JPH043812B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH043812B2
JPH043812B2 JP59056399A JP5639984A JPH043812B2 JP H043812 B2 JPH043812 B2 JP H043812B2 JP 59056399 A JP59056399 A JP 59056399A JP 5639984 A JP5639984 A JP 5639984A JP H043812 B2 JPH043812 B2 JP H043812B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mark
scanning
support
scale
marks
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP59056399A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS59183318A (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Publication of JPS59183318A publication Critical patent/JPS59183318A/ja
Publication of JPH043812B2 publication Critical patent/JPH043812B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36—Forming the light into pulses
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/245—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
    • G01D5/2454—Encoders incorporating incremental and absolute signals
    • G01D5/2455—Encoders incorporating incremental and absolute signals with incremental and absolute tracks on the same encoder
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/245—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
    • G01D5/2454—Encoders incorporating incremental and absolute signals
    • G01D5/2455—Encoders incorporating incremental and absolute signals with incremental and absolute tracks on the same encoder
    • G01D5/2457—Incremental encoders having reference marks
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/3473—Circular or rotary encoders

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は特許請求の範囲第１項の前提概念によ
るインクリメンタル長さ又は角度測定装置に関す
る。
参照位置の検出のための方法並びに長さ又は角
度測定装置は公知であり、その際そこまでのカウ
ンタの進んだ値を検出し、メモリし又は値「ゼ
ロ」である参照位置に対する参照マークを明らか
にするために、出発位置から一つの参照マークま
で相対的に可動の機械構造物又は測定系構造物が
走行される。そのような方法は西独国特許明細書
1964381に記載されているようにインクリメンタ
ル長さ又は角度測定系によつて可能にされる。し
かしこの方法は測定対象の避けることのできない
相対運動可能性を必要とする。そのわけは測定装
置の構成部分は被測定対象と剛固に結されてお
り、参照マークまで対象物と一緒に移動されねば
ならないからである。
西独国公開公報1673887から機械における測定
系が公知であり、その測定系は機械ベツド上に往
復台がクランプされた場合参照点の検出を可能に
する。まず最初に往復台が後でゼロに対する参照
点として明らかにされるべき同一位置に走行され
ねばならない。その後往復台は機械ベツド上にク
ランプされる。続いて走査板が参照マークが表わ
れるまで測定尺に対して移動される。参照マーク
に達すると、測定装置の電子カウンタがゼロにセ
ツトされる。それから機械部分のためのクランプ
が再び解かれそして往復台が所望の位置に移行す
る。参照マークの位置は他の加工段階のための参
照位置を示す。
しかし出発位置として特定された参照位置の検
出のための公知の方法は―この検出は固有の出発
段階の前に行われる―既に加工工程が行われてい
る場合には記載のインクリメンタル測定装置によ
つては最早不可能であり、例えば加工工程は中断
される。加工工程の中断は例えば市販の自動機で
は―一般に工業ロボツトと称される―電流遮断に
よつて可能にされる。ロボツトはそれからその瞬
間的位置にとどまる。しかしその元の参照位置に
関して技術レベルに従つて検出された測定値は電
流遮断によつて失われる、そのわけは測定も中断
されるからである。
しかし中断された加工工程の再開のためには参
照位置が知られなければならない。しかしロボツ
トの瞬間位置から元の出発位置へのロボツトの戻
り運動は一般的にできない、何故ならば工具が係
合しているからである。
従つて本発明は公知の装置の欠点を除去し、位
置情報の喪失の後に未知の瞬間的位置において被
測定対象の運動なしに参照位置を再生するような
測定装置を創造することを課題の基礎とする。
本発明の課題は特許請請求の範囲第１項に記載
された特徴によつて解決される。
本発明の他の有利な形態は実施態様項から把握
される。
図示の実施例に基いて本発明を詳しく説明す
る。
第１図に示された角度測定装置はハウジング１
を有し、ハウジングは図示しない工業ロボツトの
ハウジング内に固定されている。ハウジング１内
に回転可能に支承された軸２はハウジング１内に
進入し、そこで格子状のインクリメンタル目盛４
を備えたデスク３を支持する。インクリメンタル
目盛４は光電的に走査される。
第二デスク５は軸２上に回転可能に支承されて
いる。デスク５は同様にインクリメンタル目盛６
を同心的に支持する。デスク３及び５上の他のマ
ークは第２図〜第４図の記載で説明される。走査
装置７は走査板８を有し、走査界９及び１０の形
のマークを有する。その他走査装置は照明装置１
１、コンデンサ１２及びプレート１４上に配設さ
れた光電センサ１３を有する。軸２の回転ではデ
スク３も回転し、インクリメンタル目盛４はイン
クリメンタル目盛４に相応した格子目盛をも有す
る走査界９上を動かされる。照明装置１１から出
る光は相対運動する格子によつて変調され、かつ
光電センサ１３に入射し、光電センサは光を電流
に変換し、かつ公知の図示しない評価装置に供給
する。光電センサ１３から送られる信号からパル
スが形成される。計数されたパルスはカウンタ出
力でデジタル測定値として使用される。
第２図〜第４図には支持体５の部分、測定尺の
部分―目盛デスク３によつて形成される―及び
種々のマークを担持する走査板８が示されてい
る。
第２図に示された支持体５は多数のマークトラ
ツクを有し、そのうち一つはインクリメンタル目
盛６を備えている。外方のトラツクにはマーク１
５が配設されており、マークは測定装置が後に説
明されるべき運転方式―即ち参照点の取得又は再
生―において案内される場合に走査板８（第４
図）上のマーク１６と共に制御目的に使われる。
他のマーク１７はインクリメンタル目盛４の目盛
ゼロ点に対する絶対的関係において目盛円板上に
固定されている参照マークRp……Roの走査のた
めに役立つ。個々の参照マークRp……Roの絶対
位置はコードマークCp……Coによつて特徴づけ
られ、このコードマークはコード化された情報例
えばいわゆるバーコードとしての参照マークRp
……Roの絶対的位置を示す。マークCp……Coは
支持体５の内側のトラツク上にあるマーク１８に
よつて読取られる。
目盛円板３は軸２上に固定されておりかつ軸２
と共にハウジング１に回転可能に支承されてい
る。走査板８は走査装置７の構成部分としてハウ
ジング１内に固定配置されている。軸２上には更
に支持体５が目盛円板３と同心、しかし相互に回
転可能に配設されている。歯付ベルト伝動装置Ｇ
を介して支持体５を常時回転させるモータＭによ
つて支持体は軸２の回転とは無関係に従つて目盛
円板３とも無関係に回転可能である。
支持体５が回転すると、支持体５のインクリメ
ンタル目盛６は走査界１０の上方を動かされ、そ
して照明装置１１から出た光が光電センサ上で変
調される。しかし通常の測定運転においてはこの
光電センサの電流は評価されない。光電センサ１
３の一つによつて、マーク１５の一つが走査フイ
ールド１６を又はマーク１７又は１８の一つが参
照マークRp……Ro上又はコードマークCp，……
Co上を動かされる場合には同様な方法でいつで
も信号が発生する。これらの信号も通常の測定運
転においては評価されない通常の測定運転におい
ては軸２及び目盛円板３のハウジング１に対する
回転の際にインクリメンタル目盛４の及び所属の
走査フイールド９の光変調によつて所属の光電セ
ンサから発生した信号のみが評価される。
しかしインクリメンタル測定装置では測定の出
発ベースとして役立ちかつ故障の後でも再生可能
な参照位置を、測定のはじめに決定することは重
要である。
このことは測定開始前又は故障の場合において
も―インクレメンタル測定装置では測定値が失わ
れることは知られているが―相対的に運動可能な
測定されるべき対象が停止していることから出発
する。
目盛円板３はそのハウジング１に対する目盛ゼ
ロ点の位置、即ち走査板８に対しても不明な位置
にある。
参照位置を確定するために瞬間の位置が決定さ
れねばならない。そのために公知かつ詳しく説明
しない方法で評価装置のカウンタがゼロ又は予め
セツトされた他の数値に調整され、同時に校正運
転が投入される。モータＭによつて運転される支
持体５は前に記載したように回転する、そのわけ
は支持体は目盛円板３とハウジング１の相対運動
とは無関係であるからである。マーク１５の一つ
が回転している支持体５上で短い時間の後に位置
固定の走査板８上の走査フイールド１６を通過
し、それによつて光電センサ１３において校正運
転中図示しないカウンタを制御しかつこれをスタ
ートさせる信号が発生される。この瞬間から信号
が発生し信号は目盛６と走査フイールド１０によ
つて発生し、カウンタパルスとして評価・計数さ
れる。目盛インクリメントも計数され、目盛イン
クリメント計数は走査板８に対する支持体５の回
転の際に行われる。
カウンタスタート後マーク１７は或時点で次の
参照マークRiを通り、その際マーク１８が所属の
コードマークCiを読取る。参照マークRiの通過の
瞬間に所属の光電センサの信号によつてカウンタ
が停止される。カウンタは今や測定値として支持
体５がカウントのはじめからカウント停止までに
進んだ角度を示す。マークはその際参照マークRi
に属するコードマークCiから絶対値を読取り、コ
ードマークはカウンタをストツプさせる。この絶
対的位置値は評価装置に入力されカウンタの測定
値と重ねられる。評価装置において目盛円板３が
ハウジング１に対して瞬間的に占める絶対的位置
値が存在する。それによつて校正過程が終る。カ
ウンタは再び対数パルスを供給され、計数パルス
は目盛円板３の回転の際目盛４及び走査フイール
ド９によつて発生される。
故障の場合目盛円板３がその瞬間位置から動き
えない場合でも、前記校正過程がくり返されう
る、そのわけは故障の場合に例えば丁度工具が係
合しているからである。
上記のように走査フイールド１６とマーク１５
が一致した場合、カウンタがスタートされ、イン
クリメンタル目盛６から走査フイールド１０を介
して進んだインクリメントはマーク１７がカウン
タスタート過程でつづく参照マークRkと一致し
てカウンタが再びストツプするまで計数され、そ
の際同時にマーク１８はコードマークCkを走査
し、参照マークRkの絶対的位置が評価装置にお
いて計数された測定値に加えられる。それによつ
てハウジング１に対する目盛円板３の目盛ゼロ点
の瞬間の位置を示す絶対的位置値が再び確定す
る。
校正過程の記載では軸２は目盛円板３と共に停
止しているとみなされる。しかしこれに限るもの
ではない。勿論支持体５が校正の際目盛円板３よ
り早く回転することが前提である。参照値の読取
はマーク１７が参照マークR1を通過した瞬間に
行われる。
特にマーク１５，１６，１７及び参照マーク
Rp……Roが不均等に分割された一連のマーク線
から成る場合に有利であり、その際合成されたマ
ーク線が一つのマークを形成する。
本発明は記載の角度測定装置にも光電的走査原
理にも限られるものではない。
【図面の簡単な説明】
第１図は角度測定装置の断面図、第２図はマー
ク支持体の断面図、第３図は測定尺の断面図、そ
して第４図は走査板の正面図である。 図中符号、３……測定尺、５……支持体、６，
１５，１７，１８……マーク、７……走査ユニツ
ト、８……走査板、１０，１６……走査フイール
ド、Rp……Ro……マーク、Cp……Co……マーク。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ インクリメンタル目盛及び目盛ゼロ点に対し
    て絶対的に確定している少なくとも１つの参照マ
    ークの形のマークを有する第１のスケールと、走
    査可能なマークを備えた支持体と、マークの走査
    のための走査フイールドを有する走査装置と、評
    価装置とを備えたインクリメンタル長さ又は角度
    測定装置において、 前記支持体５は第１のスケール３並びに走査装
    置７に対して相対的に運動可能であり、前記支持
    体５を回転するための回転手段が設けられてお
    り、この相対運動可能性に基づいて前記支持体５
    がスケール３のマークRp，……Ro、Cp，……Co
    と、及び又は走査装置７の走査フイールド１０，
    １６と相互に合致する位置にもたらされることが
    でき、そして相異なるマークと走査フイールドが
    合致する度毎に電気的制御信号が発生し、カウン
    タスタート、インクリメンタル計数及びカウンタ
    ストツプのような制御過程が評価装置において始
    動されることを特徴とするインクリメンタル長さ
    又は角度測定装置。 ２ 支持体が目盛円板３と同様に支承された常に
    回転する支持体５であり、支持体５はインクリメ
    ンタル目盛６、カウンタスタートのためのマー
    ク、カウンタストツプのためのマーク１７及びコ
    ードマーク走査フイールド１８を有する、特許請
    求の範囲第１項記載の測定装置。 ３ 目盛円板３がインクリメンタル目盛４の外、
    2nの参照マークRp，……Roを備えた同心的に配
    設されているトラツク並びに2nの他の同心のト
    ラツク、及び参照マークRp，……Roに所属する
    コードマークCp，……Coを有しその際コードマ
    ークCp，……Coは所属の参照マークRp，……Ro
    の絶対的位置値を解読された形で含んでいる特許
    請求の範囲第１項又は第２項記載の測定装置。 ４ マーク１５，１６，１７，Rp，……Roは不
    均等に分配された一連のマークから構成されてい
    る、特許請求の範囲第１項記載の測定装置。 ５ 支持体５が伝動装置Ｇを備えたモータＭによ
    つて駆動される、特許請求の範囲第２項記載の測
    定装置。 ６ 電動装置Ｇが歯付ベルト伝動装置である、特
    許請求の範囲第５項記載の測定装置。
JP59056399A 1983-03-26 1984-03-26 インクリメンタル長さ又は角度測定装置 Granted JPS59183318A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19833311204 DE3311204A1 (de) 1983-03-26 1983-03-26 Inkrementale laengen- oder winkelmesseinrichtung
DE3311204.5 1983-03-26

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59183318A JPS59183318A (ja) 1984-10-18
JPH043812B2 true JPH043812B2 (ja) 1992-01-24

Family

ID=6194856

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59056399A Granted JPS59183318A (ja) 1983-03-26 1984-03-26 インクリメンタル長さ又は角度測定装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4616131A (ja)
EP (1) EP0126211B1 (ja)
JP (1) JPS59183318A (ja)
AT (1) ATE55184T1 (ja)
DE (2) DE3311204A1 (ja)

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3409544A1 (de) * 1983-03-26 1985-09-19 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale laengen- oder winkelmesseinrichtung
DE3412063A1 (de) * 1984-03-31 1985-11-28 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Positionsmesseinrichtung
DE3509838A1 (de) * 1985-03-19 1986-10-02 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Positionsmesseinrichtung
DE3429648A1 (de) * 1984-08-11 1986-02-13 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Lagemesseinrichtung
DE3566038D1 (en) * 1984-10-08 1988-12-08 Agie Ag Ind Elektronik Unit for determining the relative position between two parts for controlling their positions or the displacement thereof and method for actuating said unit
DE3527546C1 (de) * 1985-08-01 1986-10-02 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Vorrichtung zum Verbinden einer Positionsmesseinrichtung mit zwei relativ zueinander beweglichen Objekten
JPS62123830A (ja) * 1985-11-25 1987-06-05 Sharp Corp ロ−タリ−エンコ−ダ
US4780610A (en) * 1986-03-04 1988-10-25 Alps Electric Co., Ltd. Optical rotary encoder having superposed metal plate and shield plate
US4967075A (en) * 1986-09-16 1990-10-30 High Yield Technology Velocity monitoring method and apparatus
DE3737278A1 (de) * 1986-11-04 1988-05-11 Canon Kk Verfahren und vorrichtung zum optischen erfassen der stellung eines objekts
CH672185A5 (ja) * 1986-11-19 1989-10-31 Kern & Co Ag
JPH01101416A (ja) * 1987-10-14 1989-04-19 Ono Sokki Co Ltd ロータリエンコーダ
DE3809569A1 (de) * 1988-03-22 1989-10-05 Frankl & Kirchner Positionsgeber
US4965446A (en) * 1989-04-20 1990-10-23 Ivac Corporation Optical interrupter system with vibration compensation
US5053618A (en) * 1990-03-30 1991-10-01 Bei Electronics, Inc. Index track support structure
DD297702B5 (de) * 1990-09-07 1993-09-23 Carl Zeiss Jena Gmbh Zentralbe Verfahren zum messen von laengen
JPH0622186Y2 (ja) * 1990-10-11 1994-06-08 日本金銭機械株式会社 紙幣識別用センサ
US5294793A (en) * 1991-08-23 1994-03-15 Rsf-Elektronik Gesellschaft M.B.H. System for measuring lengths or angles with a high-velocity movable scanning unit
DE9110524U1 (de) * 1991-08-26 1992-09-24 Siemens AG, 8000 München Vorrichtung zur Winkellagebestimmung einer Lastwelle mit einem Meß- und einem Nachlaufzahnrad
DE59305801D1 (de) * 1993-12-08 1997-04-17 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längenmesssystem
JP3528358B2 (ja) * 1995-09-26 2004-05-17 オリンパス株式会社 移動検出装置
GB9605278D0 (en) * 1996-03-13 1996-05-15 Renishaw Plc Opto-electronic scale reading apparatus
US5698851A (en) * 1996-04-03 1997-12-16 Placa Ltd. Device and method for precise angular measurement by mapping small rotations into large phase shifts
EP1056989B1 (de) 1998-02-21 2002-12-18 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Verfahren zum betrieb eines positionsmesssystems und geeignetes positionsmesssystem hierzu
EP0978708B1 (de) 1998-08-01 2005-10-05 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Rotatorische Positionsmesseinrichtung
DE60019368T2 (de) * 1999-01-07 2006-02-23 Seiko Epson Corp. Fühlermechanismus, wagenüberwachungsvorrichtung und diese enthaltender drucker
DE19904471B4 (de) 1999-02-04 2011-03-31 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Drehgeber
DE19907326B4 (de) 1999-02-20 2013-04-04 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Winkelmeßsystem
DE19945099B4 (de) 1999-09-21 2008-09-04 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Winkelmesseinrichtung und Verwendung dieser Winkelmesseinrichtung in einer Spindelanordnung
DE10310970B4 (de) * 2003-03-13 2005-05-04 Sick Stegmann Gmbh Vorrichtung zur Messung der Position, des Weges oder des Drehwinkels eines Objektes
US6946648B2 (en) * 2003-03-31 2005-09-20 Council Of Scientific And Industrial Research Opto-electronic device for angle generation of ultrasonic probe
GB0402013D0 (en) * 2004-01-30 2004-03-03 Trw Ltd Displacement sensor and torque sensor
GB0415141D0 (en) * 2004-07-06 2004-08-11 Renishaw Plc Scale reading apparatus
US20060187573A1 (en) * 2005-02-24 2006-08-24 Electro-Sensors, Inc. Sensor equipment guard
GB2496546B (en) 2010-08-24 2017-03-01 Rotork Controls Apparatus adapted to provide an indication of an angular position of an input member over multiple turns
CN102706371B (zh) * 2012-06-20 2015-03-11 上海平信机电制造有限公司 一种绝对零点磁栅测量系统
CN106017534A (zh) * 2016-07-05 2016-10-12 北京首钢自动化信息技术有限公司 一种码盘标定方法
DE102022105521A1 (de) * 2022-03-09 2023-09-14 Carl Zeiss Meditec Ag Operationsmikroskop und Verfahren zur Positionierung von Filterelementen in einem Operationsmikroskop

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3139613A (en) * 1960-02-16 1964-06-30 Bendix Corp Shaft encoder apparatus
US3187187A (en) * 1962-01-24 1965-06-01 Wayne George Corp Photoelectric shaft angle encoder
DE1673887A1 (de) * 1968-01-16 1972-01-20 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Anordnung zur Bestimmung der Lage zweier relativ zueinander beweglicher Teile
DE1933254C3 (de) * 1969-07-01 1979-08-16 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementales Längen- oder Winkelmeßsystem
GB1284641A (en) * 1970-01-08 1972-08-09 Ferranti Ltd Improvements relating to measuring apparatus
BE789080A (fr) * 1971-09-22 1973-01-15 Mohr Rudolf Dispositif electronique d'affichage et de commande de position pour desmachines, notamment des massicots
DE2952106C2 (de) * 1979-12-22 1982-11-04 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Lichtelektrische inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
DE3018496A1 (de) * 1980-05-14 1981-11-19 Walter Dipl.-Ing. Dr.-Ing. 8012 Ottobrunn Mehnert Verfahren und vorrichtung zur messung eines winkels
DE3039483C2 (de) * 1980-10-18 1986-09-11 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
IT1129862B (it) * 1980-11-17 1986-06-11 Olivetti & Co Spa Trasduttore ottico
US4466189A (en) * 1981-05-29 1984-08-21 Tobin Jr Leo W Angle measuring device

Also Published As

Publication number Publication date
DE3482850D1 (de) 1990-09-06
EP0126211B1 (de) 1990-08-01
JPS59183318A (ja) 1984-10-18
ATE55184T1 (de) 1990-08-15
DE3311204A1 (de) 1984-10-04
US4616131A (en) 1986-10-07
EP0126211A2 (de) 1984-11-28
EP0126211A3 (en) 1987-08-05
DE3311204C2 (ja) 1987-12-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH043812B2 (ja)
US4530155A (en) Method and apparatus for reproducing a reference position in an incremental measuring device
US4700062A (en) Position measuring device with a scanned absolute scale
US5013988A (en) Absolute position encoder
US3738504A (en) Back gauge position feed back signal generation
US4631404A (en) Position measuring system
EP0139769A4 (en) SYSTEM FOR DETECTING THE ABSOLUTE POSITION OF A SERVO-CONTROL SYSTEM.
US5066857A (en) Incremental angle encoder having spiral scanning field and multiple discs
US4667096A (en) Position measuring system comprising at least two scanning units
US4610091A (en) Automatic gear testing apparatus
US4841297A (en) Displacement coder
US3956681A (en) Back gauge position feed back signal generation
US8618466B2 (en) Position-measuring device having a first measuring standard and at least two multiturn code disks
JPH056845B2 (ja)
CA1295363C (en) Process for determining the rotational speed of a machine
GB2100867A (en) Methods of and apparatus for determining and indexing angular positions of unbalance of rotary bodies
KR950005896B1 (ko) 기어의 이 흔들림 측정장치
CA2031931A1 (en) Angular position measurement apparatus
US5248888A (en) Process for positioning a record changing device having reflective markers
US5067371A (en) Method and apparatus to control locking of a tool turret
CN108088376A (zh) 光栅尺、光电编码器、距离测量方法以及距离测量装置
JPS6371611A (ja) 測長装置
JPS6038658A (ja) 速度検出装置
CA2196617A1 (en) Optical encoder with variable-phase sinusoidal output
JPH0526760A (ja) 距離測定装置およびその装置を利用した不釣合い修正装置