JPH0331346A - 導電性樹脂組成物 - Google Patents
導電性樹脂組成物Info
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- JPH0331346A JPH0331346A JP16528089A JP16528089A JPH0331346A JP H0331346 A JPH0331346 A JP H0331346A JP 16528089 A JP16528089 A JP 16528089A JP 16528089 A JP16528089 A JP 16528089A JP H0331346 A JPH0331346 A JP H0331346A
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- Pallets (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Conductive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は導電性樹脂組成物に関する。さらに詳しくは、
良好な表面導電性を有すると共に表面を摩擦しても用い
た導電材の脱落が全くなく、シリコンウェハもしくはI
CやLSI等の半導体製品の移送用導電性パレットの素
材として用いられる導電性樹脂組成物に関する。
良好な表面導電性を有すると共に表面を摩擦しても用い
た導電材の脱落が全くなく、シリコンウェハもしくはI
CやLSI等の半導体製品の移送用導電性パレットの素
材として用いられる導電性樹脂組成物に関する。
(従来の技術)
従来、シリコンウェハもしくはICやLSI等の半導体
製品の移送に用いる導電性ペレット(射出成形品)の素
材として、ポリスチレン樹脂やポリブチレンテレフタレ
ート樹脂等にカーボンブラックを配合した導電性樹脂組
成物が用いられていた。
製品の移送に用いる導電性ペレット(射出成形品)の素
材として、ポリスチレン樹脂やポリブチレンテレフタレ
ート樹脂等にカーボンブラックを配合した導電性樹脂組
成物が用いられていた。
しかし、該組成物で作られる導電性パレットは移送中の
振動によって、被包装物(シリコンウェハ、IC,LS
I等)が導電性パレット表面と摩擦すると、カーボンブ
ランクが脱落し、周辺を汚染したり、リードフレームに
付着した場合には回路の短絡によるトラブルが発生する
といった問題点がある。この為、移送中の振動によって
導電材等の脱落が全く発生しない素材の要求が高まって
きた。
振動によって、被包装物(シリコンウェハ、IC,LS
I等)が導電性パレット表面と摩擦すると、カーボンブ
ランクが脱落し、周辺を汚染したり、リードフレームに
付着した場合には回路の短絡によるトラブルが発生する
といった問題点がある。この為、移送中の振動によって
導電材等の脱落が全く発生しない素材の要求が高まって
きた。
(発明が解決しようとする課題)
本発明者らは、当初酸パレットの素材として、結晶性ポ
リプロピレンに金属繊維を配合した組成物を検討したが
、結晶性ポリプロピレンに単に金属繊維を配合した組成
物では、射出成形して成形品としたときに、該成形品の
芯層に金属繊維が集中し、表層にはかなり厚い樹脂層が
出来る為に、表面電気抵抗が非常に大きくなってしまい
、実用上問題があることが判った。
リプロピレンに金属繊維を配合した組成物を検討したが
、結晶性ポリプロピレンに単に金属繊維を配合した組成
物では、射出成形して成形品としたときに、該成形品の
芯層に金属繊維が集中し、表層にはかなり厚い樹脂層が
出来る為に、表面電気抵抗が非常に大きくなってしまい
、実用上問題があることが判った。
そこで、前記導電性パレットにかかわる問題点を解消で
きる素材を得るべく検討した結果、結晶性ポリプロピレ
ンに金属繊維および熱硬化樹脂球状微粉体の特定量を配
合した組成物が、成形してパレットとしたときに該パレ
ットの厚み方向への金属繊維の分散を著しく改善し、優
れた表面導電性と、摩擦による導電材の脱落が全くない
導電性パレットを与えることを見出した。
きる素材を得るべく検討した結果、結晶性ポリプロピレ
ンに金属繊維および熱硬化樹脂球状微粉体の特定量を配
合した組成物が、成形してパレットとしたときに該パレ
ットの厚み方向への金属繊維の分散を著しく改善し、優
れた表面導電性と、摩擦による導電材の脱落が全くない
導電性パレットを与えることを見出した。
従って、本発明は導電性パレットの素材として、厚み方
向への金属繊維の分散を改善し、優れた表面導電性と、
摩擦により導電材等が脱落することのない樹脂組成物を
与えることを目的とする。
向への金属繊維の分散を改善し、優れた表面導電性と、
摩擦により導電材等が脱落することのない樹脂組成物を
与えることを目的とする。
(課題を解決するための手段)
すなわち、本発明は結晶性ポリプロピレンに金属繊維3
〜15重量%、熱硬化樹脂球状微粉体15〜40重量%
を配合してなる導電性樹脂組成物である。
〜15重量%、熱硬化樹脂球状微粉体15〜40重量%
を配合してなる導電性樹脂組成物である。
また本発明は前記金属繊維が、好ましくは、ステンレス
繊維であることを特徴とする導電性樹脂組成物である。
繊維であることを特徴とする導電性樹脂組成物である。
本発明で用いる結晶性ポリプロピレンとしてはプロピレ
ンの単独重合体の他、プロピレン成分を少なくとも70
重量%以上含むプロピレンとプロピレン以外のα−オレ
フィン1種以上とのブロックもしくはランダム共重合体
、及びこれらの重合体にアクリル酸や無水マレイン酸等
の不飽和カルボン酸をグラフトした変性ポリプロピレン
が用いられる。α−オレフィンは、プロピレンを除いて
他のエチレン、ブテン、ペンテン等、炭素数2〜12の
ものが好ましい。
ンの単独重合体の他、プロピレン成分を少なくとも70
重量%以上含むプロピレンとプロピレン以外のα−オレ
フィン1種以上とのブロックもしくはランダム共重合体
、及びこれらの重合体にアクリル酸や無水マレイン酸等
の不飽和カルボン酸をグラフトした変性ポリプロピレン
が用いられる。α−オレフィンは、プロピレンを除いて
他のエチレン、ブテン、ペンテン等、炭素数2〜12の
ものが好ましい。
これらのうち、特に、プロピレン・エチレンブロック共
重合体が好ましく用いられる。
重合体が好ましく用いられる。
これらのプロピレン重合体のメルトフローレート(MF
R)は特に制限はないが、10g/10m1n以上、好
ましくは30g/10m1n以上である。金属繊維の無
理な配向による反りの発生が防止できるので組成物の流
動性がよい方が望ましいからである。
R)は特に制限はないが、10g/10m1n以上、好
ましくは30g/10m1n以上である。金属繊維の無
理な配向による反りの発生が防止できるので組成物の流
動性がよい方が望ましいからである。
又、これらのプロピレン重合体には必要に応じて、他の
ポリオレフィン、例えば、エチレン・プロピレンラバー
、エチレン・プロピレン・ジエンラバー、ポリ4−メチ
ルペンテン、エチレン酢酸共重合体等を混合して用いる
ことが出来る。
ポリオレフィン、例えば、エチレン・プロピレンラバー
、エチレン・プロピレン・ジエンラバー、ポリ4−メチ
ルペンテン、エチレン酢酸共重合体等を混合して用いる
ことが出来る。
更に、上記結晶性ポリプロピレンには、その機能を疎外
しない範囲内で耐熱安定剤、耐候剤、滑剤、スリップ剤
、難燃剤、帯電防止剤、核剤、顔料、染料等を配合して
用いても構わない。
しない範囲内で耐熱安定剤、耐候剤、滑剤、スリップ剤
、難燃剤、帯電防止剤、核剤、顔料、染料等を配合して
用いても構わない。
次に、本発明で用いられる金属繊維としては純鉄、炭素
鋼、合金鋼(ステンレス鋼等)、銅及び銅合金、アルミ
ニウム及びアルミニウム合金、亜鉛及び亜鉛合金、チタ
ン及びチタン合金、ニッケル及びニッケル合金、金、銀
等の金属で作られた繊維等が例示され、表面処理された
ものでも構わない。これらは2種以上併用しても差支え
ない。
鋼、合金鋼(ステンレス鋼等)、銅及び銅合金、アルミ
ニウム及びアルミニウム合金、亜鉛及び亜鉛合金、チタ
ン及びチタン合金、ニッケル及びニッケル合金、金、銀
等の金属で作られた繊維等が例示され、表面処理された
ものでも構わない。これらは2種以上併用しても差支え
ない。
これらの金属繊維の中では耐腐食性の点からステンレス
繊維が好ましく用いられる。
繊維が好ましく用いられる。
配合時の取り扱いを容易ならしめ、且つ分散性を良好な
レベルに保つために、金属繊維の繊維長は0.2〜10
mm、繊維径は1〜30−の範囲にあるものが好ましく
用いられる。
レベルに保つために、金属繊維の繊維長は0.2〜10
mm、繊維径は1〜30−の範囲にあるものが好ましく
用いられる。
金属繊維の結晶性ポリプロピレンへの配合割合は3〜1
5重量%が好ましい。金属繊維の結晶性ポリプロピレン
への配合割合が3重量%未満では良好な導電性が得られ
ず、15重量%を超えると樹脂組成物の製造が困難にな
るばかりではなく成形物に反りが発生するので好ましく
ない。
5重量%が好ましい。金属繊維の結晶性ポリプロピレン
への配合割合が3重量%未満では良好な導電性が得られ
ず、15重量%を超えると樹脂組成物の製造が困難にな
るばかりではなく成形物に反りが発生するので好ましく
ない。
本発明で用いられる熱硬化樹脂球状微粉体としては、例
えばフェノール樹脂、キシレン樹脂、ユリア樹脂、メラ
ミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ジアリルフタレー
ト樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、アルキド樹脂
、フラン樹脂、ポリイミド樹脂、ウレタン樹脂などの熱
硬化性樹脂を球状に硬化させて得られる微粉体が用いら
れ、該結晶性ポリプロピレンの溶融加工時に溶融、変形
しないものが良い。
えばフェノール樹脂、キシレン樹脂、ユリア樹脂、メラ
ミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ジアリルフタレー
ト樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、アルキド樹脂
、フラン樹脂、ポリイミド樹脂、ウレタン樹脂などの熱
硬化性樹脂を球状に硬化させて得られる微粉体が用いら
れ、該結晶性ポリプロピレンの溶融加工時に溶融、変形
しないものが良い。
これらの熱硬化樹脂球状微粉体の平均粒径は50−以下
、特に平均粒径10−以下のものが好ましく用いられる
。
、特に平均粒径10−以下のものが好ましく用いられる
。
熱硬化樹脂球状微粉体の結晶性ポリプロピレンへの配合
割合は15〜40重量%が好ましい。熱硬化樹脂球状微
粉体の結晶性ポリプロピレンへの配合割合が15重量%
未満では良好な表面導電性が付与できず、40重量%を
超えると樹脂組成物の製造が困難になるので好ましくな
い。
割合は15〜40重量%が好ましい。熱硬化樹脂球状微
粉体の結晶性ポリプロピレンへの配合割合が15重量%
未満では良好な表面導電性が付与できず、40重量%を
超えると樹脂組成物の製造が困難になるので好ましくな
い。
本発明の樹脂組成物は、通常の押出機、ロール、ニーダ
−、バンバリーミキサ−等の混練装置で、前述の結晶性
ポリプロピレンと導電性繊維及び熱硬化樹脂球状微粉体
を180〜300℃、好ましくは200〜260℃の温
度で溶融混練して得ることができる。
−、バンバリーミキサ−等の混練装置で、前述の結晶性
ポリプロピレンと導電性繊維及び熱硬化樹脂球状微粉体
を180〜300℃、好ましくは200〜260℃の温
度で溶融混練して得ることができる。
(実施例)
以下、実施例及び比較例によって本発明の詳細な説明す
るが、本発明はこれによって限定されるものではない。
るが、本発明はこれによって限定されるものではない。
尚、実施例及び比較例において用いた評価方法は次の通
りである。
りである。
表面電気抵抗:東京電子(+1製表面抵抗計スタックR
−2(改良タイプ;測定レンジ104〜107Ω)及び
スタックTR−3(測定レンジ106〜10”Ω)を用
いてゲートから101離れた位置で任意の2箇所測定し
た。
−2(改良タイプ;測定レンジ104〜107Ω)及び
スタックTR−3(測定レンジ106〜10”Ω)を用
いてゲートから101離れた位置で任意の2箇所測定し
た。
表面摩耗試験:乾式PPC用紙(コピー用紙)の上に1
00gの荷重をのせたものを各成形物の表面に置き、1
00 mmの間隔で往復させ、成形物表面の状態を観察
する。成形物表面に導電材等の異物の発生が見られたも
のをNG、全く異物の発生が見られなかったものをOK
として表現した。
00gの荷重をのせたものを各成形物の表面に置き、1
00 mmの間隔で往復させ、成形物表面の状態を観察
する。成形物表面に導電材等の異物の発生が見られたも
のをNG、全く異物の発生が見られなかったものをOK
として表現した。
反り:成形物を定盤の上に置き、隙間ゲージを用いて成
形物端部の反りを測定し、−辺1501に対して、反り
が0.5 mmを超えるものを反り有、0.51以下の
ものを反り無と判定した。
形物端部の反りを測定し、−辺1501に対して、反り
が0.5 mmを超えるものを反り有、0.51以下の
ものを反り無と判定した。
実施例1〜8、比較例1〜10
結晶性ポリプロピレンとして、エチレン含量8重量%、
メルトフローレート50g/10m1nのプロピレン・
エチレンブロック共重合体を、又、ステンレス繊維は繊
維長5mm5繊維径8−のステンレス繊維(日本端線P
l製、ナスロン)を準備した。
メルトフローレート50g/10m1nのプロピレン・
エチレンブロック共重合体を、又、ステンレス繊維は繊
維長5mm5繊維径8−のステンレス繊維(日本端線P
l製、ナスロン)を準備した。
熱硬化樹脂球状微粉体としては平均粒径3−のシリコー
ン樹脂微粒子(東芝シリコーン0@製、トスパール13
0)、平均粒径2.5−のベンゾグアナミン樹脂(日本
触媒化学工業(lI製、FP100ベンゾグアナミン・
ホルムアルデヒド縮合物)を準備した。
ン樹脂微粒子(東芝シリコーン0@製、トスパール13
0)、平均粒径2.5−のベンゾグアナミン樹脂(日本
触媒化学工業(lI製、FP100ベンゾグアナミン・
ホルムアルデヒド縮合物)を準備した。
結晶性ポリプロピレンとステンレス繊維及び前記熱硬化
樹脂球状微粉体を第1表に示す割合で配合し、各々2軸
押用機を用いて230℃で溶融混練し、ストランド状に
押出しペレタイザーを用いてペレタイズし、導電性樹脂
組成物を得た。
樹脂球状微粉体を第1表に示す割合で配合し、各々2軸
押用機を用いて230℃で溶融混練し、ストランド状に
押出しペレタイザーを用いてペレタイズし、導電性樹脂
組成物を得た。
次に、該組成物を用いて住人ネオマットN350/12
0型射出成形機(住人重機械■製)にて射出温度250
℃、金型温度40℃の成形条件下で各々射出成形を行い
、150 mmX150 mmx 2mm (厚み)の
成形物を得た(金型のゲートは直径211Ilのビンゲ
ートを用いた)、得られた成形物の表面電気抵抗、表面
摩耗性、反りを評価し、その結果を第1表に示した。
0型射出成形機(住人重機械■製)にて射出温度250
℃、金型温度40℃の成形条件下で各々射出成形を行い
、150 mmX150 mmx 2mm (厚み)の
成形物を得た(金型のゲートは直径211Ilのビンゲ
ートを用いた)、得られた成形物の表面電気抵抗、表面
摩耗性、反りを評価し、その結果を第1表に示した。
実施例9
エチレン含111重量%、メルトフローレート45g/
10+++inのプロピレン・エチレンブロック共重合
体47重量%及びエチレン・プロピレンラバー(三井石
油化学■製、タフマーp −0230) 15重量%に
、実施例1で用いたステンレス繊維8重量%とシリコー
ン樹脂微粒子°30重量%とを配合し、2軸押用機を用
いて230℃で溶融混練し、ストランド状に押出し、ペ
レタイザーを用いてペレタイズし、導電性樹脂組成物を
得た。
10+++inのプロピレン・エチレンブロック共重合
体47重量%及びエチレン・プロピレンラバー(三井石
油化学■製、タフマーp −0230) 15重量%に
、実施例1で用いたステンレス繊維8重量%とシリコー
ン樹脂微粒子°30重量%とを配合し、2軸押用機を用
いて230℃で溶融混練し、ストランド状に押出し、ペ
レタイザーを用いてペレタイズし、導電性樹脂組成物を
得た。
次に、該組成物を用いて住人ネオマツ1−N350/1
20型射出成形機(住人重機械01製)にて射出温度2
50℃、金型温度40℃の成形条件下で射出成形を行い
、150 mmX150 mmX 2mm (厚み)の
成形物を得た。得られた成形物の表面電気抵抗は、10
4Ω以下であり、表面摩耗試験結果も良好であり、反り
も0.5+nn+以下と良好であった。
20型射出成形機(住人重機械01製)にて射出温度2
50℃、金型温度40℃の成形条件下で射出成形を行い
、150 mmX150 mmX 2mm (厚み)の
成形物を得た。得られた成形物の表面電気抵抗は、10
4Ω以下であり、表面摩耗試験結果も良好であり、反り
も0.5+nn+以下と良好であった。
比較例11
エチレン含量8重量%、メルトフローレート50g/m
inのプロピレン・エチレンブロック共重合体に平均粒
径30ffip、比表面積950m2/gのカーボンブ
ラック(日本イージー■製、ケッチエンブラックEC)
を12重量%配合し、2軸押用機を用いて、230℃で
溶融混練し、ストランド状に押出しペレタイザーを用い
て導電性樹脂組成物を得た。
inのプロピレン・エチレンブロック共重合体に平均粒
径30ffip、比表面積950m2/gのカーボンブ
ラック(日本イージー■製、ケッチエンブラックEC)
を12重量%配合し、2軸押用機を用いて、230℃で
溶融混練し、ストランド状に押出しペレタイザーを用い
て導電性樹脂組成物を得た。
次に、該組成物を用いて住人ネオマットN 350/1
20型射出成形機(住人重機械■製)にて射出温度25
0℃、金型温度40℃の成形条件下で射出成形を行い1
50 mmX150 mmX 2mm (厚み)の成形
物を得た(金型のゲートは直径2III11のビンゲー
トを用いた)。得られた成形物の表面電気抵抗、表面摩
耗性を評価し、その結果を第1表に示した。
20型射出成形機(住人重機械■製)にて射出温度25
0℃、金型温度40℃の成形条件下で射出成形を行い1
50 mmX150 mmX 2mm (厚み)の成形
物を得た(金型のゲートは直径2III11のビンゲー
トを用いた)。得られた成形物の表面電気抵抗、表面摩
耗性を評価し、その結果を第1表に示した。
(発明の効果)
本発明の導電性樹脂組成物を用いることにより、優れた
表面導電性を有すると共に、従来のカーボンブランクが
配合された樹脂組成物で問題となった摩擦による導電材
等の脱落が全く無い導電性パレットが得られる。又、従
来のカーボンブランクが配合された樹脂組成物と異なり
、自由に着色できるという利点もある。従って、本発明
の導電性樹脂組成物はシリコンウェハもしくはICやり
、SI等、半導体製品の移送に用いる導電性パレットば
かりでなく各種電子部品の包材用素材として好適に用い
ることができる。
表面導電性を有すると共に、従来のカーボンブランクが
配合された樹脂組成物で問題となった摩擦による導電材
等の脱落が全く無い導電性パレットが得られる。又、従
来のカーボンブランクが配合された樹脂組成物と異なり
、自由に着色できるという利点もある。従って、本発明
の導電性樹脂組成物はシリコンウェハもしくはICやり
、SI等、半導体製品の移送に用いる導電性パレットば
かりでなく各種電子部品の包材用素材として好適に用い
ることができる。
Claims (2)
- (1)結晶性ポリプロピレンに金属繊維3〜15重量%
、熱硬化樹脂球状微粉体15〜40重量%を配合してな
る導電性樹脂組成物。 - (2)金属繊維がステンレス繊維であることを特徴とす
る請求項1記載の導電性樹脂組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1165280A JP2785136B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 導電性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1165280A JP2785136B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 導電性樹脂組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0331346A true JPH0331346A (ja) | 1991-02-12 |
JP2785136B2 JP2785136B2 (ja) | 1998-08-13 |
Family
ID=15809332
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1165280A Expired - Lifetime JP2785136B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 導電性樹脂組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2785136B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5776957B2 (ja) | 2010-10-29 | 2015-09-09 | ナガセケムテックス株式会社 | 熱硬化型導電性コーティング用組成物、光学フィルム及びプロテクトフィルム |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61195140A (ja) * | 1985-02-26 | 1986-08-29 | Kishimoto Akira | 金属繊維充填オレフイン系樹脂組成物 |
-
1989
- 1989-06-29 JP JP1165280A patent/JP2785136B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61195140A (ja) * | 1985-02-26 | 1986-08-29 | Kishimoto Akira | 金属繊維充填オレフイン系樹脂組成物 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2785136B2 (ja) | 1998-08-13 |
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