JPH0333013A - 酸化物超電導材料とその製造方法 - Google Patents
酸化物超電導材料とその製造方法Info
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- JPH0333013A JPH0333013A JP1168923A JP16892389A JPH0333013A JP H0333013 A JPH0333013 A JP H0333013A JP 1168923 A JP1168923 A JP 1168923A JP 16892389 A JP16892389 A JP 16892389A JP H0333013 A JPH0333013 A JP H0333013A
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は 比較的高い臨界温度を有し 比較的安価な酸
化物超電導材料とその製造方法に関すも従来の技術 1986年に30に以上の高い臨界温度を有するLa−
Ba−Cu−0系の超電導酸化物((LaBa)*Cu
○4が発見されて以東 酸化物超電導材料が注目を集め
てい4 1987年に+& YBa−Cu−○系の超
電導酸化物(L a B a=Cusev)の臨界温度
が液体窒素温度(77K)よりも高い約90にであるこ
とが確認された また1988年にli B1−5r
−Ca−Cu−○系。
化物超電導材料とその製造方法に関すも従来の技術 1986年に30に以上の高い臨界温度を有するLa−
Ba−Cu−0系の超電導酸化物((LaBa)*Cu
○4が発見されて以東 酸化物超電導材料が注目を集め
てい4 1987年に+& YBa−Cu−○系の超
電導酸化物(L a B a=Cusev)の臨界温度
が液体窒素温度(77K)よりも高い約90にであるこ
とが確認された また1988年にli B1−5r
−Ca−Cu−○系。
およびT l−Ba−Ca−Cu−○系超電導材料が発
見され 臨界温度は100に以上になった(北沢宏−・
岸尾光二 「応用物理」、 57@ pp、1644−
1665.1988年)。
見され 臨界温度は100に以上になった(北沢宏−・
岸尾光二 「応用物理」、 57@ pp、1644−
1665.1988年)。
発明が解決しようとする課題
しかしなか板 超電導材料を各種センサーやデバイス等
に応用する際に(上 それぞれの用途に見合った適当な
臨界温度を有する比較的安価な超電導材料が必要であも 本発明は このような課題を解決するためになされたも
の玄 約40にの臨界温度を実現することが可能で比較
的安価である新規な超電導材料を提供することを目的と
すも 課題を解決するための手段 本発明は上記目的を達成するたべ 少なくとkLn (
Nd、Sm、Eu)、B as S r、 Ces
Cu、Oの6種類の元素から構成され 組成式がL n
o (B a+−++S r++) rCe@c u*
Qs*−zテ表され q、 r、 s、 xが次
の条件q+r+s=12 4.5<q<8.5 1.5< r<5.5 0.5<s<3.5 0<x<0.85 を満たすものであることを特徴とすも 本発明の酸化物超電導材料の製造方法は 上記組成物を
酸素雰囲気で加熱処理を行って焼結した後、酸素雰囲気
中で熱処理(300〜700℃)゛を行って酸素を吸収
させることを特徴とすも作 用 上記構成によれは 結晶構造が従来の(LaBa)zC
uO4系超電導材料やLaBa2CusOy系超電導材
料と全く異なる新規な酸化物超電導材料を得ることがで
きも しかも焼結に要する加熱処理時間が従来例に比べ
て短くて済み製造が容易なので、製造コストを抑えるこ
とができもまた上記組成式において、q、 r、
s、 xを、4.5<q<7.5、r=4、s=2.
0.35<x<0.65とすることにより、 15に以
上の臨界温度を実現することが可能であも 更に 熱処
理時の酸素分圧を1気圧以上に設定したり、加熱処理時
の酸素分圧を0.1気圧以下に設定することにより、臨
界温度40Kを実現することが可能であもこの結電 各
種センサやデバイスなどに応用する阪 それぞれの用途
に見合った適当な臨界温度を有する超電導材料を比較的
安価に提供することができも 実施例 本発明の第1の実施例における酸化物超電導材料とその
製造方法を説明すも 出発原料として、市販の試薬を用いて第1表に示した組
成の試料N001〜20を作製し1゜試料の製造方法を
試料N011の製造方法を例に説明すも 出発原料とし
て市販のNd*O*、BaCO3,5rCO自、Ca1
m、CuOを用いた これらの原料を十分に乾燥させた
の仮 本発明の組成式Lnm (Ba+−ms rx)
rcescu*○■−2に基づいてNd* (Bas、
ss re、s) 4Ce*cu*Qts−χの化学式
となるように配合し九 この混合粉を直径40mm、
厚さ5mmの円柱形にプレス成形し 酸素雰囲気中1
020℃で20時間仮焼しtら得られた仮焼粉を十分に
粉砕L 2mmx2mmX20mmの直方体にプレス
成形した つづいて、第1表 この成形体を炉内で酸素ガスを流通させながら1030
℃で20時間加熱処理を行って焼結し 50℃/min
で冷却し九 冷却1!j、600℃で20時[400℃
で20時間熱処理を行へ 酸素を十分に吸収させ1−
熱処理後、そのまま常温まで放冷し九 炉から取出しt、:、試料No、 1の抵抗−温度特性
を通常の4端子法で測定しtも その結果を第1図に
示した この試料No、 1の超電導の開始温度(オン
セット温度)は41にであり、抵抗率ゼロとなる温度は
33にであっ氾 この試料No、 1の交流帯磁率を測
定したとこム 帯磁率は34に以下で負の値になり、マ
イスナー効果が認められ九この試料No、 lの結晶構
造を粉末X線回折によって調べtうX線源にはCTI
K r線を用いtラ 得られた粉末X線回折図形を第
2図に示しtム この粉末X線図形(友 超電導体と
して知られている(LaBa) 象Cu0aやLaBa
ecu含Ovの粉末X線回折図形と全く異なっていf、
粉末X線回折から得られたピークl&a=3.85
人、 c=28.44人の格子定数をもつ正方晶系の単
位格子を仮定。
に応用する際に(上 それぞれの用途に見合った適当な
臨界温度を有する比較的安価な超電導材料が必要であも 本発明は このような課題を解決するためになされたも
の玄 約40にの臨界温度を実現することが可能で比較
的安価である新規な超電導材料を提供することを目的と
すも 課題を解決するための手段 本発明は上記目的を達成するたべ 少なくとkLn (
Nd、Sm、Eu)、B as S r、 Ces
Cu、Oの6種類の元素から構成され 組成式がL n
o (B a+−++S r++) rCe@c u*
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の条件q+r+s=12 4.5<q<8.5 1.5< r<5.5 0.5<s<3.5 0<x<0.85 を満たすものであることを特徴とすも 本発明の酸化物超電導材料の製造方法は 上記組成物を
酸素雰囲気で加熱処理を行って焼結した後、酸素雰囲気
中で熱処理(300〜700℃)゛を行って酸素を吸収
させることを特徴とすも作 用 上記構成によれは 結晶構造が従来の(LaBa)zC
uO4系超電導材料やLaBa2CusOy系超電導材
料と全く異なる新規な酸化物超電導材料を得ることがで
きも しかも焼結に要する加熱処理時間が従来例に比べ
て短くて済み製造が容易なので、製造コストを抑えるこ
とができもまた上記組成式において、q、 r、
s、 xを、4.5<q<7.5、r=4、s=2.
0.35<x<0.65とすることにより、 15に以
上の臨界温度を実現することが可能であも 更に 熱処
理時の酸素分圧を1気圧以上に設定したり、加熱処理時
の酸素分圧を0.1気圧以下に設定することにより、臨
界温度40Kを実現することが可能であもこの結電 各
種センサやデバイスなどに応用する阪 それぞれの用途
に見合った適当な臨界温度を有する超電導材料を比較的
安価に提供することができも 実施例 本発明の第1の実施例における酸化物超電導材料とその
製造方法を説明すも 出発原料として、市販の試薬を用いて第1表に示した組
成の試料N001〜20を作製し1゜試料の製造方法を
試料N011の製造方法を例に説明すも 出発原料とし
て市販のNd*O*、BaCO3,5rCO自、Ca1
m、CuOを用いた これらの原料を十分に乾燥させた
の仮 本発明の組成式Lnm (Ba+−ms rx)
rcescu*○■−2に基づいてNd* (Bas、
ss re、s) 4Ce*cu*Qts−χの化学式
となるように配合し九 この混合粉を直径40mm、
厚さ5mmの円柱形にプレス成形し 酸素雰囲気中1
020℃で20時間仮焼しtら得られた仮焼粉を十分に
粉砕L 2mmx2mmX20mmの直方体にプレス
成形した つづいて、第1表 この成形体を炉内で酸素ガスを流通させながら1030
℃で20時間加熱処理を行って焼結し 50℃/min
で冷却し九 冷却1!j、600℃で20時[400℃
で20時間熱処理を行へ 酸素を十分に吸収させ1−
熱処理後、そのまま常温まで放冷し九 炉から取出しt、:、試料No、 1の抵抗−温度特性
を通常の4端子法で測定しtも その結果を第1図に
示した この試料No、 1の超電導の開始温度(オン
セット温度)は41にであり、抵抗率ゼロとなる温度は
33にであっ氾 この試料No、 1の交流帯磁率を測
定したとこム 帯磁率は34に以下で負の値になり、マ
イスナー効果が認められ九この試料No、 lの結晶構
造を粉末X線回折によって調べtうX線源にはCTI
K r線を用いtラ 得られた粉末X線回折図形を第
2図に示しtム この粉末X線図形(友 超電導体と
して知られている(LaBa) 象Cu0aやLaBa
ecu含Ovの粉末X線回折図形と全く異なっていf、
粉末X線回折から得られたピークl&a=3.85
人、 c=28.44人の格子定数をもつ正方晶系の単
位格子を仮定。
すると、すべて指数付することができた 第2図の粉末
X線図形の各ピークにそれぞれの指数を与えへ この従来にない新規な超電導化合物の結晶構造を明らか
にするために粉末X線回折図形のリートベルト解析を行
った こうして得られた結晶構造を第3図に示しt、4
この化合物の結晶構造(上 従来から超電導体とし
て知られている(LaBa)2Cu04やL a B
atc u*0.の結晶構造と全く異なっていtl この試料No、 1の酸素含有1t(30−z)を不活
性ガス融解−非分散赤外線吸収法によって分析し・九
得られた値(上 酸素含有量が約27.2であつ九 し
たがって酸素欠損量(2)としては2.8となん また この試料No、 1の酸素の吸収・放出特性を調
べるために熱電it (TG)分析を行った 測定の阪
酸素雰囲気中で室温から1000℃の間で加熱及び冷
却を行っt4 試料の重量は約1100rnであり、
加熱及び冷却速度はlO℃/minであム 得られたT
G曲線を第4図に示した この結果からこの試料No。
X線図形の各ピークにそれぞれの指数を与えへ この従来にない新規な超電導化合物の結晶構造を明らか
にするために粉末X線回折図形のリートベルト解析を行
った こうして得られた結晶構造を第3図に示しt、4
この化合物の結晶構造(上 従来から超電導体とし
て知られている(LaBa)2Cu04やL a B
atc u*0.の結晶構造と全く異なっていtl この試料No、 1の酸素含有1t(30−z)を不活
性ガス融解−非分散赤外線吸収法によって分析し・九
得られた値(上 酸素含有量が約27.2であつ九 し
たがって酸素欠損量(2)としては2.8となん また この試料No、 1の酸素の吸収・放出特性を調
べるために熱電it (TG)分析を行った 測定の阪
酸素雰囲気中で室温から1000℃の間で加熱及び冷
却を行っt4 試料の重量は約1100rnであり、
加熱及び冷却速度はlO℃/minであム 得られたT
G曲線を第4図に示した この結果からこの試料No。
It;1.300℃以上の温度で可逆的に酸素を吸収及
び放出することがわがムそれで、800t、 700
族 600℃と熱処理温度を変化させて、その(克 室
温まで急冷して試料を作製したところ熱処理温度が80
0℃の場合には超電導転移を示さなかっf、 したが
って、熱処理温度として(友 酸素を吸収する最低温度
である300℃以上であり、酸素を十分に吸収する最高
温度である700℃以下が適当であることがわかも な
耘 この熱重量分析は酸素1気圧下の測定であるので、
酸素分圧が1気圧以上になると試料中に酸素がより吸収
されやすくなるから熱処理に望ましい温度範囲がl気圧
の場合の300〜700℃の範囲より広がるのは当然で
あも試料No、 1〜31iCe以外の希土類元素T−
nをNd、 5rrh Euと変化させた試料であ
も 試料No、 4−81.t、 アルカリ土類元素
(13a+sr)と希土類元素Ln(本実施例の場合、
Nd)との比率を変化させた試料であり、試料No、9
〜!211CeとCe以外の希土類元素Ln(本実施例
の場A Nd)との比率を変化させたものであも ま
た 試料No、 + 3〜20は BaとSrとの比率
を変化させたものであも 第1表に示した組成の試料No、 1〜20の超電導特
性を第2表に示した この表でオンセット温度と(上
第1図に示したように試料の超電導転移の開始温度であ
り、試料を冷却していった際に電気抵抗率が低下し始め
る温度であも ゼロ抵抗温罠と(よ 超電導状態になっ
たために試料の電気抵抗がゼロになった温度であa 第
2表で一印で示したの(よ 抵抗−温度測定で超電導転
移が観測されなかった場合やゼロ抵抗が観測されなかっ
た場合であも 試料No、1〜3を比較すると、希土類元素Lnとして
Nd、Sm、Euのいずれを用いても超電導転移を示す
ことがわかん また 試料No、4〜8を比較するとq
及びrの望ましい範囲として(上4.5<q<8.5及
び1.5<丁く5.5であること第2表 がわかん また試料No、 9〜12を比較すると、C
eの組成比率としてILL O,5<s<3.5の範
囲が望ましいことがわかる。試料No、 13〜20の
比較から望ましいXの範囲としてl;L O< x
< 0 、85であり、しかもSr/E3aの比率が1
のところで最も臨界温度が高くなることがわかん 第2
表に示した特性の比較から特に望ましい組成範囲として
(よ 4.5<q<7.5 r2:4 s=2 0.35<x<0.65 の範囲にある場合であも 本発明の第2の実施例における酸化物超電導材料とその
製造方法を説明すも 第1の実施例で作製した試料No、lを酸素分圧2気圧
(試料No、 21 )、 10気圧(試料No、22
)。
び放出することがわがムそれで、800t、 700
族 600℃と熱処理温度を変化させて、その(克 室
温まで急冷して試料を作製したところ熱処理温度が80
0℃の場合には超電導転移を示さなかっf、 したが
って、熱処理温度として(友 酸素を吸収する最低温度
である300℃以上であり、酸素を十分に吸収する最高
温度である700℃以下が適当であることがわかも な
耘 この熱重量分析は酸素1気圧下の測定であるので、
酸素分圧が1気圧以上になると試料中に酸素がより吸収
されやすくなるから熱処理に望ましい温度範囲がl気圧
の場合の300〜700℃の範囲より広がるのは当然で
あも試料No、 1〜31iCe以外の希土類元素T−
nをNd、 5rrh Euと変化させた試料であ
も 試料No、 4−81.t、 アルカリ土類元素
(13a+sr)と希土類元素Ln(本実施例の場合、
Nd)との比率を変化させた試料であり、試料No、9
〜!211CeとCe以外の希土類元素Ln(本実施例
の場A Nd)との比率を変化させたものであも ま
た 試料No、 + 3〜20は BaとSrとの比率
を変化させたものであも 第1表に示した組成の試料No、 1〜20の超電導特
性を第2表に示した この表でオンセット温度と(上
第1図に示したように試料の超電導転移の開始温度であ
り、試料を冷却していった際に電気抵抗率が低下し始め
る温度であも ゼロ抵抗温罠と(よ 超電導状態になっ
たために試料の電気抵抗がゼロになった温度であa 第
2表で一印で示したの(よ 抵抗−温度測定で超電導転
移が観測されなかった場合やゼロ抵抗が観測されなかっ
た場合であも 試料No、1〜3を比較すると、希土類元素Lnとして
Nd、Sm、Euのいずれを用いても超電導転移を示す
ことがわかん また 試料No、4〜8を比較するとq
及びrの望ましい範囲として(上4.5<q<8.5及
び1.5<丁く5.5であること第2表 がわかん また試料No、 9〜12を比較すると、C
eの組成比率としてILL O,5<s<3.5の範
囲が望ましいことがわかる。試料No、 13〜20の
比較から望ましいXの範囲としてl;L O< x
< 0 、85であり、しかもSr/E3aの比率が1
のところで最も臨界温度が高くなることがわかん 第2
表に示した特性の比較から特に望ましい組成範囲として
(よ 4.5<q<7.5 r2:4 s=2 0.35<x<0.65 の範囲にある場合であも 本発明の第2の実施例における酸化物超電導材料とその
製造方法を説明すも 第1の実施例で作製した試料No、lを酸素分圧2気圧
(試料No、 21 )、 10気圧(試料No、22
)。
50気圧(試料No、 23 )、200気圧(試料N
o。
o。
24)の高酸素圧の条件で600℃と400℃でそれぞ
れ20時間づつ熱処理を行って酸素を吸収させ、4Mの
試料No、21〜24を得た これらの試料No、21
〜24の抵抗−温度特性を第5図に示しtラ また
オンセット温度とゼロ抵抗温度を第3表に示し九 第3表 この粘気 熱処理の時の酸素分圧が高いほど、試料の抵
抗率の値が小さくなり、超電導転移の温度も高くなるこ
とがわかん 本発明の第3の実施例における酸化物超電導材料とその
製造方法を説明すも 第1の実施例の試料No、 1の仮焼粉を十分に粉砕L
A 2mmx2mmx20mmの直方体にプレス底形し
た つづいて、この成形体を炉内℃ 本実。
れ20時間づつ熱処理を行って酸素を吸収させ、4Mの
試料No、21〜24を得た これらの試料No、21
〜24の抵抗−温度特性を第5図に示しtラ また
オンセット温度とゼロ抵抗温度を第3表に示し九 第3表 この粘気 熱処理の時の酸素分圧が高いほど、試料の抵
抗率の値が小さくなり、超電導転移の温度も高くなるこ
とがわかん 本発明の第3の実施例における酸化物超電導材料とその
製造方法を説明すも 第1の実施例の試料No、 1の仮焼粉を十分に粉砕L
A 2mmx2mmx20mmの直方体にプレス底形し
た つづいて、この成形体を炉内℃ 本実。
流側では窒素ガスを流通させながら900℃で20時間
加熱処理を行って焼結した その眞 酸素ガスを窒素ガ
スに切替えて、50℃/minで冷。
加熱処理を行って焼結した その眞 酸素ガスを窒素ガ
スに切替えて、50℃/minで冷。
却した 冷却隊 600℃で20R肌 400℃で20
時間熱処理を行1.) 酸素を十分に吸収させt4
熱処理後、 そのまま常温まで放冷した炉から取出し
た試料の抵抗−温度特性を通常の4端子法で測定し九
この試料の超電導の開始温度は41にであり、抵抗率ゼ
ロとなる温度は35にでありt4 同様の加熱処理を
酸素分圧が0.1気圧の条件下で行った爪 超電導の開
始温度が41に1 ゼロ抵抗温度が34Kになつ1゜
このことか転 酸素分圧が低い条件で加熱処理した方が
高くなることは明かであも 発明の効果 本発明Cヨ 従来の(LaBa)tcuon系超電導
材料やLaBa*Cut○、系超電導材料と全く異なる
新規な結晶構造を有し 臨界温度40Kを実現すること
が可能な酸化物超電導材料を低コストで製造することが
できるの玄 各種センサやデバイスなどに応用する阪
それぞれの用途に見合った適当な臨界温度を有する超電
導材料を比較的安価に提供することができも
時間熱処理を行1.) 酸素を十分に吸収させt4
熱処理後、 そのまま常温まで放冷した炉から取出し
た試料の抵抗−温度特性を通常の4端子法で測定し九
この試料の超電導の開始温度は41にであり、抵抗率ゼ
ロとなる温度は35にでありt4 同様の加熱処理を
酸素分圧が0.1気圧の条件下で行った爪 超電導の開
始温度が41に1 ゼロ抵抗温度が34Kになつ1゜
このことか転 酸素分圧が低い条件で加熱処理した方が
高くなることは明かであも 発明の効果 本発明Cヨ 従来の(LaBa)tcuon系超電導
材料やLaBa*Cut○、系超電導材料と全く異なる
新規な結晶構造を有し 臨界温度40Kを実現すること
が可能な酸化物超電導材料を低コストで製造することが
できるの玄 各種センサやデバイスなどに応用する阪
それぞれの用途に見合った適当な臨界温度を有する超電
導材料を比較的安価に提供することができも
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1)少なくとも、Ln(Nd、Sm、およびEuから
選ばれた少なくとも一種)、Ba、Sr、Ce、Cu、
Oの元素から構成され組成式がLn_q(Ba_1_−
_xSr_x)_rCe_■Cu_■O_■_■_−_
zで表されq、r、s、xが次の条件 q+r+s=12 4.5<q<8.5 1.5<r<5.5 0.5<s<3.5 0<x<0.85 を満たすものである酸化物超電導材料, (2)q、r、s、xが次の条件 4.5<q<7.5 r=4 s=2 0.35<X<0.65 を満たすものである請求項1記載の酸化物超電導材料。 (3)少なくとLn(Nd、Sm、およびEuから選ば
れた少なくとも一種)、Ba、Sr、Ce、Cu、Oの
元素から構成され、組成式がLn_q(Ba_1_−_
xSr_x)_rCe_■Cu_■O_■_■_−_z
で表され、q、r、s、xが次の条件 q+r+s=12 3.5<q<8.5 1.5<r<5.5 0.5<s<3.5 0<x<0.85 を満たすものである組成物の原料混合物を、酸素雰囲気
で加熱処理を行って焼結し、加熱処理後、酸素雰囲気中
で700℃以下300℃以上の温度で熱処理を行って酸
素を吸収させることにより、酸化物超電導材料を製造す
ることを特徴とする酸化物超電導材料の製造方法。 (4)酸素分圧力が、0.1気圧以下の条件下で加熱処
理を行って焼結する請求項3記載の酸化物超電導材料の
製造方法。 (5)酸素分圧力が、1気圧を越える条件下で熱処理を
行って酸素を吸収させる請求項3記載の酸化物超電導材
料の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1168923A JP2618047B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 酸化物超電導材料とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1168923A JP2618047B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 酸化物超電導材料とその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0333013A true JPH0333013A (ja) | 1991-02-13 |
JP2618047B2 JP2618047B2 (ja) | 1997-06-11 |
Family
ID=15877059
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1168923A Expired - Lifetime JP2618047B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 酸化物超電導材料とその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2618047B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06279140A (ja) * | 1993-03-29 | 1994-10-04 | Ngk Insulators Ltd | 多孔質焼結体の製造方法 |
-
1989
- 1989-06-29 JP JP1168923A patent/JP2618047B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06279140A (ja) * | 1993-03-29 | 1994-10-04 | Ngk Insulators Ltd | 多孔質焼結体の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2618047B2 (ja) | 1997-06-11 |
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