JPH0342611B2 - - Google Patents
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- JPH0342611B2 JPH0342611B2 JP58198744A JP19874483A JPH0342611B2 JP H0342611 B2 JPH0342611 B2 JP H0342611B2 JP 58198744 A JP58198744 A JP 58198744A JP 19874483 A JP19874483 A JP 19874483A JP H0342611 B2 JPH0342611 B2 JP H0342611B2
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- JP
- Japan
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- scale
- image sensor
- circuit
- length
- image
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野）
本発明は光電的に位置を測定するポジシヨンエ
ンコーダに関し、特に絶対的な位置検出の行なえ
るアブソリユート式ポジシヨンエンコーダに関す
る。
ンコーダに関し、特に絶対的な位置検出の行なえ
るアブソリユート式ポジシヨンエンコーダに関す
る。
（発明の背景）
ポジシヨンエンコーダにはアブソリユート式の
ものとインクリメンタル式のものがある。アブソ
リユート式のものは、絶対位置に対応せしめた数
ビツトのコード化したパターンを読み取ることに
より、絶対位置を測定するように成したものであ
り、高分解能のものが得られないという欠点があ
つた。一方、インクリメンタル式のものは、等間
隔に付した目盛を計数することにより基準位置か
らの移動量を測定するもので、高分解能のものが
得られるが、絶対位置を測定することができなか
つた。
ものとインクリメンタル式のものがある。アブソ
リユート式のものは、絶対位置に対応せしめた数
ビツトのコード化したパターンを読み取ることに
より、絶対位置を測定するように成したものであ
り、高分解能のものが得られないという欠点があ
つた。一方、インクリメンタル式のものは、等間
隔に付した目盛を計数することにより基準位置か
らの移動量を測定するもので、高分解能のものが
得られるが、絶対位置を測定することができなか
つた。
そこで、インクリメンタル目盛とアブソリユー
ト目盛（コード化パターン）を併設する等により
両者の欠点を補うことも考えられるが、構成が複
雑になつてしまうという欠点がある。
ト目盛（コード化パターン）を併設する等により
両者の欠点を補うことも考えられるが、構成が複
雑になつてしまうという欠点がある。
（発明の目的）
本発明の目的は、簡単な構成で、インクリメン
タル式のものに劣らない程度の高分解能のアブソ
リユート式ポジシヨンエンコーダを提供すること
にある。
タル式のものに劣らない程度の高分解能のアブソ
リユート式ポジシヨンエンコーダを提供すること
にある。
（発明の概要）
本発明は、一定のピツチ（ｐ）で繰り返される
と共に、繰り返し方向の長さが所定量(a)ずつ順次
変化する目盛を有する目盛盤を設けることによ
り、上記目盛の長さによつて絶対番地を、また長
さを読み取る検出器の基準位置と長さを読み取ら
れる目盛の位置とによつて上記一定のピツチ
（ｐ）より細かい読み取りを行なうアブソリユー
ト式ポジシヨンエンコーダである。
と共に、繰り返し方向の長さが所定量(a)ずつ順次
変化する目盛を有する目盛盤を設けることによ
り、上記目盛の長さによつて絶対番地を、また長
さを読み取る検出器の基準位置と長さを読み取ら
れる目盛の位置とによつて上記一定のピツチ
（ｐ）より細かい読み取りを行なうアブソリユー
ト式ポジシヨンエンコーダである。
（実施例）
以下、図面に示した実施例に基づいて本発明を
説明する。
説明する。
第１図は本発明を長さ測定用のポジシヨンエン
コーダに応用した一実施例の概略構成図であり、
第２図は第１図で用いられる目盛盤上の目盛パタ
ーンの説明図、第３図は第１図で用いられるイメ
ージセンサの出力をサンプルホールドした波形図
である。
コーダに応用した一実施例の概略構成図であり、
第２図は第１図で用いられる目盛盤上の目盛パタ
ーンの説明図、第３図は第１図で用いられるイメ
ージセンサの出力をサンプルホールドした波形図
である。
光源１からの光は目盛盤２を透過照明する、目
盛盤２の表面には、第２図に示したように、一定
のピツチｐで繰り返されると共に繰り返し方向の
長さが所定量ａずつ順次変化する目盛（透明部…
斜線部分）が形成されている。なお、第２図の白
抜部分は不透明部である。目盛盤２を挾んで光源
１の反対側には投影レンズ３が配設されている。
投影レンズ３に関して目盛盤２上の目盛面と共役
な位置には一次元のイメージセンサ４が置かれて
いる。一次元のイメージセンサ４は所定のピツチ
で受光部が配設されており、駆動装置５からの駆
動信号により受光部が順次駆動される周知のもの
である。この際、一次元イメージセンサ４の受光
部の配列方向は、目盛盤２の目盛の配列方向とほ
ぼ平行になつている。そして、投影レンズ３は目
盛盤２の目盛のピツチがイメージセンサ４の受光
部のピツチより十分大きくなるように目盛の像を
イメージセンサ４上に、第１図に示すとおり拡大
投影している。処理装置６はイメージセンサ４の
出力信号を入力し、任意の目盛像の長さと、イメ
ージセンサ４上に定めた基準位置から前述の任意
の目盛像の中心までの長さとから、イメージセン
サ４に対する目盛盤２の絶対位置に対応する信号
を出力する。
盛盤２の表面には、第２図に示したように、一定
のピツチｐで繰り返されると共に繰り返し方向の
長さが所定量ａずつ順次変化する目盛（透明部…
斜線部分）が形成されている。なお、第２図の白
抜部分は不透明部である。目盛盤２を挾んで光源
１の反対側には投影レンズ３が配設されている。
投影レンズ３に関して目盛盤２上の目盛面と共役
な位置には一次元のイメージセンサ４が置かれて
いる。一次元のイメージセンサ４は所定のピツチ
で受光部が配設されており、駆動装置５からの駆
動信号により受光部が順次駆動される周知のもの
である。この際、一次元イメージセンサ４の受光
部の配列方向は、目盛盤２の目盛の配列方向とほ
ぼ平行になつている。そして、投影レンズ３は目
盛盤２の目盛のピツチがイメージセンサ４の受光
部のピツチより十分大きくなるように目盛の像を
イメージセンサ４上に、第１図に示すとおり拡大
投影している。処理装置６はイメージセンサ４の
出力信号を入力し、任意の目盛像の長さと、イメ
ージセンサ４上に定めた基準位置から前述の任意
の目盛像の中心までの長さとから、イメージセン
サ４に対する目盛盤２の絶対位置に対応する信号
を出力する。
すなわち、上述の如き構成において、目盛盤２
が目盛の繰り返し方向（矢印Ａ）に移動し、停止
した時にイメージセンサ４の出力信号をサンプル
ホールドした波形（イメージセンサとしてサンプ
ルホールドした波形を出力するものを言う場合も
ある）が第３図ａの如くであつたとすれば、この
段階波形を適当なカツトオフ周波数を有するロー
パスフイルタを通して、第３図ｂの如くなだらか
な波形に変換した後、所定の基準電圧Vrefによつ
て第３図ｃの如き矩形波に波形整形することがで
きる。第３図ｃの波形によれば、イメージセンサ
４のスタートパルスが時刻t0で生じてから初めの
矩形波ｑの中心位置までの時間T1を知ることは
容易である。また、矩形波ｑの幅Δt1を知ること
も容易である。一方、イメージセンサ４の駆動パ
ルスの周波数と受光部のピツチとから上記T1，
Δt1を長さに変換することができ、しかも、投影
レンズ３の倍率も既知であるから、矩形波ｑの対
応する目盛の幅w1が計算によつて求まることに
なる。ここで、第２図に示したように、となり合
う目盛の幅は常にａだけ異なつており、同一の幅
を有する目盛は１つしかないので、幅w1を求め
ることにより目盛の絶対番地を知ることができ
る。さらに、スタートパルスが時刻t0で生じてか
ら目盛の幅w1の中心までの時間T1から求めた長
さd1によつて、目盛の１ピツチｐ以下の精度が読
み取り可能である。すなわち、目盛の１ピツチｐ
は一定であるから、長さd1はd1／ｐピツチを示し
ていることになる。それ故、ある位置においてイ
メージセンサ４上に生じている一番目の目盛の幅
w0と長さd0とを覚えておき、目盛盤２の移動後
（第３図ａ）におけるイメージセンサ４上に生じ
ている一番目の目盛の幅w1と長さd1とを測定す
れば、ある位置と移動後の位置との長さ（目盛盤
２の移動量）が （w1−w0／ａ）×ｐ＋（d1−d0） …式(1) にて求まることになる。
が目盛の繰り返し方向（矢印Ａ）に移動し、停止
した時にイメージセンサ４の出力信号をサンプル
ホールドした波形（イメージセンサとしてサンプ
ルホールドした波形を出力するものを言う場合も
ある）が第３図ａの如くであつたとすれば、この
段階波形を適当なカツトオフ周波数を有するロー
パスフイルタを通して、第３図ｂの如くなだらか
な波形に変換した後、所定の基準電圧Vrefによつ
て第３図ｃの如き矩形波に波形整形することがで
きる。第３図ｃの波形によれば、イメージセンサ
４のスタートパルスが時刻t0で生じてから初めの
矩形波ｑの中心位置までの時間T1を知ることは
容易である。また、矩形波ｑの幅Δt1を知ること
も容易である。一方、イメージセンサ４の駆動パ
ルスの周波数と受光部のピツチとから上記T1，
Δt1を長さに変換することができ、しかも、投影
レンズ３の倍率も既知であるから、矩形波ｑの対
応する目盛の幅w1が計算によつて求まることに
なる。ここで、第２図に示したように、となり合
う目盛の幅は常にａだけ異なつており、同一の幅
を有する目盛は１つしかないので、幅w1を求め
ることにより目盛の絶対番地を知ることができ
る。さらに、スタートパルスが時刻t0で生じてか
ら目盛の幅w1の中心までの時間T1から求めた長
さd1によつて、目盛の１ピツチｐ以下の精度が読
み取り可能である。すなわち、目盛の１ピツチｐ
は一定であるから、長さd1はd1／ｐピツチを示し
ていることになる。それ故、ある位置においてイ
メージセンサ４上に生じている一番目の目盛の幅
w0と長さd0とを覚えておき、目盛盤２の移動後
（第３図ａ）におけるイメージセンサ４上に生じ
ている一番目の目盛の幅w1と長さd1とを測定す
れば、ある位置と移動後の位置との長さ（目盛盤
２の移動量）が （w1−w0／ａ）×ｐ＋（d1−d0） …式(1) にて求まることになる。
表示回路７は処理回路６からの信号によつて目
盛盤２のある位置からの移動量を表示する。
盛盤２のある位置からの移動量を表示する。
次に、第４図を用いて駆動装置５、処理装置６
の一例を詳述する。駆動装置５は、クロツクパル
ス発生器５０と、クロツクパルス発生器５０のパ
ルスを入力し、スタートパルスと駆動パルスを一
次元イメージセンサ４に入力せしめるカウンタ等
から成る駆動回路５１を有する。一方、処理装置
６は、一次元イメージセンサ４の出力信号を増幅
するプリアンプ６０と、プリアンプ６０の出力信
号を駆動回路５１の駆動パルスによつてサンプル
ホールドするサンプルホールド回路６１と、サン
プルホールド回路６１から出力される階段状波形
をなだらかな波形に成すローパスフイルタ６２
と、ローパスフイルタ６２の出力信号が基準電圧
Vrefより小さいときは低レベルを、逆のときは高
レベルを出力する比較回路６３と、クロツクパル
ス発生器５０のパルスを入力する第１端子と、ク
ロツクパルス発生器５０のパルスを周波数が半分
になるように分周し出力する分周回路６４の出力
パルスを入力する第２端子とを有し、比較回路６
３の出力が抵レベルのときは第１端子を、高レベ
ルのときは第２端子を出力端子に接続するスイツ
チ回路６５と、スイツチ回路６５の出力端子が一
方の端子に接続されるアンド回路６６と、駆動回
路５１のスタートパルスによりセツトされ、比較
回路６３の出力信号が高レベルから低レベルへ切
り替わるときにリセツトされ、出力端子がアンド
回路６６の他方の端子に接続されるフリツプフロ
ツプ回路６７と、アンド回路６６の出力信号が入
力されるカウンタ回路６８と、比較回路６３の出
力信号の立ち上りで第１パルスを、立ち下りで第
２パルスを出力する記憶指令パルス発生器６９
と、記憶指令パルス発生器６９の第１パルスによ
つてカウンタ回路６８の計数値を記憶する第１記
憶回路７０と、記憶指令パルス発生器６９の第２
パルスによつてカウンタ回路６８の計数値を記憶
する第２記憶回路７１と、第１記憶回路７０と第
２記憶回路７１の記憶値から前述の式(1)によつて
長さを計算する演算回路７２と、から構成されて
いる。
の一例を詳述する。駆動装置５は、クロツクパル
ス発生器５０と、クロツクパルス発生器５０のパ
ルスを入力し、スタートパルスと駆動パルスを一
次元イメージセンサ４に入力せしめるカウンタ等
から成る駆動回路５１を有する。一方、処理装置
６は、一次元イメージセンサ４の出力信号を増幅
するプリアンプ６０と、プリアンプ６０の出力信
号を駆動回路５１の駆動パルスによつてサンプル
ホールドするサンプルホールド回路６１と、サン
プルホールド回路６１から出力される階段状波形
をなだらかな波形に成すローパスフイルタ６２
と、ローパスフイルタ６２の出力信号が基準電圧
Vrefより小さいときは低レベルを、逆のときは高
レベルを出力する比較回路６３と、クロツクパル
ス発生器５０のパルスを入力する第１端子と、ク
ロツクパルス発生器５０のパルスを周波数が半分
になるように分周し出力する分周回路６４の出力
パルスを入力する第２端子とを有し、比較回路６
３の出力が抵レベルのときは第１端子を、高レベ
ルのときは第２端子を出力端子に接続するスイツ
チ回路６５と、スイツチ回路６５の出力端子が一
方の端子に接続されるアンド回路６６と、駆動回
路５１のスタートパルスによりセツトされ、比較
回路６３の出力信号が高レベルから低レベルへ切
り替わるときにリセツトされ、出力端子がアンド
回路６６の他方の端子に接続されるフリツプフロ
ツプ回路６７と、アンド回路６６の出力信号が入
力されるカウンタ回路６８と、比較回路６３の出
力信号の立ち上りで第１パルスを、立ち下りで第
２パルスを出力する記憶指令パルス発生器６９
と、記憶指令パルス発生器６９の第１パルスによ
つてカウンタ回路６８の計数値を記憶する第１記
憶回路７０と、記憶指令パルス発生器６９の第２
パルスによつてカウンタ回路６８の計数値を記憶
する第２記憶回路７１と、第１記憶回路７０と第
２記憶回路７１の記憶値から前述の式(1)によつて
長さを計算する演算回路７２と、から構成されて
いる。
従つて、駆動回路５１から時刻t0でスタートパ
ルスが生じると、イメージセンサ４の受光部は順
次駆動パルスによつて駆動され、サンプルホール
ド回路６２からは第３図ａの如き階段状の信号が
出力される。ローパスフイルタ６２の出力信号は
第３図ｂの如くなだらかな信号となり、さらに比
較回路６３によつて第３図ｃの如き矩形波に波形
整形される。スイツチ回路６５は時刻t0から矩形
波が立ち上るまではパルス発生器５０のパルスを
出力し、一方フリツプフロツプ６７はスタートパ
ルスによりセツトされているから、スイツチ回路
６５の出力パルスは時刻t0から時刻t2までカウン
タ回路６８にて計数される。時刻t2において記憶
指令パルス発生器６９から生ずる第１パルスによ
つて、第１記憶回路７０は上述の計数値を記憶す
る。比較回路６３の出力信号が高レベルである時
刻t2からt3までは、スイツチ回路６５は分周回路
６４の出力パルスを出力するように切り換えら
れ、このパルスはカウンタ回路６８にて計数され
る。比較回路６３の出力信号が立ち下る時刻t3に
おいて、フリツプフロツプ６７はリセツトされ、
アンド回路６６がカウンタ回路６８へのパルスの
入力を阻止すると共に、記憶指令パルス発生器６
９の第２パルスによつて、第２記憶回路７１がカ
ウンタ回路６８の計数値を記憶する。従つて、第
１記憶回路７０には時刻t0から時刻t2までに計数
されるパルス発生器５０のパルス数N1が、また、
第２記憶回路７１には、時刻t0から時刻t1までに
計数されるパルス発生器５０のパルス数N2が
夫々記憶されていることになる。従つて、パルス
数N2が時間t1、すなわち長さd1に、また、パルス
数（N2−N1）×２が時間Δt1、すなわち幅w1に対
応しているから、演算回路７２はこれらの測定値
から一次元イメージセンサ４に対する目盛盤２の
絶対位置を計算することができる。好ましくは、
記憶回路を付加し、上述の値を基準値として付加
した記憶回路に記憶せしめ、目盛盤２をイメージ
センサ４に対して移動せしめ、同上に測定した値
と上記基準値との減算を行なう機能を付加すれ
ば、移動量を知ることができる。
ルスが生じると、イメージセンサ４の受光部は順
次駆動パルスによつて駆動され、サンプルホール
ド回路６２からは第３図ａの如き階段状の信号が
出力される。ローパスフイルタ６２の出力信号は
第３図ｂの如くなだらかな信号となり、さらに比
較回路６３によつて第３図ｃの如き矩形波に波形
整形される。スイツチ回路６５は時刻t0から矩形
波が立ち上るまではパルス発生器５０のパルスを
出力し、一方フリツプフロツプ６７はスタートパ
ルスによりセツトされているから、スイツチ回路
６５の出力パルスは時刻t0から時刻t2までカウン
タ回路６８にて計数される。時刻t2において記憶
指令パルス発生器６９から生ずる第１パルスによ
つて、第１記憶回路７０は上述の計数値を記憶す
る。比較回路６３の出力信号が高レベルである時
刻t2からt3までは、スイツチ回路６５は分周回路
６４の出力パルスを出力するように切り換えら
れ、このパルスはカウンタ回路６８にて計数され
る。比較回路６３の出力信号が立ち下る時刻t3に
おいて、フリツプフロツプ６７はリセツトされ、
アンド回路６６がカウンタ回路６８へのパルスの
入力を阻止すると共に、記憶指令パルス発生器６
９の第２パルスによつて、第２記憶回路７１がカ
ウンタ回路６８の計数値を記憶する。従つて、第
１記憶回路７０には時刻t0から時刻t2までに計数
されるパルス発生器５０のパルス数N1が、また、
第２記憶回路７１には、時刻t0から時刻t1までに
計数されるパルス発生器５０のパルス数N2が
夫々記憶されていることになる。従つて、パルス
数N2が時間t1、すなわち長さd1に、また、パルス
数（N2−N1）×２が時間Δt1、すなわち幅w1に対
応しているから、演算回路７２はこれらの測定値
から一次元イメージセンサ４に対する目盛盤２の
絶対位置を計算することができる。好ましくは、
記憶回路を付加し、上述の値を基準値として付加
した記憶回路に記憶せしめ、目盛盤２をイメージ
センサ４に対して移動せしめ、同上に測定した値
と上記基準値との減算を行なう機能を付加すれ
ば、移動量を知ることができる。
なお、上述の例においては最初の目盛像にて測
定を行なうが、一次元イメージセンサ２上には２
つ以上の目盛像が生じていた場合、いずれの目盛
像によつて測定を行なつても測定される移動量は
同じである。すなわち、第３図ａに示したよう
に、一番目の目盛像と二番目の目盛像の間隔はピ
ツチｐで一定であるから、第３図ａにおいて、 d2＝d1＋ｐ ……式(2) の関係があり、他方 w2＝w1−ａ ……式(3) であるから、前述の式(1)に式(2)と式(3)から求めた
d1とw1とを代入すれば、 （w1−w0／ａ）×ｐ＋（d1−d0） ＝（w2−w0／ａ）×ｐ＋（d2−d0） となり、結果は同じになるのでいずれの目盛像に
よつても測定が行なえることがわかる。
定を行なうが、一次元イメージセンサ２上には２
つ以上の目盛像が生じていた場合、いずれの目盛
像によつて測定を行なつても測定される移動量は
同じである。すなわち、第３図ａに示したよう
に、一番目の目盛像と二番目の目盛像の間隔はピ
ツチｐで一定であるから、第３図ａにおいて、 d2＝d1＋ｐ ……式(2) の関係があり、他方 w2＝w1−ａ ……式(3) であるから、前述の式(1)に式(2)と式(3)から求めた
d1とw1とを代入すれば、 （w1−w0／ａ）×ｐ＋（d1−d0） ＝（w2−w0／ａ）×ｐ＋（d2−d0） となり、結果は同じになるのでいずれの目盛像に
よつても測定が行なえることがわかる。
以上の実施例は、長さ測定用のポジシヨンエン
コーダについて主として述べたのであるが、角度
測定用のポジシヨンエンコーダにも同様に利用す
ることができる。その場合、目盛は等角度ピツチ
（本明細書ではこの場合も含めてピツチと略称す
る）で円周方向に繰り返されると共に、円周方向
の長さが所定量ずつ順次変化する目盛を形成すれ
ば良い。
コーダについて主として述べたのであるが、角度
測定用のポジシヨンエンコーダにも同様に利用す
ることができる。その場合、目盛は等角度ピツチ
（本明細書ではこの場合も含めてピツチと略称す
る）で円周方向に繰り返されると共に、円周方向
の長さが所定量ずつ順次変化する目盛を形成すれ
ば良い。
また、時間T1の測定開始時刻はあらかじめ定
まつていさえすればスタートパルスの生ずる時刻
t0に限られないことは明らかである。
まつていさえすればスタートパルスの生ずる時刻
t0に限られないことは明らかである。
さらに、上述の実施例では目盛像の繰り返し方
向がイメージセンサの受光部の配列方向にほぼ一
致する如き例を説明したが、特に長さ測定の場合
には、積極的に一致関係を崩し、目盛像の繰り返
し方向がイメージセンサの受光部の配列方向に交
差する如く投影すれば、分解能を上げることがで
きる。
向がイメージセンサの受光部の配列方向にほぼ一
致する如き例を説明したが、特に長さ測定の場合
には、積極的に一致関係を崩し、目盛像の繰り返
し方向がイメージセンサの受光部の配列方向に交
差する如く投影すれば、分解能を上げることがで
きる。
（発明の効果）
以上の様に、本発明によれば、一つの目盛パタ
ーンと一つのイメージセンサを用いるだけで目盛
の絶対番地を判別し、かつ目盛の一ピツチ以下の
変位量まで精度良く求めることができる。
ーンと一つのイメージセンサを用いるだけで目盛
の絶対番地を判別し、かつ目盛の一ピツチ以下の
変位量まで精度良く求めることができる。
第１図は本発明の一実施例による装置の構造
図、第２図は第１図の実施例に用いられる目盛の
拡大図、第３図は第１図の実施例に用いられる処
理装置を説明するためのタイミングチヤート、第
４図は第１図の実施例に用いられる処理装置の詳
細を説明するためのブロツク図、である。 主要部分の符号の説明、２…目盛盤、３……投
影レンズ、４……一次元イメージセンサ、６……
処理装置。
図、第２図は第１図の実施例に用いられる目盛の
拡大図、第３図は第１図の実施例に用いられる処
理装置を説明するためのタイミングチヤート、第
４図は第１図の実施例に用いられる処理装置の詳
細を説明するためのブロツク図、である。 主要部分の符号の説明、２…目盛盤、３……投
影レンズ、４……一次元イメージセンサ、６……
処理装置。
Claims (1)
- １ 一定のピツチで繰り返されると共に繰り返し
方向の長さが所定量ずつ順次変化する目盛を有す
る目盛盤と、所定のピツチで受光部が配設された
一次元イメージセンサと、前記目盛のピツチが前
記所定のピツチより十分大きくなるように前記目
盛の像を前記イメージセンサ上に拡大投影する光
学系と、前記イメージセンサの出力信号をローパ
スフイルタによつてなだらかな信号波形に変換
し、該なだらかな信号波形に基づいて前記イメー
ジセンサ上での任意の目盛像の長さと、前記イメ
ージセンサ上に定めた基準位置から前記任意の目
盛像の中心までの長さとから前記イメージセンサ
に対する目盛盤の絶対位置に対応する信号を出力
する処理手段と、を有することを特徴とするポジ
シヨンエンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19874483A JPS6089713A (ja) | 1983-10-24 | 1983-10-24 | アブソリユ−ト式ポジシヨンエンコ−ダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19874483A JPS6089713A (ja) | 1983-10-24 | 1983-10-24 | アブソリユ−ト式ポジシヨンエンコ−ダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6089713A JPS6089713A (ja) | 1985-05-20 |
| JPH0342611B2 true JPH0342611B2 (ja) | 1991-06-27 |
Family
ID=16396245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19874483A Granted JPS6089713A (ja) | 1983-10-24 | 1983-10-24 | アブソリユ−ト式ポジシヨンエンコ−ダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6089713A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA1338291C (en) * | 1988-07-08 | 1996-04-30 | William L. Hassler, Jr. | Precision electronic absolute and relative position sensing device and method of using same |
| JPH0267218U (ja) * | 1988-11-09 | 1990-05-22 | ||
| JPH0372314U (ja) * | 1989-11-16 | 1991-07-22 | ||
| JP5379761B2 (ja) | 2010-08-06 | 2013-12-25 | キヤノン株式会社 | アブソリュートエンコーダ |
| JP5832088B2 (ja) | 2010-12-15 | 2015-12-16 | キヤノン株式会社 | ロータリーエンコーダ |
| JP5787513B2 (ja) | 2010-12-15 | 2015-09-30 | キヤノン株式会社 | アブソリュートロータリーエンコーダ |
-
1983
- 1983-10-24 JP JP19874483A patent/JPS6089713A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6089713A (ja) | 1985-05-20 |
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