JPH0351674B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0351674B2
JPH0351674B2 JP59013080A JP1308084A JPH0351674B2 JP H0351674 B2 JPH0351674 B2 JP H0351674B2 JP 59013080 A JP59013080 A JP 59013080A JP 1308084 A JP1308084 A JP 1308084A JP H0351674 B2 JPH0351674 B2 JP H0351674B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
single crystal
gaas
substrate
thin film
group
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP59013080A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS60161397A (ja
Inventor
Koji Kobashi
Toshio Ishiwatari
Hisanori Fujita
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Kasei Polytec Co
Mitsubishi Kasei Corp
Original Assignee
Mitsubishi Kasei Polytec Co
Mitsubishi Kasei Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=11823184&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JPH0351674(B2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Mitsubishi Kasei Polytec Co, Mitsubishi Kasei Corp filed Critical Mitsubishi Kasei Polytec Co
Priority to JP59013080A priority Critical patent/JPS60161397A/ja
Priority to DE8585300510T priority patent/DE3560913D1/de
Priority to EP85300510A priority patent/EP0151000B1/en
Priority to US06/694,683 priority patent/US4609411A/en
Publication of JPS60161397A publication Critical patent/JPS60161397A/ja
Publication of JPH0351674B2 publication Critical patent/JPH0351674B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B29/00Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
    • C30B29/10Inorganic compounds or compositions
    • C30B29/40AIIIBV compounds wherein A is B, Al, Ga, In or Tl and B is N, P, As, Sb or Bi
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B19/00Liquid-phase epitaxial-layer growth
    • C30B19/02Liquid-phase epitaxial-layer growth using molten solvents, e.g. flux
    • C30B19/04Liquid-phase epitaxial-layer growth using molten solvents, e.g. flux the solvent being a component of the crystal composition
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B19/00Liquid-phase epitaxial-layer growth
    • C30B19/10Controlling or regulating
    • C30B19/106Controlling or regulating adding crystallising material or reactants forming it in situ to the liquid
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B29/00Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
    • C30B29/10Inorganic compounds or compositions
    • C30B29/40AIIIBV compounds wherein A is B, Al, Ga, In or Tl and B is N, P, As, Sb or Bi
    • C30B29/42Gallium arsenide
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B29/00Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
    • C30B29/10Inorganic compounds or compositions
    • C30B29/40AIIIBV compounds wherein A is B, Al, Ga, In or Tl and B is N, P, As, Sb or Bi
    • C30B29/44Gallium phosphide
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S438/00Semiconductor device manufacturing: process
    • Y10S438/914Doping
    • Y10S438/925Fluid growth doping control, e.g. delta doping

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Led Devices (AREA)
  • Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、周期律表第b族元素及び第b族
元素からなる無機化合物(以下「−族化合
物」という。)を液相エピタキシヤル成長させる
際に、テルル(Te)をドーピング(doping)す
る方法に関する。
GaAs、GaP、GaAs1-xPx、Ga1-xAlxAs等の
−族化合物は、発光ダイオード、半導体レー
ザー、FET等の半導体素子の製造に用いられて
いる。
これらの素子、特に発光ダイオード、半導体レ
ーザは液相エピタキシヤル成長方法によつて単結
晶基板上に上記−族化合物の単結晶薄膜を形
成したエピタキシヤルウエハを用いて製造され
る。その際、n型不純物としてTeをドーピング
する場合が多い。Teをドーピングする方法とし
て、従来、元素状Teを直接エピタキシヤル成長
用融液に添加して液相エピタキシヤル成長させる
方法が行なわれていた。
しかしながら、元素状Teを直接融液に添加す
る従来法では、Teのドーピング量の制御が困難
であり、したがつて、所望のn型キヤリア濃度の
エピタキシヤルウエハを再現性よく製造するのは
困難であつた。
本発明者等は、Teのドーピング量を再現性よ
く制御することを目的として鋭意研究を重ねた結
果、本発明に到達したものである。
本発明の上記の目的は、単結晶基板上にTeを
ドーピングした−族化合物単結晶薄膜を液相
エピタキシヤル成長させる方法において、Te源
として、上記単結晶薄膜を構成する成分を有し、
かつ、Teを少なくとも1×1017cm-3含有する−
族化合物の単結晶または多結晶を用いる方法に
より達せられる。
本発明方法において用いられる−族化合物
としては、GaAs、GaP、InP、InAs等及びこれ
らの混晶、すなわち、GaAs1-xPx、Ga1-xAlxAs、
Ga1-xInxAs、Ga1-xInxAs、Ga1-xInxAs1-yPy、
(0<x、y<1)等が挙げられる。
また、単結晶基板としては、GaAs、GaP等の
単結晶基板、好ましくは、これらの単結晶の
{100}面を表面とする基板が用いられる。
Te源として用いる−族化合物としては、
液相エピタキシヤル成長方法によつて単結晶基板
上に形成される単結晶薄膜を構成する成分を有す
る−族化合物の単結晶または多結晶を用いる
のが適当である。すなわち、GaAsまたはGaPの
単結晶薄膜を成長させる場合、それぞれGaAsま
たはGaPを用いる。また、Ga1-xAlxAs、
GaAs1-xPx等の混晶の単結晶薄膜を成長させる
場合は当該混晶の一方の成分である−族化合
物の単結晶または多結晶を用いる。すなわち、
Ga1-xAlxAsを成長させる場合は、GaAs、また
GaAs1-xPxを成長させる場合は、GaAsまたは
GaPを用いるのが好ましい。
これらの−族化合物はTeを少なくとも1
×1017cm-3含有していることが必要であつて、好
ましくは1×1018cm-3以上含有しているのが適当
である。
Teの含有量が1×1017cm-3よりも少ない場合
は、単結晶薄膜中に必要な濃度のTeをドーピン
グできないので好ましくない。また、Teの濃度
の上限は特に制限はないが、Teが−族化合
物中に均一に分散していることが好ましい。
本発明方法によつてTeをドーピングするには、
成長用融液に、Te源である−族化合物を必
要量添加して、通常の方法によつて液相エピタキ
シヤル成長させることによつて行なわれる。例え
ば、Ga1-xAlxAs単結晶薄膜を成長させる場合、
溶媒であるGa中に必要量のAl、GaAs及びTeを
含有するGaAsを溶解させる。
液相エピタキシヤル成長法及び装置は通常の方
法及び装置でよい。
本発明方法によると、Teのドーピング量を再
現性よく制御でき、かつ、単結晶薄膜中でのTe
の濃度分布も均一である。したがつて、液相エピ
タキシヤル成長工程での歩留りもよく、得られた
発光ダイオード等の効率も優れている。
本発明を実施例及び比較例に基づいて具体的に
説明する。
実施例 (100)面を鏡面研磨したp型GaAs単結晶基
板を用意した。基板のキヤリア濃度はp型であり
1.5×1019cm-3であつた。次にp型の液相エピタキ
シヤル成長に用いる第1の溶液として、Ga100g
中にアンドープGaAs多結晶6.0g、Al2.1g、
Zn0.25gを溶解させた。
次にn型液相エピタキシヤル成長に用いる第2
の溶液として、Ga100g中にアンドープGaAs1.8
g、Al0.43g、予めボート成長方法によりTeを
1×1019cm-3ドーピングしたGaAs多結晶を0.8g
溶解させた溶液を調製した。
これら2種の成長用融液をスライド式液相成長
用ボートの融液槽に収容した。また上記p型
GaAs基板をボートの基板収容部に収容した。融
液と基板を接触させないで、水素気流中で上記ボ
ートを900℃まで昇温し、この温度でボートを操
作し第1の融液、すなわちZnを入れたp型結晶
成長用融液と基板を接触させ、続いて0.5℃/分
の冷却速度で860℃まで冷却し、p型Ga1-xAlxAs
結晶を基板上に成長させた。次に860℃でボート
を操作し第1の融液と基板を切り離し、p型
Ga1-xAlxAs層を形成した上記基板と第2の溶液
を接触させ、引き続いて0.5℃/分の冷却速度で
810℃まで冷却し、n型Ga1-xAlxAs層を基板上に
成長させた後に、基板と融液を切り離し自然放冷
した。
得られたエピタキシヤルウエハはp層厚32μ
m、キヤリア濃度4.2×1017cm-3であり、Ga1-xAlx
AsのX値はpn接合面近傍で0.35であつた。n層
厚23μmでキヤリア濃度2.3×1017cm-3であり
Ga1-xAlxAsのX値はpn接合面近傍で0.71であつ
た。n層のキヤリア濃度はステツプエツチして深
さ方向の変化を調べた結果2.3×1017cm-3でほぼフ
ラツトになつていた。
このエピタキシヤルウエハを使い発光ダイオー
ドを作り発光出力を調べたところエポキシコート
無しで8A/cm2の電流密度で3.5mcdであつた。尖
頭発光波長は660nmであつた。
これと同様な実験を10回行つた結果、エピタキ
シヤル層中のn型層のキヤリア濃度は2×1017
傍に再現性良くコントロールされ、光出力も再現
性良く明るいダイオードが得られた。
比較例 (100)面を鏡面研磨したp型GaAs単結晶基
板を用意した。基板のキヤリア濃度はp型であり
1.5×1019cm-3であつた。次にp型層の液相エピタ
キシヤル成長に用いる第1の溶液としてGa100g
中にアンドープGaAs多結晶6.0g、Al2.1g、
Zn0.25gを溶解させた。
次にn型液相エピタキシヤル成長に用いる溶液
として、Ga100g中にアンドープGaAs1.8g、
Al0.43g、Te0.25mgを溶解させた第2の溶液を調
製した。
これら2種の成長用融液をスライド式液相成長
用ボートの融液槽に収容した。また上記p型
GaAs基板をボートの基板収容部に収容した。
融液と基板を接触させないで、水素気流中で、
上記ボートを900℃まで昇温し、この温度でボー
トを操作し第1の融液、すなわちZnを入れたp
型結晶成長用融液と基板を接触させ、続いて0.5
℃/分の冷却速度で860℃まで冷却しp型Ga1-x
AlxAs結晶を基板上に成長させた。次に860℃で
ボートを操作し第1の融液と基板を切り離し、p
型Ga1-xAlxAs層を形成した基板と第2の溶液を
接触させ、引き続いて0.5℃/分の冷却速度で810
℃まで冷却し、n型Ga1-xAlxAs層を基板上に成
長させた後に基板と融液を切り離し自然放冷し
た。
得られたエピタキシヤルウエハーはp層厚30μ
mキヤリア濃度3.9×1017cm-3でありGa1-xAlxAs
のx値は接合面近傍で0.36であつた。
n層厚23μmでキヤリア濃度9.5×1016cm-3であ
りGa1-xAlxAsのx値は接合面近傍で0.70であつ
た。
n層のキヤリア濃度はステツプエツチして、深
さ方向の傾向を調べた結果中心が9×1016cm-3
で、7×1016から1×1017までの範囲で変動して
いた。
このエピタキシヤルウエハーを使い発光ダイオ
ードを作り発光出力を調べたところエポキシコー
ト無しで8A/cm2の電流密度で1.1mcdであつた。
尖頭発光波長は660nmであつた。
これと同様な実験を10回行つた結果エピタキシ
ヤル層中のn型層のキヤリア濃度はエピタキシヤ
ルウエハの面内で1.5×1017cm-3の部分が局所的に
あるものの他の大部分は1016cm-3台であり深さ方
向にも変動していた。また、発光出力の変動も大
であり、一様になるようにコントロール出来なか
つた。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 単結晶基板上に、テルルをドーピングした周
    期律表第b族元素及び第b族元素からなる無
    機化合物単結晶薄膜を液相エピタキシヤル成長さ
    せる方法において、テルル源として、上記単結晶
    薄膜を構成する成分を有し、かつ、テルルを少な
    くとも1×1017cm-3含有する上記無機化合物の単
    結晶または多結晶を用いることを特徴とする方
    法。 2 周期律表第b族元素及びb族元素からな
    る無機化合物単結晶薄膜が、GaAs、GaAs1-x
    Px、またはGa1-xAlxAs(1>x>0)単結晶薄
    膜であつてテルル源がテルルを少なくとも1×
    1017cm-3含有するGaAs多結晶である特許請求の
    範囲第1項記載の方法。 3 単結晶基板がGaAs単結晶基板である特許請
    求の範囲第2項記載の方法。 4 周期律表第b族元素及び第b族元素から
    なる無機化合物単結晶薄膜がGaPまたはGaAs1-x
    Px(1>x>0)単結晶薄膜であつて、テルル源
    がテルルを少なくとも1×1017cm-3含有するGaP
    多結晶である特許請求の範囲第1項記載の方法。 5 単結晶基板がGaP単結晶基板である特許請求
    の範囲第4項記載の方法。
JP59013080A 1984-01-27 1984-01-27 液相エピタキシヤル成長方法 Granted JPS60161397A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59013080A JPS60161397A (ja) 1984-01-27 1984-01-27 液相エピタキシヤル成長方法
DE8585300510T DE3560913D1 (en) 1984-01-27 1985-01-25 A liquid-phase epitaxial growth method of a iiib-vb group compound
EP85300510A EP0151000B1 (en) 1984-01-27 1985-01-25 A liquid-phase epitaxial growth method of a iiib-vb group compound
US06/694,683 US4609411A (en) 1984-01-27 1985-01-25 Liquid-phase epitaxial growth method of a IIIb-Vb group compound

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59013080A JPS60161397A (ja) 1984-01-27 1984-01-27 液相エピタキシヤル成長方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60161397A JPS60161397A (ja) 1985-08-23
JPH0351674B2 true JPH0351674B2 (ja) 1991-08-07

Family

ID=11823184

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59013080A Granted JPS60161397A (ja) 1984-01-27 1984-01-27 液相エピタキシヤル成長方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4609411A (ja)
EP (1) EP0151000B1 (ja)
JP (1) JPS60161397A (ja)
DE (1) DE3560913D1 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5326716A (en) * 1986-02-11 1994-07-05 Max Planck-Gesellschaft Zur Foerderung Der Wissenschaften E.V. Liquid phase epitaxial process for producing three-dimensional semiconductor structures by liquid phase expitaxy
US6955858B2 (en) * 2001-12-07 2005-10-18 North Carolina State University Transition metal doped ferromagnetic III-V nitride material films and methods of fabricating the same

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55138230A (en) * 1979-04-13 1980-10-28 Sanyo Electric Co Ltd Method for gaas liquid-phase epitaxial growth
JPS5673700A (en) * 1979-11-21 1981-06-18 Sharp Corp Liquid phase epitaxially growing method
JPS57123897A (en) * 1981-01-17 1982-08-02 Omron Tateisi Electronics Co Forming method of compound semiconductor crystal
JPS58130199A (ja) * 1982-01-25 1983-08-03 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> GaSb単結晶の育成方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE795005A (fr) * 1972-02-09 1973-05-29 Rca Corp Procede et appareil de croissance epitaxiale d'une matiere semi-conductrice a partir de la phase liquide et produit ainsi obtenu
US4088514A (en) * 1975-04-17 1978-05-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for epitaxial growth of thin semiconductor layer from solution
US4342148A (en) * 1981-02-04 1982-08-03 Northern Telecom Limited Contemporaneous fabrication of double heterostructure light emitting diodes and laser diodes using liquid phase epitaxy
US4507157A (en) * 1981-05-07 1985-03-26 General Electric Company Simultaneously doped light-emitting diode formed by liquid phase epitaxy
US4540450A (en) * 1982-06-02 1985-09-10 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force InP:Te Protective layer process for reducing substrate dissociation

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55138230A (en) * 1979-04-13 1980-10-28 Sanyo Electric Co Ltd Method for gaas liquid-phase epitaxial growth
JPS5673700A (en) * 1979-11-21 1981-06-18 Sharp Corp Liquid phase epitaxially growing method
JPS57123897A (en) * 1981-01-17 1982-08-02 Omron Tateisi Electronics Co Forming method of compound semiconductor crystal
JPS58130199A (ja) * 1982-01-25 1983-08-03 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> GaSb単結晶の育成方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP0151000A3 (en) 1985-08-21
EP0151000A2 (en) 1985-08-07
DE3560913D1 (en) 1987-12-10
EP0151000B1 (en) 1987-11-04
JPS60161397A (ja) 1985-08-23
US4609411A (en) 1986-09-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5356509A (en) Hetero-epitaxial growth of non-lattice matched semiconductors
US6791257B1 (en) Photoelectric conversion functional element and production method thereof
US4216484A (en) Method of manufacturing electroluminescent compound semiconductor wafer
JP3143040B2 (ja) エピタキシャルウエハおよびその製造方法
JP2579326B2 (ja) エピタキシャル・ウエハ及び発光ダイオード
KR0151137B1 (ko) 이중 헤테로형 에픽택셜 웨이퍼
EP0516162B1 (en) Semiconductor light emitting device
US4592791A (en) Liquid phase epitaxial growth method for producing a III-V group compound semiconductor
JPH0351674B2 (ja)
US4725563A (en) ZnSe green light emitting diode
US3619304A (en) Method of manufacturing gallium phosphide electro luminescent diodes
JPH08139358A (ja) エピタキシャルウエーハ
JPH0463040B2 (ja)
JP2783580B2 (ja) ダブルヘテロ型赤外光発光素子
JP2804093B2 (ja) 光半導体装置
RU2031477C1 (ru) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ СОЕДИНЕНИЙ AIII и BV МЕТОДОМ ЖИДКОФАЗНОЙ ЭПИТАКСИИ
KR0156016B1 (ko) 적외선 다이오우드용 갈륨비소(GaAs) 웨이퍼의 고도핑(doping) 성장방법
JPH1053487A (ja) 窒素化合物結晶の製造方法
JP2841849B2 (ja) エピタキシャルウェハの製造方法
JPH03161981A (ja) 半導体装置と2―6族化合物半導体結晶層の製造方法
JPH11186591A (ja) エピタキシャルウェーハ及び発光ダイオード
JPH01315174A (ja) 半導体発光装置
JPH04278522A (ja) SiドープGaInPキャップ層を有する半導体材料
Arora Liquid phase epitaxial growth and characterization of III-V compound semiconductors
JPH051240B2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term