JPS59183318A - インクリメンタル長さ又は角度測定装置 - Google Patents

インクリメンタル長さ又は角度測定装置

Info

Publication number
JPS59183318A
JPS59183318A JP59056399A JP5639984A JPS59183318A JP S59183318 A JPS59183318 A JP S59183318A JP 59056399 A JP59056399 A JP 59056399A JP 5639984 A JP5639984 A JP 5639984A JP S59183318 A JPS59183318 A JP S59183318A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
incremental
mark
scanning
marks
measuring device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP59056399A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH043812B2 (ja
Inventor
ホルスト・ブルクハルト
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Publication of JPS59183318A publication Critical patent/JPS59183318A/ja
Publication of JPH043812B2 publication Critical patent/JPH043812B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36Forming the light into pulses
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/245Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
    • G01D5/2454Encoders incorporating incremental and absolute signals
    • G01D5/2455Encoders incorporating incremental and absolute signals with incremental and absolute tracks on the same encoder
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/245Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
    • G01D5/2454Encoders incorporating incremental and absolute signals
    • G01D5/2455Encoders incorporating incremental and absolute signals with incremental and absolute tracks on the same encoder
    • G01D5/2457Incremental encoders having reference marks
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/3473Circular or rotary encoders

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 よるインクリメンタル長さ又は角度測定装置に関する。
参照位置の検出のだめの方法並びに長さ又は角度測定装
置は公知であり、その際そとまでのカウンタの進んだ値
を検出し、メモリし又は値「ゼロ」である参照位置に対
する参照マークを明らかにするだめに、出発位置から一
つの参照マークまで相対的に可動の機械構造物又は測定
系構造物が走行される。そのような方法は西独国特許明
細書1964381に記載されているようにインクリメ
ンタル長さ又は角度測定系によって可能にされる。しか
しこの方法は測定対象の避けることのできない相対運動
可能性を必要とする。そのわけは測定装置の構成部分は
被測定対象と剛固に結されており、参照マーク貫で対象
物と一緒に移動されねばならないからである。
西独国公開公報1673887から機械における測定系
が公知であり、その測定系は機械ベッド上に往復台がク
ランプされた場合参照点の検出を可能にする。まず最初
に往復台が後でゼロに対する参照点として明らかにされ
るべき同一位置に走行されねばならない。その後往復台
は機械ベッド上にクランプされる。続いて走査板が参照
マークが表われるまで測定尺に対して移動される。参照
マークに達すると、測定装置の電子カウンタがゼロにセ
ットされる。それから機械部分のだめのクランプが再び
解かれそして往復台が所望の位置に移行する。参照マー
クの位置は他の加工段階のだめの参照位置を示す。
しかし出発位置として特定された参照位置の検出のだめ
の公知の方法はーこの検出は固有の出発段階の前に行わ
れる一既に加工工程が行われている場合には記載のイン
クリメンタル測定装置によっては最早不可能であし、例
えば加工工程は中断される。加工工程の中断は例えば市
販の自動機では一一般に工業ロボットと称される一屯流
遮断によって可能にされる。
ロボットはそれからその瞬間的位置にとどまる。
しかしその元の参照位置に関して技術レベルに従って検
出された測定値は電流遮断によって失われる、そのわけ
は測定も中断されるからである。
しかし中断された加工工程の再開のためには参照位置が
知られなければならない。しかしロボットの瞬間位置か
ら元の出発位置へのロボットの戻や運動は一般的にでき
ない、何故ならば工具が係合しているからである。
従って本発明は公知の装置の欠点を除去し、位置情報の
喪失の後に未知の瞬間的位置において被測定対象の運動
なしに参照位置を再生するような測定装置を創造するこ
とを課題の基礎とする。
本発明の課題は特許請求の範囲第1項に記載された特徴
によって解決される。
本発明の他の有利な形態は実施態様項から把握される。
図示の実施例に基いて本発明の詳細な説明する。
第1図に示された角度測定装置はハウジング1を有し、
ハウジングは図示しない工業ロボットのハウジング内に
固定されている。ハウジング1内に回転可能に支承され
た軸2はハウジング1内に進入し、そこで格子状のイン
クリメンタル目盛4を備えたデスク6を支持する。イン
クリメンタル目盛4は光電的に走査される。
第二デスク5は軸2上に回転可能に支承されている。デ
スク5は同様にインクリメンタル目盛6を同心的に支持
する。デスク6及び5上の他のマークは第2図〜第4図
の記載で説明される。走査装置7は走査板8を有し、走
査界9及び10の形のマークを有する。その他走査装置
は照明装置11、コンデンサ12及びプレート14上に
配設された光電センサ13を有する。
軸2の回転ではデスク3も回転し、インクリメンタル目
盛4はインクリメンタル目盛4に相応した格子目盛をも
有する走査界9上を動かされる。照明装置11から出る
光は相対運動する格子によって変調され、かつ光電セン
サ13に入射し、光電センサは光を電流に変換し、かつ
公知の図示しない評価装置に供給する。光電センサ1ろ
から送られる信号からパルスが形成される。計数された
パルスはカウンタ出力でデジタル測定値として使用され
る。
第2図〜第4図には支持体5の部分、測定尺の部分−−
−目盛デスク5によって形成される−及び種々のマーク
を担持する走査板8が示されている。
第2図に示された支持体5は多数のマークトラックを有
し、そのうち一つはインクリメンタル目盛6を備えてい
る。外方のトランクにはマーク15が配設されており、
マークは測定装置が後に説明されるべき運転方式−〜即
ち参照点の取得又は再生−において案内される場合に走
査板8(第4図)上のマーク16と共に制御目的に使わ
れる。他のマーク17はインクリメンタル目盛4の目盛
ゼロ点に対する絶対的関係において目盛円板上に固定さ
れている参照マークRo・・・・・Rnの走査のために
役立つ。個々の参照マークRo・・・Rnの絶対位置は
コードマークCo・・・・・Onによって特徴づけられ
、このコードマークはコード化された情報例えばいわゆ
るバーコードとしての参照マークRO・・・・・Rnの
絶対的位置を示す。マークCO・・・・・Onは支持体
5の内側のトラック上にあるマーク18によって読取ら
れる。
目盛円板6は軸2上に固定されておシかつ軸2と共にハ
ウジング1に回転可能に支承されている。走査板8は走
査装置7の構成部分としてハウジング1内に固定配置さ
れている。軸2上には更に支持体5が目盛円板6と同心
、しかし相互に回転可能に配設されている。歯付ベルト
伝動装置Gを介して支持体5を常時回転させるモータM
によって支持体は軸2の回転とは無関係に従って目盛円
板6とも無関係に回転可能である。
支持体5が回転すると、支持体5のインクリメンタル目
盛6は走査界10の上方を動かされ、そして照明装置1
1から出た光が光電センサ上で変調される。しかし通常
の測定運転においてはとの光電センサの電流は評価され
ない。光電センサ13の一つによって、マーク15の一
つが走査界16を又はマーク17又は18の一つが参照
マークト0・・・・・Rn上又はコードマークco・・
・・・Cn上を動かされる場合には同様な方法でいつで
も信号が発生する。これらの信号も通常の測定運転にお
いては評価されない通常の測定運転lにおいては軸2及
び目盛円板6の−・ウジング1に対する回転の際にイン
クリメンタル目盛4の及び所属の走査界9の光変調によ
って所属の光電センサから発生した信号のみが評価され
る。
しかしインクリメンタル測定装置では測定の出発ベース
として役立ちかつ故障の°後でも再生可能な参照位置を
、測定のはじめに決定することは重要である。
このことは測定開始前又は故障の場合においても−イン
クレメンタル測定装置では測定値が失われることは知ら
れているが一相対的に運動可能な測定されるべき対象が
停止していることから出発する。
目盛円板3はそのハウジング1に対する目盛ゼロ点の位
置、即ち走査板8に対しても不明な位置にある。
参照位置を確定するために瞬間の位置が決定されねばな
らない。そのために公知かつ詳しく説明しない方法で評
価装置のカウンタがゼロ又は予めセットされた他の数値
に調整され、同時に校正運転が投入される。モータMに
よって運転される支持体5は前に記載したように回転す
る、そのわけは支持体は目盛円板3とノ・ウジング1の
相対運動とは無関係であるからである。
マーク15の一つが回転している支持体5上で短い時間
の後に位置固定の走査板8上の走査界16を通過し、そ
れによって光電センサ13において校正運転中図示しな
いカウンタを制御しかつこれをスタートさせる信号が発
生される。
この瞬間から信号が発生し信号は目盛6と走査界10に
よって発生し、カウンタノくルスとして評価・計数され
る。目盛インクリメントも計数され、目盛インクリメン
ト計数は走査板8に対する支持体5の回転の際に行われ
る。
カウンクスクート後マーク17は或時点で次の参照マー
クRiを通り、その際マーク18が所属のコードマーク
Ciを読取る。参照マーク R1の通過の瞬間に所属の
光電センサの信号によってカウンタが停止される。カウ
ンタは今や測定ント停止までに進んだ角度を示す。マー
クはその際参照マークRiに属するコードマークC1か
ら絶対値を読取り、コードマークはカウンタをストップ
させる。この絶対的位置値は評価装置に入力されカウン
タの測定値と重ねられる。評価装置において目盛円板ろ
がハウジング1に対して瞬間的に占める絶対的位置値が
存在する。それによって校正過程が終る。カウンタは再
び対数パルスを供給され、計数パルスは目盛円板60回
転の際目盛4及び走査界9によって発生される。
故障の場合目盛円板6がその瞬間位置から動きえない場
合でも、前記校正過程がくり返されうる、そのわけは故
障の場合に例えば丁度工具が係合しているからである。
上記のように走査界16とマーク15が一致した場合、
カウンタがスタートされ、インクリメンタル目盛6から
走査界10を介して進んだインクリメントはマーク17
がカウンタスタート過程でつづく参照マークRkと一致
してカウンタが再びストップするまで計数され、その際
同時ニマーク18はコードマークCkを走査し、参照マ
ークRkの絶対的位置が評価装置において計数された測
定値に加えられる。それによってハウジング1に対する
目盛円板乙の目盛ゼロ点の瞬間の位置を示す絶対的位置
値が再び確定する。
校正過程の記載では軸2は目盛円板ろと共に停しト、し
ているとみなされる。しかしこれに限るものではない。
勿論支持体5が校正の際目盛円板3より早く回転するこ
とが前提である。参照値の読取はマーク17が参照マー
クR1を通過した瞬間に行われる。
特にマークi5,16.17及び参照マークRo・・・
Rnが不均等に分割された一連のマーク線から成る場合
に有利であシ、その際合成されたマーク線が一つのマー
クを形成する。
本発明は記載の角度測定装置にも光電的走査原理にも限
られるものではない。
【図面の簡単な説明】
第1図は角度測定装置の断面図、 第2図はマーク支持体の断面図、 第3図は測定尺の断面図、そして 第4図は走査板の正面図である。 図中符号 3・・・測定尺 5・・・支持体 6.15,17.18・・・マーク 7・・・走査ユニット 8・・・走査板 10.16・・・走査界 Ro・・・・Rn・・・マーク co・・・・Cn・・・マーク 代理人江崎光好 代理人江崎光史

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)測定尺を備えたインクリメンタル長さ又は角度測
    定装置であって、インクリメンタル目盛の形の及び目盛
    ゼロ点に対して絶対的に位置確定している少なくとも一
    つの参照マークの形のマークを有する測定尺と、マーク
    の走査のだめの走査界を有する走査板を備えた走査装置
    と、評価装置とを備えた長さ又は角度のインクリメンタ
    ル測定装置において、よシ広い支持体(5)は走査可能
    なマーク(6゜15.17.18)を備えておシ、この
    支持体は測定尺(3)に対して並びに走査装置(7)に
    対して運動可能であシ、そのマーク(6,15,17,
    1a )は測定尺(Ro ・・・・・Rn + CD・
    ・・・・Cn)と及び又は走査板(8)の走査界(i’
    o、i6)と一致するように持ち来だされることができ
    、そして相異なるマークと走査界とが一致した時にカウ
    ンタスタート、インクリメンタル計数、カウンタストッ
    プのような制御過程が評価装置において始動可能である
    ことを特徴とするインクリメンタル長さ又は角度測定装
    置9
  2. (2)支持体(5)が目盛円板(6)と同じに支承され
    、常に回転する支持体(5)であシ、支持体はインクリ
    メンタル目盛(6)、カウンタスタートのだめのマーク
    、カウンタストップのだめのマーク(17)、及びコー
    ドマーク走査界(18)を有する、特許請求の範囲第1
    項記載のインクリメンタル角度測定装置。
  3. (3)目盛円板(3)がインクリメンタル目盛(4)の
    外・2nの参照7−り(Ro・・・・・Rn)を備えた
    同心的に配設されたトラック並びに2nの他の同心のト
    ラック、及び参照マーク(Ro・・・・Rr□)に所属
    するコードマーク(Co・・・・・Cn)を有し、その
    際コードマーク(Oo・・・・・・On)は所属の参照
    〆マーク(h、)・・・・・Rn )の絶対的位置値を
    解説された形で含んでいる、特許請求の範囲第1項又は
    第2項記載のインクリメンタル角度測定装置。
  4. (4)マーク(15,16,17,(Ro ・−−−−
    Rn))は不均等に分配された一連のマークから構成さ
    れている、特許請求の範囲第1項記載のインクリメンタ
    ル角度測定装置。
  5. (5)支持体(5)が伝動装置(G)を備えだモータ(
    M)によって駆動される、特許請求の範囲第2項記載の
    インクリメンタル角度測定装置。
  6. (6)伝動装置(G)が歯付ベルト伝動装置である、特
    許請求の範囲第5項記載のインクリメンタル角度測定装
    置。
JP59056399A 1983-03-26 1984-03-26 インクリメンタル長さ又は角度測定装置 Granted JPS59183318A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19833311204 DE3311204A1 (de) 1983-03-26 1983-03-26 Inkrementale laengen- oder winkelmesseinrichtung
DE3311204.5 1983-03-26

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59183318A true JPS59183318A (ja) 1984-10-18
JPH043812B2 JPH043812B2 (ja) 1992-01-24

Family

ID=6194856

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59056399A Granted JPS59183318A (ja) 1983-03-26 1984-03-26 インクリメンタル長さ又は角度測定装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4616131A (ja)
EP (1) EP0126211B1 (ja)
JP (1) JPS59183318A (ja)
AT (1) ATE55184T1 (ja)
DE (2) DE3311204A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01101416A (ja) * 1987-10-14 1989-04-19 Ono Sokki Co Ltd ロータリエンコーダ

Families Citing this family (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3409544A1 (de) * 1983-03-26 1985-09-19 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale laengen- oder winkelmesseinrichtung
DE3412063A1 (de) * 1984-03-31 1985-11-28 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Positionsmesseinrichtung
DE3509838A1 (de) * 1985-03-19 1986-10-02 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Positionsmesseinrichtung
DE3429648A1 (de) * 1984-08-11 1986-02-13 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Lagemesseinrichtung
DE3566038D1 (en) * 1984-10-08 1988-12-08 Agie Ag Ind Elektronik Unit for determining the relative position between two parts for controlling their positions or the displacement thereof and method for actuating said unit
DE3527546C1 (de) * 1985-08-01 1986-10-02 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Vorrichtung zum Verbinden einer Positionsmesseinrichtung mit zwei relativ zueinander beweglichen Objekten
JPS62123830A (ja) * 1985-11-25 1987-06-05 Sharp Corp ロ−タリ−エンコ−ダ
US4780610A (en) * 1986-03-04 1988-10-25 Alps Electric Co., Ltd. Optical rotary encoder having superposed metal plate and shield plate
US4967075A (en) * 1986-09-16 1990-10-30 High Yield Technology Velocity monitoring method and apparatus
DE3737278A1 (de) * 1986-11-04 1988-05-11 Canon Kk Verfahren und vorrichtung zum optischen erfassen der stellung eines objekts
CH672185A5 (ja) * 1986-11-19 1989-10-31 Kern & Co Ag
DE3809569A1 (de) * 1988-03-22 1989-10-05 Frankl & Kirchner Positionsgeber
US4965446A (en) * 1989-04-20 1990-10-23 Ivac Corporation Optical interrupter system with vibration compensation
US5053618A (en) * 1990-03-30 1991-10-01 Bei Electronics, Inc. Index track support structure
DD297702B5 (de) * 1990-09-07 1993-09-23 Carl Zeiss Jena Gmbh Zentralbe Verfahren zum messen von laengen
JPH0622186Y2 (ja) * 1990-10-11 1994-06-08 日本金銭機械株式会社 紙幣識別用センサ
US5294793A (en) * 1991-08-23 1994-03-15 Rsf-Elektronik Gesellschaft M.B.H. System for measuring lengths or angles with a high-velocity movable scanning unit
DE9110524U1 (ja) * 1991-08-26 1992-09-24 Siemens Ag, 8000 Muenchen, De
DE59305801D1 (de) * 1993-12-08 1997-04-17 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längenmesssystem
JP3528358B2 (ja) * 1995-09-26 2004-05-17 オリンパス株式会社 移動検出装置
GB9605278D0 (en) * 1996-03-13 1996-05-15 Renishaw Plc Opto-electronic scale reading apparatus
US5698851A (en) * 1996-04-03 1997-12-16 Placa Ltd. Device and method for precise angular measurement by mapping small rotations into large phase shifts
EP1056989B1 (de) 1998-02-21 2002-12-18 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Verfahren zum betrieb eines positionsmesssystems und geeignetes positionsmesssystem hierzu
EP0978708B1 (de) 1998-08-01 2005-10-05 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Rotatorische Positionsmesseinrichtung
EP1063097B1 (en) * 1999-01-07 2005-08-17 Seiko Epson Corporation Sensing mechanism, carriage monitor device, and printer comprising the same
DE19904471B4 (de) 1999-02-04 2011-03-31 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Drehgeber
DE19907326B4 (de) 1999-02-20 2013-04-04 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Winkelmeßsystem
DE19945099B4 (de) 1999-09-21 2008-09-04 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Winkelmesseinrichtung und Verwendung dieser Winkelmesseinrichtung in einer Spindelanordnung
DE10310970B4 (de) * 2003-03-13 2005-05-04 Sick Stegmann Gmbh Vorrichtung zur Messung der Position, des Weges oder des Drehwinkels eines Objektes
US6946648B2 (en) * 2003-03-31 2005-09-20 Council Of Scientific And Industrial Research Opto-electronic device for angle generation of ultrasonic probe
GB0402013D0 (en) * 2004-01-30 2004-03-03 Trw Ltd Displacement sensor and torque sensor
GB0415141D0 (en) * 2004-07-06 2004-08-11 Renishaw Plc Scale reading apparatus
US20060187573A1 (en) * 2005-02-24 2006-08-24 Electro-Sensors, Inc. Sensor equipment guard
ES2692816T3 (es) 2010-08-24 2018-12-05 Rotork Controls Limited Aparato adaptado para proporcionar una indicación de una posición angular de un elemento de entrada durante múltiples giros
CN102706371B (zh) * 2012-06-20 2015-03-11 上海平信机电制造有限公司 一种绝对零点磁栅测量系统
CN106017534A (zh) * 2016-07-05 2016-10-12 北京首钢自动化信息技术有限公司 一种码盘标定方法
DE102022105521A1 (de) * 2022-03-09 2023-09-14 Carl Zeiss Meditec Ag Operationsmikroskop und Verfahren zur Positionierung von Filterelementen in einem Operationsmikroskop

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3139613A (en) * 1960-02-16 1964-06-30 Bendix Corp Shaft encoder apparatus
US3187187A (en) * 1962-01-24 1965-06-01 Wayne George Corp Photoelectric shaft angle encoder
DE1673887A1 (de) * 1968-01-16 1972-01-20 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Anordnung zur Bestimmung der Lage zweier relativ zueinander beweglicher Teile
DE1933254C3 (de) * 1969-07-01 1979-08-16 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementales Längen- oder Winkelmeßsystem
GB1284641A (en) * 1970-01-08 1972-08-09 Ferranti Ltd Improvements relating to measuring apparatus
BE789080A (fr) * 1971-09-22 1973-01-15 Mohr Rudolf Dispositif electronique d'affichage et de commande de position pour desmachines, notamment des massicots
DE2952106C2 (de) * 1979-12-22 1982-11-04 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Lichtelektrische inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
DE3018496A1 (de) * 1980-05-14 1981-11-19 Walter Dipl.-Ing. Dr.-Ing. 8012 Ottobrunn Mehnert Verfahren und vorrichtung zur messung eines winkels
DE3039483C2 (de) * 1980-10-18 1986-09-11 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
IT1129862B (it) * 1980-11-17 1986-06-11 Olivetti & Co Spa Trasduttore ottico
US4466189A (en) * 1981-05-29 1984-08-21 Tobin Jr Leo W Angle measuring device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01101416A (ja) * 1987-10-14 1989-04-19 Ono Sokki Co Ltd ロータリエンコーダ

Also Published As

Publication number Publication date
ATE55184T1 (de) 1990-08-15
US4616131A (en) 1986-10-07
DE3311204C2 (ja) 1987-12-23
EP0126211B1 (de) 1990-08-01
JPH043812B2 (ja) 1992-01-24
DE3482850D1 (de) 1990-09-06
EP0126211A2 (de) 1984-11-28
DE3311204A1 (de) 1984-10-04
EP0126211A3 (en) 1987-08-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS59183318A (ja) インクリメンタル長さ又は角度測定装置
US4530155A (en) Method and apparatus for reproducing a reference position in an incremental measuring device
US4700062A (en) Position measuring device with a scanned absolute scale
US3738504A (en) Back gauge position feed back signal generation
US5013988A (en) Absolute position encoder
US4631404A (en) Position measuring system
US4667096A (en) Position measuring system comprising at least two scanning units
US5066857A (en) Incremental angle encoder having spiral scanning field and multiple discs
GB2138146A (en) Measuring instrument and method for testing the pitch of gear-wheels
US3851398A (en) Gear test apparatus
US4610091A (en) Automatic gear testing apparatus
US4841297A (en) Displacement coder
US3956681A (en) Back gauge position feed back signal generation
JPH056845B2 (ja)
US5456021A (en) Apparatus and method for measuring linear and angular displacements
GB2100867A (en) Methods of and apparatus for determining and indexing angular positions of unbalance of rotary bodies
KR950005896B1 (ko) 기어의 이 흔들림 측정장치
US5248888A (en) Process for positioning a record changing device having reflective markers
US4689539A (en) Speed detecting device
JPH0641855B2 (ja) アブソリユ−トエンコ−ダ
JPH0352808B2 (ja)
JPS6371611A (ja) 測長装置
JPS6197545A (ja) 不つりあい位置自動位置決め停止方法および装置
JPH0127044Y2 (ja)
JPH0526760A (ja) 距離測定装置およびその装置を利用した不釣合い修正装置