JPH03289544A

JPH03289544A - カラーフィルタの表面検査装置

Info

Publication number: JPH03289544A
Application number: JP9176990A
Authority: JP
Inventors: Tamahiko Nishiki; 玲彦西木; Katsuzo Uenishi; 上西　勝三; Naoji Hayashi; 林　直司; Mutsuhiro Sekido; 関戸　睦弘
Original assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Current assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date: 1990-04-06
Filing date: 1990-04-06
Publication date: 1991-12-19
Anticipated expiration: 2014-08-23
Also published as: JP2938126B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、例えば、液晶デイスプレィ等に組み込まれる
カラーフィルタの表面検査装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第２図はカラーフィルタを備えた液晶デイスプレィの断
面図である。同図に示されるように、液晶デイスプレィ
は、ガラス基板２１上に背面電極２２と配向膜２３とを
備えた背面板２４に、カラス基板２５にカラーフィルタ
２６と透明電極２７と配向膜２８とを備えた前面板（カ
ラーフィルタ基板）２９を対向させ、これらの間に液晶
層３０を形成した構造を持つ。そして、液晶層３０をＴ
Ｎモード又はＳＴＮモードでブラックシャッタとして動
作させ、液晶層３０に重なるカラーフィルタ赤（Ｒ）、
緑（Ｇ）、青（Ｂ）の透過光を制御してカラー表示をす
る。

ところで、液晶デイスプレィにおいては、液晶層の厚さ
によりコントラストが大きく変わる。第３図はＴＮモー
ドにより液晶層をブラックシャッタとして動作させたと
きの液晶層の厚さ（セル間隔）とコントラスト比との関
係を示す図である。

従って、カラーフィルタの表面に異物の付着や傷等によ
る凹凸が生じると液晶層の厚さが不均一になり、このた
めブラックシャッタの特性が不均一になってコントラス
ト比にむらが生じ、結果的に液晶デイスプレィの表示品
質が低下する。特に、大画面デイスプレィ用の大面積の
カラーフィルタにあってはこのような不具合の発生が多
く、このためカラーフィルタの検査は極めて重要である
。

しかし、異なる色のフィルタを配列したカラーフィルタ
は、その色により反射又は透過する波長領域が異なるた
め、検査対象の色の違いを考慮していない従来のパター
ン検査用の装置を用いることはきなかった。このため従
来は暗室内において強い光をカラーフィルタに照射し目
視により表面検査を行っていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、目視検査により検出できる欠陥は、熟練
者であっても２０μｍ程度までであり、また、セル間隔
に影響を与える欠陥は５μｍ以上であることから、５〜
２０μｍ程度の欠陥を検出できないという問題があった
。

また、目視検査では習熟した作業者であっても疲労等の
人的要因による検査ミスが生じることがあり、最終的に
は液晶デイスプレィの歩留まりの低下を招くという問題
があった。そして、この問題は検査する基板が大型化す
るほど顕著であった。

そこで、本発明は上記したような従来技術の課題を解決
するためになされたものであり、その目的とするところ
は、カラーフィルタの欠陥の有無及びその位置を正確に
検出できる信頼性の高いカラーフィルタの表面検査装置
を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明（第一の発明）に係るカラーフィルタの表面検査
装置は、カラーフィルタの表面に光を照射する光源と、
上記光源により光照射された上記カラーフィルタの表面
を撮影し映像信号を出力するテレビカメラと、上記カラ
ーフィルタを載せ、上記テレビカメラで撮影される上記
カラーフィルタの位置を変えるステージと、上記ステー
ジの動作を制御するステージ駆動手段と、上記テレビカ
メラが出力する映像信号から輝度信号を分離する輝度信
号分離手段と、上記輝度信号分離手段からの輝度信号を
基準信号と比較するコンパレータと、上記テレビカメラ
が出力する映像信号から水平同期信号と垂直同期信号と
を分離する同期信号分離手段と、上記コンパレータの比
較結果に基づいてカラーフィルタの欠陥を検出し、欠陥
有りと判断されたときの欠陥の座標を上記水平同期信号
、上記垂直同期信号及び上記ステージ位置に基づいて検
出する欠陥座標検出手段とを有することによって構成さ
れる。

また、他の発明（第二の発明）は、上記第一の発明をス
トライプパターンのカラーフィルタに適用したもので、
光源により光照射されたカラーフィルタの表面を、水平
走査線がカラーフィルタのストライプパターンを横切る
ようにテレビカメラで撮影し映像信号を出力するよう構
成されている。

さらに、他の発明（第三の発明）は、上記第一の発明を
ストライプパターンのカラーフィルタに適用したもので
、カラーフィルタの表面にほぼ垂直に光を照射すると共
に、上記カラーフィルタの表面に斜め横方向から光を照
射する光源を備え、この光源により光照射されたカラー
フィルタの表面を、水平走査線がカラーフィルタのスト
ライプパターンを横切るようにテレビカメラで撮影し映
像信号を出力するよう構成されている。

また、さらに他の発明（第四の発明）は、上記第一の発
明をストライプパターンのカラーフィルタに適用したも
ので、光源により光照射されたカラーフィルタの表面を
、水平走査線がカラーフィルタのストライプパターンと
平行になるようにテレビカメラで撮影し映像信号を出力
するよう構成されている。

また、さらに他の発明（第五の発明）は、上記第一の発
明をストライプパターンのカラーフィルタに適用しなも
ので、カラーフィルタの表面にほぼ垂直に光を照射する
と共に、上記カラーフィルタの表面に斜め上方向から光
を照射する光源を備え、この光源により光照射されたカ
ラーフィルタの表面を、水平走査線がカラーフィルタの
ストライプパターンと平行になるようにテレビカメラで
撮影し映像信号を出力するよう構成されている。

〔作　用〕

上記第一乃至第五の発明においては、光源によりカラー
フィルタの表面に光を照射し、テレビカメラよりカラー
フィルタの表面を撮影して映像信号を出力し、この映像
信号から輝度信号を分離し、この輝度信号を基準信号と
比較し、この比較結果に基づいて欠陥の有無を判断して
いる。また、欠陥の位置（欠陥座標）は、カラーフィル
タを載せたステージ位置と、映像信号から分離された水
平同期信号と垂直同期信号とに基づいて欠陥座標検出手
段により検出される。

〔実施例〕

以下に、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。

第１図は本発明に係るカラーフィルタの表面検査装置の
一実施例を示す構成図である。

同図に示されるように、本実施例のカラーフィルタの表
面検査装置には、検査対象となるストライプパターンを
有するカラーフィルタＦを載せ、このカラーフィルタＦ
をＸ方向又はこれに直交するＸ方向に移動させることが
できるステージ１と、このステージ１の動作を制御する
ステージ駆動手段としてのステージ駆動回路２とが備え
られている。

また、本実施例には、カラーフィルタＦに光を照射する
ための光源３と、カラーフィルタＦの真上に配置されて
おり光源３からの光を折り返してカラーフィルタＦに垂
直上方向から光照射するハーフミラ−４と、このハーフ
ミラ−４を通してカラーフィルタＦの表面を水平走査線
がカラーフィルタＦのストライプパターンを横切るよう
に撮影してＮＴＳＣ方式の映像信号を出力するテレビカ
メラ５とが備えられている。尚、テレビカメラ５にはレ
ンズ等の拡大光学系が備えられている。

さらに、本実施例には、テレビカメラ５が出力する映像
信号から輝度信号Ｙを分離する輝度信号分離手段として
の輝度信号分離回路６と、この輝度信号Ｙの比較対象と
なる基準信号Ｓを出力する基準信号発生手段としての基
準信号発生回路７と、この基準信号Ｓと輝度信号Ｙとを
比較するコンパレータ８とが伺えられている。尚、コン
パレータ８としては輝度信号Ｙの上限ＳＨと下限Ｓ、の
基準信号を任意に設定可能なものを用いる。

また、本実施例には、テレビカメラ５が出力する映像信
号から水平同期信号Ｈと垂直同期信号■とを分離する同
期信号分離手段としての同期信号分離回路９と、コンパ
レータ８の出力からカラーフィルタＦの欠陥を検出し、
欠陥有りと判断されたときの欠陥の座標を水平同期信号
Ｈ１垂直同期信号Ｖ及びステージ１の位置に基づいて検
出する欠陥座標検出手段としての欠陥座標検出回路１０
とを有する。

そして、上記構成を有する本実施例は、コンピュータ１
１の指令により以下のように動作する。

先ず、映像信号の走査線方向とストライプパターンが垂
直になるようにステージ１に載せ、ステージ１をＸ方向
及びＸ方向に移動させてカラーフィルタＦの撮影位置１
２を決める。ここで、第４図（ａ）は本実施例の撮影位
置１２を示す説明図、同図（ｂ）はテレビカメラ５の水
平走査線方向Ａと赤、緑、青よりなるストライプパター
ンＦＲ。

Ｆｏ、Ｆ８の長手方向が垂直になっている場合を示す説
明図である。

そして、ストライプパターンを有するカラーフィルタＦ
の撮影位１ｆｆｌ１２にハーフミラ−４を介して光源３
の光を垂直に照射し、この光照射されたカラーフィルタ
Ｆの撮影位置１２をテレビカメラ５により撮影する。こ
のときの映像信号から輝度信号分離回路５により輝度信
号Ｙを分離し、この輝度信号Ｙをコンパレータ８により
基準信号Ｓと比較し、この比較結果に基づいて欠陥の有
無を判断する。ここで、第５図（ａ）乃至（ｃ）はカラ
ーフィルタＦの欠陥の有無判断の仕方を説明するための
ものであり、ガラス基板１３上のカラーフィルタＦの断
面形状と輝度信号Ｙの大きさを示す図である。

第５図（ａ）乃至（ｃ）に基づいて、カラーフィルタＦ
の欠陥の有無判断の仕方を説明すると、先ず、同図（ａ
）に示される正常な表面のカラーフィルタＦを水平走査
方向Ａに走査した場合には、輝度信号Ｙはカラーフィル
タＦのストライプパターンの境界部分で僅かに低下する
か、基準信号Ｓ、以下（又は基準信号８１１以上）とは
ならず、欠陥なしの判断をする。ところが、同図（ｂ）
に示されるようにカラーフィルタＦの表面に部分的に凹
部がある場合、又は、同図（ｃ）に示されるようにカラ
ーフィルタＦの表面に部分的に凸部かある場合には、輝
度信号Ｙは凹部又は凸部で大きく変化して基準信号Ｓ、
以下となり欠陥ありの判断をする。

欠陥位置検出回路１０は、欠陥ありの判断がなされたと
きの水平同期信号Ｈと垂直同期信号Ｖとから画面内での
異常箇所の位置を求め、ステージ１位置よりカラーフィ
ルタＦ内での座標をコンピュータ１１により計算し、記
憶する。

但し、第５図（ｂ）及び（ｃ）に示されるように欠陥が
１個であっても輝度変化が複数回発生することがあるの
で、輝度変化の発生時点より換算されたカラーフィルタ
Ｆ上の実距離が一定値（例えば、１００μｍ）以下であ
れば１個の欠陥と判定する。

上記のような一画面の検査が終了すると、ステージ１が
一画面分の距離だけ移動し、次の画面について同様に検
査を行う。そして、カラーフィルタＦのすべてのストラ
イプパターンを検査し終えた後、全欠陥位置情報をコン
ピュータ１１から出力する。

以上に述べたように、本実施例によれば、ストライプパ
ターンを有するカラーフィルタＦの表面形状の異常の有
無を映像信号の輝度信号Ｙから検出するので、目視検査
で検出できなかった５〜２０μｍの欠陥も検出可能とな
った。また、検査において、人的要因を排除したので、
信頼性の高い検査が可能になった。また、欠陥位置の検
出もでき、且つ、高速処理が可能となった。

第６図は本発明に係るカラーフィルタの表面検査装置の
他の実施例を示す構成図である。同図において、第１図
の実施例と同一の構成部分には同一の符号を付して説明
すると、第６図の実施例はカラーフィルタＦに垂直方向
に光照射するための光源３の他にカラーフィルタＦに斜
め横方向から光照射する光源３ａを備えている点が第１
図の実施例と相違する。そして、この第６図の実施例に
おいては、第１図の実施例と同様にカラーフィルタＦの
撮影位置１２の設定をし、この撮影位置１２をテレビカ
メラ５により撮影し、このときの映像信号に基づく輝度
信号Ｙより欠陥の有無を判断する。

ここで、第７図（ａ）乃至（ｃ）は第６図の実施例によ
るカラーフィルタＦの欠陥の有無判断の仕方を説明する
ためのものであり、カラス基板１３上のカラーフィルタ
Ｆの断面形状と輝度信号Ｙの大きさを示す図である。同
図（ａ）乃至（ｃ）に基づいて、カラーフィルタＦの欠
陥の有無判断の仕方を説明すると、先ず、同図（ａ）に
示される正常な表面のカラーフィルタＦを水平走査方向
Ａに走査して得られた輝度信号ＹはカラーフィルタＦの
ストライプパターンの境界部分で僅かに上下するが、基
準信号Ｓ、以下又は基準信号８１以上とはならず、欠陥
なしの判断をする。ところが、同図（ｂ）に示されるよ
うにカラーフィルタＦの表面に部分的に凹部がある場合
、又は、同図（ｃ）に示されるようにカラーフィルタＦ
の表面に部分的に凸部がある場合には、輝度信号Ｙは凹
部又は凸部で大きく変化して基準信号８１以下又は基準
信号３０以上となる。すると、欠陥位置検出回路１０で
欠陥ありの判断がなされ、このときの水平同期信号Ｈと
垂直同期信号Ｖとから画面内での異常箇所の位置を求め
、ステージ１位置よりカラーフィルタＦ内での座標をコ
ンピュータ１１により計算し、記憶する。

尚、第６図の実施例において垂直方向からの照明だけで
なく水平に近い横方向からのより強い照明を行うのは、
カラーフィルタＦの表面形状及び材質によっては、垂直
方向からの照明だけでは凹凸があっても大きな輝度差が
得られない場合があるので、より欠陥を検出し易くする
ためである。

また、上記以外の構成及び作用は上記第１図の実施例と
同一なのでその説明を省略する。

第８図は本発明に係るカラーフィルタの表面検査装置の
さらに他の実施例を示す構成図である。

同図において、第１図の実施例と同一の構成部分には同
一の符号を付して説明すると、第８図の実施例はカラー
フィルタＦのストライプパターンの長手方向に平行な方
向に水平走査して撮影を行っている点が第１図の実施例
と相違する。ここで、第９図（ａ）はこの実施例の撮影
位置１２を示す説明図、同図（ｂ）はテレビカメラ５の
走査線方向Ｂと赤、緑、青よりなるストライプパターン
ＦＲ”　Ｇ　”　Ｂの長手方向が平行になっている場合
を示す説明図である。

そして、この第８図の実施例においては、第１図の実施
例と同様にカラーフィルタＦの撮影位置１２の設定をし
、この撮影位置１２をテレビカメラ５により撮影し、こ
のときの映像信号に基づく輝度信号Ｙより欠陥の有無を
判断する。ここで、第１０図（ａ）乃至（Ｃ）は第８図
の実施例によるカラーフィルタＦの欠陥の有無判断の仕
方を説明するためのものであり、ガラス基板１３上のカ
ラーフィルタＦの断面形状と輝度信号Ｙの大きさを示す
図である。同図（ａ）乃至（ｃ）に基づいてカラーフィ
ルタＦの欠陥の有無判断の仕方を説明すると、先ず、同
図＜ａ）に示される正常な表面のカラーフィルタＦをそ
のストライブパターンの長手方向に平行な水平走査方向
Ｂ（紙面に垂直な方向）に走査して得られた輝度信号Ｙ
は一定しており基準信号Ｓ、以下（スは基準信号ｓＨ以
上）とはならず、欠陥なしの判断をする。ところが、同
図（ｂ）に示されるようにカラーフィルタＦの表面に部
分的に凹部がある場合、又は、同図（Ｃ）に示されるよ
うにカラーフィルタＦの表面に部分的に凸部がある場合
には、輝度信号Ｙは凹部又は凸部で大きく変化して基準
信号Ｓ、以下となる。

尚、同図（ｂ）及び（Ｃ）のＬｌ、Ｌ２．Ｌ３゜Ｌ４は
走査位置を示しており、これらの位置を紙面に垂直方向
Ｂに走査した場合の輝度信号Ｙの変化の様子がそれぞれ
Ｙｌ、Ｙ２．Ｙ３．Ｙ４で示されている。欠陥位置検出
回路１０で欠陥ありの判断がなされたときの水平同期信
号Ｈと垂直同期信号■とから画面内での異常箇所の位置
を求め、ステージ１位置よりカラーフィルタＦ内でのＮ
標をコンピュータ１１により計算し、記憶する。

尚、上記以外の構成及び作用は上記第１図の実施例と同
一なのでその説明を省略する。

第１１図は本発明に係るカラーフィルタの表面検査装置
のさらに他の実施例を示す構成図である。

同図において、第８図の実施例と同一の構成部分には同
一の符号を付して説明すると、第１１図の実施例はカラ
ーフィルタＦに垂直方向に光照射するための光源３の他
にカラーフィルタＦに斜め横方向から光照射する光源３
ａを備えている点が第８図の実施例と相違する。そして
、この第１１図の実施例においては、第８図の実施例と
同様にカラーフィルタＦの撮影位置１２の設定をし、こ
の撮影位置１２をテレビカメラ５により撮影し、このと
きの映像信号に基づく輝度信号Ｙより欠陥の有無を判断
する。

ここで、第１２図（ａ）乃至（Ｃ）は第１１図の実施例
によるカラーフィルタＦの欠陥の有無判断の仕方を説明
するためのものであり、ガラス基板１３上のカラーフィ
ルタＦの断面形状とこのとき輝度信号Ｙの大きさを示す
図である。同図（ａ＞乃至（ｃ）に基づいて、カラーフ
ィルタＦの欠陥の有無判断の仕方を説明すると、先ず、
同図（ａ）に示される正常な表面のカラーフィルタＦを
水平走査方向Ｂに走査して得られた輝度信号Ｙはカラー
フィルタＦのストライプパターンの境界部分で僅かに低
下するが、基準信号Ｓ、以下（又は基準信号Ｓ　以上）
とはならす、欠陥なしの判断をす■ る、ところが、同図（ｂ）に示されるようにカラーフィ
ルタＦの表面に部分的に凹部がある場合、又は、同図（
Ｃ）に示されるようにカラーフィルタＦの表面に部分的
に凸部がある場合には、輝度信号Ｙは凹部スは凸部で大
きく変化して基準信号８１以下又は基準信号ＳＨ以上と
なる。尚、同図（ｂ）及び（ｃ）のＬ５．Ｌ６．Ｌ７．
Ｌ８は走査位置を示しており、これらの位置を紙面に垂
直方向Ｂに走査した場合の輝度信号Ｙの変化の様子がそ
れぞれＹｓ　、Ｙｅ　、Ｙ７　、Ｙ８で示されている。

そして、欠陥位置検出回路１ｏで欠陥ありの判断がなさ
れたときの水平同期信号Ｈと垂直同期信号■とから画面
内での異常箇所の位置を求め、ステージ１位置よりカラ
ーフィルタＦ内での座標をコンピュータ１１により計算
し、記憶する。

尚、第１１図の実施例において垂直方向からの照明だけ
でなく水平に近い横方向からのより強い照明を行うのは
、カラーフィルタＦの表面形状及び材質によっては、垂
直方向からの照明だけでは凹凸があっても大きな輝度が
得られない場合があるのでより欠陥を検出し易くするた
めである。また、上記以外の構成及び作用は上記第８図
の実施例と同一なのでその説明を省略する。

さらに、上記実施例ではストライプパターンを有するカ
ラーフィルタについて説明したが上記発明はこれには限
定されない、ここで、第１３図（ａ）、（ｂ）は上記実
施例により検査可能なカラーフィルタＦの配色パターン
の他の例を示すものあり、同図（ａ）はモザイク配置、
同図（ｂ）はデルタ配置を示す。但し、このパターンを
検査するためには必ず水平走査線Ａがカラーフィルタの
境界に交差するので、第１図及び第６図の実施例に適用
できる。

〔発明の効果〕

以上に述べたように、本発明によれば、ストライプパタ
ーンを有するカラーフィルタの表面形状の異常の有無を
テレビカメラの映像信号の輝度信号から検出するので、
目視検査で検出できなかった欠陥も検出可能となった。

また、検査において、人的要因を排除したので、信頼性
の高い検査が可能になった。また、欠陥位置の検出もで
き、且つ、高速処理が可能となった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るカラーフィルタの表面検査装置の
一実施例を示す構成図、第２図は従来のカラーフィルタを備えた液晶デイスプレ
ィの断面図、第３図はＴＮモードにより液晶層をブラックシャッタと
して動作させたときの液晶層の厚さ（セル間隔）とコン
トラスト比との関係を示す図、第４図＜ａ）、（ｂ）は
テレビカメラの走査線方向Ａとストライプパターンの長
手方向が垂直になっている場合を示す説明図、第５図（ａ）乃至ＣＣ）はそれぞれカラーフィルタの断
面形状とこのとき第１図の実施例により検出された輝度
信号の大きさを示す図、第６図は本発明に係るカラーフ
ィルタの表面検査装置の他の実施例を示す構成図、第７図（ａ＞乃至（ｃ）はそれぞれカラーフィルタの断
面形状と第６図の実施例により検出された輝度信号の大
きさを示す図、第８図は本発明に係るカラーフィルタの表面検査装置の
さらに他の実施例を示す構成図、第９図（ａ）、（ｂ）
は撮影位置を示す説明図とテレビカメラ５の走査線方向
Ｂとストライプパターンを説明図、第１０図（ａ）乃至（ｃ）はそれぞれカラーフィルタの
断面形状と第６図の実施例により検出された輝度信号の
大きさを示す図、第１１図は本発明に係るカラーフィルタの表面検査装置
のさらに他の実施例を示す構成図、第１２図（ａ）乃至
（Ｃ）はそれぞれカラーフィルタの断面形状と第１１図
の実施例により検出された輝度信号の大きさを示す図、１；第１３図（ａ）、（ｂ）耐査可能なカラーフィルタＦの
他の例を示す図である。１・・・ステージ２・・・ステージ駆動回路３・・・光源４・・・ハーフミラ− ５・・・テレビカメラ６・・・輝度信号分離回路７・・・基準信号発生回路８・・・コンパレータ９・・・同期信号分離回路１０・・・欠陥座標検出回路１１・・・コンピュータ１２・・・撮影位置Ａ、　Ｂ・・・水平走査方向Ｆ・・・カラーフィルタＹ・・・輝度信号Ｈ・・・水平同期信号 ■・・・垂直同期信号

Claims

【特許請求の範囲】

（１）カラーフィルタの表面に光を照射する光源と、上記光源により光照射された上記カラーフィルタの表面
を撮影し映像信号を出力するテレビカメラと、上記カラーフィルタを載せ、上記テレビカメラで撮影さ
れる上記カラーフィルタの位置を変えるステージと、上記ステージの動作を制御するステージ駆動手段と、上記テレビカメラが出力する映像信号から輝度信号を分
離する輝度信号分離手段と、上記輝度信号分離手段からの輝度信号を基準信号と比較
するコンパレータと、上記テレビカメラが出力する映像信号から水平同期信号
と垂直同期信号とを分離する同期信号分離手段と、上記コンパレータの比較結果に基づいてカラーフィルタ
の欠陥を検出し、欠陥有りと判断されたときの欠陥の座
標を上記水平同期信号、上記垂直同期信号及び上記ステ
ージ位置に基づいて検出する欠陥座標検出手段とを有す
ることを特徴とするカラーフィルタの表面検査装置。
（２）ストライプパターンからなるカラーフィルタの表
面にほぼ垂直に光を照射する光源と、上記光源により光
照射された上記カラーフィルタの表面を、水平走査線が
上記カラーフィルタのストライプパターンを横切るよう
に撮影し映像信号を出力するテレビカメラと、上記カラーフィルタを載せ、上記テレビカメラで撮影さ
れる上記カラーフィルタの位置を変えるステージと、上記ステージの動作を制御するステージ駆動手段と、上記テレビカメラが出力する映像信号から輝度信号を分
離する輝度信号分離手段と、上記輝度信号分離手段からの輝度信号を基準信号と比較
するコンパレータと、上記テレビカメラが出力する映像信号から水平同期信号
と垂直同期信号とを分離する同期信号分離手段と、上記コンパレータの比較結果に基づいてカラーフィルタ
の欠陥を検出し、欠陥有りと判断されたときの欠陥の座
標を上記水平同期信号、上記垂直同期信号及び上記ステ
ージ位置に基づいて検出する欠陥座標検出手段とを有す
ることを特徴とするカラーフィルタの表面検査装置。
（３）上記光源が、ストライプパターンからなる上記カ
ラーフィルタの表面にほぼ垂直に光を照射すると共に、
上記カラーフィルタの表面に斜め横方向から光を照射す
ることを特徴とする請求項２記載のカラーフィルタの表
面検査装置。
（４）ストライプパターンからなるカラーフィルタの表
面にほぼ垂直に光を照射する光源と、上記光源により光
照射された上記カラーフィルタの表面を、水平走査線が
上記カラーフィルタのストライプパターンと平行になる
ように撮影し映像信号を出力するテレビカメラと、上記カラーフィルタを載せ、上記テレビカメラで撮影さ
れる上記カラーフィルタの位置を変えるステージと、上記ステージの動作を制御するステージ駆動手段と、上記テレビカメラが出力する映像信号から輝度信号を分
離する輝度信号分離手段と、上記輝度信号分離手段からの輝度信号を基準信号と比較
するコンパレータと、上記テレビカメラが出力する映像信号から水平同期信号
と垂直同期信号とを分離する同期信号分離手段と、上記コンパレータの比較結果に基づいてカラーフィルタ
の欠陥を検出し、欠陥有りと判断されたときの欠陥の座
標を上記水平同期信号、上記垂直同期信号及び上記ステ
ージ位置に基づいて検出する欠陥座標検出手段とを有す
ることを特徴とするカラーフィルタの表面検査装置。
（５）上記光源が、ストライプパターンからなる上記カ
ラーフィルタの表面にほぼ垂直に光を照射すると共に、
上記カラーフィルタの表面に斜め横方向から光を照射す
ることを特徴とする請求項４記載のカラーフィルタの表
面検査装置。