JPH0348122A - 光学式エンコーダ - Google Patents
光学式エンコーダInfo
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- JPH0348122A JPH0348122A JP1183871A JP18387189A JPH0348122A JP H0348122 A JPH0348122 A JP H0348122A JP 1183871 A JP1183871 A JP 1183871A JP 18387189 A JP18387189 A JP 18387189A JP H0348122 A JPH0348122 A JP H0348122A
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- diffraction grating
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 27
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 35
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 4
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 101100436270 Mus musculus Astn1 gene Proteins 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、工作機械や半導体製造装置の位置計測に利用
される光学式エンコーダに関する。
される光学式エンコーダに関する。
（従来の技術）
第１１図は従来の光学式エンコーダの一例を示す斜視構
造図であり、第１の回折格子（以下、第１格子という）
１に対して図示矢印方向に相対移動する第２の回折格子
（以下、第２格子という）２が第１格子ｌの後方に配置
され、光電変換素子３が第２格子２の後方に配置されて
いる。第１格子１及び第２格子２には、光を透過させる
部分（以下、透過部という）及び透過させない部分（以
下、非透過部という）が所定の長さ（以下、格子ピッチ
という）で繰返されている格子部が設けられている。
造図であり、第１の回折格子（以下、第１格子という）
１に対して図示矢印方向に相対移動する第２の回折格子
（以下、第２格子という）２が第１格子ｌの後方に配置
され、光電変換素子３が第２格子２の後方に配置されて
いる。第１格子１及び第２格子２には、光を透過させる
部分（以下、透過部という）及び透過させない部分（以
下、非透過部という）が所定の長さ（以下、格子ピッチ
という）で繰返されている格子部が設けられている。
このような構成において、平行光束しを第１格子に照射
すると、第１格子ｌ及び第２格子２を透過した光が光電
変換素子３に入射する。そして、光電変換素子３は入射
光をその光強度に応じた電気信号に変換して出力する。
すると、第１格子ｌ及び第２格子２を透過した光が光電
変換素子３に入射する。そして、光電変換素子３は入射
光をその光強度に応じた電気信号に変換して出力する。
この電気信号は、第１格子ｌと第２格子２との相対変位
によって第１格子ｌ及び第２格子２を透過する光量が変
化することにより得られるものであり、その周期が格子
ピッチの変位（８号である。また、この変位信号は、木
来第１格子ｌと第２格子２との重なり具合により発光側
から見た未掛け」；の透過部の変化に比例した三角波信
号となるはずであるが、実際には光の回折等により三角
波が鈍って疑似正弦波となっている。そして、この疑似
正弦波を変位信号に利用して位置検出が行なわれている
。
によって第１格子ｌ及び第２格子２を透過する光量が変
化することにより得られるものであり、その周期が格子
ピッチの変位（８号である。また、この変位信号は、木
来第１格子ｌと第２格子２との重なり具合により発光側
から見た未掛け」；の透過部の変化に比例した三角波信
号となるはずであるが、実際には光の回折等により三角
波が鈍って疑似正弦波となっている。そして、この疑似
正弦波を変位信号に利用して位置検出が行なわれている
。
（発明が解決しようとする課題）
上述した従来の光学式エンコーダで得られる変位信号の
歪率は第１格子ｌと第２格子２との間隙が変化すると第
１２図に示すように大きく変動してしまう、この歪率の
変動は主に変位信号に含まれる変位信号周期のｌ／３倍
の周期信号や１７５倍−の周期信号（以下、３次高調波
成分、５次高調波成分という）によるものである、従っ
て、このような変位信号を利用して求めた位置検出値は
大きな誤差を伴っていた。また、この誤差を小さく１−
るには第１格子１と第２格子２との間隙を一定にすれば
良いが、非常に厳しい取付精度が要求されるという問題
があった。
歪率は第１格子ｌと第２格子２との間隙が変化すると第
１２図に示すように大きく変動してしまう、この歪率の
変動は主に変位信号に含まれる変位信号周期のｌ／３倍
の周期信号や１７５倍−の周期信号（以下、３次高調波
成分、５次高調波成分という）によるものである、従っ
て、このような変位信号を利用して求めた位置検出値は
大きな誤差を伴っていた。また、この誤差を小さく１−
るには第１格子１と第２格子２との間隙を一定にすれば
良いが、非常に厳しい取付精度が要求されるという問題
があった。
本発明は上述した事情から成されたものであり、本発明
の目的は、歪の少ない変位信号を安定して出力すること
ができる光学式エンコーダを提供することにある。
の目的は、歪の少ない変位信号を安定して出力すること
ができる光学式エンコーダを提供することにある。
（課題を解決するための手段）
本発明は、第１の回折格子と、この第１の回折格子と相
対変位１°る第２の回折格子とを有し、前記相対変位を
検出する光学式エンコーダに関するものであり、本発明
の上記目的は、前記第２の回析格子に前記相対変位の変
位信号周期の１／ｎ （ｎは正の奇数）倍の周期成分を
除去する格子パターンを設けることによって達成される
。
対変位１°る第２の回折格子とを有し、前記相対変位を
検出する光学式エンコーダに関するものであり、本発明
の上記目的は、前記第２の回析格子に前記相対変位の変
位信号周期の１／ｎ （ｎは正の奇数）倍の周期成分を
除去する格子パターンを設けることによって達成される
。
（作用）
本発明の光学式エンコーダは、所定幅ずらした格子部を
透過した光量を加算することにより高周波成分を１消す
ようにしているので、歪のない良好な変位１３号を得る
ことができる。
透過した光量を加算することにより高周波成分を１消す
ようにしているので、歪のない良好な変位１３号を得る
ことができる。
（実施例）
第１図は本発明の光学式エンコーダの一例を第１１図に
対応させて示す斜視構造図であり、同一構成箇所は同符
号を付して説、明を省略する。この光学式エンコーダは
第２格子２に設けられている格子部が従来の光学式エン
コーダと異なり、第２図に示すように数μｍ〜数百μｍ
のピッチＰで繰返す透過部（図示斜線部）と非透過部と
で成る格子部２＾及び２［ｌが移動方向と直交する方向
に隣接し、かつ位相をＰ／８ずらせて設けられている。
対応させて示す斜視構造図であり、同一構成箇所は同符
号を付して説、明を省略する。この光学式エンコーダは
第２格子２に設けられている格子部が従来の光学式エン
コーダと異なり、第２図に示すように数μｍ〜数百μｍ
のピッチＰで繰返す透過部（図示斜線部）と非透過部と
で成る格子部２＾及び２［ｌが移動方向と直交する方向
に隣接し、かつ位相をＰ／８ずらせて設けられている。
このような構成において、例えば格子部２八を透過して
来た光量の変化、即ち変位信号ＩＡ（Ｘ）をその主成分
である基本波成分と３次高周波成分に着目して示すと次
式（１） となる。
来た光量の変化、即ち変位信号ＩＡ（Ｘ）をその主成分
である基本波成分と３次高周波成分に着目して示すと次
式（１） となる。
１Ａ（ｘ）−ａｓｉｎ（２ｙｔ ｘ／Ｐ）±Ａｓ１ｎ（
３・２ｍ ｘ／Ｐ）＋８・・・・・・・・・（１） これに対して格子部２Ｂを透過して来た光量の変化、即
ち変位信号！。（Ｘ）は格子部２Ｂが格子部２Ａに対し
て１）７６位相がずれているので次式（２）となる。
３・２ｍ ｘ／Ｐ）＋８・・・・・・・・・（１） これに対して格子部２Ｂを透過して来た光量の変化、即
ち変位信号！。（Ｘ）は格子部２Ｂが格子部２Ａに対し
て１）７６位相がずれているので次式（２）となる。
１１１（ｘｌａｓｉｎ（２ｙｃ （ｘ／Ｐ◆１／６））
±へ５ｉｎ（３・２ｙｒ （ｘ／Ｐ＋１／６））−ａ
ｓｉｎ（２πｘ／Ｐ＋ｙｒ ／３）±へ５ｉｎ（３・２
πｘ／Ｐ◆π） ・・・・・・・・・ （２）
従って、格子部２Ａと格子部２Ｂとを同面積にして同光
量が透過するようにし、各格子部２＾及び２Ｂを透過し
て来た光をまとめて光電変換するようにすれば各光量を
加算したことになり、３次高調波成分が相殺されて第１
θ図に示すような精度の高い変位信号を得ることができ
る。
±へ５ｉｎ（３・２ｙｒ （ｘ／Ｐ＋１／６））−ａ
ｓｉｎ（２πｘ／Ｐ＋ｙｒ ／３）±へ５ｉｎ（３・２
πｘ／Ｐ◆π） ・・・・・・・・・ （２）
従って、格子部２Ａと格子部２Ｂとを同面積にして同光
量が透過するようにし、各格子部２＾及び２Ｂを透過し
て来た光をまとめて光電変換するようにすれば各光量を
加算したことになり、３次高調波成分が相殺されて第１
θ図に示すような精度の高い変位信号を得ることができ
る。
第３図は本発明の光学式エンコーダの第２の実施例を第
１図に対応させて示す斜視構造図であり、同一４’ｉ成
箇所は同符号を付して説明を省略する。この光学式エン
コーダは７（’ｓ ４図に示すように数μ−〜数百μｍ
のピッチＰで繰返す透過部（図示斜線部）と非透過部と
で成る同面積の格子部２＾及び２Ｂが移動方向に隣接し
、かつ位相をＰ／６ずらせて設けられている。
１図に対応させて示す斜視構造図であり、同一４’ｉ成
箇所は同符号を付して説明を省略する。この光学式エン
コーダは７（’ｓ ４図に示すように数μ−〜数百μｍ
のピッチＰで繰返す透過部（図示斜線部）と非透過部と
で成る同面積の格子部２＾及び２Ｂが移動方向に隣接し
、かつ位相をＰ／６ずらせて設けられている。
このような構成においても、第１の実施例で述べた理由
により同様の効果を呈する。
により同様の効果を呈する。
’ｑ”＋ ５図は本発明の光学式エンコーダの第３の実
施例を第１図に対応させて示す斜視構造図であり、同一
構成箇所は同符号を付して説明を省略する。この光学式
エンコーダは第６図に示すように数μｍ〜数百μｍのピ
ッチＰで繰返す透過部（図示斜線部）と非透過部とで成
る格子部２Ｅ、２Ｆ、２Ｇ２！１が田の字状に配設され
ている。そして、格子部２Ｆ、２Ｇ、２１１は格子部２
Ｅを基準とするとそれぞれの位相がＰ／６ 、Ｉ’／１
０，４Ｐ／１５ずれている。
施例を第１図に対応させて示す斜視構造図であり、同一
構成箇所は同符号を付して説明を省略する。この光学式
エンコーダは第６図に示すように数μｍ〜数百μｍのピ
ッチＰで繰返す透過部（図示斜線部）と非透過部とで成
る格子部２Ｅ、２Ｆ、２Ｇ２！１が田の字状に配設され
ている。そして、格子部２Ｆ、２Ｇ、２１１は格子部２
Ｅを基準とするとそれぞれの位相がＰ／６ 、Ｉ’／１
０，４Ｐ／１５ずれている。
このような構成において、例えば格子部２Ｅを透過して
来た光量の変化、即ち変位信号ｌε（×）をその主成分
である基本波成分と３次高調波成分と５次高調波成分に
着目して示すと次式（３） となる。
来た光量の変化、即ち変位信号ｌε（×）をその主成分
である基本波成分と３次高調波成分と５次高調波成分に
着目して示すと次式（３） となる。
１、；（ｘ）−ａｓｉｎ（２ｍｘ／Ｐ）±＾、ｓｉｎ
（：ｌ・２ｑ Ｘ／Ｐ）±へｓｓｉロ （５・２π×
／Ｐ）◆Ｂ ・・・・・・（３）これに対して各
格子部２Ｆ、２Ｇ、２＋１を透過して来た光量の変化、
即ち変位信号＋ｒ（ｘ）、Ｉｏ（に）、ｌ１ｌ（Ｘ）は
各格子部２ Ｆ 、 ２ Ｇ 、 ２ Ｉ＋が格子部２
Ｅに対してそれぞれＰ／６゜Ｐ／１０，４Ｐ／ｉｓ位相
がずれているので次式（４）。
（：ｌ・２ｑ Ｘ／Ｐ）±へｓｓｉロ （５・２π×
／Ｐ）◆Ｂ ・・・・・・（３）これに対して各
格子部２Ｆ、２Ｇ、２＋１を透過して来た光量の変化、
即ち変位信号＋ｒ（ｘ）、Ｉｏ（に）、ｌ１ｌ（Ｘ）は
各格子部２ Ｆ 、 ２ Ｇ 、 ２ Ｉ＋が格子部２
Ｅに対してそれぞれＰ／６゜Ｐ／１０，４Ｐ／ｉｓ位相
がずれているので次式（４）。
（５） 、 （６） となる。
Ｉｒ（ｘ）−ａｓｉｎ（２π （ｘ／Ｐ＋１／［ｉ））
±へ、ｓｉｎ （３・２ｙｒ （ｘ／Ｐ−１／６）
）±へ５ｓｉｎ （５・２π （ｘ／Ｐ◆Ｉ／６））
−ａｓｉｎ（２ｙｒｘ／Ｐ＋ｙｒ／：ｌ）±＾、ｓｉｎ
（：ｌ・２πｘ／１１◆π）±へ５ｓｉｎ （５
・２＋ｔｘ／Ｐ＋ ５ｙｒ／３）（４） Ｉａ（ｘ）・ａｓｉｎ（２ｙｒ （Ｘ／Ｐ＋、Ｉ／１
０））±＾：＋Ｓｉｎ （：ｌ・２ｍ （ｘ／Ｉ’＋
ｌ／１０））±へ、ｓｉｎ （５・２π （ｘ／Ｐ＋
ｌ／１０））−ａｓｉｎ（２ｙｃｘ／Ｉ’＋ｙｃ１５）
±＾３ｓｉｎ （：ｌ・２ｙｒｘ／Ｉ’＋ ３ｍ１
５）±へ５ｓｉｎ （５・２πｘ／Ｐ＋ｙｒ ）・・
・・・・・・・（５） ！、、（ｘ）−ａｓｉｎ（２ｙｔ （ｘ／Ｐ◆４／１５
））土＾１ｓｉｎ （３・２π（ｘ／Ｐ＋４／ｌ５））
±＾、ｓｉｎ （５−２π（ｘ／Ｐ＋４／ｌ５））−
ａｓｉｎ（２πｘ／Ｐ＋ ８π／１５）±へ３ｓｉｎ
（３・２πｘ／Ｐ＋２４ｍ／１５）±＾５ｓｉｎ
（５−２πｘ／Ｐ＋ ８ｙｃ／：ｌ）・・・・・（
６） 従っ・°（、各格子部２Ｅ、２Ｆ、２Ｇ、２１１を同面
積にして同光量が′１ｆｉ通ずるようにし、各格子部２
Ｅ、２Ｆ、２Ｇ。
±へ、ｓｉｎ （３・２ｙｒ （ｘ／Ｐ−１／６）
）±へ５ｓｉｎ （５・２π （ｘ／Ｐ◆Ｉ／６））
−ａｓｉｎ（２ｙｒｘ／Ｐ＋ｙｒ／：ｌ）±＾、ｓｉｎ
（：ｌ・２πｘ／１１◆π）±へ５ｓｉｎ （５
・２＋ｔｘ／Ｐ＋ ５ｙｒ／３）（４） Ｉａ（ｘ）・ａｓｉｎ（２ｙｒ （Ｘ／Ｐ＋、Ｉ／１
０））±＾：＋Ｓｉｎ （：ｌ・２ｍ （ｘ／Ｉ’＋
ｌ／１０））±へ、ｓｉｎ （５・２π （ｘ／Ｐ＋
ｌ／１０））−ａｓｉｎ（２ｙｃｘ／Ｉ’＋ｙｃ１５）
±＾３ｓｉｎ （：ｌ・２ｙｒｘ／Ｉ’＋ ３ｍ１
５）±へ５ｓｉｎ （５・２πｘ／Ｐ＋ｙｒ ）・・
・・・・・・・（５） ！、、（ｘ）−ａｓｉｎ（２ｙｔ （ｘ／Ｐ◆４／１５
））土＾１ｓｉｎ （３・２π（ｘ／Ｐ＋４／ｌ５））
±＾、ｓｉｎ （５−２π（ｘ／Ｐ＋４／ｌ５））−
ａｓｉｎ（２πｘ／Ｐ＋ ８π／１５）±へ３ｓｉｎ
（３・２πｘ／Ｐ＋２４ｍ／１５）±＾５ｓｉｎ
（５−２πｘ／Ｐ＋ ８ｙｃ／：ｌ）・・・・・（
６） 従っ・°（、各格子部２Ｅ、２Ｆ、２Ｇ、２１１を同面
積にして同光量が′１ｆｉ通ずるようにし、各格子部２
Ｅ、２Ｆ、２Ｇ。
２１１を透過して来た光をまとめて光電変換するように
すれば各光量を加算したことになり、３次高調波成分及
び５次高調波成分が相殺されてさらに精度の高い変位信
号を得ることができる。
すれば各光量を加算したことになり、３次高調波成分及
び５次高調波成分が相殺されてさらに精度の高い変位信
号を得ることができる。
第７図は本発明の光学式エンコーダの第４の実ｂ１−例
を第１図に対応させて示す斜視構造図であり、同一構成
箇所は同符号を付して説明を省略する。この光学式エン
コーダは第８又は第９図に示す格子部が設けられている
。
を第１図に対応させて示す斜視構造図であり、同一構成
箇所は同符号を付して説明を省略する。この光学式エン
コーダは第８又は第９図に示す格子部が設けられている
。
第８図に示す格子部は、数μｍ〜数百μＩｌｌのピッチ
２Ｐで繰返す透過部（図示斜線部）２＾°と、この透過
部２八°を構成する各格子間に配設され、この透過部２
八°からＰ◆１１／６ずれた位置に配設された透過部２
Ｂ’ とが設けられている。
２Ｐで繰返す透過部（図示斜線部）２＾°と、この透過
部２八°を構成する各格子間に配設され、この透過部２
八°からＰ◆１１／６ずれた位置に配設された透過部２
Ｂ’ とが設けられている。
このような構成において、例えば透過部２Ａ’ を透過
して来た光量の変化、即ち変位信号■９・（Ｘ）をその
主成分である基本波成分と３次高調波成分に着目して示
すと次式（７）となる。
して来た光量の変化、即ち変位信号■９・（Ｘ）をその
主成分である基本波成分と３次高調波成分に着目して示
すと次式（７）となる。
＋Ａ・（ｘ）−ａｓｉｎ （２ｍ ｘ／Ｐ）±へ５ｉ
ｎ（：ｌ−２ｒｒ ｘ／Ｐ）＋［ｌ・・・・・・（７） これに対して透過部２［ｌｏ を透過して来た光量の変
化、即ち変位信号Ｉ１１・（ｘ）は透過部２（ｌｏが透
過部２八° に苅して位相がＰ／６ずれているので次式
（８）％式％（）） ）） ） ） 従って、透過部２Ａ’ と透過部２０°とを同面積にし
、かつ各格子数を同数にして同光量が透過するようにし
、各透過部２八°及び２Ｂ’ を透過して来た光をま°
とめて光電変換するようにすれば各光量を加算したこと
になり、３次高調波成分が相殺されて第１Ｏ図に示すよ
うな精度の高い変位信号を得ることができる。
ｎ（：ｌ−２ｒｒ ｘ／Ｐ）＋［ｌ・・・・・・（７） これに対して透過部２［ｌｏ を透過して来た光量の変
化、即ち変位信号Ｉ１１・（ｘ）は透過部２（ｌｏが透
過部２八° に苅して位相がＰ／６ずれているので次式
（８）％式％（）） ）） ） ） 従って、透過部２Ａ’ と透過部２０°とを同面積にし
、かつ各格子数を同数にして同光量が透過するようにし
、各透過部２八°及び２Ｂ’ を透過して来た光をま°
とめて光電変換するようにすれば各光量を加算したこと
になり、３次高調波成分が相殺されて第１Ｏ図に示すよ
うな精度の高い変位信号を得ることができる。
第９図に示す格子部は、数μｍ−数百μｌのピッチ４Ｐ
で繰返す透過部（図示斜線部）２Ｅ° と、この透過部
２Ｅ’を構成する各格子間に配設され、この透過部２Ｅ
”からＰ＋Ｐ／６．２Ｐ音Ｐ／１０，３Ｐ◆４Ｐ／１５
ずれた位置にそれぞれ配設された透過部２Ｆ’、２Ｇ’
、２＋１’とが設けられている。
で繰返す透過部（図示斜線部）２Ｅ° と、この透過部
２Ｅ’を構成する各格子間に配設され、この透過部２Ｅ
”からＰ＋Ｐ／６．２Ｐ音Ｐ／１０，３Ｐ◆４Ｐ／１５
ずれた位置にそれぞれ配設された透過部２Ｆ’、２Ｇ’
、２＋１’とが設けられている。
このような構成において１例えば透過部２Ｅ“を透過し
て来た光量の変化、即ち変位信号１ｅ’（ｘ）をその主
成分である基本波成分と３次高調波成分と５次高調波成
分に着目して示すと次式（９）となる。
て来た光量の変化、即ち変位信号１ｅ’（ｘ）をその主
成分である基本波成分と３次高調波成分と５次高調波成
分に着目して示すと次式（９）となる。
１、 （ｘ）”ａｓｉｎ（２ｗｘ／Ｐ）±へ＝ｓｉｎ
（、ｉ・２ｙｒ ｘ／ｒ’）±＾５ｓｉｎ （５
・２πｘ／Ｐ）◆１１ ・−−−・−（９）これ
に対して各透過部２Ｆ’、２ｆ；’、２＋１°を透過し
て来た光量の変化、即ち変位信号１１・（Ｘｌ、！ｃ・
（×）。
（、ｉ・２ｙｒ ｘ／ｒ’）±＾５ｓｉｎ （５
・２πｘ／Ｐ）◆１１ ・−−−・−（９）これ
に対して各透過部２Ｆ’、２ｆ；’、２＋１°を透過し
て来た光量の変化、即ち変位信号１１・（Ｘｌ、！ｃ・
（×）。
！、Ｉ（に）は各透過部２Ｆ’ 、２Ｇ’ 、２１１’
が透過部２Ｅ’ に対してそれぞれＰ／６ 、Ｉ’／１
０．４Ｐ／１５位相がずれているので次式（ｔｏ） 、
（Ｉ １） 、 （１２）となる。
が透過部２Ｅ’ に対してそれぞれＰ／６ 、Ｉ’／１
０．４Ｐ／１５位相がずれているので次式（ｔｏ） 、
（Ｉ １） 、 （１２）となる。
Ｉｒ１ｘ）−ａｓｉｎ（２ｒｃ （ｘ／Ｐ＋１／６））
±＾３ｓｉｎ （３−２ｙｃ （ｘ／Ｉ’＋Ｉ／１ｉ
））±＾５ｓｉｎ （５・２π（ｘ／Ｉ’＋ｌ／６１
）−ａｓｉｎ（２ｍｘ／Ｐｅπ／３） ±＾３ｓｉｎ （３・２ｉｘ／Ｐ＋ｙｃ）±＾、ｓｉ
ｎ （５・２ｙｒｘ／Ｉ’＋ ５７に／３）（ｌＯ
） ＩＧ・（ｘ）−ａｓｉｎ（２π（ｘ／Ｐ◆ｌ／１０））
±＾３ｓｉｎ （３・２π （ｘ／Ｐ＋ｌ／１０））
±＾、ｓｉｎ （５・２ｍ （ｘ／Ｐ＋１７１０））
−ａｓ：ｎ（２ｒｔ ｘ／Ｐ＋ｒｔ ／ｓ）±＾、ｓｉ
ｎ （３・２ｙｔｘ／Ｐ◆ ３π１５）±＾５ｓｉｎ
（５・２πｘ／Ｐφπ）・・・・・・・・・（１１
） Ｉｎ （ｘ）・ａｓｔｎ（２π（Ｘ／Ｐ＋４／ｌ５）
）±＾：＋Ｓｉｎ （１−２ｙｔ （ｘ／Ｐ−４／ｌ
５））±＾５Ｓｉｎ （５・２ｙｔ （ｘ／Ｐ＋４／
ｌ５））＠ａｓｉｎ（！ｇｘ／Ｐ＋ ８ｉ／＋５）±
へ、ｓｉｎ （３−２ｙｒ Ｘ／Ｐ＋２４ｆｆ ／１
５）±＾、ｓｉｎ （Ｓ−２ｒｒｘ／Ｐ＋ ａπ／
３）（１２） 従って、各透過部２Ｅ“、２Ｆ“、２Ｇ’、２＋１°を
同面積にし、かつ各格子数を同数にして同光量が透過す
るようにし、各透過部２Ｅ’ 、２Ｆ’ 、２Ｇ’ 、
２Ｈ’を透過して来た光をまとめて光電変換するように
すれば各光量を加算したことになり、３次高調波成分及
び５次高調波成分が相殺されてさらに精度の高い変位１
３号を得ることができる。そして、複数の位相のｉ！ｉ
過部が１つの格子内に均等に配置されているので、光の
強度分布が均一でなくても常に高精度の変位信号を得る
ことができる。
±＾３ｓｉｎ （３−２ｙｃ （ｘ／Ｉ’＋Ｉ／１ｉ
））±＾５ｓｉｎ （５・２π（ｘ／Ｉ’＋ｌ／６１
）−ａｓｉｎ（２ｍｘ／Ｐｅπ／３） ±＾３ｓｉｎ （３・２ｉｘ／Ｐ＋ｙｃ）±＾、ｓｉ
ｎ （５・２ｙｒｘ／Ｉ’＋ ５７に／３）（ｌＯ
） ＩＧ・（ｘ）−ａｓｉｎ（２π（ｘ／Ｐ◆ｌ／１０））
±＾３ｓｉｎ （３・２π （ｘ／Ｐ＋ｌ／１０））
±＾、ｓｉｎ （５・２ｍ （ｘ／Ｐ＋１７１０））
−ａｓ：ｎ（２ｒｔ ｘ／Ｐ＋ｒｔ ／ｓ）±＾、ｓｉ
ｎ （３・２ｙｔｘ／Ｐ◆ ３π１５）±＾５ｓｉｎ
（５・２πｘ／Ｐφπ）・・・・・・・・・（１１
） Ｉｎ （ｘ）・ａｓｔｎ（２π（Ｘ／Ｐ＋４／ｌ５）
）±＾：＋Ｓｉｎ （１−２ｙｔ （ｘ／Ｐ−４／ｌ
５））±＾５Ｓｉｎ （５・２ｙｔ （ｘ／Ｐ＋４／
ｌ５））＠ａｓｉｎ（！ｇｘ／Ｐ＋ ８ｉ／＋５）±
へ、ｓｉｎ （３−２ｙｒ Ｘ／Ｐ＋２４ｆｆ ／１
５）±＾、ｓｉｎ （Ｓ−２ｒｒｘ／Ｐ＋ ａπ／
３）（１２） 従って、各透過部２Ｅ“、２Ｆ“、２Ｇ’、２＋１°を
同面積にし、かつ各格子数を同数にして同光量が透過す
るようにし、各透過部２Ｅ’ 、２Ｆ’ 、２Ｇ’ 、
２Ｈ’を透過して来た光をまとめて光電変換するように
すれば各光量を加算したことになり、３次高調波成分及
び５次高調波成分が相殺されてさらに精度の高い変位１
３号を得ることができる。そして、複数の位相のｉ！ｉ
過部が１つの格子内に均等に配置されているので、光の
強度分布が均一でなくても常に高精度の変位信号を得る
ことができる。
なお、上述した第４の実施例では位相のずれを１’／［
ｉ等としたが、例えば−Ｐ／［ｉ→０−十Ｐ／６という
ずれが繰返されるようにしても同様の効果を呈する。
ｉ等としたが、例えば−Ｐ／［ｉ→０−十Ｐ／６という
ずれが繰返されるようにしても同様の効果を呈する。
上述した各実施例においては、３次高調波成分や５次高
調波成分を除去することを示したが、７次高調波成分、
９次瓦調波成分、・・・等を除去することも可能である
。また、各格子部を透過する光を同一の光電変換素子で
受光することにより加算効果を得るようにしたが、個別
の光電変換素子で受光した後に電気的手段で加算するよ
うにしても良い。この場合、加算する光量の割合を調節
するための電気的機構（例えば加算手段の前に設けられ
た加算比率調節手段）や光学的機構（例えば各格子部に
設置された可！ＰＩＪ遮蔽板）を付加すればより効果的
である。また、透過部の形状を三角形状や三角以上の多
角形状、又は円や楕円若しくは双曲線等の曲線で構成し
、これらの位相を操作するようにしても同様の効果を呈
する。
調波成分を除去することを示したが、７次高調波成分、
９次瓦調波成分、・・・等を除去することも可能である
。また、各格子部を透過する光を同一の光電変換素子で
受光することにより加算効果を得るようにしたが、個別
の光電変換素子で受光した後に電気的手段で加算するよ
うにしても良い。この場合、加算する光量の割合を調節
するための電気的機構（例えば加算手段の前に設けられ
た加算比率調節手段）や光学的機構（例えば各格子部に
設置された可！ＰＩＪ遮蔽板）を付加すればより効果的
である。また、透過部の形状を三角形状や三角以上の多
角形状、又は円や楕円若しくは双曲線等の曲線で構成し
、これらの位相を操作するようにしても同様の効果を呈
する。
（発明の効果）
以上のように、本発明の光学式エンコーダによれば、誤
差成分を取除いて高精度の位買検出を行なうことができ
るので、例えば工作機域において精度の高い加工を容易
に行なうことが可能となり、生産効率の向上を図ること
ができる。
差成分を取除いて高精度の位買検出を行なうことができ
るので、例えば工作機域において精度の高い加工を容易
に行なうことが可能となり、生産効率の向上を図ること
ができる。
構造図、７第８図及び第９図はその格子部の一例を示す
図、第１０図は本発明の光学式エンコーダによる出力波
形の一例を示す特性図、第１１図は従来の光学式エンコ
ーダの一例を示す斜視構造図、第１２図はそれによる出
力波形の一例を示す特性図である。
図、第１０図は本発明の光学式エンコーダによる出力波
形の一例を示す特性図、第１１図は従来の光学式エンコ
ーダの一例を示す斜視構造図、第１２図はそれによる出
力波形の一例を示す特性図である。
！・・・第１格子、２・・・第２格子、２Ａ、２［１，
２Ｇ、２Ｄ。
２Ｇ、２Ｄ。
２ Ｅ 、２ Ｆ 、 ２ Ｇ 、２ Ｉ＋ 、 ２＾
’、２＋１’、２Ｅ’、２Ｆ’、２Ｇ’、２１１°、・
・・格子ｎｌへ、３・・・光電変換素子。
’、２＋１’、２Ｅ’、２Ｆ’、２Ｇ’、２１１°、・
・・格子ｎｌへ、３・・・光電変換素子。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、第１の回折格子と、この第１の回折格子と相対変位
する第２の回折格子とを有し、前記相対変位を検出する
光学式エンコーダにおいて、前記第２の回折格子に前記
相対変位の変位信号周期の１／ｎ（ｎは正の奇数）倍の
周期成分を除去する格子パターンが設けられていること
を特徴とする光学式エンコーダ。 ２、前記第２の回折格子に設けられている格子パターン
が２つの格子部で成り、これら格子部相互の位相を前記
第１の回折格子のピッチの１／６ずらせた請求項１に記
載の光学式エンコーダ。 ３、前記２つの格子部を透過又は反射した光を一緒に光
電変換する手段が設けられた請求項２に記載の光学式エ
ンコーダ。 ４、前記第２の回折格子に設けられている格子パターン
が４つの格子部で成り、これら格子部は、位相が基準と
なる格子部と、この基準格子部に対して格子部の位相を
それぞれ前記第１の回折格子のピッチの１／６、１／１
０、４／１５づつずらせた格子部とを有する請求項１に
記載の光学式エンコーダ。 ５、前記４つの格子部を透過又は反射した光を一緒に光
電変換する手段が設けられた請求項４に記載の光学式エ
ンコーダ。 ６、前記第２の回折格子に設けられている格子パターン
は、基準位相となる光の透過部と、この透過部に対して
位相が前記第１の回折格子のピッチの１／６ずれている
光の透過部とが１組となり、これらが前記第１の回折格
子のピッチの２倍の周期で繰返されている請求項１に記
載の光学式エンコーダ。 ７、前記第２の回折格子に設けられている格子パターン
は、基準位相となる光の透過部と、この透過部に対して
位相が前記第１の回折格子のピッチの１／６、１／１０
、４／１５それぞれずれている光の透過部とが１組とな
り、これらが前記第１の回折格子のピッチの４倍の周期
で繰返されている請求項１に記載の光学式エンコーダ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1183871A JP2539269B2 (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 光学式エンコ―ダ |
| US07/552,929 US5068530A (en) | 1989-07-17 | 1990-07-13 | Optical encoder |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1183871A JP2539269B2 (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 光学式エンコ―ダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0348122A true JPH0348122A (ja) | 1991-03-01 |
| JP2539269B2 JP2539269B2 (ja) | 1996-10-02 |
Family
ID=16143288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1183871A Expired - Fee Related JP2539269B2 (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 光学式エンコ―ダ |
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|---|---|
| US (1) | US5068530A (ja) |
| JP (1) | JP2539269B2 (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5748373A (en) * | 1995-04-17 | 1998-05-05 | Okuma Corporation | Scale and encoder including differently spaced pattern lines |
| US5801378A (en) * | 1996-03-19 | 1998-09-01 | Okuma Corporation | Optical encoder diffraction gratings for eliminating diffracted light components |
| JP2005121640A (ja) * | 2003-10-14 | 2005-05-12 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 光学式位置測定装置 |
| EP1647810A1 (en) | 2004-10-13 | 2006-04-19 | Mitutoyo Corporation | Encoder output signal correction apparatus and method |
| EP1647811A1 (en) | 2004-10-13 | 2006-04-19 | Mitutoyo Corporation | Encoder output signal correction apparatus and method |
| JP2007183251A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-07-19 | Mitsutoyo Corp | 光電式エンコーダ |
| JP2007218603A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学式エンコーダ装置 |
| JP2008076199A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Nikki Denso Kk | エンコーダ |
| US7385179B2 (en) | 2005-08-29 | 2008-06-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical encoder for measuring displacement |
| WO2009110604A1 (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-11 | 山洋電気株式会社 | 光学式エンコーダ装置 |
| JP2012058098A (ja) * | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Mitsubishi Electric Corp | 光検出器アレイおよびこれを用いた光学式エンコーダ |
| EP2613127A1 (en) | 2011-11-22 | 2013-07-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical encoder and apparatus including the same |
| JP2015105854A (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | オークマ株式会社 | 光学式アブソリュートエンコーダ |
| JP2016506516A (ja) * | 2012-12-20 | 2016-03-03 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーＲｅｎｉｓｈａｗ Ｐｕｂｌｉｃ Ｌｉｍｉｔｅｄ Ｃｏｍｐａｎｙ | 光学要素 |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2575935B2 (ja) * | 1990-07-30 | 1997-01-29 | オークマ株式会社 | 位置検出装置 |
| AT395914B (de) * | 1991-04-18 | 1993-04-26 | Rsf Elektronik Gmbh | Photoelektrische positionsmesseinrichtung |
| JP3067282B2 (ja) * | 1991-06-13 | 2000-07-17 | 株式会社東海理化電機製作所 | 移動検出器 |
| JP3008641B2 (ja) * | 1992-01-31 | 2000-02-14 | キヤノン株式会社 | 変位検出装置 |
| JP3082516B2 (ja) * | 1993-05-31 | 2000-08-28 | キヤノン株式会社 | 光学式変位センサおよび該光学式変位センサを用いた駆動システム |
| US5557315A (en) * | 1994-08-18 | 1996-09-17 | Eastman Kodak Company | Digital printer using a modulated white light exposure source |
| JP2695623B2 (ja) * | 1994-11-25 | 1998-01-14 | 株式会社ミツトヨ | 光学式エンコーダ |
| DE19532246A1 (de) * | 1995-09-01 | 1997-03-06 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Vorrichtung zur Filterung von Oberwellen-Signalanteilen |
| JPH09196705A (ja) * | 1996-01-23 | 1997-07-31 | Mitsutoyo Corp | 変位測定装置 |
| US6094307A (en) * | 1996-05-17 | 2000-07-25 | Okuma Corporation | Optical grating and encoder |
| US7145126B2 (en) * | 2004-03-16 | 2006-12-05 | Wai-Hon Lee | Optical position encoder device using incoherent light source |
| JP4629486B2 (ja) * | 2005-04-27 | 2011-02-09 | オークマ株式会社 | 光学式エンコーダ |
| US7485845B2 (en) * | 2005-12-06 | 2009-02-03 | Mitutoyo Corporation | Photoelectric encoder capable of effectively removing harmonic components |
| JP5378316B2 (ja) | 2009-07-29 | 2013-12-25 | 山洋電気株式会社 | 光学式エンコーダ装置 |
| JP5562076B2 (ja) * | 2010-03-10 | 2014-07-30 | キヤノン株式会社 | 光学式エンコーダおよび変位計測装置 |
| JP2011075581A (ja) * | 2011-01-17 | 2011-04-14 | Canon Inc | 光学式エンコーダ |
| JP5927482B2 (ja) * | 2011-10-06 | 2016-06-01 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 光学式エンコーダ装置 |
| KR101321591B1 (ko) * | 2012-02-02 | 2013-10-28 | 알에스오토메이션주식회사 | 광학 인코더 |
| JP5964162B2 (ja) * | 2012-07-18 | 2016-08-03 | 株式会社ミツトヨ | エンコーダ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6042616A (ja) * | 1983-08-19 | 1985-03-06 | Sony Magnescale Inc | 光学スケ−ル装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2274894A1 (fr) * | 1974-06-12 | 1976-01-09 | Sopelem | Appareil de mesure de faibles ecarts, notamment par refractometrie |
| US4943716A (en) * | 1988-01-22 | 1990-07-24 | Mitutoyo Corporation | Diffraction-type optical encoder with improved detection signal insensitivity to optical grating gap variations |
| US4979827A (en) * | 1988-02-26 | 1990-12-25 | Kabushiki Kaisha Okuma Tekkosho | Optical linear encoder |
-
1989
- 1989-07-17 JP JP1183871A patent/JP2539269B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1990
- 1990-07-13 US US07/552,929 patent/US5068530A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6042616A (ja) * | 1983-08-19 | 1985-03-06 | Sony Magnescale Inc | 光学スケ−ル装置 |
Cited By (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5748373A (en) * | 1995-04-17 | 1998-05-05 | Okuma Corporation | Scale and encoder including differently spaced pattern lines |
| US5801378A (en) * | 1996-03-19 | 1998-09-01 | Okuma Corporation | Optical encoder diffraction gratings for eliminating diffracted light components |
| JP2005121640A (ja) * | 2003-10-14 | 2005-05-12 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 光学式位置測定装置 |
| EP1647810A1 (en) | 2004-10-13 | 2006-04-19 | Mitutoyo Corporation | Encoder output signal correction apparatus and method |
| EP1647811A1 (en) | 2004-10-13 | 2006-04-19 | Mitutoyo Corporation | Encoder output signal correction apparatus and method |
| US7109900B2 (en) | 2004-10-13 | 2006-09-19 | Mitutoyo Corporation | Encoder output signal correction apparatus and method |
| EP3401644A1 (en) | 2004-10-13 | 2018-11-14 | Mitutoyo Corporation | Encoder output signal correction apparatus and method |
| US7250881B2 (en) | 2004-10-13 | 2007-07-31 | Mitutoyo Corporation | Encoder output signal correction apparatus and method |
| EP2302329A2 (en) | 2004-10-13 | 2011-03-30 | Mitutoyo Corporation | Encoder output signal correction apparatus and method |
| US7385179B2 (en) | 2005-08-29 | 2008-06-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical encoder for measuring displacement |
| JP2007183251A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-07-19 | Mitsutoyo Corp | 光電式エンコーダ |
| JP2007218603A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学式エンコーダ装置 |
| JP2008076199A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Nikki Denso Kk | エンコーダ |
| WO2009110604A1 (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-11 | 山洋電気株式会社 | 光学式エンコーダ装置 |
| US8389925B2 (en) | 2008-03-07 | 2013-03-05 | Sanyo Denki Co., Ltd. | Optical encoder device comprising a moveable slit plate and a stationary slit plate |
| JP5171935B2 (ja) * | 2008-03-07 | 2013-03-27 | 山洋電気株式会社 | 光学式エンコーダ装置 |
| JP2012058098A (ja) * | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Mitsubishi Electric Corp | 光検出器アレイおよびこれを用いた光学式エンコーダ |
| EP2613127A1 (en) | 2011-11-22 | 2013-07-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical encoder and apparatus including the same |
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| JP2015105854A (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | オークマ株式会社 | 光学式アブソリュートエンコーダ |
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