JPH04221713A - 光学装置 - Google Patents

光学装置

Info

Publication number
JPH04221713A
JPH04221713A JP3046845A JP4684591A JPH04221713A JP H04221713 A JPH04221713 A JP H04221713A JP 3046845 A JP3046845 A JP 3046845A JP 4684591 A JP4684591 A JP 4684591A JP H04221713 A JPH04221713 A JP H04221713A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
phase
grating
optical device
lattice
jump
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP3046845A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0827171B2 (ja
Inventor
Walter Huber
ウアルテル・フーベル
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Publication of JPH04221713A publication Critical patent/JPH04221713A/ja
Publication of JPH0827171B2 publication Critical patent/JPH0827171B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36—Forming the light into pulses
    • G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Surgical Instruments (AREA)
  • Laser Surgery Devices (AREA)
  • Optical Communication System (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、少なくとも二つの干
渉可能なビーム束を回折格子で一致させ、干渉させる、
回折格子を用いて二ビーム干渉を与える光学装置、特に
測長または測角装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の装置は、干渉で動作する測長ま
たは測角装置として多数の文献により公知である。
【０００３】例として、西独特許第　３６　３３　５７
４号明細書および欧州特許第　０　１６３　３６２号明
細書を挙げることができる。後記の刊行物には、目盛格
子が位相格子である位置測定装置が開示されている。こ
の格子では、ウェブと溝の比と位相の深さが変わると、
回折した異なる次数の二つの部分ビームの強度比と０次
と１次の位相関係が調節できる。
【０００４】異なる回折次数の部分ビームの二ビーム干
渉に基づく測定系では、上記の形式の位相格子に非常に
異なる回折能があると言う重大な難点があり、このこと
が良くない変調度をもたらす。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この発明の課題は、二
ビーム干渉に基づく冒頭に述べた種類に属する装置に対
して、前記難点を保有していなく、回折した部分ビーム
束の干渉により、互いに一定の位相関係を有する同じ大
きさの信号と、同じ変調度とを発生させることができる
再結合格子を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、この発明
により、冒頭に述べた種類の光学装置の場合、位相格子
として形成された回折格子の物理特性は、異なった次数
に回折された部分ビーム束の多くの強度比とそれ等の位
相角度を互いに調節できるように選択されていることに
よって解決されている。
【０００７】他の有利な構成は、特許請求の範囲の従属
請求項に記載されている。
【０００８】
【実施例】図示する透過光配置にした位置測定装置の場
合、光源１から狭い帯状の光りが出射し、位相格子２を
格子の法線０に対して角度αで照明する。この角度αは
公式　ｓｉｎα＝λ／２ｄ　によって定まる。ここで、
λは使用する光りの波長で、ｄは目盛の周期である。位
相格子２の背後には、回折により回折次数「０」と「１
」の二つの部分ビーム束ＡとＢが発生する。これ等の部
分ビーム束ＡとＢは、好ましくは同じように位相格子と
して形成される他の格子３に入射する。この位相格子３
は、０次の回折次数が生じないように設計される。この
設計は、公知の方法で位相格子３の格子パラメータを選
択して行われる。位相格子３のところで回折によって生
じる部分ビーム束によって、格子の法線０に対して回折
される部分ビーム束ＡとＢのみが使用される。部分ビー
ム束ＡとＢは他の位相格子４に入射し、そこで再び回折
する。位相格子４の背後で、回折部分ビーム束（Ａ／＋
２．）−（Ｂ／＋１．），（Ａ／＋１．）−（Ｂ／　０
．），（Ａ／０．）　−（Ｂ／−１．），（Ａ／−１．
）−（Ｂ／−２．）　。これ等の部分ビーム束のそれぞ
れ二つが同じ方向を有し、従って互いに干渉する。
【０００９】位相格子３が位相格子２と４に対してずれ
ると、位相格子３で回折する部分ビーム束ＡとＢは位相
のずれを得る。格子３が１目盛周期ほどずれると、格子
４の背後で二つの完全な正弦波状の強度変調が生じる。 位相格子４の目的は、選択された方向で所望の強度と変
調度および前記選択された方向の間に所望の位相関係を
発生させることにある。
【００１０】位相格子４とこの格子の変形が図４，５と
６に示し、後で詳しく説明する。
【００１１】干渉する部分ビーム束は光電素子５，６，
７，８に入射し、電気信号に変換される。これ等の信号
は増分位置測定装置の場合公知の方法で評価される。
【００１２】図２には、位置測定装置の変形種がより模
式的に図示されている。この装置では、再混合回折格子
がＸ方向に移動する。従って、格子がどちらに移動する
かは問題ではない、つまり目盛板を形成することが判る
。
【００１３】図２に模式的に示す位置測定装置には、照
明装置２１がある。この装置の照明ビーム通路の二つの
干渉可能なビーム束ＡとＢが位相格子２２で分割して、
第二格子２３で次の偏向が形成される。これ等のビーム
は他の位相格子２４を通過した時互いに干渉する。回折
して干渉した部分ビーム束（Ａ／＋２．）−（Ｂ／０．
），　（Ａ／＋１．）　−（Ｂ／−１．），　（Ａ／０
．）　−（Ｂ／−２．）　が検出器装置２５，２６，２
７に入射する。これ等の装置は上記のビーム束を互いに
位相のずれた測定信号に変換する。
【００１４】図示した透過光の実施例とは異なり、この
発明は反射光の装置の場合にも使用できる。このことは
、特許請求の範囲請求項１の保護範囲ではない、構成要
素の変更された幾何学配置を必要とする。
【００１５】この変形種は第３図に既に説明した構成に
対応させて示してある。構成要素に応じて、ここでも再
び図の符号が前のように設定される。
【００１６】光源３１から出射した照明ビームは位相格
子３２によって、異なった方向に進む部分ビーム束Ａと
Ｂに分割される。
【００１７】この実施例で特異なことは、回折格子３２
と３４の間にある三重プリズム３３にある。この三重プ
リズム３３では、先端が離れていて、部分ビーム束Ａと
Ｂは通常のように、底でなく、底に対向する平面に入射
する。この平面は先端を切り詰めることによって生じる
。
【００１８】ここでは、他の実施例の場合でも無視され
る異なって屈折率を無視して、部分ビーム束ＡとＢは三
重プリズムに影響されずに言わば逆向きに通過し、この
例では反射格子として形成された位相格子３４に入射す
る。この反射格子３４では、部分ビーム束ＡとＢが回折
によって互いに平行に指向され、今度は底から三重プリ
ズム３３に入射する。これ等のビーム束は三重プリズム
３３を通過して、平行な部分ビーム束ＡとＢとして再び
反射格子３４に入射する。そこで、これ等のビーム束は
再び回折し、三重プリズム３３の底に対向する平面によ
って位相格子３２に反射される。そこで、これ等のビー
ム束は干渉し、明暗の変調を検出することができる。
【００１９】両方の位相格子３２と３４の間隔の変化は
、この例の場合、干渉する部分ビーム束ＡとＢの比例光
路差をもたらす。この明暗の変調が間隔の測定信号を与
える。
【００２０】図４には、回折格子４，２４，３２，３４
としてこれ等の実施例でどのように実現されるかに関し
、位相格子の種々断面が示してある。
【００２１】ある目盛周期ｄの場合、第一実施例では図
４により位相格子４ａのウェブは溝より狭い。ウェブと
溝の比は１：１からかなりずれている。
【００２２】第二の例では、位相格子４ｂが同じ目盛周
期ｄであるが、異なった構造にされている。即ち、この
格子には第一の位相格子４ａよりも二倍の格子のジャン
プ位置がある。目盛周期ｄの中の更に一個のウェブによ
って、この状態が与えられる。もちろん、形状は対象に
維持される。
【００２３】第三の例は、更に別なパターン付けされた
位相格子４ｃが示してある。この位相格子では、目盛周
期ｄの中の格子のジャンプ個所の数が更に二倍になって
いる。外形は対称に維持されるが、格子のジャンプ個所
の位置を任意に配分することができる。
【００２４】こうして形成された位相格子は、目盛周期
の中で対称であるが、図５に位相格子４ｄを示すように
、必ずしも対称である必要はない。
【００２５】この位相格子の形態は、数学的な法則によ
って処理され、異なった次数で回折する部分ビーム束の
多くの強度比および異なった回折次数間の位相角度を調
節できる。
【００２６】図６の位相格子４ｅの場合、前記の形態に
対して更にウェブの高さｈ１，ｈ２も、即ち位相の深さ
も変えると、より高次の回折次数間でも任意に位相関係
を調節できる。
【００２７】
【発明の効果】この発明の利点は、改良された効率と許
容度が広い点にある。何故なら、干渉信号の変調度が非
常に上昇させることができるからである。
【図面の簡単な説明】
【図１】透過型位置測定装置の模式的な光線図である。
【図２】透過型位置測定装置の変形種の模式的な光線図
である。
【図３】反射型位置測定装置の模式的な光線図である。
【図４】種々の格子の断面図である。
【図５】非対称に配設された格子のジャンプ位置を有す
る回折格子の断面図である。
【図６】他の回折格子の断面図である。
【符号の説明】
１，２１，３１　　光源 ２，３，４，２２，２３，２４，３２，３４　　位相格
子５，６，７，８　　光電素子 ２５，２６，２７　　検出器装置 ３３　　　　三重プリズム Ａ，Ｂ　　部分ビーム束 ｄ　　　　　　目盛周期

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　少なくとも二つの干渉可能なビーム束
    を回折格子で一致させ、干渉させる、回折格子を用いて
    二ビーム干渉を与える光学装置、特に測長または測角装
    置において、位相格子（４，２４，３２，３４）として
    形成された回折格子の物理特性は、異なった次数に回折
    された部分ビーム束の多くの強度比とそれ等の位相角度
    を互いに調節できるように選択されていることを特徴と
    する光学装置。
  2. 【請求項２】　　位相格子（４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ）
    は目盛周期（ｄ）の中で二つ以上の格子ジャンプ個所を
    有することを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
  3. 【請求項３】　　格子のジャンプ位置は互いに異なった
    間隔を有することを特徴とする請求項２に記載の光学装
    置。
  4. 【請求項４】　　それぞれ隣接する格子のジャンプ個所
    の間の位相の深さは異なっていることを特徴とする請求
    項２に記載の光学装置。
  5. 【請求項５】　　格子のジャンプ個所は目盛周期（ｄ）
    内で対称に配設されていることを特徴とする請求項２に
    記載の光学装置。
  6. 【請求項６】　　格子のジャンプ個所の目盛周期（ｄ）
    内での配分は非対称であることを特徴とする請求項２に
    記載の光学装置。
JP3046845A 1990-03-13 1991-03-12 光学装置 Expired - Fee Related JPH0827171B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE40079686 1990-03-13
DE4007968A DE4007968A1 (de) 1990-03-13 1990-03-13 Optische vorrichtung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04221713A true JPH04221713A (ja) 1992-08-12
JPH0827171B2 JPH0827171B2 (ja) 1996-03-21

Family

ID=6402092

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3046845A Expired - Fee Related JPH0827171B2 (ja) 1990-03-13 1991-03-12 光学装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5430546A (ja)
EP (1) EP0446691B1 (ja)
JP (1) JPH0827171B2 (ja)
AT (1) ATE108275T1 (ja)
DE (3) DE4007968A1 (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09113316A (ja) * 1995-05-08 1997-05-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学式エンコーダ
JPH09257519A (ja) * 1996-03-19 1997-10-03 Okuma Mach Works Ltd 光学式エンコーダ
JP2004069702A (ja) * 2002-08-07 2004-03-04 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 干渉式位置測定装置
JP2006091204A (ja) * 2004-09-22 2006-04-06 Shimadzu Corp 回折格子
JP2008182249A (ja) * 2003-10-22 2008-08-07 Asml Netherlands Bv リソグラフィ装置及びデバイスの製造方法並びに測定装置
WO2008146409A1 (ja) * 2007-06-01 2008-12-04 Mitutoyo Corporation 反射型エンコーダ、そのスケール、及び、スケールの製造方法
JP2016518595A (ja) * 2013-04-15 2016-06-23 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングＤｒ． Ｊｏｈａｎｎｅｓ Ｈｅｉｄｅｎｈａｉｎ Ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ Ｍｉｔ Ｂｅｓｃｈｒａｎｋｔｅｒ Ｈａｆｔｕｎｇ 干渉式間隔測定装置
JP2017151093A (ja) * 2016-01-21 2017-08-31 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングＤｒ． Ｊｏｈａｎｎｅｓ Ｈｅｉｄｅｎｈａｉｎ Ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ Ｍｉｔ Ｂｅｓｃｈｒａｎｋｔｅｒ Ｈａｆｔｕｎｇ 光学式の位置測定装置

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4212281A1 (de) * 1991-07-11 1993-10-14 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Interferentielle Positionsmeßvorrichtung
JPH05323110A (ja) * 1992-05-22 1993-12-07 Hitachi Koki Co Ltd 多ビーム発生素子
EP0590163B1 (de) * 1992-09-21 1996-01-03 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Längen- oder Winkelmesseinrichtung
US5424833A (en) * 1992-09-21 1995-06-13 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Interferential linear and angular displacement apparatus having scanning and scale grating respectively greater than and less than the source wavelength
DE4302313C2 (de) * 1993-01-28 1996-12-05 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Mehrkoordinaten-Meßeinrichtung
US5652426A (en) * 1993-04-19 1997-07-29 Ricoh Company, Ltd. Optical encoder having high resolution
US5631762A (en) * 1993-06-04 1997-05-20 Hitachi Koki Co., Ltd. Multi-beam generating element and optical printing apparatus therewith
US5754295A (en) * 1996-12-20 1998-05-19 Microe, Inc. Non-contacting torque sensor and displacement measuring apparatus and method
DE19716058B4 (de) * 1997-04-17 2011-03-17 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Optische Positionsmeßeinrichtung
EP1028309B1 (de) 1999-02-04 2003-04-16 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Optische Positionsmesseinrichtung
US6560560B1 (en) * 2000-04-24 2003-05-06 Eric Joshua Tachner Apparatus and method for determining the distance between two points
DE10054503B4 (de) * 2000-11-03 2005-02-03 Ovd Kinegram Ag Lichtbeugende binäre Gitterstruktur und Sicherheitselement mit einer solchen Gitterstruktur
US7423279B2 (en) * 2002-10-23 2008-09-09 The Trustees Of Dartmouth College Systems and methods that detect changes in incident optical radiation
US20090027038A1 (en) * 2002-10-23 2009-01-29 Elsa Garmire Systems And Methods That Detect Changes In Incident Optical Radiation
US20070041729A1 (en) * 2002-10-23 2007-02-22 Philip Heinz Systems and methods for detecting changes in incident optical radiation at high frequencies
DE102006042743A1 (de) 2006-09-12 2008-03-27 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung
JP5814339B2 (ja) 2010-03-30 2015-11-17 ザイゴ コーポレーションＺｙｇｏ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ 干渉計エンコーダ・システム
JP5849103B2 (ja) 2011-02-01 2016-01-27 ザイゴ コーポレーションＺｙｇｏ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ 干渉ヘテロダイン光学エンコーダシステム
US8604413B2 (en) * 2011-06-13 2013-12-10 Mitutoyo Corporation Optical encoder including displacement sensing normal to the encoder scale grating surface
US9018578B2 (en) 2011-12-23 2015-04-28 Mitutoyo Corporation Adaptable resolution optical encoder having structured illumination and spatial filtering
US8941052B2 (en) 2011-12-23 2015-01-27 Mitutoyo Corporation Illumination portion for an adaptable resolution optical encoder
US9080899B2 (en) 2011-12-23 2015-07-14 Mitutoyo Corporation Optical displacement encoder having plural scale grating portions with spatial phase offset of scale pitch
US9029757B2 (en) 2011-12-23 2015-05-12 Mitutoyo Corporation Illumination portion for an adaptable resolution optical encoder
TWI516746B (zh) 2012-04-20 2016-01-11 賽格股份有限公司 在干涉編碼系統中執行非諧循環錯誤補償的方法、裝置及計算機程式產品，以及微影系統
DE102016210434A1 (de) * 2016-06-13 2017-12-14 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Optische Positionsmesseinrichtung

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6050402A (ja) * 1983-08-31 1985-03-20 Nec Corp 温度ドリフト補償型ファブリーペロー型光ファイバセンサ
JPS6337203A (ja) * 1986-07-26 1988-02-17 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング 光電位置測定装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3783753A (en) * 1971-11-26 1974-01-08 Pillsbury Co Apparatus for feeding flattened, tubular container blanks
DE2229996A1 (de) * 1972-06-20 1974-01-10 Leitz Ernst Gmbh Fotoelektrischer schrittgeber fuer laengen- und winkelmessung
DE2362731A1 (de) * 1973-12-17 1975-06-19 Leitz Ernst Gmbh Verfahren zur erzeugung einer gruppe von positionsbestimmenden signalen
DE2431551C2 (de) * 1974-07-01 1981-09-17 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Anordnung zur Messung von Bewegungen und Geschwindigkeiten
GB8320629D0 (en) * 1983-07-30 1983-09-01 Pa Consulting Services Displacement measuring apparatus
GB8413955D0 (en) * 1984-05-31 1984-07-04 Pa Consulting Services Displacement measuring apparatus
DE3518774A1 (de) * 1985-05-24 1986-11-27 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Verfahren zur ermittlung und optimierung der optischen weglaenge einer durchgehenden transparenten schicht oder einer strukturierten schicht
DE3633574A1 (de) * 1986-10-02 1988-04-14 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Lichtelektrische winkelmesseinrichtung
US4728193A (en) * 1986-12-11 1988-03-01 Hughes Aircraft Company Precision automatic mask-wafer alignment system
DE8816647U1 (ja) * 1988-03-25 1990-02-15 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut, De

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6050402A (ja) * 1983-08-31 1985-03-20 Nec Corp 温度ドリフト補償型ファブリーペロー型光ファイバセンサ
JPS6337203A (ja) * 1986-07-26 1988-02-17 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング 光電位置測定装置

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09113316A (ja) * 1995-05-08 1997-05-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学式エンコーダ
JPH09257519A (ja) * 1996-03-19 1997-10-03 Okuma Mach Works Ltd 光学式エンコーダ
JP2004069702A (ja) * 2002-08-07 2004-03-04 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 干渉式位置測定装置
JP2008182249A (ja) * 2003-10-22 2008-08-07 Asml Netherlands Bv リソグラフィ装置及びデバイスの製造方法並びに測定装置
JP2006091204A (ja) * 2004-09-22 2006-04-06 Shimadzu Corp 回折格子
WO2008146409A1 (ja) * 2007-06-01 2008-12-04 Mitutoyo Corporation 反射型エンコーダ、そのスケール、及び、スケールの製造方法
JP4828612B2 (ja) * 2007-06-01 2011-11-30 株式会社ミツトヨ 反射型エンコーダ、そのスケール、及び、スケールの製造方法
US8127993B2 (en) 2007-06-01 2012-03-06 Mitutoyo Corporation Reflection type encoder, scale thereof and method for producing scale
JP2016518595A (ja) * 2013-04-15 2016-06-23 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングＤｒ． Ｊｏｈａｎｎｅｓ Ｈｅｉｄｅｎｈａｉｎ Ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ Ｍｉｔ Ｂｅｓｃｈｒａｎｋｔｅｒ Ｈａｆｔｕｎｇ 干渉式間隔測定装置
JP2017151093A (ja) * 2016-01-21 2017-08-31 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングＤｒ． Ｊｏｈａｎｎｅｓ Ｈｅｉｄｅｎｈａｉｎ Ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ Ｍｉｔ Ｂｅｓｃｈｒａｎｋｔｅｒ Ｈａｆｔｕｎｇ 光学式の位置測定装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0827171B2 (ja) 1996-03-21
DE59102091D1 (de) 1994-08-11
US5430546A (en) 1995-07-04
ATE108275T1 (de) 1994-07-15
DE4007968C2 (ja) 1992-01-16
EP0446691A2 (de) 1991-09-18
DE4007968A1 (de) 1991-09-19
EP0446691A3 (en) 1991-11-27
DE9007559U1 (ja) 1992-09-24
EP0446691B1 (de) 1994-07-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH04221713A (ja) 光学装置
US4176276A (en) Photoelectric incident light distance measuring device
US5977539A (en) Optical position-measuring device having reference mark graduation structures with chirp fields
JP2501714B2 (ja) 干渉位置測定装置
DE19701941B4 (de) Optischer Codierer
SU1560068A3 (ru) Устройство дл измерени перемещений
DE69632564T2 (de) Verschiebungsinformationserfassungsvorrichtung
JP2539269B2 (ja) 光学式エンコ―ダ
JP3121539B2 (ja) 光電位置測定装置
US4091281A (en) Light modulation system
JP2619566B2 (ja) 光学式位置検出器
US20110188055A1 (en) Optical Position-Measuring Device
US5678319A (en) Index grating having partial fields that are geometrically offset in the measuring direction
JPH03148015A (ja) 位置測定装置
JPH01276020A (ja) 光電位置測定装置
JPH09257519A (ja) 光学式エンコーダ
KR20060116859A (ko) 광학식 인코더
EP0365806A2 (de) Winkelmesseinrichtung
EP0718601A2 (en) Opto-electronic scale reading apparatus
JPH0678915B2 (ja) 測角装置
JP2718440B2 (ja) 測長または測角装置
US4879462A (en) Opto-electronic scale-reading apparatus having spatial filter for wavelength separation
JP2503561B2 (ja) レ―ザ―干渉式エンコ―ダ
JPH01280215A (ja) 光学式エンコーダ
DE2207132A1 (de) Anordnung zum messen der relativlage zweier zueinander beweglicher teile

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19960917

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080321

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090321

Year of fee payment: 13

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees