JPH0341297A - 真空断熱配管 - Google Patents
真空断熱配管Info
- Publication number
- JPH0341297A JPH0341297A JP1173910A JP17391089A JPH0341297A JP H0341297 A JPH0341297 A JP H0341297A JP 1173910 A JP1173910 A JP 1173910A JP 17391089 A JP17391089 A JP 17391089A JP H0341297 A JPH0341297 A JP H0341297A
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- JP
- Japan
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- insulation
- vacuum layer
- vacuum
- pipe
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- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000009413 insulation Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 3
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 5
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000010943 off-gassing Methods 0.000 description 1
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 description 1
- 238000010079 rubber tapping Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Thermal Insulation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、真空断熱配管に関するものである。
真空断熱配管としては、例えば、特開昭６１−２１５８
９６号告報に記載のような、液体ヘリウム等の極低温流
体が内部を流通する内管と級内管の周りに断熱真空層を
形成する外管とより成るものが知られ実用に供されてい
る。
９６号告報に記載のような、液体ヘリウム等の極低温流
体が内部を流通する内管と級内管の周りに断熱真空層を
形成する外管とより成るものが知られ実用に供されてい
る。
上記従来技術では、真空圧力を確認し、所定の圧力より
上昇しておれば真空再排気して断熱性能を維持するよう
にしている。
上昇しておれば真空再排気して断熱性能を維持するよう
にしている。
しかしながら、この方法では真空圧力を測定するために
、真空ポンプ、治具などを準備しなければならず、加え
て断熱真空局部の封じ切り状態を破ることになり、特に
真空層容量の小さい真空断熱配管では、圧力の確認をす
ることは、叩、真空再排気をすることになっていた。
、真空ポンプ、治具などを準備しなければならず、加え
て断熱真空局部の封じ切り状態を破ることになり、特に
真空層容量の小さい真空断熱配管では、圧力の確認をす
ることは、叩、真空再排気をすることになっていた。
従って、断熱性能の確認をすると云うより、無条件で真
空再排気しており、断熱性能の劣化の有無に関係な（、
予防保全的に真空再排気していたため、無駄な作業も実
施されていた。
空再排気しており、断熱性能の劣化の有無に関係な（、
予防保全的に真空再排気していたため、無駄な作業も実
施されていた。
本発明の目的は、断熱性能の劣化を定量的に把握できる
ようにすることにより、より合理的なメンテナンスと性
能の確実は確認ができる真空断熱配管を提供することに
ある。
ようにすることにより、より合理的なメンテナンスと性
能の確実は確認ができる真空断熱配管を提供することに
ある。
上記目的は、極低温流体を移送する内管の周りに形成さ
れた断熱真空層の断熱性能を確認する手段を備えたこと
により、達成される。
れた断熱真空層の断熱性能を確認する手段を備えたこと
により、達成される。
極低温流体を移送する内管の周りの断熱真空層の真空圧
力の変１ヒによって、常温状態にある外管から受ける熱
量が変ｆヒする。この変ｆヒは、断熱性能確認手段によ
り断熱性能の変ｆヒとして確認できる。
力の変１ヒによって、常温状態にある外管から受ける熱
量が変ｆヒする。この変ｆヒは、断熱性能確認手段によ
り断熱性能の変ｆヒとして確認できる。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。
液体ヘリウム等の極低温流体を移送する内管ｌは、その
周りに断熱真空Ｍ４を形成する外管２によって覆われて
いる。内管１は極低温状態となるが、外管２は常温状態
であるため、両者の熱収縮差を吸収するため内管１又は
外！！２にベローズ３が設けられている。
周りに断熱真空Ｍ４を形成する外管２によって覆われて
いる。内管１は極低温状態となるが、外管２は常温状態
であるため、両者の熱収縮差を吸収するため内管１又は
外！！２にベローズ３が設けられている。
また、内管ｌの外面には真空ＩＦｒ熱Ｍ４と共に、積層
断熱材（図示省略）を啓装しており、より断熱性能の向
上を図っている。
断熱材（図示省略）を啓装しており、より断熱性能の向
上を図っている。
断熱真空層４は、真空封じ切り弁５により、真空排気さ
れた後、封じ切りされている。しかしながら、真空層４
の圧力は、ａｍ断熱材等のアウトガスや、真空封じ切り
弁５などの微少リーク等によって、封じ切った後も、圧
力上昇し、ある期間を経過すると、断熱性能の劣ｆｌｌ
Ｓが生じる。これは第２図に示すように、断熱真空Ｍ４
の真空圧力（Ｐ）１０、”” Ｔｏｒｒ台から急激に輻
射侵入熱量（Ｑ）が増加して来る。ところが、この真空
層４の圧力は容易に測定できず、通常は一定期間毎に真
空再排気している。
れた後、封じ切りされている。しかしながら、真空層４
の圧力は、ａｍ断熱材等のアウトガスや、真空封じ切り
弁５などの微少リーク等によって、封じ切った後も、圧
力上昇し、ある期間を経過すると、断熱性能の劣ｆｌｌ
Ｓが生じる。これは第２図に示すように、断熱真空Ｍ４
の真空圧力（Ｐ）１０、”” Ｔｏｒｒ台から急激に輻
射侵入熱量（Ｑ）が増加して来る。ところが、この真空
層４の圧力は容易に測定できず、通常は一定期間毎に真
空再排気している。
断熱性能確認手段、例えば、！１図でセンサ６は、内管
ｌの外面に取付けており、常温状態にある外管２よりの
輻射侵入熱により起電力を発生させる。そしてこの起電
力をリード線７．外管２に取付けたハーメチックシール
８より外部に取出すことができるようになっている。
ｌの外面に取付けており、常温状態にある外管２よりの
輻射侵入熱により起電力を発生させる。そしてこの起電
力をリード線７．外管２に取付けたハーメチックシール
８より外部に取出すことができるようになっている。
従って、外部との接続部であるハーメチックシール８に
、例えば、テスタ（図示省略）を接続することによって
、起電力の強さ（１１）を確認して、輻射侵入熱量の大
きさ、すなわち真空ｌｌ１４の圧力（断熱状態）を知る
ことができ、真空層４の再排気の要否を適格に￥１１断
することができるため、合理的なメンテナンスを実施す
ることが可能であると共に、常に高性能な断熱性能を維
持することができる。
、例えば、テスタ（図示省略）を接続することによって
、起電力の強さ（１１）を確認して、輻射侵入熱量の大
きさ、すなわち真空ｌｌ１４の圧力（断熱状態）を知る
ことができ、真空層４の再排気の要否を適格に￥１１断
することができるため、合理的なメンテナンスを実施す
ることが可能であると共に、常に高性能な断熱性能を維
持することができる。
なお、本発明は、上記のような真空断熱配管に限らず、
断熱真空層を有する他の装置、例えば、特開昭５９−８
６８７０号公報や特狛昭６１−１２８０６５号公報や特
開昭６２−１１１４８３号公報や特開昭６３−２９４４
７１号公報等に記載のような装置にも有効に適用できる
。
断熱真空層を有する他の装置、例えば、特開昭５９−８
６８７０号公報や特狛昭６１−１２８０６５号公報や特
開昭６２−１１１４８３号公報や特開昭６３−２９４４
７１号公報等に記載のような装置にも有効に適用できる
。
本発明によれば、真空層の圧力の変１ヒを最終目的の断
熱性能の良否で判定できるため、断熱真空層の真空再排
気の要否を適格に判断できメンテナンス費が軽減できる
。また、断熱真空層の断熱性能の零１ヒが判定でき常に
高性能な状態を維持するようなメンテナンスを実施する
ことができる。
熱性能の良否で判定できるため、断熱真空層の真空再排
気の要否を適格に判断できメンテナンス費が軽減できる
。また、断熱真空層の断熱性能の零１ヒが判定でき常に
高性能な状態を維持するようなメンテナンスを実施する
ことができる。
第１図は、本発明の一実施例の真空断熱配管の縦断面図
、第２図は断熱真空層の圧力と輻射侵入熱量の関係線図
である。 ｌ・・・・・・内管、２・・・・・・外管、４・・・・
・・断熱真空層、５・・・・・・真空封じ切り弁、６・
・・・・・センサ、７・・・・・・ す 吋 ｌ 目 ４−−−−一灯密憔亭層 ４−−−−−センサ ７−−−−−ツー ドｘ１ δ−−−−−ハーメナブ７シール オ 図 （γσｒｔ）
、第２図は断熱真空層の圧力と輻射侵入熱量の関係線図
である。 ｌ・・・・・・内管、２・・・・・・外管、４・・・・
・・断熱真空層、５・・・・・・真空封じ切り弁、６・
・・・・・センサ、７・・・・・・ す 吋 ｌ 目 ４−−−−一灯密憔亭層 ４−−−−−センサ ７−−−−−ツー ドｘ１ δ−−−−−ハーメナブ７シール オ 図 （γσｒｔ）
Claims (1)
- １、極低温流体を移送する内管と、該内管の周りに断熱
真空層を形成する外管とより成る真空断熱配管において
、前記断熱真空層の断熱性態を確認する手段を備えたこ
とを特徴とする真空断熱配管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1173910A JPH0341297A (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | 真空断熱配管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1173910A JPH0341297A (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | 真空断熱配管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0341297A true JPH0341297A (ja) | 1991-02-21 |
Family
ID=15969348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1173910A Pending JPH0341297A (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | 真空断熱配管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0341297A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002173896A (ja) * | 2000-09-26 | 2002-06-21 | Nippon Paper Industries Co Ltd | オフセット印刷用新聞用紙 |
| CN110118292A (zh) * | 2018-02-07 | 2019-08-13 | 东京毅力科创株式会社 | 隔热配管系统和处理系统 |
-
1989
- 1989-07-07 JP JP1173910A patent/JPH0341297A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002173896A (ja) * | 2000-09-26 | 2002-06-21 | Nippon Paper Industries Co Ltd | オフセット印刷用新聞用紙 |
| CN110118292A (zh) * | 2018-02-07 | 2019-08-13 | 东京毅力科创株式会社 | 隔热配管系统和处理系统 |
| KR20190095889A (ko) | 2018-02-07 | 2019-08-16 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 단열 배관 시스템 및 처리 시스템 |
| US10787950B2 (en) | 2018-02-07 | 2020-09-29 | Tokyo Electron Limited | Heat insulating pipe system and processing system |
| TWI778221B (zh) * | 2018-02-07 | 2022-09-21 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 隔熱配管系統及處理系統 |
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