそれぞれ、半径
方向および／または軸方向にずらされた同心のト
ラツクU1′，U2′，U3′に配置され、かつボルト
BZ1′および／または環状板RS′のボルトBZ2′がそ
れぞれ、半径方向および／または軸方向にずらさ
れた同心のトラツクU1″，U2″，U3″に配置されて
いる特許請求の範囲第１３項記載の装置。 １５ 測定目盛Ｔがすべり接手K2を介して駆動
ユニツトＭと連結されている特許請求の範囲第４
項記載の装置。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3311203.7 | 1983-03-26 | ||
| DE19833311203 DE3311203A1 (de) | 1983-03-26 | 1983-03-26 | Verfahren zum reproduzieren einer bezugsposition |
| DE3340866.1 | 1983-11-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59183317A JPS59183317A (ja) | 1984-10-18 |
| JPH0352808B2 true JPH0352808B2 (ja) | 1991-08-13 |
Family
ID=6194855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5639884A Granted JPS59183317A (ja) | 1983-03-26 | 1984-03-26 | 参照位置を再生するための装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59183317A (ja) |
| DE (1) | DE3311203A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3340866A1 (de) * | 1983-03-26 | 1985-05-23 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Wegmesseinrichtung |
| DE3509838A1 (de) * | 1985-03-19 | 1986-10-02 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Positionsmesseinrichtung |
| DE3527546C1 (de) * | 1985-08-01 | 1986-10-02 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Vorrichtung zum Verbinden einer Positionsmesseinrichtung mit zwei relativ zueinander beweglichen Objekten |
| DD284772A5 (de) * | 1989-06-02 | 1990-11-21 | Veb Carl Zeiss Jena,Dd | Verfahren und anordnung zur ueberwachung eines winkel- oder laengenmesssystems an einer maschine |
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Also Published As
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|---|---|
| DE3311203C2 (ja) | 1987-06-11 |
| JPS59183317A (ja) | 1984-10-18 |
| DE3311203A1 (de) | 1984-10-04 |
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