JPS62182549U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62182549U JPS62182549U JP7051486U JP7051486U JPS62182549U JP S62182549 U JPS62182549 U JP S62182549U JP 7051486 U JP7051486 U JP 7051486U JP 7051486 U JP7051486 U JP 7051486U JP S62182549 U JPS62182549 U JP S62182549U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- aligner
- facet
- wafers
- blocking member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 7
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
Description
第1図および第2図は本考案の一実施例に係り
、第1図はフアセツトアライナの斜視図、第2図
はこのフアセツトアライナをウエハキヤリアに装
着し、かつ反転した状態を示す断面図である。第
3図および第4図は従来例に係り、第3図はウエ
ハキヤリアにフアセツトアライナを装着した状態
の断面図、第4図はこのフアセツトアライナの斜
視図である。 10……ウエハ、11……ウエハのフアセツト
、20……ウエハキヤリア、20a……ウエハキ
ヤリアの開放面、30……フアセツトアライナ、
33……アライナローラ、40……回転阻止部材
。
、第1図はフアセツトアライナの斜視図、第2図
はこのフアセツトアライナをウエハキヤリアに装
着し、かつ反転した状態を示す断面図である。第
3図および第4図は従来例に係り、第3図はウエ
ハキヤリアにフアセツトアライナを装着した状態
の断面図、第4図はこのフアセツトアライナの斜
視図である。 10……ウエハ、11……ウエハのフアセツト
、20……ウエハキヤリア、20a……ウエハキ
ヤリアの開放面、30……フアセツトアライナ、
33……アライナローラ、40……回転阻止部材
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 多数のウエハが収納されたウエハキヤリアの開
放面に装着され、かつアライナローラにより前記
ウエハを回転させて各ウエハのフアセツトを前記
開放面に対して平行な向きに位相揃えするフアセ
ツトアライナにおいて、 前記ウエハのフアセツトに当接して該ウエハの
回転を停止させる回転阻止部材を前記アライナロ
ーラの軸方向に沿つて配設し、かつ該回転阻止部
材を前記ウエハ側へ遠近移動および固定自在とし
たことを特徴とするフアセツトアライナ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986070514U JPH0338834Y2 (ja) | 1986-05-09 | 1986-05-09 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986070514U JPH0338834Y2 (ja) | 1986-05-09 | 1986-05-09 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62182549U true JPS62182549U (ja) | 1987-11-19 |
JPH0338834Y2 JPH0338834Y2 (ja) | 1991-08-15 |
Family
ID=30912221
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1986070514U Expired JPH0338834Y2 (ja) | 1986-05-09 | 1986-05-09 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0338834Y2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6078645A (ja) * | 1983-10-04 | 1985-05-04 | Chlorine Eng Corp Ltd | 陽イオン交換膜の再生方法 |
-
1986
- 1986-05-09 JP JP1986070514U patent/JPH0338834Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6078645A (ja) * | 1983-10-04 | 1985-05-04 | Chlorine Eng Corp Ltd | 陽イオン交換膜の再生方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0338834Y2 (ja) | 1991-08-15 |