JPH03504046A - ラマン分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 該試料から受は取った前記ラマンスペクトルの所望の周波数を選択する調整可能 な手段を用いること、および 該調整可能な手段によって選択された光線を検出することを含み、 前記調整可能な手段はある角度範囲中に分割された異なる周波数なしに所望の周 波数を選択する非散乱フィルタ手段から成ることを特徴とするラマン分析方法。

明　　　　　細　　　　　書 ラマン分析装置 技術分野 この発明は試料を分析するのに用いられるラマン効果による装置および方法に関 する。

背景技術 ラマン効果は所定周波数の入射光線を試料が散乱して、試料を形成している分子 と入射光線との相互作用によって生じた光線（ラマン線）を有する周波数スペク トルとなる現象である。異なる分子種は異なる特性のラマンスペクトルを有し、 そのためラマン効果は試料種の分析に現に用いることができる。

ラマン効果を用いた分析方法と装置はＭ　デルハイおよびＰ　ダメリンコウト著 「レーザ励起を伴うラマン・マイクロプローブおよび顕微鏡Ｊ　Ｊｏｕｒｎａｌ 　ｏｆＲａｍａｎ　５ｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、３（１９７５）ベージ３３−４ ３の論文に記載されている。試料がレーザからの単色光線に晒され、その結果生 ずるラマンスペクトルの特定ラインを選択するためにその散乱光線がモノクロメ ータを通される。上記論文には、試料上の単一の照射点または一つの照射線から の光線がモノクロメータを通過するマクロプローブと、試料のある範囲が照射さ れてその範囲の完全な二次元像がモノクロメータを通過する顕微鏡の両方を記述 している。マイクロプローブでは、二次元像を得るためには試料の範囲にわたる 一連の点あるいは線を走査する必要があり、そのため必要な像を確立するのが複 雑となり、比較的に長時間を要することとなるという欠点があった。顕微鏡では この欠点を受けることは明らかにないが、モノクロメータの光学系は二次元像が 通過するための実質的な修正を必要としている。

すなわち、一般的なモノクロメータは、入口スリット上に試料の照射点または照 射線の像の焦点を結ばせる光学システムと、出口スリット上に入力スリットの像 の焦点を結ばせる他の光学システムとを有する。入口スリットと出口スリットの 間には、回折格子（または一般に２あるいは３個の一連のそのような格子）のご とき分散装置がある。この分散装置は周波数に応じた角度範囲で入射多色光ビー ムを細かく切り分ける作用を有する０分散の理由から、回折格子に対する出口ス リットの位置は所望のスペクトル線が調べられるように選択される。モノクロメ ータは出口スリットから出てくるいろいろなスペクトルに、あるいはもつと好適 には出口スリットに対して回転する回折格子の配列によって、合わせることがで きる。スペクトルの周波数が分散プロセスによって分割されるから、良い分解能 は狭いスリットを必要とすることは明らかである。

試料の像がスリット上で結像するので、これがこの一般的なモノクロメータの配 列では試料の二次元領域を観測できないという理由となっていた。二次元像を通 過させるために幅広のスリットを用いるならば、一連の周波数を通過できよう。

だが、いずれの与えられたスペクトルも有限の幅を有するので、その結果として 試料上のいかなる点の像もぼけることとなり、もし二次元で像を形成しようと試 みると、試料の１点のぼけ像が隣接点のぼけ像と重なり合い、その結果非常にあ いまいな像（周波数分解能の減少をともなった不十分な空間分解能）となる。

完全な二次元像を供給するために上記論文において使用された修正ずみの光学シ ステムは、入口と出口のスリット上に代わって、モノクロメータの回折格子上に 試料の像を形成している。入口と出口のスリットでは、試料の範囲を観察し像が 写し出されるべき光学顕微鏡の出口開口部の像が形成される。これらの（理論上 での）手段により、任意の狭い入口スリットと出口スリットをもつモノクロメー タを通って試料範囲の完全な二次元像を通すことができる。しかしながら、入口 スリットの開口寸法は格子上に集束して合焦される光線量を調整するものであり 、他方出口スリットの開口寸法は格子から集束されて結像されて検出される二次 元像を生成する光線量を調整するものである。その結果、したがって、もし周波 数分解能を向上させるために入口スリットと出口スリットを狭く作るとすれば、 その結果生ずる像の強度は非常に低くなって検出するのが困難となる。このこと は、所望のラマンスペクトルがすでに非常に低い強さであり、レーザによってて 料への投射照度を増加させることによっては、レーザパワーを増大すると試料を 破壊するので、ラマンスペクトルを増加できないという事実によって悪化される 。それ故、市販のラマン分析装置は、完全な二次元像が形成されるラマン顕微鏡 よりもむしろマイクロプローブ走査型である傾向にある。

発明の開示 この発明は、分散モノクロメータよりもむしろ非分散フィルタを使用すれば、十 分な周波数分解能を供、給するのに狭い入口スリットや出口スリットを必要とし ないという本願発明者による認識に基づいている。上記した論文では、固定波長 の干渉フィルタを用い、異なるラマン線に対してシステムを同調させるために、 調整可能な色素レーザを用いて光学システムを簡素化でき得るという実に簡単な 示唆がされているが、しかしその著者たちはこの実験は成功しなかったと述べて いる。

この発明の一形態は、ラマンスペクトルがそこから生じるように試料に照射する 手段、該試料から受は取った前記ラマンスペクトルの所望の周波数を選択する調 整可能な手段、および該調整可能な手段によって選択された光線の検出をする検 出装置から成り、前記調整可能な手段はある角度範囲中に分割された異なる周波 数なしに所望の周波数を選択する非散乱フィルタ手段から成ることを特徴とする ラマン分析装置を提供する。

好ましくは、上記フィルタ手段は誘電フィルタのような干渉フィルタを含み、ま た好ましくはそれは試料によって散乱された光線のフィルタ上の入射角を変える ことによって調整される。これは、光軸に直角な軸のまわりに、所望の入射角に 回転可能なフィルタを作成することによって成される。

他の形態として、この発明は係る装置を使用する試料分析の方法を提供する。

図面の簡単な説明 本発明の好ましい態様は以下の添付図面に関する実施例により現に記述されてお り、第１図はラマンスペクトルを示すグラフであり、第２図は本発明の一実施例 の概略図であり、第３図および第４図は他の実施例を示す概略図である。

発明を実施するための最良の形態 ラマン効果をまず最初に簡潔に説明する。試料が例えばレーザからの周波数ω、 の単色光線によって照射されると、光線は散乱される。第１図のグラフは強度（ 照度）工に対する散乱光の周波数ωを示す。光線のほとんどはレーり散乱で散乱 されて、上記周波数ω。

でのビーク１２が得られるが、少量の光線は蛍光効果やラマン効果を含む色々な 効果によって他の周波数で散乱する。ラマン効果は試料を形づくっている分子内 の原子間振動の種々の自然の周波数によって生ずる。第１図は周波数（ω、−ω 。）における若干数のラマン線１０を示し、ω。は分子振動の自然周波数である 。いずれの与えられる分子種もラマン線の特有の集合（セット）を有しているの で、それを試料の照射面（または透明試料の内部での）組成を同一と認めるのに 用いることができる。このように試料の分析のためにラマン効果を用いることは すでに良く知られていることである。分析を行うことは、種々の分子の既知のス ペクトルと観察したスペクトルを照らし合わせることができるようにするために 、ビーク１０の周波数と相対的高さとを測定することを伴う。

第２図はそのような分析を行うための本発明に従う装置の概要を示す、試料１４ は単色レーザ源１６によりその試料表面の二次元範囲にわたって照射される。レ ーザビームはレーザ源から二色干渉フィルタ（本例の場合は多層誘電フィルタ） １８によって反射されて試料へ向うが、このフィルタは単色レーザ源１６の非常 に狭いラインを除いて全ての周波数を通すように設計されている。半銀付はミラ ー（ハーフミラ−）をフィルタ１８の代わりに用いることができるかもしれない が、光量の低下を引き起こすこととなる。レーザビームはまた顕微鏡対物レンズ ２０を通過するが、この対物レンズは１枚レンズのように本図には図示されてい るが、公知技術での組合せレンズ系で構成しても良い、レーザ源１６はいろいろ な適当な型のレーザ、例えばＨｅ−Ｎｅレーザを用いることができるが、もしそ れがイオンレーザの場合ではプラズマラインを取り除く適切なフィルタを含ませ ねばならない。

顕微鏡対物レンズ２０はカメラ２２上に試料の照射範囲１４の二次元像を結像す る。このカメラとしては、暗電流を取り除き、それにより装置の雑音対信号比（ Ｓ／Ｎ比）を改善するために、低温（例えば、液体窒素あるいはペルチェ冷却に よる）で冷却された電荷結合素子（ＣＯＤ）が好ましい、従来のラマン分光器で ＣＣＤを用いたものとしては、ＤＮＮバチエルグ「冷却されたＣＣＤ像検出器を 使った多チヤンネルラマン分光器Ｊ　ＥＳＮ−Ｅｕｒ。

ｐｅａｎｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ　Ｎｅｗｓ、　８０（１９８ｇ）、ページ２ ｇ、　３２．３３の論文に記述されている。　ＣＣＤ２２の出力はコンピュータ ２４によって受は取られ、このコンピュータはＣＣＤからのデータ収集のためと 、生じた像の分析をするためとの両方に用いられる。このＣＣＤ２２に変わって 、増感ビデオカメラのような他のカメラを用いることができることは勿論である 。

フィルタ１８とＣＣＤ２２の間には、第２のラインフィルタ（線路フィルタ）２ ６が配置されている。これもまた誘電干渉フィルタである。しかしながら、フィ ルタ１８とは似ていなく、フィルタ２６は関心のある（測定対象の）ラマン線の 周波数（ω、−ω。）のみを透過し、他の周波数を拒絶するように整えられてい る。他の周波数の拒絶において、それ（フィルタ２６）は多量の励起周波数ω、 をすでに拒絶したフィルタ１８によって勿論助けられている。

このように、ＣＣＤ２２上に結像した像は、試料１４の照射範囲にわたって、選 択されたラマン周波数ω、−ω。で散乱する二次元像である。この像は、顕微鏡 対物レンズ２０の品質およびＣＣＤ２２の分解能によってのみ制限を受けるすぐ れた空間分解能を有する。コンピュータ２４はＣＯＤによって受は取られた二次 元像の各ビクセル（単位画素）に関して、選択されたラマンビークｌＯの強さを 記録するようにプログラムされている。

フィルタ２６は光軸と直角な軸２８の回りに角度θで旋回するように設けられて いる。このことは、フィルタによって透過されたラインの周波数が入射角θで変 化するので、このような干渉フィルタの特性を使用するのを許容している。従っ て、角度θを調整することにより、装置は第１図のスペクトル内の異なるビーク １゜を選択するための調整をすることができる。さらにまた、ビーク１０の１つ の周波数Ａに対して最初に調整し、像の各ビクセルに対する読取強度を計り、そ れから隣接の周波数Ｂに調整してその強度測定を繰り返すことにより、コンピュ ータ２４は像の各ビクセルに対する他の読取値から１つの読取値を減算すること で簡単にビークの高さｈを算出することができる。

フィルタ２６は回転駆動手段３０によって所望の角度θに合わせることにより調 整される。最も簡単には、これは、例えば角度θを指示するスケール（ｃｍ−’ の波数に換算して目盛法めできるスケール）に対する針を随意に備えたノブのよ うな手動調整器により簡単に構成できよう。しかしながら、駆動手段３０として は例えばステッピングモータのようなモータ駆動での回転駆動装置が好ましい、 随意に、これは破線３２で図示されているように、コンピュータ２４により制御 することができる。これはコンピュータ２４があらかじめ定めた分析手順をプロ グラムすることを可能にするので、分析は完全に自動的に遂行することができる 。このような方法で、コンピュータ２４は最初にあらがじめ決めたラマン周波数 に対する入射角θに調整し、そのラマン周波数での二次元像に関するＣＣＤ２２ からのデータを収集して格納し、それから多（の異なるあらかじめ決めたラマン 周波数の各々についてもこの手順を繰り返す。コンピュータは、従って、周波数 Ｂの読取値から周波数Ａの読取値を減算するという上述の簡単な分析のように、 どのような所望の分析をも自動的に行うことができる。これは、またラマンスペ クトルを比較することができ、分子種の現状（組成）について決定するために、 データバンクにあらかじめ記憶した異なった分子種の既知のラマンスペクトルに 関するデータとの比較で像の各ビクセルに対する検出を行うことができる。

回転駆動装置３０にはコンピュータ２４により制御されたモータばかりでなく、 角度位置エンコーダも含ませることができ、このエンコーダは角度θのサーボ制 御を供給するために、コンビ二一夕に電流角度位置θの帰還（フィードバック） を供給する。

あるいはまた、もし希望するならば、フィルタ２６に対する回転駆動装置は角度 θの範囲でフィルタを振動する振動機で構成することができる。この角度範囲は 第１図の２つの点ＡとＢが含まれるように選択することができる。コンピュータ ２４は従って振動範囲にわたってＣＣＤ２２の各ビクセルの出力を標本抽出し、 各ビクセルに対して生じた信号のピーク値の最高点（頂点）を算出するようにプ ログラムされる。これがビーク１０の高さｈを決定する容易な方法を提供するこ ととなる。

干渉フィルタ１８．２６は、例えば米合衆国、バーモント州、ブラットレボロー 所在のオメガオプティカルＩｎｃ、社から販売されているように、市場で入手可 能のものである。フィルタ１８はレーザ励起周波数を用いた一般的なものと同じ の種々の周波数ω、の中のどのものでも在庫から入手できよう。フィルタ２６は 、しかしながら、所望のラマン周波数（あるいはむしろ、角度θで変わるラマン 周波数）を透過するように特別に設計されるべきものである。しかしながら、い ずれの希望の周波数に対するこのようなフィルタの設計および提供は、オメガオ プティカルＩｎｃ、社のような会社により商業的にサービスを受けることができ るものである。

干渉フィルタであるフィルタ１８．２０は分散（散乱）的でないということは注 目すべきである（このことは、それらが変化する周波数の光を方向の一致する範 囲に分散しないこととなる）。このことはこの（発明の）特徴であり、この特徴 は従来の分散的なモノクロメータ装置と比較すると、周波数分解能である程度の 犠牲があるにしても現装置にとって良好な空間分解能を与えるものである。これ は調整対象のラマン線の強度の意味のある減少なしに達せられる。一般に利用で きる市販の干渉フィルタでは、感心のある周波数領域をカバーするために、４個 か５個の置換可能なフィルタ２６を備えることが多分必要となろう。これは、個 々のこのようなフィルタ１個では角度θを変えることによって起こりつる周波数 の全領域を調整できないことがその理由である。この目的のために、フィルタ２ ６はその除去と交換が容易となるように適切な台に配置されるのが好ましい。あ るいは、そのような除去と交換はコンピュータ２４の制御による自動交換装置に よって成すこともできる。

他の分散フィルタな誘電フィルタ２６の代わりに用いることができる。例えば、 ファプリーベロー干渉計はこのようなフィルタとして用いることができ、そして その板間の空間を調整することにより、あるいはその板間の媒質の屈折率を変え ることにより（例えばガス媒質の圧力調整によって屈折率を変えることにより） 、所望の周波数領域にわたって調整できる。フィルタ１８として、アープ等（著 者）による５ｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、　ｖｏｌ、Ｉ　Ｎｏ、１２．１９８８． ページ２６−３１の論文に記載されているように、結晶性コロイドブラッグ回折 装置を用いることが可能であろう。このような装置は米合衆国、ニューシャーシ ー州、プリンストン所在のＥＧ　＆　Ｇ　Ｐｒ１ｎｃｅｔｏｎＡｐｐｌｉｅｄ　 Ｒｅ５ｅａｒｃｈから入手できる。

第３図は他の光学的配列構成による本発明の実施例を示す。ここで、試料１４は 顕微鏡対物レンズ２０の焦点面に配置されている。従って、顕微鏡対物レンズ２ ｏはＣＣＤ２２上に試料の像を直接結像しないが、その代りに試料上のいずれの 与えられた点に関して光線の平行ビームを生成する。これ（平行ビーム）はさら に別ののレンズあるいはレンズシステム３４によって結像され、ＣＣＤ上に求め る二次元像を生じる。追加のレンズ３４はフィルタ２６の後方に配置され、その フィルタは第２図に関して上述したように所望のラマン周波数に調整される。

試料１４はいま顕微鏡対物レンズ２０の焦点面にあるので、レーザ源１６から生 み出された光線の平行ビームは試料の単一の点のみに照射して、要求されたよう な二次元範囲にわたっての照射を供さないということは、理解されよう。これは 集束あるいは発散照射ビームを供給することによって克服され、それによりレー ザ源１６は試料１４の背面または前面のいずれかに焦点を結ぶ。入射ビームの集 束または発散の角度は照射されるべき試料の範囲の寸法に合せられる。−例とし て、第３図では、平行レーザ光線がとつレンズ３８によって集束ビームに形成さ れることが示されている。本質的なことではないけれども、本図では、この集束 ビームがフィルタ１８の中心点に合焦されていることが示されている。この事例 では、フィルタ１８は、希望するならば、その中心点に小さな金属メッキのスポ ットを備え、入射レーザビームの反射を向上し、かつフィルタの損傷を防ぐこと ができる。この事例では、レーザ源１６内にレーザ源からの何らかの不純な放射 線を取り除（ためのフィルタを包含させることが望ましい。

第３図はまたフィルタ１８の後方の光路上に光学的な別のフィルタ３６を示して いる。フィルタ１８と同様に、フィルタ３６は励起周波数ω、のみを除去するよ うに整えられている。励起周波数のさらに良い除去を備えることにより、装置の 信号対雑音比（Ｓ／Ｎ比）が改善される。

上記の装置は二次元像を通すラマン顕微鏡として配置されている。しかしながら 、この装置はラマンマイクロプローブとしての使用目的に容易に変更できる。

この変更は平行な入力レーザビームを備えることによって行われ、このレーザビ ームは顕微鏡対物レンズ２０によって試料１４上の一点に集中する。この結果生 ずる像はＣＣＤ２２上の小さなビクセルグループ上に結像される。コンピュータ ２４はこれらのビクセルの出力を平均する。これの平均値がフィルタ２６によっ て選択されたラマン線の強さを与える。装置は前もってフィルタ２６の回転によ って関心のある種々のラマン線に合わせることが可能である。試料１４は、もし 希望するならば、２つの直交する方向ＸとＹに滑動可能なテーブル上に搭載する ことができ、それによりこのラマンマイクロプローブのスポットは、一般的な従 来方法で、試料の範囲の至る所に走査されることが可能となる。

上記の装置はまた試料の蛍光分析用にも容易に変更できる。この変更は、調整可 能なフィルタ２６を蛍光分析作業用に適したもっと広帯域のフィルタで置き換え ることにより簡単に達せられる。

Ｘ−Ｙ走査８！構付の上記のマイクロプローブはまた調査対象物の形状や面積を 決める輪郭走査作業用にも使用できる。この作業のため、顕微鏡対物レンズ２０ は対象物１４にわずかに焦点ずれしたスポットを生じるように配置される。顕微 鏡対物レンズ２０から対象物１４上に照射されたスポットの広がりはそれ故にＣ ＣＤ２２上に生じた像の寸法（すなわち、この像により照明されたビクセルの数 ）を左右する。コンピュータ２４は像の寸法を決定するようにプログラムされて いる。Ｘ−Ｙ走査が行われるにつれ、ＣＣＤ２２上の像の寸法は対象物１４の照 射された部分の局部の高さで変化し、コンビ二一夕によって決定されることがで きる。これは対象物１４の形状や輪郭と共に、局部の構成も決定できるという強 力な分析道具となる。

第２図および第３図に示した実施例のいずれにおいても、フィルタ２６が回転す ると、像はそのガラス基台の屈折によりわずかにずれる。このずれは、第４図で 後述するように、ビーム内に同じ光学的厚さの逆回転するガラス片を具えること により機械的に、あるいはコンピュータのソフトウェアの手段によって適切に像 をシフトすることにより、校正できる。

希望により、フィルタ２６は、ＣＣＤ上に試料の普通の光学像を生じさせるべく 取り除くことができる。これは、普通の光学像に見える位置で参照されるラマン 像で見い出せた特徴を与えることが可能である。試料は、希望するならば、この 目的のために追加の白色光源で照明されることができる。

他の変形例として、フィルタ１８は第２図および第３図に示した正反対の配列に 代えて、レーザ周波数ω。

を透過して他の周波数のものを全て反射するように配置することができる。この 事例では、試料１４に対して一直線上のフィルタ１８、およびフィルタ２６．　 ＣＣＤ等を通過する光源からの光は、試料１４からＣＣＤ２２への光路がフィル タ１８の所で９０°の角度で反射するように、その−直線に対して直角に配置さ れている。

第４図は本発明に従った装置の具体的な実施例を示す。第２図および第３図と同 じ参照番号は同じ特徴を示すのに用いられている。レーザ入力は、ビーム品質改 良のための空間フィルタ（例えば、ピンホール４１）を包含することのできるレ ンズシステム４０を通過する。ビームはミラー４２で反射してフィルタ１８に向 う。

顕微鏡対物レンズ２０は一般的な光学顕微鏡４８の部品として備えられており、 ミラー４６は対物レンズ２０へ向う、また対物レンズ２０からの光を反射するよ うに備えられている。ミラー４６は、光学顕微鏡４８の普通の使用を許容するよ うに、例えば試料１４のセツティングと普通の光学的調査を許容するように、取 り除くことができる。これらの目的のために、顕微鏡４８は試料を照明するため の白色光の光源５０を有する。試料１４は可動テーブル５２上に載置される。図 示のように、このテーブルは結像目的のために垂直方向に簡単に移動可能である が、前述したと同様に、水平のＸおよびＹ方向に走査もできるようにテーブルを 備えることができる。

随意選択の偏光フィルタ４４が対物レンズ２０からＣＣＤ２２の光路中に配置さ れる。このフィルタは光路内に挿入したり、光路から取り除くことができ、かつ 偏光方向を変えるべく光軸に対して回転可能である。これは調査中のラマン線の 偏光状態（もしあれば）の調査が可能であり、この調査はある物質を分析すると きに追加の有用な情報を産出することができる。偏光フィルタ４４は、もし希望 するなら、自動分析のためにコンピュータ２４の制御により回転可能にできる。

第４図は、回転駆動装置３０を介して手動であるいはコンピュータ２４により制 御するために、回転可能なホイール（車輪体）２７上に搭載された回転可能で、 調整可能なフィルタ２６を図示している。本図はまたさらに第２のフィルタ５４ を搭載している第２の同様な回転可能なホイール５３を図示している。ホイール ５３は例えばワイヤ５５によってホイール２７と連結されており、ホイール２７ とともに回転するが、逆方向の回転となる。

簡潔な配列構成では、フィルタ５４は平らなガラス片であり、フィルタ２６の回 転にともなう屈折により生じたＣＣＤ２２上の像のわずかな変位を修正する。望 ましくは、しかしながら、フィルタ５４は、フィルタ２６と同様な他の誘電性フ ィルタであり、そのフィルタ２６とわずかに異なる中心周波数に調整されている が重複通過帯域を有するものである０重複通過帯域を有する２つのフィルタ２６ ．５４を光が通過する結果として、関心のある特定のラマン線にさらに一層選択 的に調整することが可能となる。

２つのフィルタ２６．５４は光軸に対して等しいが、逆の入射角θを常に有する ように連結することができる。この事例では、２つのわずかに異なる中心周波数 を有する２つの異なるフィルタ２を必要とするであろう、その代りに、しかしな がら、２つのフィルタは同一のものであるが、対応するホイール２７．５３の１ つへの搭載において、２つのフィルタがわずかに異なる入射角を有するように調 整される。これがフィルタの調整可能の性質によって同じような効果を達成する 。さらに可能性のあるものとして破線で図示したように、機械的なワイヤ連結５ ５の代りに、ホイール５３は回ｌｌ５８を通じてコンピュータ２４により制御さ れた、駆動装置３０と同様の、独自の回転駆動装置５６を有する。コンピュータ ２４の適当なプログラミングがそれ故に各々のホイール２７．５３を独立に所望 の入射角度でのセットを可能にする。互いに望ましいホイールの逆回転を生み出 し、かつフィルタ２６．５４の通過帯域の所望の重複程度をセツティングするこ とは、簡単なプログラミング作業である。

１″″″′″−”””””ＰＣＴ／ＧＢ　８９１０１５３２　　　２国際調査報 告

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. １．ラマンスペクトルがそこから生じるように試料に照射する手段、 該試料から受け取った前記ラマンスペクトルの所望の周波数を選択する調整可能 な手段、および該調整可能な手段によって選択された光線の検出をする検出装置 から成り、 前記調整可能な手段はある角度範囲中に分割された異なる周波数なしに所望の周 波数を選択する非散乱フィルタ手段から成ることを特徴とするラマン分析装置。
2. ２．前記フィルタ手段は干渉フィルタから成る請求の範囲１に記載の装置。
3. ３．前記フィルタは多層誘電フィルタである、請求の範囲２に記載の装置。
4. ４．前記フィルタ手段は該フィルタ手段上に試料から散乱された光線の入射角を 変えることにより調整可能である、前記請求の範囲１〜３のいずれか１つに記載 の装置。
5. ５．前記フィルタ手段は光軸に垂直な軸の回りに回転可能である、請求の範囲４ に記載の装置。
6. ６．前記フィルタの回転での該フィルタによる屈折を減殺する手段を包含する、 請求の範囲５に記載の装置。
7. ７．前記非散乱フィルタ手段が異なる中心周波数だが重複する通過帯域を有する ２つの回転可能なフィルタを包含する、請求の範囲５または６に記載の装置。
8. ８．試料から受け取った光線から照射周波数の光線を取り除く別のフィルタを包 含する、前記請求の範囲１〜７のいずれか１つに記載の装置。
9. ９．前記照射する手段は試料の範囲を照射し、かつ対応する二次元像が検出装置 上に生ずる、前記請求の範囲１〜８のいずれか１つに記載の装置。
10. １０．前記検出装置は電荷結合素子（ＣＣＤ）である、前記請求の範囲１〜９の いずれか１つに記載の装置。
11. １１．ラマンスペクトルがそこから生じるように試料に照明すること、 該試料から受け取った前記ラマンスペクトルの所望の周波数を選択する調整可能 な手段を用いること、および 該調整可能な手段によって選択された光線を検出することを含み、 前記調整可能な手段はある角度範囲中に分割された異なる周波数なしに所望の周 波数を選択する非散乱フィルタ手段から成ることを特徴とするラマン分析方法。