JPH0338834Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は、ウエハキヤリアに収納された多数の
ウエハのフアセツトの向きを揃えるために用いら
れるフアセツトアライナに関する。

〈従来の技術〉 第３図はウエハキヤリア２０に従来例のフアセ
ツトアライナ３０を装着した状態を示す断面図で
あり、第４図はこのフアセツトアライナ３０の斜
視図である。

ウエハキヤリア２０は、上方に開放面２０ａを
有する前後（第３図において、紙面の表裏方向）
に長い直方体形とされ、その対向壁２０ｂ，２０
ｃの内側には対向して受け溝２１，……となる一
対の切り込み部２１ａ，２１ｂが多数形成されて
いる。そして、これらの受け溝２１，……ごと
に、ウエハ１０，……が一枚づつ収納される。

このような構造のウエハキヤリア２０に収納さ
れたウエハ１０，……は、個別に抜き出される
が、その抜き取りの前に各ウエハ１０，……はフ
アセツト１１，……が上向きに揃つた状態で、か
つそのフアセツト１１，……がウエハキヤリア２
０の開放面２０ａに対して平行な向きに揃えてお
く必要がある。

したがつて、ウエハキヤリア２０内のウエハ１
０，……の姿勢を修正して、そのフアセツト１
１，……を所定の向きに揃えるために、従来から
フアセツトアライナ３０が使用されている。

フアセツトアライナ３０は、第３図および第４
図に示すように、上方および下方が開放された直
方体形のフレーム３１を備えている。このフレー
ム３１の内部には、その長辺部３１ａ方向に沿つ
て長いアライナローラ３３と、このアライナロー
ラ３３を圧接して回転駆動させる駆動ローラ３４
とが上下に架設されている。

そして、このようなフアセツトアライナ３０を
第４図に示すように、ウエハキヤリア２０に嵌合
装着した後、これらを上下に反転させる。

その状態で、駆動ローラ３４を外部から回転操
作することによりアライナローラ３３を介して、
各ウエハ１０，……が回転させられる。そして、
各ウエハ１０，……のフアセツト１１，……がア
ライナローラ３３上に至ると、そのフアセツト１
１，……とアライナローラ３３との間に滑りを生
じることにより、各ウエハ１０，……はその位置
で回転を停止する。このようにして、ウエハキヤ
リア２０内の各ウエハ１０，……は、そのフアセ
ツト１１，……が所定の向きに揃えられる。

〈考案が解決しようとする問題点〉 ところで、このようなフアセツトアライナにお
いては、各ウエハ１０、……やアライナローラ３
３に製作誤差や精度差が存在しているため、各ウ
エハ１０，……のフアセツト１１，……が、アラ
イナローラ３３上で停止せずに行きすぎてしまう
ことがよくある。その場合は、すべてのウエハ１
０，……が停止するまで、アライナローラ３３を
何度も回転させなければならず、その作業には手
間と時間がかかるという問題があつた。

そこで、このような問題点を解決するために、
本考案の出願人は先の出願である実願昭60−
78645号（実開昭61−195060号）により、ウエハ
１０，……のフアセツト１１，……に当接してウ
エハ１０の回転を停止させる回転阻止部材３５
を、アライナローラ３３の軸方向に沿う方向に固
定的に取り付けたフアセツトアライナ３０を提案
している。

このような構成とすれば、回転させられた各ウ
エハ１０，……のフアセツト１１，……の例えば
中央部がアライナローラ３３上に至ると、これら
のフアセツト１１，……の一端部が回転阻止部材
３５に当接して停止させられる。したがつて、す
べてのウエハ１０，……をほぼ所定の向きで、か
つ短時間で停止させることができる。

しかし、回転阻止部材３５を固定して設けたフ
アセツトアライナ３０においても、各ウエハ１
０，……のフアセツト１１，……の向きを所定の
向きに揃えることは難しいという問題があつた。
これは、フアセツト１１，……のカツト寸法が製
作メーカごとに微妙に異なつていたり、固定され
た回転阻止部材３５の取り付け位置に誤差があつ
たり、また、長期間にわたる使用によつてアライ
ナローラ３３の外周面に摩耗を生じることなどか
らウエハ１０，……に対するアライナローラ３３
と回転阻止部材３５との相対的な位置関係が変化
することによるものである。

すなわち、例えば、先の出願に係るフアセツト
アライナ３０の回転阻止部材３５がウエハ１０，
……から遠い位置にあると、回転阻止部材３５が
フアセツト１１，……の回転軌跡から外れて回転
阻止の機能を果たさなくなり、また、回転阻止部
材３５がウエハ１０，……側に近づきすぎても、
ウエハ１０，……の円周部を受け止めることにな
つて、回転阻止機能を果たさなくなる。

本考案は、このような問題点に鑑みてなされた
ものであつて、ウエハキヤリア内の各ウエハの回
転を短時間で停止させ、かつフアセツトのカツト
寸法が異なつていてもそのフアセツトの向きを確
実に所定の向きに揃えることのできるフアセツト
アライナの提供を目的とする。

〈問題点を解決するための手段〉 本考案は、上記の目的を達成するために、ウエ
ハのフアセツトに当接してウエハの回転を停止さ
せる回転阻止部材をアライナローラの軸方向に沿
つて配設し、かつこの回転阻止部材をウエハ側へ
遠近移動および固定自在とした構成に特徴を有す
るものである。

〈作用〉 上記の構成によれば、アライナローラの回転に
したがつて回転させられた各ウエハのフアセツト
の例えば中央部がアライナローラ上に位置したと
き、このフアセツトの一端部は回転阻止部材に当
接する。このことにより、各ウエハはそのフアセ
ツトが所定の向きの姿勢で停止する。この場合、
回転阻止部材の取り付け位置を調整することによ
り、各ウエハのフアセツトに回転阻止部材を確実
に当接させることができる。

〈実施例〉 以下、本考案を図面に示す一実施例に基づいて
詳細に説明する。

第１図は本考案に係るフアセツトアライナの斜
視図であり、第２図はこのフアセツトアライナを
ウエハキヤリアに装着し、かつ反転した状態を示
す断面図である。なお、本考案のフアセツトアラ
イナは、従来例のものと基本的には異ならない。
したがつて、第１図および第２図において、第３
図および第４図と対応する部分には同一の符号を
付している。

これらの図において、符号１０はウエハであつ
て、このウエハ１０は偏平円板状に形成され、そ
の一部に所定長さの弦状縁部、すなわち、フアセ
ツト１１を有している。このウエハ１０は、単位
枚数ごとにその厚み方向に整列させられ、ウエハ
キヤリア２０に収納される。このウエハキヤリア
２０は従来例と同一の構成を有するものであり、
ここではその説明を省略する。

フアセツトアライナ３０はウエハキヤリア２０
の上方に形成された開放面２０ａに装着して使用
するものであつて、上方および下方が開放された
長い直方体形のフレーム３１を備えている。この
フレーム３１の両長辺部３１ａ，３１ａの上方に
は、ウエハキヤリア２０の開放面に嵌合する一対
の突条部３２，３２が対向して形成されている。
また、このフレーム３１の内部にはウエハ１０に
摺接して回転させるアライナローラ３３と、この
アライナローラ３３を圧接して回転駆動させる駆
動ローラ３４とが上下で、かつフレーム３１の両
短辺部３１ｂ，３１ｂ間にわたつて回転可能に架
設されている。

アライナローラ３３は回転軸３３ａのほぼ全長
にわたつてローラ部３３ｂが設けられたものであ
つて、このローラ部３３ｂの径方向上端はフレー
ム３１の上面３１ｃとほぼ同じ高さに位置設定さ
れている。また、駆動ローラ３４は回転駆動軸３
４ａの長手方向の中央部にゴムロール３５が設け
られ、かつフレーム３１を貫通してその外部に突
出された回転駆動軸３４ａの両端部には操作つま
み３６，３６が取り付けられている。

また、アライナローラ３３の一側方のフレーム
３１内には、このアライナローラ３３の軸方向に
沿う方向で、かつフレーム３１の短辺部３１ｂ，
３１ｂ間にわたつて回転阻止部材４０が架設され
ている。この回転阻止部材４０は例えば長方形断
面を有する板材などからなり、この回転阻止部材
４０の両端面はフレーム３１の両短辺３１ｂ，３
１ｂにそれぞれ当接させられている。回転阻止部
材４０のそれぞれの端面が当接するフレーム３１
の両短辺部３１ｂ，３１ｂには、その上面３１ｃ
に向かう長孔３１ｄ，３１ｄがそれぞれ形成され
ている。

そして、回転阻止部材４０は長孔３１ｄ，……
に嵌挿されたビスなどの固定具４１，……により
固定される。したがつて、この回転阻止部材４０
はフレーム３１の上面３１ｃ、すなわち、ウエハ
キヤリア２０内の各ウエハ１０，……側に遠近移
動および固定自在となつている。なお、この回転
阻止部材４０はアライナローラ３３の両側方に架
設してもよく、その断面形状についても長方形に
限定されず、円形などであつてもよい。

つぎに、このようなフアセツトアライナ３０の
使用手順について説明する。

多数のウエハ１０，……が収納されたウエハキ
ヤリア２０の開放面に、フアセツトアライナ３０
に形成されている一対の突条部３２，３２を嵌合
して装着し、第２図に示すように、上下に反転す
る。反転により、ウエハキヤリア２０内の各ウエ
ハ１０，……は、フアセツトアライナ３０の内部
に設けられたアライナローラ３２上に受け止め支
持される。この状態で、操作つまみ３６，３６の
いずれか一方側から駆動ローラ３４を所定の一方
向（図においては、時計回り）に回転操作する
と、アライナローラ３３が逆方向に回転させられ
る。このアライナローラ３３を介して各ウエハ１
０，……が駆動ローラ３４と同方向に回転させら
れる。なお、回転阻止部材４０をアライナローラ
３３の両側方に架設している場合は、操作つまみ
の回転方向は時計または反時計回りのいずれの方
向でもよい。

そして、各ウエハ１０，……のフアセツト１
１，……がアライナローラ３３に転接しはじめた
後、このフアセツト１１の例えば中央部がアライ
ナローラ３３上を通過するときに、これらのフア
セツト１１，……の一端部が回転阻止部材４０に
当接する。これにより、フアセツト１１，……と
アライナローラ３３との間に確実に滑りを生じる
ことになつて、各ウエハ１０，……がそれ以上回
転することが阻止される。したがつて、各ウエハ
１０，……は短時間で停止させられ、かつそのフ
アセツト１１，……が下向きの位相に揃えられ
る。

このとき回転阻止部材４０の位置を、各ウエハ
１０，……側に対して、遠近移動させて調整する
ことで、回転阻止部材４０をアライナローラ３３
の側方に正確に位置させ、停止した各ウエハ１
０，……のフアセツト１１，……の向きを水平方
向とさせることが可能となる。

このようにして、ウエハキヤリア２０内のウエ
ハ１０，……の姿勢が揃えられた後、再び反転し
てウエハキヤリア２０からフアセツトアライナ３
０を取り外す。したがつて、ウエハキヤリア２０
に収納されたウエハ１０，……のフアセツト１
１，……が上向きに揃つた状態で、かつそのフア
セツト１１，……が水平方向、すなわち、ウエハ
キヤリア２０の開放面２０ａに対して平行な向き
となつている。そのため、これらのウエハ１０，
……を個別に抜き出して、支障なく、後の工程に
かけることができる。

〈考案の効果〉 以上のように本考案によれば、フアセツトアラ
イナ内のアライナローラの側方に、ウエハのフア
セツトに当接してウエハの回転を停止させる回転
阻止部材をアライナローラの軸方向に沿つて配設
し、かつ回転阻止部材をウエハ側へ遠近移動およ
び固定自在としているので、ウエハキヤリアに収
納されたウエハの回転を短時間で停止させるとと
もに、フアセツトのカツト寸法の違いやアライナ
ローラの摩耗にもかかわらず、ウエハのフアセツ
トの向きを正確な水平方向、すなわち、ウエハキ
ヤリアの開放面に平行な向きに確実に揃えること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本考案の一実施例に係
り、第１図はフアセツトアライナの斜視図、第２
図はこのフアセツトアライナをウエハキヤリアに
装着し、かつ反転した状態を示す断面図である。
第３図および第４図は従来例に係り、第３図はウ
エハキヤリアにフアセツトアライナを装着した状
態の断面図、第４図はこのフアセツトアライナの
斜視図である。 １０……ウエハ、１１……ウエハのフアセツ
ト、２０……ウエハキヤリア、２０ａ……ウエハ
キヤリアの開放面、３０……フアセツトアライ
ナ、３３……アライナローラ、４０……回転阻止
部材。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 多数のウエハが収納されたウエハキヤリアの開
   放面に装着され、かつアライナローラにより前記
   ウエハを回転させて各ウエハのフアセツトを前記
   開放面に対して平行な向きに位相揃えするフアセ
   ツトアライナにおいて、 前記ウエハのフアセツトに当接して該ウエハの
   回転を停止させる回転阻止部材を前記アライナロ
   ーラの軸方向に沿つて配設し、かつ該回転阻止部
   材を前記ウエハ側へ遠近移動および固定自在とし
   たことを特徴とするフアセツトアライナ。