JPH0342766B2 - - Google Patents

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JPH0342766B2
JPH0342766B2 JP29810785A JP29810785A JPH0342766B2 JP H0342766 B2 JPH0342766 B2 JP H0342766B2 JP 29810785 A JP29810785 A JP 29810785A JP 29810785 A JP29810785 A JP 29810785A JP H0342766 B2 JPH0342766 B2 JP H0342766B2
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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は変位検出装置、特に基準クロツクに同
期してカウントパルスを出力する同期型の変位検
出装置の改良に関する。
[従来の技術] 従来よりリニアスケールあるいはロータリエン
コーダなどの検出器を用いて、被測定物の長さ測
定を行う各種の変位検出技術が周知であり、三次
元測定器、工作機械の位置決め装置、小型のデジ
タルノギス、デジタルマイクロメータ及びその他
の用途に幅広く用いられている。
この種の変位検出技術としては、非同期型のも
のと同期型のものとが知られているが、非同期型
の変位検出技術はカウントパルスの幅にばらつき
が生じてカウントミスが発生しやすく、しかも装
置全体が高機能化するに従い回路全体のタイミン
グ調整が極めて難しくなるという問題がある。
このため、今日この種の変位検出技術としては
同期型のものが幅広く用いられており、この同期
型の変位測定技術は、基準クロツクに基づき回路
全体のタイミング調整を行うことができるため、
動作が安定し正確な変位検出を行うことが可能と
なる。
しかし、従来の変位検出技術では、リニアスケ
ール又はロータリエンコーダ(以下スケールなど
と記す)を高速で移動すると、検出器から出力さ
れる検出信号の周波数が極めて高くなり、検出信
号の変動速度に基準クロツクが追随できなかつ
た。従つて、このような場合には、カウントパル
スがスケールなどの変位量に正確に対応して出力
されず、測定誤差が発生してしまうという欠点が
あつた。
特に、マニユアル操作型の変位検出装置では、
操作者がスケールなどを頻繁に高速移動すること
が多いため、前述した検出誤差が発生しやすくそ
の有効な対策が望まれていた。
第6図には、従来の同期型変位検出技術を用い
て形成されたカウントパルス作成回路が示されて
おり、第7図にはそのタイミングチヤートが示さ
れている。
周知のように、変位検出装置では、検出器から
互いに90度位相の異なる正弦波及び余弦波がアナ
ログ長さ検出信号として出力されており、この正
弦波及び余弦波は、所定のA/D変換器を介して
デジタル信号φa,φbに変換されカウントパルス
作成回路に入力されている。
そして、このカウントパルス作成回路は、検出
信号φa及びφbを基準クロツクCP1に同期して信号
処理しアツプカウントパルス500a又はダウン
カウントパルス500bを出力する。なお、前記
基準クロツクCP1としては、回路全体の同期用ク
ロツク信号が用いられる。
すなわち、このカウントパルス作成回路は、検
出信号φa,φbがHレベルに切替わると、その後
最初に出力される基準クロツクCP1の立上がりに
同期して、素子N5又はN7からパルス信号を出力
する。そして、このパルス信号が出力されると同
時に、その立上がりに同期してアツプカウントパ
ルス500a又はダウンカウントパルス500b
を出力するよう形成されている。
従つて、スケールなどをゆつくり移動場合に
は、第7図の区間100で示すように、検出器か
ら信号φa及びφbが充分な時間的な位相ずれをも
つて出力されるため、カウントパルス500がス
ケールの変位量に対応して正確に出力されること
になる。
[発明が解決しようとする問題点] しかし、このような従来装置では、スケールな
どを高速で移動すると、第7図の区間200で示
すように、信号φa及びφbが基準クロツクCP1の出
力周期より短い時間間隔で順次出力されることと
なり、素子N5及びN7からの出力パルスが同位相
となつてしまう。この結果、本来2個のカウント
パルスを出力すべきところを、単に1個のカウン
トパルスだけしか出力しないという出力ミスが生
じ、測定誤差が発生してしまうとう問題があつ
た。
特に、スケールなどを極めて高速で移動する
と、検出器から出力される信号φa及びφbが基準
クロツクCP1の1サイクル出力周期内に複数回変
動する。この場合には、1サイクル周期内におい
て、本来複数個カウントパルスを出力しなければ
ならないが、従来のカウントパルス作成技術で
は、単に1個のカウントパルスしか出力すること
ができず、測定誤差が更に大きなものとなるとい
う問題があつた。
発明の目的 本発明はこのような従来の課題に鑑み為された
ものであり、その目的は、スケールなどを高速度
で移動した場合でもその移動距離に対応したカウ
ントパルスを確実に出力し正確な変位測定を可能
とする同期型変位測定装置を提供することにあ
る。
[問題点を解決するための手段] 前記目的を達成するために、本発明は、測定対
象の変位を検出する変位検出手段と、前記検出さ
れた変位に従つて周期が共に変化する互いに位相
の異なるN個の交流信号を出力する多相信号出力
手段と、前記出力されたN個の交流信号を入力し
て、前記N個の交流信号の正負状態の組み合わせ
で構成される2N種類のコードデータのうち、前記
入力されたN個の交流信号の正負状態に対応する
コードデータを作成するコードデータ作成手段
と、前記作成されたコードデータを第1のクロツ
クに同期させて逐次保持するサンプルホールド手
段と、前記保持されたコードデータとその比較対
象として入力される参照コードデータとを比較す
る比較手段を含み、前記比較された両者が不一致
の場合にその両者が一致するまでの期間、前記第
1のクロツクより短周期の第2のクロツクに同期
させて前記測定対象の変位を示すカウントパルス
を出力するカウントパルス出力手段と、前記比較
手段へ前記参照コードデータを出力する手段であ
つて、前記比較手段に入力されるコードデータが
変化してから前記両者の一致があるまで、前記第
2のクロツクに同期させて前記2N種類のコードデ
ータを所定の順列に従つて順次サイクリツクにシ
フトさせて参照コードデータとして出力する参照
コード作成手段と、を有し、前記カウントパルス
の計数により前記測定対象の変位を求めることを
特徴とする。
[作用] 上記構成によれば、測定対象の変位は、互いに
位相の異なるN個の交流信号として出力され、こ
のN個の交流信号によりコードデータが作成され
る。
一方、参照コード作成手段によつて、第1のク
ロツクより十分に短周期の第2のクロツクに同期
させて所定の順列に従つて参照コードデータが出
力される。そして、この出力された参照コードデ
ータとサンプルホールド手段によつて保持された
コードデータは比較手段によつて比較され、その
比較された両者が不一致の場合にその両者が一致
するまでの期間、第1のクロツクより十分に短周
期の第2のクロツクに同期してカウントパルスが
出力されることになる。
従つて、第1のクロツクの一周期内に測定対象
の変位が複数ステツプ変化しても、短周期の第2
のクロツクに同期させて、その変化に相当する数
のカウントパルスを出力できるので、スケールな
どを高速に変化させても十分にそれに追随できる
変位検出器を構成できる。
つまり、測定対象の変位の検出結果がスキツプ
したときには、そのスキツプにかかる変位量に対
して、カウントパルスを補充することが可能とな
る。
[実施例] 次に本発明の好適な実施例を図面に基づき説明
する。
構 成 第1図には本発明に係る変位検出装置の好適な
実施例が示されており、第2図にはその回路各部
におけるタイミングチヤートが示されている。
実施例の装置では、スケールなどが移動する
と、検出器10a及び10bから位相の異なるア
ナログ長さ検出信号として正弦波φa及び余弦波
φbが出力される。
そして、これら各検出信号φa及びφbは、2
相/4相変換回路12へ入力され、ここでπ/4
ずつ位相の異なる検出信号φa,φc,φb,φdに変
換出力される。
実施例において、この変換回路12は、測定対
象の変位に応じてN個(本実施例においてN=
4)の交流波である検出信号を出力するものであ
り、φa及びφbをそれぞれ増幅するアンプ12a
及び12bと、次式に基づきφc及びφdを演算す
る加算器12c及び減算器12dとから成る。
φc=φa+φb ……(1) φd=φa−φb ……(2) そして、これら各信号φa,φc,φb,φdはコー
ドデータ作成器14に入力され、ここで所定のデ
ジタル組合わせ信号に変換されたのち、このデジ
タル組合せ信号により特定されるコードデータと
して出力される。ここで、コードデータ作成器1
4について説明すると、このコードデータ作成器
14は、変換回路12から出力されたN個の検出
信号を入力して、そのN個の検出信号の正負状態
の組み合わせで構成される2N種類のコードデータ
のうち、入力されたN個の検出信号の正負状態に
対応するコードデータを作成するものである。
実施例において、このコードデータ作成器14
は、組合せ信号作成器16とデコーダ17とを含
み、前記組合せ信号作成器16は、入力される各
信号φa,φb,φc,φdを所定のスレツシヨルドレ
ベルと比較し、4個のパルスA,B,C,Dの組
合せから成るデジタル組合せ信号100を出力す
る。
ここにおいて、各パルス信号A,C,B,Dは
それぞれπ/4ずつ位相が異なるため、実施例の
デジタル組合せ信号100は、位相θが0〜2π
まで変化する1サイクルの間に、16進表記で1,
3,7,F,B,C,8,0の順にその内容が変
化することになる。
本発明においては、このようなデジタル組合せ
信号100をそのままコードデータとして使用す
ることも可能であるが、データの信号処理をより
簡単なものとするために、このデジタル組合せ信
号100をデコーダ17に入力している。
実施例において、このデコーダ17は、4ビツ
トの内容で表示されるデジタル組合せ信号を、8
進表記で0,1,2,3…7で表わされる3ビツ
トのコードデータ200に変換し、サンプルホー
ルド回路18に向け出力している。
第3図には、組合せ信号作成器16から出力さ
れる4ビツトのデジタル組合せ信号100と、デ
コーダ17から出力される3ビツトのコードデー
タ200との対応関係が示されている。同図から
も明らかなように、検出信号φa,φbの位相θが
0〜2πまで変化する間に、デコーダ17からは、
アツプカウント時には0・1・2…7の順(順方
向)で、またダウンカウント時には7・6・5…
0の順(逆方向)でコードデータ200が順次出
力されることとなる。
そして、サンプルホールド回路18はこのよう
にして出力されるコードデータ200を、基準ク
ロツクCP1が出力されるごとにサンプルホールド
し、これを基準コード300としてカウントパル
ス出力部22へ向け出力する。ここにおいて、前
記基準クロツクCP1は回路全体の同期用クロツク
信号が用いられる。
また、実施例においては参照コード作成手段と
して参照カウンタ20が設けられており、この参
照カウンタ20は、基準クロツクCP1が出力され
るごとに1クロツク前の基準コードを参照コード
400としてカウントパルス出力部22へ向け出
力する。
そして、この参照カウンタ20は、第3図に示
すコードデータ列に従い、アツプカウントパルス
が出力される場合には順方向へ又はダウンカウン
トパルスが出力される場合には逆方向へ、出力す
る参照コードを1ステツプずつサイクリツクにシ
フトさせる。
カウントパルス出力部22は、前記基準コード
300と参照コード400とを比較し、両者が一
致するまでの間、所定の短クロツク周期に設定さ
れた出力クロツクCP2が出力されるごとに、アツ
プカウントパルス500a及び500bを出力し
ている。
実施例において、このカウントパルス出力部2
2は、コンパレータ24、一対のアンドゲート2
6a,26b及びアツプダウン判別器28を含
む。
そして、前記コンパレータ24は、基準コード
300と参照コード400とを比較し、両者が一
致するか否か判別を行う。そして、両者が不一致
の場合には、回路全体がアツプカウント動作を行
つているか又はダウンカウント動作を行つている
かに基づき、前者の場合にはそのUP端子からH
レベルの不一致検出信号600aを出力し、また
後者の場合にはそのHレベルの不一致検出信号6
00bを出力する。
そして、これら各アンドゲート26a,26b
は、コンパレータ24から不一致検出信号600
a又は600bが出力されると、出力クロツク
CP2が出力されるごとにアツプカウントパルス5
00a又はダウンカウントパルス500bを変位
検出用のカウンタ30及び参照カウンタ20へ向
け出力している。
ここにおいて、この参照カウンタ20は、前述
したように、第3図に示すように順次出力される
コードデータ列に従い、アツプカウントパルス5
00aが出力される場合には順方向へ、またダウ
ンカウントパルスパルス500bが出力される場
合には逆方向へ、前記参照コード400を1ステ
ツプずつサイクリツクにシフトする。
従つて、基準クロツクCP1の出力時に出力され
る基準コード300と参照コード400とが、例
えば2ステツプ分アツプカウント方向へシフトし
ているような場合を想定すると、アンドゲート2
6aからカウントパルス500aが出力されるご
とに参照コード400がコードデータ列に従つて
アツプカウント方向へ1ステツプずつシフトされ
る。そして、カウントパルス500aが2個出力
された時点で基準コード300と参照コード40
0とが一致し、カウントパルス500aの出力が
停止されることとなる。
また、前記アツプダウン判別器28は、アンド
ゲート26a又は26bから前回出力されたカウ
ントパルスに基づき、装置がアツプカウント動作
中であるかダウンカウント動作中であるかを判別
し、その判別結果をコンパレータ24へ向け出力
するよう形成されている。
ここにおいて、このアツプ/ダウン判別器28
としては、アンドゲート26a及び26bの出力
をラツチするフリツプフロツプを用いて形成する
ことができる。
このようにして、実施例の装置は、基準クロツ
クCP1が出力されるごとに、このクロツク出力時
におけるコードデータと1クロツク前のコードデ
ータとを比較し、両者がアツプカウント方向又は
ダウンカウント方向に何ステツプシフトしている
かを判別する。そして、このシフト数に応じた個
数のアツプカウントパルス500a又はダウンカ
ウントパルス500bを出力している。
従つて、スケールなどを高速で移動し、検出器
10a及び10bから高周波の検出信号φa及び
φbを出力した場合であつても、その変位量に対
応した個性のアツプカウントパルス500a又は
ダウンカウントパルス500bを確実に出力する
ことができるため、これらのカウントパルス50
0a,500bをカウンタ30でカウントするこ
とにより、正確な変位測定が可能となる。
また、実施例においてはこのようなカウントパ
ルス500a及び500bを警報器32へ入力し
ている。ここにおいて、この警報器32は異常検
出手段として用いられ、例えばアツプカウントパ
ルス500aとダウンカウントパルス500bと
がカウントパルス出力停止期間を含まず連続して
出力された場合に、所定の異常検出信号を出力す
るよう形成されている。
作 用 本実施例は以上の構成から成り、次にその作用
を、スケールなどをアツプカウント動作方向にゆ
つくり移動した場合と、高速で移動した場合とに
分けて説明する。
スケールなどをゆつくりと移動した場合 第4図にはスケールなどをゆつくり移動した場
合におけるタイミングチヤートが示されており、
この場合に、デコーダ18からは基準クロツク
CP1の出力周期より十分に長い時間間隔で変化す
るコードデータ200が出力される。
このため、基準クロツクCP1が出力されるごと
にサンプルホールド回路18によりサンプルホー
ルドされるコードデータ200、すなわち基準コ
ード300は、t00、t10、t20、t30…の各時点で
それぞれ4,4,5.5,…のように、第3図のコ
ードデータ列に従つて順方向に1ステツプずつシ
フトして行くことになる。
例えば基準クロツクCP1が出力されるt10の時
点に着目してみると、出力される基準コード30
0及び参照コード400はともに「4」であり、
両者は一致するため、アツプカウントパルス50
0aは出力されない。
次に、基準クロツクCP1が出力されるt20の時
点に着目してみると、サンプルホールド回路18
から出力される基準コードは「5」となるが、参
照カウンタ20から出力される参照コード400
は前「4」のままであり、両者は一致しない。
このため、コンパレータ24からは不一致検出
信号600aが出力され、アンドゲート26aか
らは出力クロツクCP2が出力されるt21のタイミ
ングでアツプカウントパルス500aが出力さ
る。これにより、参照カウンタ200の出力する
参照コード400が、コードデータ列の順方向に
沿つて1ステツプシフトされ「5」となる。
このようにして、実施例の装置では、スケール
などがゆつくり移動される場合には、基準コード
300の値が変化する度に1個のアツプカウント
パルス500aが出力される。
この結果、実施例の装置によれば、検出器10
から出力される検出信号φaの位相が0〜2πの間
で1周期変化するごとに確実に8個のカウントパ
ルス500aを出力することができ、スケールな
どの変位量測定を正確に行うことが可能となる。
スケールなどを高速で移動した場合 次に、スケールなどを高速で移動し、検出器1
0から高周波の検出信号φa,φbが出力される場
合を説明する。
第5図にはこのような場合における装置各部の
タイミングチヤートが示されており、この場合に
は、基準クロツクCP1が2個出力される間に、デ
コーダ18から出力されるコードデータ200は
複数回にわたつて変化することとなる。
従つて、基準クロツクCP1が出力されるごと
に、サンプリングホールド回路18によりサンプ
ルールドされるコードデータ200、すなわち基
準コード300は、t00、t10、t20、t30、t40…の
各時点においてそれぞれ4,7,3,5,7…の
ように複数のステツプにまたがつてシフトするこ
ととなる。
このような場合に基準コード300と参照コー
ド400とを比較し、両者が不一致の場合に単に
1個のカウントパルスを出力するだけでは到底正
確な測定を行うことができないが、本発明におい
ては次のようにして基準コード300の変化分に
対応した数のカウントパルスを出力し、正確な測
定を可能としている。
すなわち、本発明においては、参照カウンタ2
0から出力される参照コード400が、基準クロ
ツクの1クロツク前の基準コード300と等しい
値となる。
従つて、例えば基準クロツクCP1が出力される
t10の時点に着目してみると、このt10の時点にお
ける参照コード400は、1つ前の基準クロツク
出力時t10における基準コード300と等しい値
「4」となる。
従つて、このt10の時点において、サンプルホ
ールド回路18から基準コード300として前回
の基準コード「4」に対し3ステツプ分シフトし
た「7」が出力されると、コンパレータ24は両
者の不一致を表す不一致検出信号600aを出力
する。
この結果、アンドゲート26aからは、出力ク
ロツクCP2が出力されるt11、t12、t13のタイミン
グでアツプカウントパルス500aが出力され
る。そして、カウントパルス500aが出力され
るごとに、参照カウンタ20の出力する参照コー
ド400を第3図に示すコードデータ列に従いそ
の順方向へ「5」「6」「7」の順に1ステツプず
つシフトさせる。
このようにして参照コード400をシフトして
いくと、カウントパルス500aが3個出力され
た時点で、参照コード400の値が基準コード3
00と一致し、アツプカウントパルスの出力は停
止される。
同様にして、次の基準クロツクCP1が出力され
るt30の時点で、サンプルホールド回路18から
基準コード300として「3」が出力されると、
カウントパルス出力部22からは同様にして、基
準コード300と参照コード400とが一致する
よう4個のアツプカウントパルス500aが出力
される。
このようにして、本実施例によれば、各基準ク
ロツクCP1が出力されるごとに、基準コード30
0のシフト数と対応した個数のアツプカウントパ
ルス500aを確実に出力することができる。
従つて、スケールなどを高速で移動し、検出器
10から高周波の検出信号φa及びφbが出力され
る場合であつても、検出信号φaの位相θが0〜
2πの間で1サイクル変位する間に確実に8個の
カウントパルスを出力し、その変位測定を正確に
行うことが可能となる。
特に、本発明の変位検出装置によれば、回路全
体の同期信号として用いられる基準クロツクCP1
の周波数を上げることなく、検出器自体の応答速
度を向上させ正確な測定を行うことができるた
め、従来用いられている検出器等を何等特別の変
更を加えることなくそのまま用い、変位測定を正
確に行うことが可能となる。
また、本実施例においては、このようなアツプ
カウント動作ばかりでなくダウンカウント動作も
同様に行うことが可能である。
この場合にはダウンカウントパルス500bが
出力されるごとに、参照カウンタ20はその参照
コード400をコードデータ列に従い逆方向に1
ステツプずつサイクリツクにシフトすればよい。
このようにすることにより、基準クロツクCP1
が出力されるごとに、基準コード300のシフト
量に応じたダウンカウントパルス500を確実に
出力することが可能となる。
また、この種の変位検出装置では、カウンタ3
0の出力側に、例えばNC機械等の各種機器が接
続されている。そして、これら各機器は、カウン
タ30の出力に対する応答のスピードが千差万別
であることが多い。
このため、カウンタ30の出力変位速度が一定
である従来の変位検出装置では、機器の応答スピ
ードに対し、カウンタ30の出力変化速度が速す
ぎると、機器側で一方的に故障と判別されてしま
い、またカウンタ30の出力変位速度が遅すぎる
と、機器の制御特性が低下してしまうという問題
があつた。
これに対し、本発明の装置では、出力クロツク
CP2の出力周期を調整することにより、カウンタ
30の出力変化速度を機器の応答スピードにマツ
チングさせることができ、機器に対し応答性の良
い制御を行うことが可能となる。
なお、前記実施例においては、検出器10a及
び10bからアナログ長さ検出信号として正弦波
及び余弦波を出力する場合を例にとり説明した
が、本発明はこれに限らず他の種類のアナログ長
さ検出信号を用いてもよい。
また、前記実施例においては、組合せ信号作成
器16より出力するデジタル組合せ信号100を
更にコードデータに変換して出力する場合を例に
取り説明したが、本発明はこれに限らず、前記デ
ジタル組合せ信号そのものをコードデータとして
用いることも可能である。
更に、本実施例においては、検出器から出力さ
れる検出信号φa及びφbを、2相/4相変換して
用いた場合を例にとり説明したが、本発明はこれ
に限らず、検出信号φa,φbをそのまま用いてデ
ジタル組合せ信号を作成しても良く、またこれ以
外にこの検出信号φa,φbから8相、16相…等の
多相信号を二次的に作成し、これらの信号からデ
ジタル組合せ信号を作成することも可能である。
また、前記実施例においては、サンプルホール
ド回路18として、デコーダ17の出力をサンプ
ルホールドするものを例にとり説明したが、本発
明はこれに限らず、2相/4相変換回路12、組
合せ信号作成器16又はデコーダ17の入力をサ
ンプルホールドするものを用いることも可能であ
る。
[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば、スケー
ルなどを高速で移動し、検出器から高周波の検出
信号が出力されるような場合であつても、変位量
に対応したカウントパルスを確実に出力した正確
な変位検出を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る変位検出装置の好適な実
施例を示すブロツク図、第2図は第1図に示す装
置のタイミングチヤート図、第3図はデジタル組
合せ信号とコードデータとの対応を示す説明図、
第4図はスケール等をゆつくりと移動した場合の
タイミングチヤート図、第5図はスケールなどを
高速で移動した場合のタイミングチヤート図、第
6図は従来の変位検出装置のブロツク図、第7図
は第6図に示す従来装置のタイミングチヤート図
である。 10……検出器、12……2相/4相変換回
路、14……コードデータ作成器、16……組合
せ信号作成器、17……デコーダ、18……サン
プルホールド回路、20……参照コード作成手順
としての参照カウンタ、22……カウントパルス
出力部、24……コンパレータ、26a,26b
……アンドゲート、28……アツプ/ダウン判別
器、30……カウンタ、φa,φb……アナログ長
さ検出信号、100……デジタル組合せ信号、2
00……コードデータ、300……基準コード、
400……参照コード、500a,500b……
カウントパルス。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 測定対象の変位を検出する変位検出手段と、 前記検出された変位に従つて周期が共に変化す
    る互いに位相の異なるN個の交流信号を出力する
    多相信号出力手段と、 前記出力されたN個の交流信号を入力して、前
    記N個の交流信号の正負状態の組み合わせで構成
    される2N種類のコードデータのうち、前記入力さ
    れたN個の交流信号の正負状態に対応するコード
    データを作成するコードデータ作成手段と、 前記作成されたコードデータを第1のクロツク
    に同期させて逐次保持するサンプルホールド手段
    と、 前記保持されたコードデータとその比較対象と
    して入力される参照コードデータとを比較する比
    較手段を含み、前記比較された両者が不一致の場
    合にその両者が一致するまでの期間、前記第1の
    クロツクより短周期の第2のクロツクに同期させ
    て前記測定対象の変位を示すカウントパルスを出
    力するカウントパルス出力手段と、 前記比較手段へ前記参照コードデータを出力す
    る手段であつて、前記比較手段に入力されるコー
    ドデータが変化してから前記両者の一致があるま
    で、前記第2のクロツクに同期させて前記2N種類
    のコードデータを所定の順列に従つて順次サイク
    リツクにシフトさせて参照コードデータとして出
    力する参照コード作成手段と、 を有し、 前記カウントパルスの計数により前記測定対象
    の変位を求めることを特徴とする変位検出装置。 2 特許請求の範囲1記載の変位検出装置におい
    て、 前記比較手段に入力されるコードデータが前記
    所定の順列における順方向へ変化したか逆方向へ
    変化したかを判断するアツプ/ダウン判断手段が
    設けられ、 前記カウントパルス出力手段は、前記アツプ/
    ダウン判断手段の判断結果に基づき、アツプカウ
    ントパルスまたはダウンカウントパルスを出力
    し、 前記参照コード出力手段は、前記アツプ/ダウ
    ン判断手段の判断結果に従つて、前記参照コード
    データとして出力されるコードデータのシフト方
    向を定めることを特徴とする変位検出装置。
JP29810785A 1985-12-27 1985-12-27 変位検出装置 Granted JPS62156509A (ja)

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JP29810785A JPS62156509A (ja) 1985-12-27 1985-12-27 変位検出装置

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JPS62156509A JPS62156509A (ja) 1987-07-11
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DE3732962C1 (de) * 1987-09-30 1989-01-12 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Auswerteschaltung fuer Rechtecksignale
JPH0814499B2 (ja) * 1988-07-25 1996-02-14 株式会社安川電機 絶対値エンコーダ

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