JPS6371611A - 測長装置 - Google Patents
測長装置Info
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- JPS6371611A JPS6371611A JP21756886A JP21756886A JPS6371611A JP S6371611 A JPS6371611 A JP S6371611A JP 21756886 A JP21756886 A JP 21756886A JP 21756886 A JP21756886 A JP 21756886A JP S6371611 A JPS6371611 A JP S6371611A
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
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- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は測長装置に係り、特に、ＮＣ工作機械等のサー
ボモータ用の位置、速度のフィードバック用測定機とし
て用いるのに好適な、相対移動する一方の部材に、一定
ピッチの目盛が形成されたメインスケールを配し、他方
の部材に、前記目盛を用いて、これら部材の相対移動に
従って周期的な電気信号を生成する検出器を配し、この
電気信号をパルス化して計数する計数回路によって前記
部材の相対移動量を検出する測長装置の改良に関する。
ボモータ用の位置、速度のフィードバック用測定機とし
て用いるのに好適な、相対移動する一方の部材に、一定
ピッチの目盛が形成されたメインスケールを配し、他方
の部材に、前記目盛を用いて、これら部材の相対移動に
従って周期的な電気信号を生成する検出器を配し、この
電気信号をパルス化して計数する計数回路によって前記
部材の相対移動量を検出する測長装置の改良に関する。
ＮＣ工作機械、産業用ロボット等の分野において、サー
ボモータを用いて位置や速度の帖報をフイードバックす
ることにより自動的に位置決めを行うＮＣサーボ装置が
背反している。 第６図は、サーボモータ２２でボールねじ２″６を駆動
し、クローズトループで載物台１０の位置、決めを行う
ＮＣサーボｂ！ｉ格の例を示したものである。このサー
ボ機構において、位置のフィードバックは、メインスケ
ール１２に形成された明暗の縦縞状目盛からなる格子１
４に対応する目盛が形成されたインデックススケールを
含む第１検出器１６からなるインクリメンタル型の直線
型光学式エンコーダによって得られる２相の正弦信号に
基づいて行われる。この正弦信号が入力される計数凹Ｕ
Ｂ １８では、例えばピッチ１μｌの計数パルスをも＋
を算してｎ吻合１０の変位量を計数しており、この値が
設定回路２０での設定値になるまでサーボモータ２２が
回転する０図において、２４はギヤボックス、２８はラ
ッチ回路、３０は比較回路、３２はモータ用ドライブ回
路である。 一方、速度のフィードバックは、前記サーボモータ２２
の回転軸に連動したタコジェネレータ３４からの速度信
号Ｑに基づいて行われる。 ′更にＮＣサーボ装置では、ｌＴｉ！Ｉ御用にそのシス
テムでの原点、即ちｌ！１ｔ１１原点が必要であるため
、メインスケール１２には、ｔｔ’ｌ ｈｌ Ｄ、点設
定用のランダムパターン３６が形成され、第２検出器３
８にも対応するパターンが形成されており、両者が一致
するとパルス化回路３６より絶対原点（ＡＢ Ｓ ）パ
ルスが出力される。 図において、４２はＣＰＵ、４４はメモリ、４６はセッ
トスイッチ、４８はホールドスイッチ、５０はパスライ
ンである。 このような従来のＮＣサーボ装置で機械原点を設定する
場合には、第７図に示すような手順による。即ち、まず
電源をＯＮとした後にセットスイッチ４６を押す０次い
で載物台１０を例えば右方向に駆動する。移動中にラン
ダムパターン３６が一致するとＡＢＳパルスが入力する
ので、Ａ Ｂ Ｓパルスの有無を調べ、ＡＢＳパルス入
力直後に計数回路１８をリセットする。これで原点で計
数値が零となり機械原点の設定ができる。この後は通常
の動作に入り、計数回路１８でのインクリメンタルの計
数値で位置のフィードバックを行う。
ボモータを用いて位置や速度の帖報をフイードバックす
ることにより自動的に位置決めを行うＮＣサーボ装置が
背反している。 第６図は、サーボモータ２２でボールねじ２″６を駆動
し、クローズトループで載物台１０の位置、決めを行う
ＮＣサーボｂ！ｉ格の例を示したものである。このサー
ボ機構において、位置のフィードバックは、メインスケ
ール１２に形成された明暗の縦縞状目盛からなる格子１
４に対応する目盛が形成されたインデックススケールを
含む第１検出器１６からなるインクリメンタル型の直線
型光学式エンコーダによって得られる２相の正弦信号に
基づいて行われる。この正弦信号が入力される計数凹Ｕ
Ｂ １８では、例えばピッチ１μｌの計数パルスをも＋
を算してｎ吻合１０の変位量を計数しており、この値が
設定回路２０での設定値になるまでサーボモータ２２が
回転する０図において、２４はギヤボックス、２８はラ
ッチ回路、３０は比較回路、３２はモータ用ドライブ回
路である。 一方、速度のフィードバックは、前記サーボモータ２２
の回転軸に連動したタコジェネレータ３４からの速度信
号Ｑに基づいて行われる。 ′更にＮＣサーボ装置では、ｌＴｉ！Ｉ御用にそのシス
テムでの原点、即ちｌ！１ｔ１１原点が必要であるため
、メインスケール１２には、ｔｔ’ｌ ｈｌ Ｄ、点設
定用のランダムパターン３６が形成され、第２検出器３
８にも対応するパターンが形成されており、両者が一致
するとパルス化回路３６より絶対原点（ＡＢ Ｓ ）パ
ルスが出力される。 図において、４２はＣＰＵ、４４はメモリ、４６はセッ
トスイッチ、４８はホールドスイッチ、５０はパスライ
ンである。 このような従来のＮＣサーボ装置で機械原点を設定する
場合には、第７図に示すような手順による。即ち、まず
電源をＯＮとした後にセットスイッチ４６を押す０次い
で載物台１０を例えば右方向に駆動する。移動中にラン
ダムパターン３６が一致するとＡＢＳパルスが入力する
ので、Ａ Ｂ Ｓパルスの有無を調べ、ＡＢＳパルス入
力直後に計数回路１８をリセットする。これで原点で計
数値が零となり機械原点の設定ができる。この後は通常
の動作に入り、計数回路１８でのインクリメンタルの計
数値で位置のフィードバックを行う。
しかしながら従来の装置においては、機械原点を設定す
る際に、載物台１０を移動して原点ｉで変位させる必要
があるので、時間がかかり能率が悪い、又、穀物台１０
を移動させながら原点設定を行うため、設定誤差が生ず
る恐れもある等の問題点を有していた。 本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたも
ので、装置を動かずことなく静止状態で能率的に原点を
設定することが可能な測長装置を提供することを目的と
する。
る際に、載物台１０を移動して原点ｉで変位させる必要
があるので、時間がかかり能率が悪い、又、穀物台１０
を移動させながら原点設定を行うため、設定誤差が生ず
る恐れもある等の問題点を有していた。 本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたも
ので、装置を動かずことなく静止状態で能率的に原点を
設定することが可能な測長装置を提供することを目的と
する。
本発明は、相対移動する一方の部材に、一定ピッチの目
盛が形成されたメインスケールを配し、他方の部材に、
前記目盛を用いて、これら部材の相対移動に従って周期
的な電気信号を生成する検出器を配し、この電気信号を
パルス化して計数する計数回路によって前記部材の相対
移動量を検出する測長装置において、前記一方の部材に
、メインスケールと平行に非周期的な絶対目盛を形成し
た第２のメインスケールを配し、他方の部材に、′前記
絶対目盛を用いて、これら部材の相対移動量の特定の状
態からの絶対値を検出する第２の検出器を設け、任意に
第２の検出器で検出した絶対値を前記計数回路にプリセ
ットできるようにして、前記目的を達成したものである
。 又、本発明の実施態様は、前記第２のメインスケールを
メインスケールで兼用し、前記絶対目盛を、一定ピッチ
で配設された基準エツジと該基準エツジを識別する位置
パターンとから構成したものである。
盛が形成されたメインスケールを配し、他方の部材に、
前記目盛を用いて、これら部材の相対移動に従って周期
的な電気信号を生成する検出器を配し、この電気信号を
パルス化して計数する計数回路によって前記部材の相対
移動量を検出する測長装置において、前記一方の部材に
、メインスケールと平行に非周期的な絶対目盛を形成し
た第２のメインスケールを配し、他方の部材に、′前記
絶対目盛を用いて、これら部材の相対移動量の特定の状
態からの絶対値を検出する第２の検出器を設け、任意に
第２の検出器で検出した絶対値を前記計数回路にプリセ
ットできるようにして、前記目的を達成したものである
。 又、本発明の実施態様は、前記第２のメインスケールを
メインスケールで兼用し、前記絶対目盛を、一定ピッチ
で配設された基準エツジと該基準エツジを識別する位置
パターンとから構成したものである。
【１ヤ用】
本発明においては、従来のランダムパターンによる機械
原点設定に変えて、アブソリュート方式の変位検出器で
電源ＯＮ時の機械原点設定を行うようにしている。従っ
て、装置を動かすことなく、静止状もで能率的に原点を
設定することが可能となる。 又、原点設定用のアブソリュート方式変位検出器の第２
のメインスケールを通常のメインスケールで兼用し、絶
対目盛を、一定ピッチで配設された基準エツジと該基準
エツジを識別する位置パターンとから構成した場合には
、構成が簡略である。
原点設定に変えて、アブソリュート方式の変位検出器で
電源ＯＮ時の機械原点設定を行うようにしている。従っ
て、装置を動かすことなく、静止状もで能率的に原点を
設定することが可能となる。 又、原点設定用のアブソリュート方式変位検出器の第２
のメインスケールを通常のメインスケールで兼用し、絶
対目盛を、一定ピッチで配設された基準エツジと該基準
エツジを識別する位置パターンとから構成した場合には
、構成が簡略である。
以下図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説明する
。 本実施例は、第１図にその全体構成を示す如く、サーボ
モータ２２でボールねじ２６を駆動し、載物台１０の位
置決めを行うＮＣサーボ装置に本発明を適用したもので
ある。 本実施例において、固定側に配設されたメインスケール
１２には、従来と同様の周期的な第１格子１４と、非周
期的な絶対目盛からなる第２格子６０が設けられている
。 前記第１格子１４は、例えばピッチ２０Ｊ、１１１１の
明昭の縞状パターンからなり、従来と同様の第１検出器
１６には、対応するパターンのインデックススケールが
設けられている。従って、載物台１０の変位に従って、
２相のピッチ２０ ＡＺ ｉｍの正弦波信号ａ ｒ、ｂ
１が出力される。この正弦波信号ａ 、、ｂ 、は、
従来と同様の計数回路１８に入山され、例えば２０分割
することによって、分解能１μｔで計数される。この計
数値は、ラッチ回路２８を経て比較回路３０に入力され
ており、計数値がＣＰＵ４２がら設定回路２ｏへの設定
値に達するまで、モータ用ドライブ回路３２を介してサ
ーボータ２２が駆動される。 前記２相の正弦波信号ａ、、ｂ２は、同時にｆ／Ｖ変換
回路６２に入力されて、速度に比例する速度出力ｑに変
換され、モータ用ドライブ回路３２にフィードバックさ
れている。 前記ｆ／ｖ変換回Ｆ！？１６２は、例えば第２図に詳細
に示す如く、正弦波信号ａ 、、ｂ 、をそれぞれ２値
化して２値信号ａ２、ｂ２とするシュミット回路６４．
６６と、載物台１ｏの進行方向を弁別するための、ＪＫ
フリップフロップ７ｏ、７２及びＡＮＤゲート７４．７
６からなる方向弁別回路６８と、方向弁別回路６８出力
（ａ３．ｂ３）を長さの等しいパルスａ、、ｂ、に変換
するためのパルス化回路７８．８０と、該パルスａ 、
、ｂ 、を直流信号に変換するための、整流ダイオード
８′４．８６を含む整流回路８２と、その差動信号を増
幅して速度出力ｑとする差ｒＪＪ増幅器８８とから構成
されている。 このｆ／ｖ変換回路６２における、載物台が右方向−停
止−左方向に動く場合の各信号のタイムチャートは第３
図に示す如くである。即ち、２相の正弦波信号ａ 、、
ｂ 、は、シュミット回路６４．６６で２値化されて２
［信号ａ２、ｂ２となる。 次いで方向弁別回路６８によって載物台１０の進行方向
に応じてパルスａ３又はｂ３に変換される。 次にパルス化回路７８．８０によって長さの等しいパル
スａ ４、ｂ、に変換され、それぞれ整流回１１Ｍ８２
で直流信号に変換され、その差動増幅値が速度出力ｑに
なる。原理的には、載物台１０が一方向に早く８動する
と、パルスａ４又はｂ４の周波数が高くなり整流筒も大
きくなることを利用し、移動方向に応じて速度出力ｑは
正負になる。 又、前記メインスケール１２上にランダムパターンに代
わって形成された第２格子６０は、第一１図に詳細に示
す如く、一定ピッチＰで配置された基準エツジ９０Ａを
含む線幅ｒの基準パターン９０と、該基準パターン相互
を識別するための、基準パターン９０の間に配置された
、例えば図のに側の基準パターンが左側から何番目のパ
ターンであるかを示す、線幅Ｓでｎビットのバイナリパ
ターンからなる位置パターン９２とからなっている。 この第２格子６０に相対して配設される第２検出器９４
には、第４図に示されるような、少くとも２本の基準エ
ツジ９０Ａの像を同時に受光可能な受光長１．ｆ！：有
する、画素ピッチ℃、画素数Ｎのラインセンサ９６が含
まれており、基準パターン９０の識別と、ラインセンサ
９６の例えば左端の画素９６Ａから基準パターンまでの
長さＹに基づいて、第１図の原点から現在位置までの絶
対位置を分解能１μｍで検出できるようにされている。 第２図のピッチＰを５ ｍｍ、位置パターン９２を９ビ
ツトまで設ければ、約２．５ｍの範囲まで絶対値を検出
することができる。この第２検出器９４の出力による絶
対位置検出は、アブソリュート検出回路９８で行われ、
その値がＣＰｔＪ４２に取込１れる。なお、一定ピッチ
で配設された基準エツジと該基準エツジを応別ずろ位置
パターンを利用した絶対位置検出に関しては、出願人が
既に特願昭６１ １５７５８１で提案しているので、詳
細は、この先願を参照されたい。 以下実施例の作用を説明する。 本実施例における機械原点の設定は、第５図に示すよう
な流れ図に従って行われる。即ち、電源をＯＮとした後
の作業開始時に、裁判白１０の機械原点を設定するため
セットスイッチ４６を押す。 すると、アブソリュート検出回路９８で、原点から現在
位置までの距；が直ちに検出される０次いでその距離の
値が計数回路１８にプリセットされ、機は原点の設定が
終了し通常動作に移る。即ち、第１ｔ３子１４と第１検
出器１６から得られる２相の正弦波信号ａ 、、ｂ 、
に基づいて、計数回路１８での計数値による位置フィー
ドバックと、ｆ／ｖ変換回路６２の速度出力ｑによる速
度フィードバラ、りが行われる。なお、Ｒ緘原点の設定
時にオフセット値を加算することも可能である。 本実施例においては、第１格子１４及び第１検出器１６
として、光学式スケールが用いられていたが、例えば磁
気式スケールを用いることもできる。 又、本実施例においては、第２格子６０と第２検出器９
４として、光学式スケールが用いられていたが、例えば
出願人が既に提案した、測定範囲１．６１１を分解能２
μｍで絶対位置検出できる静電容量型の変位検出器を用
いたり、あるいは、長さ１１程度を分解能１０μを程度
以下で絶対位置検出できる磁気式スケール等、他のスケ
ールを用いることも可能である。 又、本実施例においては、本発明が、サーボモータでボ
ールねじを駆動し、載物台の位置決めを行うサーボＭ＆
ｔｆｉに適用されていたが、本発明の適用範囲はこれに
限定されず、リニアモータを用いたサーボ機構にも同様
に適用することが可能である。
。 本実施例は、第１図にその全体構成を示す如く、サーボ
モータ２２でボールねじ２６を駆動し、載物台１０の位
置決めを行うＮＣサーボ装置に本発明を適用したもので
ある。 本実施例において、固定側に配設されたメインスケール
１２には、従来と同様の周期的な第１格子１４と、非周
期的な絶対目盛からなる第２格子６０が設けられている
。 前記第１格子１４は、例えばピッチ２０Ｊ、１１１１の
明昭の縞状パターンからなり、従来と同様の第１検出器
１６には、対応するパターンのインデックススケールが
設けられている。従って、載物台１０の変位に従って、
２相のピッチ２０ ＡＺ ｉｍの正弦波信号ａ ｒ、ｂ
１が出力される。この正弦波信号ａ 、、ｂ 、は、
従来と同様の計数回路１８に入山され、例えば２０分割
することによって、分解能１μｔで計数される。この計
数値は、ラッチ回路２８を経て比較回路３０に入力され
ており、計数値がＣＰＵ４２がら設定回路２ｏへの設定
値に達するまで、モータ用ドライブ回路３２を介してサ
ーボータ２２が駆動される。 前記２相の正弦波信号ａ、、ｂ２は、同時にｆ／Ｖ変換
回路６２に入力されて、速度に比例する速度出力ｑに変
換され、モータ用ドライブ回路３２にフィードバックさ
れている。 前記ｆ／ｖ変換回Ｆ！？１６２は、例えば第２図に詳細
に示す如く、正弦波信号ａ 、、ｂ 、をそれぞれ２値
化して２値信号ａ２、ｂ２とするシュミット回路６４．
６６と、載物台１ｏの進行方向を弁別するための、ＪＫ
フリップフロップ７ｏ、７２及びＡＮＤゲート７４．７
６からなる方向弁別回路６８と、方向弁別回路６８出力
（ａ３．ｂ３）を長さの等しいパルスａ、、ｂ、に変換
するためのパルス化回路７８．８０と、該パルスａ 、
、ｂ 、を直流信号に変換するための、整流ダイオード
８′４．８６を含む整流回路８２と、その差動信号を増
幅して速度出力ｑとする差ｒＪＪ増幅器８８とから構成
されている。 このｆ／ｖ変換回路６２における、載物台が右方向−停
止−左方向に動く場合の各信号のタイムチャートは第３
図に示す如くである。即ち、２相の正弦波信号ａ 、、
ｂ 、は、シュミット回路６４．６６で２値化されて２
［信号ａ２、ｂ２となる。 次いで方向弁別回路６８によって載物台１０の進行方向
に応じてパルスａ３又はｂ３に変換される。 次にパルス化回路７８．８０によって長さの等しいパル
スａ ４、ｂ、に変換され、それぞれ整流回１１Ｍ８２
で直流信号に変換され、その差動増幅値が速度出力ｑに
なる。原理的には、載物台１０が一方向に早く８動する
と、パルスａ４又はｂ４の周波数が高くなり整流筒も大
きくなることを利用し、移動方向に応じて速度出力ｑは
正負になる。 又、前記メインスケール１２上にランダムパターンに代
わって形成された第２格子６０は、第一１図に詳細に示
す如く、一定ピッチＰで配置された基準エツジ９０Ａを
含む線幅ｒの基準パターン９０と、該基準パターン相互
を識別するための、基準パターン９０の間に配置された
、例えば図のに側の基準パターンが左側から何番目のパ
ターンであるかを示す、線幅Ｓでｎビットのバイナリパ
ターンからなる位置パターン９２とからなっている。 この第２格子６０に相対して配設される第２検出器９４
には、第４図に示されるような、少くとも２本の基準エ
ツジ９０Ａの像を同時に受光可能な受光長１．ｆ！：有
する、画素ピッチ℃、画素数Ｎのラインセンサ９６が含
まれており、基準パターン９０の識別と、ラインセンサ
９６の例えば左端の画素９６Ａから基準パターンまでの
長さＹに基づいて、第１図の原点から現在位置までの絶
対位置を分解能１μｍで検出できるようにされている。 第２図のピッチＰを５ ｍｍ、位置パターン９２を９ビ
ツトまで設ければ、約２．５ｍの範囲まで絶対値を検出
することができる。この第２検出器９４の出力による絶
対位置検出は、アブソリュート検出回路９８で行われ、
その値がＣＰｔＪ４２に取込１れる。なお、一定ピッチ
で配設された基準エツジと該基準エツジを応別ずろ位置
パターンを利用した絶対位置検出に関しては、出願人が
既に特願昭６１ １５７５８１で提案しているので、詳
細は、この先願を参照されたい。 以下実施例の作用を説明する。 本実施例における機械原点の設定は、第５図に示すよう
な流れ図に従って行われる。即ち、電源をＯＮとした後
の作業開始時に、裁判白１０の機械原点を設定するため
セットスイッチ４６を押す。 すると、アブソリュート検出回路９８で、原点から現在
位置までの距；が直ちに検出される０次いでその距離の
値が計数回路１８にプリセットされ、機は原点の設定が
終了し通常動作に移る。即ち、第１ｔ３子１４と第１検
出器１６から得られる２相の正弦波信号ａ 、、ｂ 、
に基づいて、計数回路１８での計数値による位置フィー
ドバックと、ｆ／ｖ変換回路６２の速度出力ｑによる速
度フィードバラ、りが行われる。なお、Ｒ緘原点の設定
時にオフセット値を加算することも可能である。 本実施例においては、第１格子１４及び第１検出器１６
として、光学式スケールが用いられていたが、例えば磁
気式スケールを用いることもできる。 又、本実施例においては、第２格子６０と第２検出器９
４として、光学式スケールが用いられていたが、例えば
出願人が既に提案した、測定範囲１．６１１を分解能２
μｍで絶対位置検出できる静電容量型の変位検出器を用
いたり、あるいは、長さ１１程度を分解能１０μを程度
以下で絶対位置検出できる磁気式スケール等、他のスケ
ールを用いることも可能である。 又、本実施例においては、本発明が、サーボモータでボ
ールねじを駆動し、載物台の位置決めを行うサーボＭ＆
ｔｆｉに適用されていたが、本発明の適用範囲はこれに
限定されず、リニアモータを用いたサーボ機構にも同様
に適用することが可能である。
以上説明した通り、本発明によれば、装置を動かすこと
なく能率的に原点を設定することができる。又訂正状態
で原点設定を行うことができるので、設定誤差を生ずる
こともない等の優れた効果を有する。
なく能率的に原点を設定することができる。又訂正状態
で原点設定を行うことができるので、設定誤差を生ずる
こともない等の優れた効果を有する。
第１図は、本発明に係る測長装置の実施例が採用された
サーボ位置決め機構の全体構成を示すブロック線図、第
２図は、前記実施例で用いられているｆ／ｖ変換回路の
構成例を示す回路図、第３図は、第２ＵＡに示したｆ／
ｖ変換回路の各部信号波形の例を示す線図、第４図は、
前記実施例で用いられている第２ ｔ３子と第２検出器
の構成を示す拡大展開図、第５図は、前記実施例により
Ｌ１絨原点を設定する手順を示す流れ図、第６図は、従
来のクローズトループによるサーボ位置決めＮＭの一例
の構成を示すブロック線図、第７図は、前記従来例にお
ける機械原点の設定手順の倒を示す流れ図である。 １．０・・・ｇ！載物台 １２・・・メインスケール、 １４・・・第１格子、 １６・・・第１検出器、 １８・・・計数回路、 ２０・・・設定回路、 ２２・・・サーボモータ、 ３０・・・比較回路、 ３２・・・モータ用ドライブ回路、 ４２・・・ＣＰＵ。 ４６・・・セットスイッチ、 ６０・・・第２格子、 ６２・・・ｆ／ｖ変換回路、 ９０・・・基準パターン、 ９２・・・位置パターン、 ９４・・・第２検出器、 ９８・・・アブソリュート検出回路。
サーボ位置決め機構の全体構成を示すブロック線図、第
２図は、前記実施例で用いられているｆ／ｖ変換回路の
構成例を示す回路図、第３図は、第２ＵＡに示したｆ／
ｖ変換回路の各部信号波形の例を示す線図、第４図は、
前記実施例で用いられている第２ ｔ３子と第２検出器
の構成を示す拡大展開図、第５図は、前記実施例により
Ｌ１絨原点を設定する手順を示す流れ図、第６図は、従
来のクローズトループによるサーボ位置決めＮＭの一例
の構成を示すブロック線図、第７図は、前記従来例にお
ける機械原点の設定手順の倒を示す流れ図である。 １．０・・・ｇ！載物台 １２・・・メインスケール、 １４・・・第１格子、 １６・・・第１検出器、 １８・・・計数回路、 ２０・・・設定回路、 ２２・・・サーボモータ、 ３０・・・比較回路、 ３２・・・モータ用ドライブ回路、 ４２・・・ＣＰＵ。 ４６・・・セットスイッチ、 ６０・・・第２格子、 ６２・・・ｆ／ｖ変換回路、 ９０・・・基準パターン、 ９２・・・位置パターン、 ９４・・・第２検出器、 ９８・・・アブソリュート検出回路。
Claims (2)
- （１）相対移動する一方の部材に、一定ピッチの目盛が
形成されたメインスケールを配し、他方の部材に、前記
目盛を用いて、これら部材の相対移動に従つて周期的な
電気信号を生成する検出器を配し、この電気信号をパル
ス化して計数する計数回路によつて前記部材の相対移動
量を検出する測長装置において、 前記一方の部材に、メインスケールと平行に非周期的な
絶対目盛を形成した第２のメインスケールを配し、 他方の部材に、前記絶対目盛を用いて、これら部材の相
対移動量の特定の状態からの絶対値を検出する第２の検
出器を設け、 任意に第２の検出器で検出した絶対値を前記計数回路に
プリセットできることを特徴とする測長装置。 - （２）前記第２のメインスケールがメインスケールで兼
用され、前記絶対目盛が、一定ピッチで配設された基準
エッジと該基準エッジを識別する位置パターンとから構
成されている特許請求の範囲第１項記載の測長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21756886A JPS6371611A (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 | 測長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21756886A JPS6371611A (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 | 測長装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6371611A true JPS6371611A (ja) | 1988-04-01 |
Family
ID=16706304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21756886A Pending JPS6371611A (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 | 測長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6371611A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5287630A (en) * | 1990-09-03 | 1994-02-22 | Hottinger Baldwin Messtechnik Gmbh | Distance or position detecting device |
| US7499827B2 (en) | 2001-04-11 | 2009-03-03 | Renishaw Plc | Absolute position measurement |
| CN108779993A (zh) * | 2016-03-25 | 2018-11-09 | 雅马哈株式会社 | 位置检测装置及位置检测方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS5726713A (en) * | 1980-07-25 | 1982-02-12 | Toshihiro Tsumura | Rotary encoder |
| JPS60100013A (ja) * | 1983-11-05 | 1985-06-03 | Fanuc Ltd | 回転検出器 |
| JPS61182521A (ja) * | 1985-02-08 | 1986-08-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | アブソリユ−ト変位検出スケ−ル |
| JPS61189415A (ja) * | 1985-02-19 | 1986-08-23 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 高精度高分解能絶対位置スケール |
-
1986
- 1986-09-16 JP JP21756886A patent/JPS6371611A/ja active Pending
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| US10768021B2 (en) | 2016-03-25 | 2020-09-08 | Yamaha Corporation | Position detection device and position detection method |
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