JPH08178797A - フラットパネルディスプレイの表示欠陥抽出方法及びそのための装置 - Google Patents
フラットパネルディスプレイの表示欠陥抽出方法及びそのための装置Info
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- JPH08178797A JPH08178797A JP32029794A JP32029794A JPH08178797A JP H08178797 A JPH08178797 A JP H08178797A JP 32029794 A JP32029794 A JP 32029794A JP 32029794 A JP32029794 A JP 32029794A JP H08178797 A JPH08178797 A JP H08178797A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 モアレの影響を抑制して、容易に欠陥が判定
できるようなフラットパネルディスプレイの表示欠陥を
抽出する。 【構成】 ドットマトリックス型フラットパネルディス
プレイの表示状態を固体撮像素子による画像データを用
いて、その表示状態を検査するフラットパネルディスプ
レイの表示欠陥抽出方法において、前記ＣＣＤ２２上で
結像したドットマトリックス型フラットパネルディスプ
レイパターンを撮像し、この撮像ポジションに対し、前
記結像したドットマトリックス型フラットパネルディス
プレイパターンのＸ及びＹ方向のピッチの１／２だけＣ
ＣＤ２２を移動させた撮像ポジションで、ドットマトリ
ックス型フラットパネルディスプレイパターンを撮像
し、上記各撮像による画像データを合成し、画像データ
に含まれるモアレ成分を抑制して表示欠陥を抽出する。
できるようなフラットパネルディスプレイの表示欠陥を
抽出する。 【構成】 ドットマトリックス型フラットパネルディス
プレイの表示状態を固体撮像素子による画像データを用
いて、その表示状態を検査するフラットパネルディスプ
レイの表示欠陥抽出方法において、前記ＣＣＤ２２上で
結像したドットマトリックス型フラットパネルディスプ
レイパターンを撮像し、この撮像ポジションに対し、前
記結像したドットマトリックス型フラットパネルディス
プレイパターンのＸ及びＹ方向のピッチの１／２だけＣ
ＣＤ２２を移動させた撮像ポジションで、ドットマトリ
ックス型フラットパネルディスプレイパターンを撮像
し、上記各撮像による画像データを合成し、画像データ
に含まれるモアレ成分を抑制して表示欠陥を抽出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＣＣＤなどの固体撮像
素子により、ドットマトリックス型フラットパネルディ
スプレイの表示を撮像した画像データから、表示欠陥を
抽出する方法及びそのための装置に関するものである。
素子により、ドットマトリックス型フラットパネルディ
スプレイの表示を撮像した画像データから、表示欠陥を
抽出する方法及びそのための装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）の最
終点灯検査は、目視による官能検査によっていたため、
線欠陥や点欠陥は容易に検知できるが、コントラストの
不均一や、色の不均一などの連続的に変化する欠陥が検
知しにくく、かつ定量化や欠陥座標の特定が困難であっ
た。
終点灯検査は、目視による官能検査によっていたため、
線欠陥や点欠陥は容易に検知できるが、コントラストの
不均一や、色の不均一などの連続的に変化する欠陥が検
知しにくく、かつ定量化や欠陥座標の特定が困難であっ
た。
【０００３】一方、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌ
ｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）は、多方面に応用されており、そ
の一分野として、ドットマトリックス型フラットパネル
ディスプレイの表示状態検査にも用いられるようになっ
てきている。図１０はかかる従来のドットマトリックス
型フラットパネルディスプレイの一例を示しており、図
１１はそのドットマトリックス型フラットパネルディス
プレイのＡ部の拡大図、図１２は図１１のＡ−Ａ線断面
図である。
ｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）は、多方面に応用されており、そ
の一分野として、ドットマトリックス型フラットパネル
ディスプレイの表示状態検査にも用いられるようになっ
てきている。図１０はかかる従来のドットマトリックス
型フラットパネルディスプレイの一例を示しており、図
１１はそのドットマトリックス型フラットパネルディス
プレイのＡ部の拡大図、図１２は図１１のＡ−Ａ線断面
図である。
【０００４】これらの図において、１はドットマトリッ
クス型フラットパネルディスプレイであり、このフラッ
トパネルディスプレイ１は、外部からみると、図１１に
示すように、遮光膜２、開口部３が現れ、内部構造とし
ては、図１２に示すように、ガラス基板４、偏光膜５、
対向電極６、画素電極７、データ線８、配向膜９、液晶
１０を有している。
クス型フラットパネルディスプレイであり、このフラッ
トパネルディスプレイ１は、外部からみると、図１１に
示すように、遮光膜２、開口部３が現れ、内部構造とし
ては、図１２に示すように、ガラス基板４、偏光膜５、
対向電極６、画素電極７、データ線８、配向膜９、液晶
１０を有している。
【０００５】このようなドットマトリックス型フラット
パネルディスプレイ１を、図１３に示すように、ＣＣＤ
カメラ１１のレンズ１２を介して、そのディスプレイ１
のＣＣＤ１３上への結像１４がＣＣＤ１３で撮像され
る。すなわち、ドットマトリックス型フラットパネルデ
ィスプレイ１の点灯状態を、ＣＣＤカメラ１１により撮
像して、その画像データから表示欠陥の座標・程度・種
別を検査することが考えられている。
パネルディスプレイ１を、図１３に示すように、ＣＣＤ
カメラ１１のレンズ１２を介して、そのディスプレイ１
のＣＣＤ１３上への結像１４がＣＣＤ１３で撮像され
る。すなわち、ドットマトリックス型フラットパネルデ
ィスプレイ１の点灯状態を、ＣＣＤカメラ１１により撮
像して、その画像データから表示欠陥の座標・程度・種
別を検査することが考えられている。
【０００６】ここで、検査効率という観点からは、ドッ
トマトリックス型フラットパネルディスプレイ１の表示
領域の全面が、一度に撮像されることが好ましい。しか
しながら、現在、ノートパソコン等に多用されるＬＣＤ
は、約３０万程度の画素（例えば６４０×４８０画素）
を有しており、これを撮像するＣＣＤは、ＬＣＤの画素
数と同程度の３８万個程度（例えばソニー社製ＩＣＸＯ
３８ＡＬで７６８×４９４画素）が必要である。
トマトリックス型フラットパネルディスプレイ１の表示
領域の全面が、一度に撮像されることが好ましい。しか
しながら、現在、ノートパソコン等に多用されるＬＣＤ
は、約３０万程度の画素（例えば６４０×４８０画素）
を有しており、これを撮像するＣＣＤは、ＬＣＤの画素
数と同程度の３８万個程度（例えばソニー社製ＩＣＸＯ
３８ＡＬで７６８×４９４画素）が必要である。
【０００７】すなわち、被検査対象であるＬＣＤの画素
と、撮像するＣＣＤの画素が、ほぼ１：１の対応をする
ことになる。この時、欠陥の判断は、ＬＣＤの１画素単
位で十分であるが、ここでＣＣＤで画像情報を標本化す
る際の“折り返し歪”の問題が発生する。ここでは薄膜
トランジスタ（ＴＦＴ）等を用いたアクティブマトリッ
クス型ＬＣＤ（ＡＭＬＣＤ）を例にとって説明する。
と、撮像するＣＣＤの画素が、ほぼ１：１の対応をする
ことになる。この時、欠陥の判断は、ＬＣＤの１画素単
位で十分であるが、ここでＣＣＤで画像情報を標本化す
る際の“折り返し歪”の問題が発生する。ここでは薄膜
トランジスタ（ＴＦＴ）等を用いたアクティブマトリッ
クス型ＬＣＤ（ＡＭＬＣＤ）を例にとって説明する。
【０００８】上記したように、ＡＭＬＣＤではバックラ
イトからの漏れ光を排除して、表示特性を高めるため
に、遮光膜２（図１０〜図１２参照）が設けられるのが
一般的である。したがって、ＡＭＬＣＤ表示面における
Ａ−Ａ線（図１１参照）方向の発光分布は図１４に示す
ようになる。図１４において、横軸は距離（画素単
位）、縦軸は発光分布（相対単位）を示しており、遮光
膜部ａにおいて、発光量は低く、開口部ｂにおいて、発
光量は高くなっている。つまり、ＡＭＬＣＤの画素密度
に対応した空間周波数ｆを有している。このような発光
分布は、他のドットマトリックス型フラットパネルディ
スプレイ〔ＥＬ（エレクトロ・ルミネッセンス）・ＰＤ
Ｐ（プラズマ・ディスプレイ・パネル）〕の場合も、無
論存在する。
イトからの漏れ光を排除して、表示特性を高めるため
に、遮光膜２（図１０〜図１２参照）が設けられるのが
一般的である。したがって、ＡＭＬＣＤ表示面における
Ａ−Ａ線（図１１参照）方向の発光分布は図１４に示す
ようになる。図１４において、横軸は距離（画素単
位）、縦軸は発光分布（相対単位）を示しており、遮光
膜部ａにおいて、発光量は低く、開口部ｂにおいて、発
光量は高くなっている。つまり、ＡＭＬＣＤの画素密度
に対応した空間周波数ｆを有している。このような発光
分布は、他のドットマトリックス型フラットパネルディ
スプレイ〔ＥＬ（エレクトロ・ルミネッセンス）・ＰＤ
Ｐ（プラズマ・ディスプレイ・パネル）〕の場合も、無
論存在する。
【０００９】同様にＣＣＤも一つの画素内に有限な大き
さの感光部分を有しているために、その感度分布に対応
した標本化周波数ｆｓを有する。この時、ナイキスト周
波数ｆｎ＜ｆｓ／２までの画像情報は、標本化された信
号から再び元の画像に復元できるが、ｆｎより高い周波
数の画像情報成分は、標本化周波数との差の周波数の成
分（ｆ’＝ｆｓ−ｆ）に変わり、この成分は偽信号とな
る。このような画像情報から画像を組み立てると、空間
周波数の高い部分にモアレと呼ばれる画像劣化が生じ
る。
さの感光部分を有しているために、その感度分布に対応
した標本化周波数ｆｓを有する。この時、ナイキスト周
波数ｆｎ＜ｆｓ／２までの画像情報は、標本化された信
号から再び元の画像に復元できるが、ｆｎより高い周波
数の画像情報成分は、標本化周波数との差の周波数の成
分（ｆ’＝ｆｓ−ｆ）に変わり、この成分は偽信号とな
る。このような画像情報から画像を組み立てると、空間
周波数の高い部分にモアレと呼ばれる画像劣化が生じ
る。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上記したモアレは、Ｃ
ＣＤ上に結像する明暗分布のピッチが、画素ピッチに近
づくにつれて、ＣＣＤ画素の出力信号の振幅変調度は、
結像パターンとＣＣＤ画素の位置関係によって大きく変
動する。したがって、モアレが悪影響を及ぼすのは、明
画像中から暗欠陥を抽出する際や、シミ・ムラなどの不
均一性を判断する場合である。
ＣＤ上に結像する明暗分布のピッチが、画素ピッチに近
づくにつれて、ＣＣＤ画素の出力信号の振幅変調度は、
結像パターンとＣＣＤ画素の位置関係によって大きく変
動する。したがって、モアレが悪影響を及ぼすのは、明
画像中から暗欠陥を抽出する際や、シミ・ムラなどの不
均一性を判断する場合である。
【００１１】以後、明画像中の暗欠陥を例にとって説明
する。これらの現象をシミュレーションにより確認した
結果を図１５及び図１６に示す。このシミュレーション
は１次元の結像光量分布について計算したもので、ＡＭ
ＬＣＤ結像パターンピッチを１．０、ＡＭＬＣＤ開口率
を０．７５として、ＣＣＤ画像ピッチとＣＣＤ開口率を
相対的に変化させたものである。なお各条件において受
光量は最大受光量を１に正規化した。
する。これらの現象をシミュレーションにより確認した
結果を図１５及び図１６に示す。このシミュレーション
は１次元の結像光量分布について計算したもので、ＡＭ
ＬＣＤ結像パターンピッチを１．０、ＡＭＬＣＤ開口率
を０．７５として、ＣＣＤ画像ピッチとＣＣＤ開口率を
相対的に変化させたものである。なお各条件において受
光量は最大受光量を１に正規化した。
【００１２】図１５はモアレとＣＣＤ画像ピッチの関係
を示した図であり、この図から明らかなように、ＣＣＤ
画像ピッチと、結像ＡＭＬＣＤピッチが１：１からずれ
ると、それぞれの空間周波数の差に対応するモアレが発
生することがわかる。このことから、ＣＣＤ画像ピッチ
と結像ＡＭＬＣＤピッチを、水平と垂直の２方向で１：
１に合わせれば、モアレは全く発生しないが、これは現
実的には不可能である。つまり、そのように、ＣＣＤ画
像ピッチと結像ＡＭＬＣＤピッチを、水平と垂直の２方
向で１：１に正確に一致させることは、機械系及びカメ
ラの光学系からして限界があり、また、完全に一致して
いるか否かを確認することは極めて困難である。
を示した図であり、この図から明らかなように、ＣＣＤ
画像ピッチと、結像ＡＭＬＣＤピッチが１：１からずれ
ると、それぞれの空間周波数の差に対応するモアレが発
生することがわかる。このことから、ＣＣＤ画像ピッチ
と結像ＡＭＬＣＤピッチを、水平と垂直の２方向で１：
１に合わせれば、モアレは全く発生しないが、これは現
実的には不可能である。つまり、そのように、ＣＣＤ画
像ピッチと結像ＡＭＬＣＤピッチを、水平と垂直の２方
向で１：１に正確に一致させることは、機械系及びカメ
ラの光学系からして限界があり、また、完全に一致して
いるか否かを確認することは極めて困難である。
【００１３】図１６はモアレとＣＣＤ開口率の関係を示
した図であり、この図から明らかなように、ＣＣＤ開口
部と結像したＡＭＬＣＤ開口部の位置関係から、ＣＣＤ
開口率が小さいほどモアレの影響が大きくなることがわ
かる。これらのＣＣＤ出力信号から欠陥を抽出するため
には、二値化などの画像処理手法が用いられるが、この
モアレが発生していると、モアレによる偽信号が本来の
表示欠陥による輝度変化に近い強度を示す場合があり、
これを欠陥として誤判定してしまうという問題があっ
た。
した図であり、この図から明らかなように、ＣＣＤ開口
部と結像したＡＭＬＣＤ開口部の位置関係から、ＣＣＤ
開口率が小さいほどモアレの影響が大きくなることがわ
かる。これらのＣＣＤ出力信号から欠陥を抽出するため
には、二値化などの画像処理手法が用いられるが、この
モアレが発生していると、モアレによる偽信号が本来の
表示欠陥による輝度変化に近い強度を示す場合があり、
これを欠陥として誤判定してしまうという問題があっ
た。
【００１４】また、白表示の画像データと、黒表示の画
像データからコントラストの分布を求める際にも、悪影
響を及ぼすことは明白である。このモアレの悪影響を防
止するためには、ＣＣＤ画素ピッチを縮める（結像する
ＡＭＬＣＤ１画素に対応するＣＣＤ画素を増やす）と同
時に、感光部分の面積（ＣＣＤの開口率）を小さくする
必要がある。しかしながら、ＡＭＬＣＤ１画素の結像パ
ターンに、複数個のＣＣＤ画素を割り当てるということ
は、前述のように、１個のＡＭＬＣＤの表示領域を分割
検査するということであり、検査効率上問題がある。
像データからコントラストの分布を求める際にも、悪影
響を及ぼすことは明白である。このモアレの悪影響を防
止するためには、ＣＣＤ画素ピッチを縮める（結像する
ＡＭＬＣＤ１画素に対応するＣＣＤ画素を増やす）と同
時に、感光部分の面積（ＣＣＤの開口率）を小さくする
必要がある。しかしながら、ＡＭＬＣＤ１画素の結像パ
ターンに、複数個のＣＣＤ画素を割り当てるということ
は、前述のように、１個のＡＭＬＣＤの表示領域を分割
検査するということであり、検査効率上問題がある。
【００１５】また、ＣＣＤの開口率を小さくするという
ことは、ＣＣＤデバイスそのもののＳ／Ｎを劣化させる
ことになり、様々な悪影響を招くことになる。更には、
図１７に示すような、ＣＣＤ出力信号に遮光膜による暗
部が、完全に検出される条件では、単純な２値化手法に
より、欠陥を検出することが困難となる。
ことは、ＣＣＤデバイスそのもののＳ／Ｎを劣化させる
ことになり、様々な悪影響を招くことになる。更には、
図１７に示すような、ＣＣＤ出力信号に遮光膜による暗
部が、完全に検出される条件では、単純な２値化手法に
より、欠陥を検出することが困難となる。
【００１６】また、モアレの発生した画像データから、
モアレの空間周波数を求め、この周波数成分を除去する
２次元デジタル空間バンドパスフィルタをかけることに
より、モアレの影響を排除する手法もあるが、大容量高
速演算が必要となり、検査コスト・検査時間の点で問題
となる。本発明は、ドットマトリックス型フラットパネ
ルディスプレイの表示状態を検査するに当たり、前述し
たような不具合点、即ち、ＣＣＤ撮像データからドット
マトリックス型フラットパネルディスプレイの欠陥座標
が特定可能で、かつ、限られた有効画素数のＣＣＤで撮
像できるドットマトリックス型フラットパネルディスプ
レイの最高画素数であるところの条件である、ＣＣＤ上
で結像したドットマトリックス型フラットパネルディス
プレイパターンのピッチと、ＣＣＤ画素ピッチが約１：
１の対応をして、再生画像上にモアレが発生するような
状態でも、モアレの影響を抑制して、容易に欠陥が判定
できるような、フラットパネルディスプレイの表示欠陥
抽出方法及びそのための装置を提供することを目的とす
る。
モアレの空間周波数を求め、この周波数成分を除去する
２次元デジタル空間バンドパスフィルタをかけることに
より、モアレの影響を排除する手法もあるが、大容量高
速演算が必要となり、検査コスト・検査時間の点で問題
となる。本発明は、ドットマトリックス型フラットパネ
ルディスプレイの表示状態を検査するに当たり、前述し
たような不具合点、即ち、ＣＣＤ撮像データからドット
マトリックス型フラットパネルディスプレイの欠陥座標
が特定可能で、かつ、限られた有効画素数のＣＣＤで撮
像できるドットマトリックス型フラットパネルディスプ
レイの最高画素数であるところの条件である、ＣＣＤ上
で結像したドットマトリックス型フラットパネルディス
プレイパターンのピッチと、ＣＣＤ画素ピッチが約１：
１の対応をして、再生画像上にモアレが発生するような
状態でも、モアレの影響を抑制して、容易に欠陥が判定
できるような、フラットパネルディスプレイの表示欠陥
抽出方法及びそのための装置を提供することを目的とす
る。
【００１７】
【問題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 （Ａ）ドットマトリックス型フラットパネルディスプレ
イの表示状態を固体撮像素子による画像データを用い
て、その表示状態を検査するフラットパネルディスプレ
イの表示欠陥抽出方法において、（ａ）前記固体撮像素
子上で結像したドットマトリックス型フラットパネルデ
ィスプレイパターンを撮像し、（ｂ）該撮像ポジション
に対し、前記結像したドットマトリックス型フラットパ
ネルディスプレイパターンのピッチの１／２だけ固体撮
像素子を移動させた撮像ポジションで、ドットマトリッ
クス型フラットパネルディスプレイパターンを撮像し、
（ｃ）上記各撮像による画像データを合成し、画像デー
タに含まれるモアレ成分を抑制して表示欠陥を抽出す
る。
成するために、 （Ａ）ドットマトリックス型フラットパネルディスプレ
イの表示状態を固体撮像素子による画像データを用い
て、その表示状態を検査するフラットパネルディスプレ
イの表示欠陥抽出方法において、（ａ）前記固体撮像素
子上で結像したドットマトリックス型フラットパネルデ
ィスプレイパターンを撮像し、（ｂ）該撮像ポジション
に対し、前記結像したドットマトリックス型フラットパ
ネルディスプレイパターンのピッチの１／２だけ固体撮
像素子を移動させた撮像ポジションで、ドットマトリッ
クス型フラットパネルディスプレイパターンを撮像し、
（ｃ）上記各撮像による画像データを合成し、画像デー
タに含まれるモアレ成分を抑制して表示欠陥を抽出す
る。
【００１８】また、より具体的には、（ａ）第１の固体
撮像素子のポジションで、固体撮像素子上で結像したド
ットマトリックス型フラットパネルディスプレイパター
ンを撮像し、第１の画像データを作成し、（ｂ）前記第
１の固体撮像素子のポジションに対し、Ｘ軸方向及びＹ
軸方向に前記結像したドットマトリックス型フラットパ
ネルディスプレイパターンのピッチの１／２だけ固体撮
像素子を移動させた第２の固体撮像素子のポジション
で、ドットマトリックス型フラットパネルディスプレイ
パターンを撮像し、第２の画像データを作成し、（ｃ）
前記第１の画像データと前記第２の画像データ間の合成
を行い、モアレＸ成分及びＹ成分を除去した合成画像デ
ータを作成する。
撮像素子のポジションで、固体撮像素子上で結像したド
ットマトリックス型フラットパネルディスプレイパター
ンを撮像し、第１の画像データを作成し、（ｂ）前記第
１の固体撮像素子のポジションに対し、Ｘ軸方向及びＹ
軸方向に前記結像したドットマトリックス型フラットパ
ネルディスプレイパターンのピッチの１／２だけ固体撮
像素子を移動させた第２の固体撮像素子のポジション
で、ドットマトリックス型フラットパネルディスプレイ
パターンを撮像し、第２の画像データを作成し、（ｃ）
前記第１の画像データと前記第２の画像データ間の合成
を行い、モアレＸ成分及びＹ成分を除去した合成画像デ
ータを作成する。
【００１９】これに代えて、（ａ）第１の固体撮像素子
のポジションで、固体撮像素子上で結像したドットマト
リックス型フラットパネルディスプレイパターンを撮像
し、第１の画像データを作成し、（ｂ）前記第１の固体
撮像素子のポジションに対し、Ｘ軸方向に前記結像した
ドットマトリックス型フラットパネルディスプレイパタ
ーンのピッチの１／２だけ固体撮像素子を移動させた第
２の固体撮像素子のポジションで、ドットマトリックス
型フラットパネルディスプレイパターンを撮像し、第２
の画像データを作成し、（ｃ）前記第１の画像データと
前記第２の画像データ間の合成を行い、モアレＸ成分を
除去した第１の合成画像データを作成し、（ｄ）前記第
１の固体撮像素子のポジションに対し、Ｙ軸方向に前記
結像したドットマトリックス型フラットパネルディスプ
レイパターンのピッチの１／２だけ固体撮像素子を移動
させた第３の固体撮像素子のポジションで、ドットマト
リックス型フラットパネルディスプレイパターンを撮像
し、第３の画像データを作成し、（ｅ）前記第３の固体
撮像素子のポジションに対し、Ｘ軸方向に前記結像した
ドットマトリックス型フラットパネルディスプレイパタ
ーンのピッチの１／２だけ固体撮像素子を移動させた第
４の固体撮像素子のポジションで、ドットマトリックス
型フラットパネルディスプレイパターンを撮像し、第４
の画像データを作成し、（ｆ）前記第３の画像データと
前記第４の画像データ間の合成を行いモアレＸ成分を除
去した第２の合成画像データを作成し、（ｇ）前記第１
の合成画像データと前記第２の合成画像データとの合成
を行いモアレＹ成分を除去した第３の合成画像データを
作成するようにしてもよい。
のポジションで、固体撮像素子上で結像したドットマト
リックス型フラットパネルディスプレイパターンを撮像
し、第１の画像データを作成し、（ｂ）前記第１の固体
撮像素子のポジションに対し、Ｘ軸方向に前記結像した
ドットマトリックス型フラットパネルディスプレイパタ
ーンのピッチの１／２だけ固体撮像素子を移動させた第
２の固体撮像素子のポジションで、ドットマトリックス
型フラットパネルディスプレイパターンを撮像し、第２
の画像データを作成し、（ｃ）前記第１の画像データと
前記第２の画像データ間の合成を行い、モアレＸ成分を
除去した第１の合成画像データを作成し、（ｄ）前記第
１の固体撮像素子のポジションに対し、Ｙ軸方向に前記
結像したドットマトリックス型フラットパネルディスプ
レイパターンのピッチの１／２だけ固体撮像素子を移動
させた第３の固体撮像素子のポジションで、ドットマト
リックス型フラットパネルディスプレイパターンを撮像
し、第３の画像データを作成し、（ｅ）前記第３の固体
撮像素子のポジションに対し、Ｘ軸方向に前記結像した
ドットマトリックス型フラットパネルディスプレイパタ
ーンのピッチの１／２だけ固体撮像素子を移動させた第
４の固体撮像素子のポジションで、ドットマトリックス
型フラットパネルディスプレイパターンを撮像し、第４
の画像データを作成し、（ｆ）前記第３の画像データと
前記第４の画像データ間の合成を行いモアレＸ成分を除
去した第２の合成画像データを作成し、（ｇ）前記第１
の合成画像データと前記第２の合成画像データとの合成
を行いモアレＹ成分を除去した第３の合成画像データを
作成するようにしてもよい。
【００２０】また、これに代えて、（ａ）第１の固体撮
像素子のポジションで、固体撮像素子上で結像したドッ
トマトリックス型フラットパネルディスプレイパターン
を撮像し、第１の画像データを作成し、（ｂ）前記第１
の固体撮像素子のポジションに対し、Ｙ軸方向に前記結
像したドットマトリックス型フラットパネルディスプレ
イパターンのピッチの１／２だけ固体撮像素子を移動さ
せた第２の固体撮像素子のポジションで、ドットマトリ
ックス型フラットパネルディスプレイパターンを撮像
し、第２の画像データを作成し、（ｃ）前記第１の画像
データと前記第２の画像データ間の合成を行い、モアレ
Ｙ成分を除去した第１の合成画像データを作成し、
（ｄ）前記第１の固体撮像素子のポジションに対し、Ｘ
軸方向に前記結像したドットマトリックス型フラットパ
ネルディスプレイパターンのピッチの１／２だけ固体撮
像素子を移動させた第３の固体撮像素子のポジション
で、ドットマトリックス型フラットパネルディスプレイ
パターンを撮像し、第３の画像データを作成し、（ｅ）
前記第３の固体撮像素子のポジションに対し、Ｙ軸方向
に前記結像したドットマトリックス型フラットパネルデ
ィスプレイパターンのピッチの１／２だけ固体撮像素子
を移動させた第４の固体撮像素子のポジションで、ドッ
トマトリックス型フラットパネルディスプレイパターン
を撮像し、第４の画像データを作成し、（ｆ）前記第３
の画像データと前記第４の画像データ間の合成を行いモ
アレＹ成分を除去した第２の合成画像データを作成し、
（ｇ）前記第１の合成画像データと前記第２の合成画像
データとの合成を行いモアレＸ成分を除去した第３の合
成画像データを作成するようにしたものである。
像素子のポジションで、固体撮像素子上で結像したドッ
トマトリックス型フラットパネルディスプレイパターン
を撮像し、第１の画像データを作成し、（ｂ）前記第１
の固体撮像素子のポジションに対し、Ｙ軸方向に前記結
像したドットマトリックス型フラットパネルディスプレ
イパターンのピッチの１／２だけ固体撮像素子を移動さ
せた第２の固体撮像素子のポジションで、ドットマトリ
ックス型フラットパネルディスプレイパターンを撮像
し、第２の画像データを作成し、（ｃ）前記第１の画像
データと前記第２の画像データ間の合成を行い、モアレ
Ｙ成分を除去した第１の合成画像データを作成し、
（ｄ）前記第１の固体撮像素子のポジションに対し、Ｘ
軸方向に前記結像したドットマトリックス型フラットパ
ネルディスプレイパターンのピッチの１／２だけ固体撮
像素子を移動させた第３の固体撮像素子のポジション
で、ドットマトリックス型フラットパネルディスプレイ
パターンを撮像し、第３の画像データを作成し、（ｅ）
前記第３の固体撮像素子のポジションに対し、Ｙ軸方向
に前記結像したドットマトリックス型フラットパネルデ
ィスプレイパターンのピッチの１／２だけ固体撮像素子
を移動させた第４の固体撮像素子のポジションで、ドッ
トマトリックス型フラットパネルディスプレイパターン
を撮像し、第４の画像データを作成し、（ｆ）前記第３
の画像データと前記第４の画像データ間の合成を行いモ
アレＹ成分を除去した第２の合成画像データを作成し、
（ｇ）前記第１の合成画像データと前記第２の合成画像
データとの合成を行いモアレＸ成分を除去した第３の合
成画像データを作成するようにしたものである。
【００２１】（Ｂ）ドットマトリックス型フラットパネ
ルディスプレイの表示状態を固体撮像素子による画像デ
ータを用いて、その表示状態を検査するフラットパネル
ディスプレイの表示欠陥抽出装置において、（ａ）前記
ドットマトリックス型フラットパネルディスプレイの駆
動回路と、（ｂ）前記固体撮像素子の駆動回路と、
（ｃ）前記固体撮像素子の位置を制御する固体撮像素子
位置制御機構と、（ｄ）該固体撮像素子位置制御機構を
制御する位置制御回路と、（ｅ）前記固体撮像素子から
得られる画像データを処理する画像データ処理装置とを
設けるようにしたものである。
ルディスプレイの表示状態を固体撮像素子による画像デ
ータを用いて、その表示状態を検査するフラットパネル
ディスプレイの表示欠陥抽出装置において、（ａ）前記
ドットマトリックス型フラットパネルディスプレイの駆
動回路と、（ｂ）前記固体撮像素子の駆動回路と、
（ｃ）前記固体撮像素子の位置を制御する固体撮像素子
位置制御機構と、（ｄ）該固体撮像素子位置制御機構を
制御する位置制御回路と、（ｅ）前記固体撮像素子から
得られる画像データを処理する画像データ処理装置とを
設けるようにしたものである。
【００２２】また、固体撮像素子位置制御機構が該固体
撮像素子上で結像したドットマトリックス型フラットパ
ネルディスプレイパターンのピッチの１／２移動させる
ようにしたものである。更に、固体撮像素子位置制御機
構は微小移動装置であり、例えば、圧電素子からなる。
撮像素子上で結像したドットマトリックス型フラットパ
ネルディスプレイパターンのピッチの１／２移動させる
ようにしたものである。更に、固体撮像素子位置制御機
構は微小移動装置であり、例えば、圧電素子からなる。
【００２３】
【作用】本発明によれば、上記のように構成したので、
ＣＣＤが通常位置で撮像した画像データと、ＣＣＤ上で
結像したドットマトリックス型フラットパネルディスプ
レイパターンのピッチの１／２だけ、ＣＣＤを水平方向
に移動させて撮像した画像データを合成することによ
り、モアレの影響によるＣＣＤ出力信号強度の変動を抑
制することにより、表示欠陥による輝度変化を抽出し易
くすることができる。
ＣＣＤが通常位置で撮像した画像データと、ＣＣＤ上で
結像したドットマトリックス型フラットパネルディスプ
レイパターンのピッチの１／２だけ、ＣＣＤを水平方向
に移動させて撮像した画像データを合成することによ
り、モアレの影響によるＣＣＤ出力信号強度の変動を抑
制することにより、表示欠陥による輝度変化を抽出し易
くすることができる。
【００２４】したがって、簡便にモアレの影響を抑制し
て、効率よく表示状態の検査を行うことできる。また、
ドットマトリックス型フラットパネルディスプレイの表
示領域の狭い領域を拡大撮像して、遮光膜の暗部がＣＣ
Ｄ出力信号に再現される場合でも、表示欠陥を抽出する
ことが可能である。
て、効率よく表示状態の検査を行うことできる。また、
ドットマトリックス型フラットパネルディスプレイの表
示領域の狭い領域を拡大撮像して、遮光膜の暗部がＣＣ
Ｄ出力信号に再現される場合でも、表示欠陥を抽出する
ことが可能である。
【００２５】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら詳細に説明する。図１は本発明の実施例を示すフ
ラットパネルディスプレイの表示欠陥抽出装置の全体構
成図、図２は本発明の実施例を示すＣＣＤカメラ位置制
御機構を示す図、図３は本発明の第１実施例を示すＣＣ
Ｄカメラポジションを示す図、図４は本発明の第１の実
施例を示すフラットパネルディスプレイの表示欠陥抽出
フローチャート、図５は本発明の第２の実施例を示すＣ
ＣＤカメラポジションを示す図、図６は本発明の第２の
実施例を示すフラットパネルディスプレイの表示欠陥抽
出フローチャートである。
ながら詳細に説明する。図１は本発明の実施例を示すフ
ラットパネルディスプレイの表示欠陥抽出装置の全体構
成図、図２は本発明の実施例を示すＣＣＤカメラ位置制
御機構を示す図、図３は本発明の第１実施例を示すＣＣ
Ｄカメラポジションを示す図、図４は本発明の第１の実
施例を示すフラットパネルディスプレイの表示欠陥抽出
フローチャート、図５は本発明の第２の実施例を示すＣ
ＣＤカメラポジションを示す図、図６は本発明の第２の
実施例を示すフラットパネルディスプレイの表示欠陥抽
出フローチャートである。
【００２６】図１に示すように、本発明のフラットパネ
ルディスプレイの表示欠陥抽出装置は、ＡＭＬＣＤパネ
ルディスプレイ１の表示領域をＣＣＤカメラ２０を駆動
させて撮像し、モアレを抑制して、フラットパネルディ
スプレイの表示欠陥抽出を行う。その構成は、概略、Ｃ
ＣＤカメラ２０を駆動する装置と、ＣＣＤ２２からのＣ
ＣＤ出力信号の処理装置とからなる。
ルディスプレイの表示欠陥抽出装置は、ＡＭＬＣＤパネ
ルディスプレイ１の表示領域をＣＣＤカメラ２０を駆動
させて撮像し、モアレを抑制して、フラットパネルディ
スプレイの表示欠陥抽出を行う。その構成は、概略、Ｃ
ＣＤカメラ２０を駆動する装置と、ＣＣＤ２２からのＣ
ＣＤ出力信号の処理装置とからなる。
【００２７】すなわち、制御装置３０は、マイクロプロ
グラムプロセッサ３１、領域番号付け部３２ａ，画像間
演算部３２ｂ，積和演算部３２ｃ，タイミングコントロ
ーラ３２ｄからなるパイプラインプロセッサ３２、Ｉ／
Ｏバス３３、高速画像データバス３４、バッファメモリ
３５ａ、フレームメモリ３５ｂ、モニタメモリ３５ｃか
らなる画像メモリ３５、前記Ｉ／Ｏバス３３に接続され
るインタフェース３６、バス３７、上位コンピュータ４
３と接続される６８ＫＣＰＵ３８、メモリ３９、ＡＭＬ
ＣＤ駆動回路４４に接続されるＩ／Ｏ装置４０、ＣＣＤ
カメラ２０を駆動するＣＣＤカメラ駆動回路４５に接続
されるＩ／Ｏ装置４１、ＣＣＤカメラ２０の位置を制御
するＣＣＤカメラ位置制御回路４６に接続されるＩ／Ｏ
装置４２が備えられている。
グラムプロセッサ３１、領域番号付け部３２ａ，画像間
演算部３２ｂ，積和演算部３２ｃ，タイミングコントロ
ーラ３２ｄからなるパイプラインプロセッサ３２、Ｉ／
Ｏバス３３、高速画像データバス３４、バッファメモリ
３５ａ、フレームメモリ３５ｂ、モニタメモリ３５ｃか
らなる画像メモリ３５、前記Ｉ／Ｏバス３３に接続され
るインタフェース３６、バス３７、上位コンピュータ４
３と接続される６８ＫＣＰＵ３８、メモリ３９、ＡＭＬ
ＣＤ駆動回路４４に接続されるＩ／Ｏ装置４０、ＣＣＤ
カメラ２０を駆動するＣＣＤカメラ駆動回路４５に接続
されるＩ／Ｏ装置４１、ＣＣＤカメラ２０の位置を制御
するＣＣＤカメラ位置制御回路４６に接続されるＩ／Ｏ
装置４２が備えられている。
【００２８】ＡＭＬＣＤの表示は、制御装置３０のＩ／
Ｏ装置４０を介して行われ、ＣＣＤカメラ駆動は、制御
装置３０のＩ／Ｏ装置４１を介して行われ、ＣＣＤカメ
ラ位置制御は、制御装置３０のＩ／Ｏ装置４２から出力
される信号に基づき、ＣＣＤカメラ位置制御回路４６に
より、ＣＣＤカメラ位置機構を制御することにより行わ
れる。
Ｏ装置４０を介して行われ、ＣＣＤカメラ駆動は、制御
装置３０のＩ／Ｏ装置４１を介して行われ、ＣＣＤカメ
ラ位置制御は、制御装置３０のＩ／Ｏ装置４２から出力
される信号に基づき、ＣＣＤカメラ位置制御回路４６に
より、ＣＣＤカメラ位置機構を制御することにより行わ
れる。
【００２９】また、ＣＣＤカメラ２０からのＣＣＤ出力
信号は、画像メモリ３５のモニタメモリ３５ｃからフレ
ームメモリ３５ｂに転送され、後述するフローチャート
により画像処理され、そのＣＣＤ出力信号は、モニタメ
モリ３５ｃを介してＴＶモニタ４７により、モニタする
ことができる。更に、制御装置３０は６８ＫＣＰＵ３８
を介して、上位コンピュータ４３と接続され、協働し
て、データ処理を行うように構成されている。
信号は、画像メモリ３５のモニタメモリ３５ｃからフレ
ームメモリ３５ｂに転送され、後述するフローチャート
により画像処理され、そのＣＣＤ出力信号は、モニタメ
モリ３５ｃを介してＴＶモニタ４７により、モニタする
ことができる。更に、制御装置３０は６８ＫＣＰＵ３８
を介して、上位コンピュータ４３と接続され、協働し
て、データ処理を行うように構成されている。
【００３０】以下、順にその動作を説明する。 （１）ＡＭＬＣＤの表示制御 ＡＭＬＣＤパネルディスプレイ１上に、等間隔ドットパ
ターンや格子パターン等を表示し、表示データと画像メ
モリデータを照合することにより、ＡＭＬＣＤ画素座標
と画像メモリアドレスの対応を確認する。この時、カメ
ラレンズ系の歪も同時に補正される。
ターンや格子パターン等を表示し、表示データと画像メ
モリデータを照合することにより、ＡＭＬＣＤ画素座標
と画像メモリアドレスの対応を確認する。この時、カメ
ラレンズ系の歪も同時に補正される。
【００３１】その後、検査目的に応じた表示を行うが、
ＡＭＬＣＤの走査線駆動方法に起因する輝度傾斜を考慮
して、走査タイミングと撮像タイミングを任意に制御で
きるようにした。 （２）ＣＣＤカメラ制御 表示検査用画像データを表示したＡＭＬＣＤ画面の撮像
において、表示画面の輝度に合わせて、露光時間を制御
した。従って、 輝度Ｙ∞画像データ／撮像露光時間 となる。このことにより、フレームメモリのビット数を
越えるコントラストＣＲの演算が可能となる。（次式参
照） ＣＲ＝（Ｙ1 ×Ｓ2 ）／（Ｙ2 ×Ｓ1 ） Ｙ1 ：白画像輝度データ Ｙ2 ：黒画像輝度データ Ｓ1 ：白画像の撮像露光時間 Ｓ2 ：黒画像の撮像露光時間 （３）ＣＣＤカメラ位置制御 本発明の実施例においては、モアレの悪影響を排除する
ために、通常に撮像した画像データと、ＣＣＤ上で結像
したＡＭＬＣＤパターンピッチの１／２だけＣＣＤを移
動させて撮像した画像データと合成するが、Ｘ方向とＹ
方向（２次元）のモアレを排除するために、それぞれの
方向の結像ＡＭＬＣＤパターンピッチの１／２だけずら
して撮像する必要がある。
ＡＭＬＣＤの走査線駆動方法に起因する輝度傾斜を考慮
して、走査タイミングと撮像タイミングを任意に制御で
きるようにした。 （２）ＣＣＤカメラ制御 表示検査用画像データを表示したＡＭＬＣＤ画面の撮像
において、表示画面の輝度に合わせて、露光時間を制御
した。従って、 輝度Ｙ∞画像データ／撮像露光時間 となる。このことにより、フレームメモリのビット数を
越えるコントラストＣＲの演算が可能となる。（次式参
照） ＣＲ＝（Ｙ1 ×Ｓ2 ）／（Ｙ2 ×Ｓ1 ） Ｙ1 ：白画像輝度データ Ｙ2 ：黒画像輝度データ Ｓ1 ：白画像の撮像露光時間 Ｓ2 ：黒画像の撮像露光時間 （３）ＣＣＤカメラ位置制御 本発明の実施例においては、モアレの悪影響を排除する
ために、通常に撮像した画像データと、ＣＣＤ上で結像
したＡＭＬＣＤパターンピッチの１／２だけＣＣＤを移
動させて撮像した画像データと合成するが、Ｘ方向とＹ
方向（２次元）のモアレを排除するために、それぞれの
方向の結像ＡＭＬＣＤパターンピッチの１／２だけずら
して撮像する必要がある。
【００３２】ここで、本実施例においては、ＣＣＤをず
らす手法として、圧電素子により、ＣＣＤカメラ自体を
ＸとＹの２方向に、数μｍ〜１００μｍ程度移動させる
ことができる。例えば、図２に示すように、ベース２１
上に摺動台２３を設け、該摺動台２３に枠２５を設け、
該枠２５に圧電素子からなる微小移動装置２６を設け、
これによりＣＣＤ２２を吊るし、摺動台２３は圧電素子
からなる微小移動装置２４によりＸ軸方向に移動可能に
し、前記微小移動装置２６によりＹ軸方向に移動可能に
構成する。これらの微小移動装置２４及び２６は前記し
たＣＣＤカメラ位置制御回路４６により制御される。
らす手法として、圧電素子により、ＣＣＤカメラ自体を
ＸとＹの２方向に、数μｍ〜１００μｍ程度移動させる
ことができる。例えば、図２に示すように、ベース２１
上に摺動台２３を設け、該摺動台２３に枠２５を設け、
該枠２５に圧電素子からなる微小移動装置２６を設け、
これによりＣＣＤ２２を吊るし、摺動台２３は圧電素子
からなる微小移動装置２４によりＸ軸方向に移動可能に
し、前記微小移動装置２６によりＹ軸方向に移動可能に
構成する。これらの微小移動装置２４及び２６は前記し
たＣＣＤカメラ位置制御回路４６により制御される。
【００３３】この方法以外には、(1) ＣＣＤカメラ内で
ＣＣＤチップそのものを圧電素子により移動させる方
法。(2) カメラレンズを移動させる方法等がある。ま
た、必要な移動量は、ＡＭＬＣＤのＸＹ両方向の画素ピ
ッチとカメラレンズ倍率から、ＣＣＤ上で結像したＡＭ
ＬＣＤ画素ピッチを求めた。 （４）画像処理制御 ＣＣＤカメラ２０より得られるＣＣＤ出力信号は、制御
装置３０のモニタメモリ３５ｃを介して、フレームメモ
リ３５ｂに転送され、画像処理される。
ＣＣＤチップそのものを圧電素子により移動させる方
法。(2) カメラレンズを移動させる方法等がある。ま
た、必要な移動量は、ＡＭＬＣＤのＸＹ両方向の画素ピ
ッチとカメラレンズ倍率から、ＣＣＤ上で結像したＡＭ
ＬＣＤ画素ピッチを求めた。 （４）画像処理制御 ＣＣＤカメラ２０より得られるＣＣＤ出力信号は、制御
装置３０のモニタメモリ３５ｃを介して、フレームメモ
リ３５ｂに転送され、画像処理される。
【００３４】以下、本発明の第１の実施例を示すフラッ
トパネルディスプレイの表示欠陥抽出方法を図３及び図
４を参照しながら詳細に説明する。 （１）まず、図３に示すＣＣＤカメラポジション１で、
ＣＣＤ上で結像したＡＭＬＣＤを撮像し、データ｛Ｄ00
（ｘn,ｙn ）｝をフレームメモリ（１）３５ｂへ転送す
る（ステップＳ１）。
トパネルディスプレイの表示欠陥抽出方法を図３及び図
４を参照しながら詳細に説明する。 （１）まず、図３に示すＣＣＤカメラポジション１で、
ＣＣＤ上で結像したＡＭＬＣＤを撮像し、データ｛Ｄ00
（ｘn,ｙn ）｝をフレームメモリ（１）３５ｂへ転送す
る（ステップＳ１）。
【００３５】（２）次に、ＣＣＤカメラポジション１よ
りＣＣＤ上で結像したＴＦＴパターンＸ方向及びＹ方向
ピッチの１／２だけ移動したＣＣＤカメラポジション２
で、ＣＣＤ上で結像したＡＭＬＣＤを撮像し、データ
｛Ｄ11（ｘn,ｙn ）｝をフレームメモリ（２）３５ｂへ
転送する（ステップＳ２）。 （３）次に、モアレＸ成分及びＹ成分を除去するため
に、画像間演算部３２ｂで画像間演算を行う。すなわ
ち、上記により転送されたデータ｛Ｄ00（ｘn,ｙn）｝
とデータ｛Ｄ11（ｘn,ｙn ）｝とを加算し、２で除算
し、データＤ（ｘn,ｙn ）を求める。演算結果は、フレ
ームメモリ（３）３５ｂへ転送する（ステップＳ３）。
りＣＣＤ上で結像したＴＦＴパターンＸ方向及びＹ方向
ピッチの１／２だけ移動したＣＣＤカメラポジション２
で、ＣＣＤ上で結像したＡＭＬＣＤを撮像し、データ
｛Ｄ11（ｘn,ｙn ）｝をフレームメモリ（２）３５ｂへ
転送する（ステップＳ２）。 （３）次に、モアレＸ成分及びＹ成分を除去するため
に、画像間演算部３２ｂで画像間演算を行う。すなわ
ち、上記により転送されたデータ｛Ｄ00（ｘn,ｙn）｝
とデータ｛Ｄ11（ｘn,ｙn ）｝とを加算し、２で除算
し、データＤ（ｘn,ｙn ）を求める。演算結果は、フレ
ームメモリ（３）３５ｂへ転送する（ステップＳ３）。
【００３６】このようにして、Ｘ・Ｙ両方向のモアレが
抑制される。因に、２で除算しているのは、画像処理装
置内のフレームメモリにおけるデータのオーバーフロー
を防止するためである。以下、本発明の第２の実施例を
示すフラットパネルディスプレイの表示欠陥抽出方法を
図５及び図６を参照しながら詳細に説明する。
抑制される。因に、２で除算しているのは、画像処理装
置内のフレームメモリにおけるデータのオーバーフロー
を防止するためである。以下、本発明の第２の実施例を
示すフラットパネルディスプレイの表示欠陥抽出方法を
図５及び図６を参照しながら詳細に説明する。
【００３７】（１）まず、図５に示すＣＣＤカメラポジ
ション１で、ＣＣＤ上で結像したＡＭＬＣＤを撮像し、
データ｛Ｄ00（ｘn,ｙn ）｝をフレームメモリ（１）３
５ｂへ転送する（ステップＳ１１）。 （２）次に、ＣＣＤカメラポジション１よりＣＣＤ上で
結像したＴＦＴパターンＸ方向ピッチの１／２だけ移動
したＣＣＤカメラポジション２で、ＣＣＤ上で結像した
ＡＭＬＣＤを撮像し、データ｛Ｄ10（ｘn,ｙn ）｝をフ
レームメモリ（２）３５ｂへ転送する（ステップＳ１
２）。
ション１で、ＣＣＤ上で結像したＡＭＬＣＤを撮像し、
データ｛Ｄ00（ｘn,ｙn ）｝をフレームメモリ（１）３
５ｂへ転送する（ステップＳ１１）。 （２）次に、ＣＣＤカメラポジション１よりＣＣＤ上で
結像したＴＦＴパターンＸ方向ピッチの１／２だけ移動
したＣＣＤカメラポジション２で、ＣＣＤ上で結像した
ＡＭＬＣＤを撮像し、データ｛Ｄ10（ｘn,ｙn ）｝をフ
レームメモリ（２）３５ｂへ転送する（ステップＳ１
２）。
【００３８】（３）次に、モアレＸ成分を除去するため
に、画像間演算部３２ｂで画像間演算を行う。すなわ
ち、上記により転送されたデータ｛Ｄ00（ｘn,ｙn ）｝
とデータ｛Ｄ10（ｘn,ｙn ）｝とを加算し、２で除算
し、データＤＡ（ｘn,ｙn ）を求める。演算結果は、フ
レームメモリ（１）３５ｂへ転送する（ステップＳ１
３）。
に、画像間演算部３２ｂで画像間演算を行う。すなわ
ち、上記により転送されたデータ｛Ｄ00（ｘn,ｙn ）｝
とデータ｛Ｄ10（ｘn,ｙn ）｝とを加算し、２で除算
し、データＤＡ（ｘn,ｙn ）を求める。演算結果は、フ
レームメモリ（１）３５ｂへ転送する（ステップＳ１
３）。
【００３９】（４）次に、ＣＣＤカメラポジション１よ
りＣＣＤ上で結像したＴＦＴパターンＹ方向ピッチの１
／２だけ移動したＣＣＤカメラポジション３で、ＣＣＤ
上で結像したＡＭＬＣＤを撮像し、データ｛Ｄ01（ｘn,
ｙn ）｝をフレームメモリ（２）３５ｂへ転送する（ス
テップ１４）。 （５）次に、ＣＣＤカメラポジション３よりＣＣＤ上で
結像したＴＦＴパターンＸ方向ピッチの１／２だけ移動
したＣＣＤカメラポジション４で、ＣＣＤ上で結像した
ＡＭＬＣＤを撮像し、データ｛Ｄ11（ｘn,ｙn ）｝をフ
レームメモリ（３）３５ｂへ転送する（ステップ１
５）。
りＣＣＤ上で結像したＴＦＴパターンＹ方向ピッチの１
／２だけ移動したＣＣＤカメラポジション３で、ＣＣＤ
上で結像したＡＭＬＣＤを撮像し、データ｛Ｄ01（ｘn,
ｙn ）｝をフレームメモリ（２）３５ｂへ転送する（ス
テップ１４）。 （５）次に、ＣＣＤカメラポジション３よりＣＣＤ上で
結像したＴＦＴパターンＸ方向ピッチの１／２だけ移動
したＣＣＤカメラポジション４で、ＣＣＤ上で結像した
ＡＭＬＣＤを撮像し、データ｛Ｄ11（ｘn,ｙn ）｝をフ
レームメモリ（３）３５ｂへ転送する（ステップ１
５）。
【００４０】（６）モアレＸ成分を除去するために、画
像間演算部３２ｂで画像間演算を行う。すなわち、上記
により転送されたデータ｛Ｄ01（ｘn,ｙn ）｝とデータ
｛Ｄ11（ｘn,ｙn ）｝とを加算し、２で除算し、データ
ＤＢ（ｘn,ｙn ）を求める。演算結果は、フレームメモ
リ（２）３５ｂへ転送する（ステップ１６）。 （７）モアレＹ成分を除去するために、画像間演算部３
２ｂで画像間演算を行う。すなわち、上記により転送さ
れたデータＤＡとＤＢとを加算し、２で除算し、データ
Ｄ（ｘn,ｙn ）を求める。その演算結果をフレームメモ
リ（３）３５ｂへ転送する（ステップ１７）。
像間演算部３２ｂで画像間演算を行う。すなわち、上記
により転送されたデータ｛Ｄ01（ｘn,ｙn ）｝とデータ
｛Ｄ11（ｘn,ｙn ）｝とを加算し、２で除算し、データ
ＤＢ（ｘn,ｙn ）を求める。演算結果は、フレームメモ
リ（２）３５ｂへ転送する（ステップ１６）。 （７）モアレＹ成分を除去するために、画像間演算部３
２ｂで画像間演算を行う。すなわち、上記により転送さ
れたデータＤＡとＤＢとを加算し、２で除算し、データ
Ｄ（ｘn,ｙn ）を求める。その演算結果をフレームメモ
リ（３）３５ｂへ転送する（ステップ１７）。
【００４１】このようにして、Ｘ・Ｙ両方向のモアレが
抑制される。因に、２で除算しているのは、画像処理装
置内のフレームメモリにおけるデータのオーバーフロー
を防止するためである。次に、実際にモアレが抑制され
る効果については、簡単のために１次元のシミュレーシ
ョン結果により説明する。
抑制される。因に、２で除算しているのは、画像処理装
置内のフレームメモリにおけるデータのオーバーフロー
を防止するためである。次に、実際にモアレが抑制され
る効果については、簡単のために１次元のシミュレーシ
ョン結果により説明する。
【００４２】まず、シミュレーションの手法について説
明する。ＣＣＤ上で結像するＡＭＬＣＤパターンの光学
像ＬＣＤ（ｘ）のフーリエ級数をＬＣＤ（ｆ）、ＣＣＤ
の開口分布ＯＰＮ（ｘ）のフーリエ級数をＣＣＤ（ｆ）
とすると、ＣＣＤの開口部を通した受光像のフーリエ級
数ＣＣＤ（ｆ）は、 ＣＣＤ（ｆ）＝ＬＣＤ（ｆ）・ＯＰＮ（ｆ） で表される。従って、ＣＣＤ上で結像したＡＭＬＣＤパ
ターンピッチの１／２だけずらした光学像ＬＣＤ′
（ｘ）のフーリエ級数をＬＣＤ′（ｆ）とすると、その
時の受光像のフーリエ級数ＣＣＤ′（ｆ）は、 ＣＣＤ′（ｆ）＝ＬＣＤ′（ｆ）・ＯＰＮ（ｆ） で表される。そこで２つの受光像を加算すると、 ＣＣＤ′′（ｆ）＝ＬＣＤ（ｆ）・ＯＰＮ（ｆ）＋ＬＣ
Ｄ′（ｆ）・ＯＰＮ（ｆ） となる。この計算に基づいて、ＣＣＤ１画素単位での受
光量を求め、更に、それぞれの最大受光量を１に正規化
して本実施例の効果を測った。
明する。ＣＣＤ上で結像するＡＭＬＣＤパターンの光学
像ＬＣＤ（ｘ）のフーリエ級数をＬＣＤ（ｆ）、ＣＣＤ
の開口分布ＯＰＮ（ｘ）のフーリエ級数をＣＣＤ（ｆ）
とすると、ＣＣＤの開口部を通した受光像のフーリエ級
数ＣＣＤ（ｆ）は、 ＣＣＤ（ｆ）＝ＬＣＤ（ｆ）・ＯＰＮ（ｆ） で表される。従って、ＣＣＤ上で結像したＡＭＬＣＤパ
ターンピッチの１／２だけずらした光学像ＬＣＤ′
（ｘ）のフーリエ級数をＬＣＤ′（ｆ）とすると、その
時の受光像のフーリエ級数ＣＣＤ′（ｆ）は、 ＣＣＤ′（ｆ）＝ＬＣＤ′（ｆ）・ＯＰＮ（ｆ） で表される。そこで２つの受光像を加算すると、 ＣＣＤ′′（ｆ）＝ＬＣＤ（ｆ）・ＯＰＮ（ｆ）＋ＬＣ
Ｄ′（ｆ）・ＯＰＮ（ｆ） となる。この計算に基づいて、ＣＣＤ１画素単位での受
光量を求め、更に、それぞれの最大受光量を１に正規化
して本実施例の効果を測った。
【００４３】その結果の一例を図７と図８に示す図７に
は、ＣＣＤ画素ピッチが０．９と１．１の場合の結果を
示したが、どちらの場合においても、本来の画素欠陥が
単なる二値化手法では検出できない程度のモアレが発生
しており〔図７（ａ）の（ii）及び（iii ）、図７
（ｂ）の（ii）及び（iii ）参照〕、そのモアレが、上
記したように、合成される〔図７（ａ）の（iv）、図７
（ｂ）の（iv）参照〕ことにより、十分に、二値化手法
で欠陥が抽出可能な程度に抑制されていることがわか
る。
は、ＣＣＤ画素ピッチが０．９と１．１の場合の結果を
示したが、どちらの場合においても、本来の画素欠陥が
単なる二値化手法では検出できない程度のモアレが発生
しており〔図７（ａ）の（ii）及び（iii ）、図７
（ｂ）の（ii）及び（iii ）参照〕、そのモアレが、上
記したように、合成される〔図７（ａ）の（iv）、図７
（ｂ）の（iv）参照〕ことにより、十分に、二値化手法
で欠陥が抽出可能な程度に抑制されていることがわか
る。
【００４４】図８にはＣＣＤ出力信号にＡＭＬＣＤ結像
パターンの暗部が再現される条件の結果を示す。この
時、モアレは全く発生しないが、画素欠陥の暗部とＡＭ
ＬＣＤの遮光膜による暗部が、全く同じ信号レベルとな
るため、二値化手法により、欠陥を抽出することは完全
に不可能となる。しかしながら、本発明の方法によれ
ば、図に示されるように、二値化手法による欠陥の抽出
が可能である。
パターンの暗部が再現される条件の結果を示す。この
時、モアレは全く発生しないが、画素欠陥の暗部とＡＭ
ＬＣＤの遮光膜による暗部が、全く同じ信号レベルとな
るため、二値化手法により、欠陥を抽出することは完全
に不可能となる。しかしながら、本発明の方法によれ
ば、図に示されるように、二値化手法による欠陥の抽出
が可能である。
【００４５】ここで、この本来のモアレによる受光量変
化をモアレ強度、また、本発明の方法により抑制された
後のモアレによる受光量変化を残留モアレ強度と定義
し、ＡＭＬＣＤ画素ピッチに対するＣＣＤ画素ピッチを
変化させた時のモアレ強度と残留モアレ強度の変化を図
９に示す。この図９に示すように、ＡＭＬＣＤ結像画素
ピッチとＣＣＤ画素ピッチの比が１：１の時、全くモア
レが発生せず、この条件からずれると、急激にモアレが
発生していたが、本発明の方法により、従来の傾向が大
きく低減されていることがわかる。これは明画像中の暗
欠陥を抽出する際だけでなく、表示画像領域でのシミ・
ムラ等の不均一性の判断を行う際に、非常に効果的であ
る。
化をモアレ強度、また、本発明の方法により抑制された
後のモアレによる受光量変化を残留モアレ強度と定義
し、ＡＭＬＣＤ画素ピッチに対するＣＣＤ画素ピッチを
変化させた時のモアレ強度と残留モアレ強度の変化を図
９に示す。この図９に示すように、ＡＭＬＣＤ結像画素
ピッチとＣＣＤ画素ピッチの比が１：１の時、全くモア
レが発生せず、この条件からずれると、急激にモアレが
発生していたが、本発明の方法により、従来の傾向が大
きく低減されていることがわかる。これは明画像中の暗
欠陥を抽出する際だけでなく、表示画像領域でのシミ・
ムラ等の不均一性の判断を行う際に、非常に効果的であ
る。
【００４６】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能で
あり、それらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
のではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能で
あり、それらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【００４７】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、ドットマトリックス型フラットパネルディスプ
レイの表示状態を検査する場合、簡便にモアレの影響を
抑制して、効率よく表示状態の検査を行うことできる。
また、ドットマトリックス型フラットパネルディスプレ
イの表示領域の狭い領域を拡大撮像して、遮光膜の暗部
がＣＣＤ出力信号に再現される場合でも、表示欠陥を抽
出することが可能である。
よれば、ドットマトリックス型フラットパネルディスプ
レイの表示状態を検査する場合、簡便にモアレの影響を
抑制して、効率よく表示状態の検査を行うことできる。
また、ドットマトリックス型フラットパネルディスプレ
イの表示領域の狭い領域を拡大撮像して、遮光膜の暗部
がＣＣＤ出力信号に再現される場合でも、表示欠陥を抽
出することが可能である。
【図１】本発明の実施例を示すフラットパネルディスプ
レイの表示欠陥抽出装置の全体構成図である。
レイの表示欠陥抽出装置の全体構成図である。
【図２】本発明の実施例を示すフラットパネルディスプ
レイの表示欠陥抽出装置のＣＣＤカメラ位置制御機構を
示す図である。
レイの表示欠陥抽出装置のＣＣＤカメラ位置制御機構を
示す図である。
【図３】本発明の第１実施例を示すフラットパネルディ
スプレイの表示欠陥抽出装置のＣＣＤカメラポジション
を示す図である。
スプレイの表示欠陥抽出装置のＣＣＤカメラポジション
を示す図である。
【図４】本発明の第１実施例を示すフラットパネルディ
スプレイの表示欠陥抽出フローチャートである。
スプレイの表示欠陥抽出フローチャートである。
【図５】本発明の第２実施例を示すフラットパネルディ
スプレイの表示欠陥抽出装置のＣＣＤカメラポジション
を示す図である。
スプレイの表示欠陥抽出装置のＣＣＤカメラポジション
を示す図である。
【図６】本発明の第２実施例を示すフラットパネルディ
スプレイの表示欠陥抽出フローチャートである。
スプレイの表示欠陥抽出フローチャートである。
【図７】本発明によるフラットパネルディスプレイの表
示欠陥抽出（ＣＣＤ画素ピッチが０．９と１．１の場
合）のシミュレーション結果を示す図である。
示欠陥抽出（ＣＣＤ画素ピッチが０．９と１．１の場
合）のシミュレーション結果を示す図である。
【図８】本発明によるフラットパネルディスプレイの表
示欠陥抽出（ＣＣＤ出力信号にＡＭＬＣＤ結像パターン
の暗部が再現される条件）のシミュレーション結果を示
す図である。
示欠陥抽出（ＣＣＤ出力信号にＡＭＬＣＤ結像パターン
の暗部が再現される条件）のシミュレーション結果を示
す図である。
【図９】ＣＣＤ画素ピッチとモアレ強度の関係を示す図
である。
である。
【図１０】従来のドットマトリックス型フラットパネル
ディスプレイの一例を示す平面図である。
ディスプレイの一例を示す平面図である。
【図１１】図１０のＡ部の拡大図である。
【図１２】図１１のＡ−Ａ線断面図である。
【図１３】従来のドットマトリックス型フラットパネル
ディスプレイのＣＣＤによる撮像状態を示す図である。
ディスプレイのＣＣＤによる撮像状態を示す図である。
【図１４】従来のドットマトリックス型フラットパネル
ディスプレイによる発光分布を示す図である。
ディスプレイによる発光分布を示す図である。
【図１５】従来のモアレとＣＣＤ画素ピッチとの関係を
示す図である。
示す図である。
【図１６】従来のモアレとＣＣＤ開口率との関係を示す
図である。
図である。
【図１７】従来のドットマトリックス型フラットパネル
ディスプレイの遮光膜を完全に検出する場合のＣＣＤ受
光量分布を示す図である。
ディスプレイの遮光膜を完全に検出する場合のＣＣＤ受
光量分布を示す図である。
１ ＡＭＬＣＤパネルディスプレイ ２０ ＣＣＤカメラ ２１ ベース ２２ ＣＣＤ ２３ 摺動台 ２４，２６ 微小移動装置 ２５ 枠 ３０ 制御装置 ３１ マイクロプログラムプロセッサ ３２ａ 領域番号付け部 ３２ｂ 画像間演算部 ３２ｃ 積和演算部 ３２ｄ タイミングコントローラ ３２ パイプラインプロセッサ ３３ Ｉ／Ｏバス ３４ 高速画像データバス ３５ 画像メモリ ３５ａ バッファメモリ ３５ｂ フレームメモリ ３５ｃ モニタメモリ ３６ インタフェース ３７ バス ３８ ６８ＫＣＰＵ ３９ メモリ ４０，４１，４２ Ｉ／Ｏ装置 ４３ 上位コンピュータ ４４ ＡＭＬＣＤ駆動回路 ４５ ＣＣＤカメラ駆動回路 ４６ ＣＣＤカメラ位置制御回路 ４７ ＴＶモニタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 内海 英孝 東京都八王子市石川町2951−５ カシオ計 算機株式会社八王子研究所内 (72)発明者 角 忍 東京都八王子市石川町2951−５ カシオ計 算機株式会社八王子研究所内
Claims (8)
- 【請求項１】 ドットマトリックス型フラットパネルデ
ィスプレイの表示状態を固体撮像素子による画像データ
を用いて、その表示状態を検査するフラットパネルディ
スプレイの表示欠陥抽出方法において、（ａ）前記固体
撮像素子上で結像したドットマトリックス型フラットパ
ネルディスプレイパターンを撮像し、（ｂ）該撮像ポジ
ションに対し、前記結像したドットマトリックス型フラ
ットパネルディスプレイパターンのピッチの１／２だけ
固体撮像素子を移動させた撮像ポジションで、ドットマ
トリックス型フラットパネルディスプレイパターンを撮
像し、（ｃ）上記各撮像による画像データを合成し、画
像データに含まれるモアレ成分を抑制して表示欠陥を抽
出することを特徴とするフラットパネルディスプレイの
表示欠陥抽出方法。 - 【請求項２】 ドットマトリックス型フラットパネルデ
ィスプレイの表示状態を固体撮像素子による画像データ
を用いて、その表示状態を検査するフラットパネルディ
スプレイの表示欠陥抽出方法において、（ａ）第１の固
体撮像素子のポジションで、固体撮像素子上で結像した
ドットマトリックス型フラットパネルディスプレイパタ
ーンを撮像し、第１の画像データを作成し、（ｂ）前記
第１の固体撮像素子のポジションに対し、Ｘ軸方向及び
Ｙ軸方向に前記結像したドットマトリックス型フラット
パネルディスプレイパターンのピッチの１／２だけ固体
撮像素子を移動させた第２の固体撮像素子のポジション
で、ドットマトリックス型フラットパネルディスプレイ
パターンを撮像し、第２の画像データを作成し、（ｃ）
前記第１の画像データと前記第２の画像データ間の合成
を行い、モアレＸ及びＹ成分を除去した合成画像データ
を作成することを特徴とするフラットパネルディスプレ
イの表示欠陥抽出方法。 - 【請求項３】 ドットマトリックス型フラットパネルデ
ィスプレイの表示状態を固体撮像素子による画像データ
を用いて、その表示状態を検査するフラットパネルディ
スプレイの表示欠陥抽出方法において、（ａ）第１の固
体撮像素子のポジションで、固体撮像素子上で結像した
ドットマトリックス型フラットパネルディスプレイパタ
ーンを撮像し、第１の画像データを作成し、（ｂ）前記
第１の固体撮像素子のポジションに対し、Ｘ軸方向に前
記結像したドットマトリックス型フラットパネルディス
プレイパターンのピッチの１／２だけ固体撮像素子を移
動させた第２の固体撮像素子のポジションで、ドットマ
トリックス型フラットパネルディスプレイパターンを撮
像し、第２の画像データを作成し、（ｃ）前記第１の画
像データと前記第２の画像データ間の合成を行い、モア
レＸ成分を除去した第１の合成画像データを作成し、
（ｄ）前記第１の固体撮像素子のポジションに対し、Ｙ
軸方向に前記結像したドットマトリックス型フラットパ
ネルディスプレイパターンのピッチの１／２だけ固体撮
像素子を移動させた第３の固体撮像素子のポジション
で、ドットマトリックス型フラットパネルディスプレイ
パターンを撮像し、第３の画像データを作成し、（ｅ）
前記第３の固体撮像素子のポジションに対し、Ｘ軸方向
に前記結像したドットマトリックス型フラットパネルデ
ィスプレイパターンのピッチの１／２だけ固体撮像素子
を移動させた第４の固体撮像素子のポジションで、ドッ
トマトリックス型フラットパネルディスプレイパターン
を撮像し、第４の画像データを作成し、（ｆ）前記第３
の画像データと前記第４の画像データ間の合成を行いモ
アレＸ成分を除去した第２の合成画像データを作成し、
（ｇ）前記第１の合成画像データと前記第２の合成画像
データとの合成を行いモアレＹ成分を除去した第３の合
成画像データを作成することを特徴とするフラットパネ
ルディスプレイの表示欠陥抽出方法。 - 【請求項４】 ドットマトリックス型フラットパネルデ
ィスプレイの表示状態を固体撮像素子による画像データ
を用いて、その表示状態を検査するフラットパネルディ
スプレイの表示欠陥抽出方法において、（ａ）第１の固
体撮像素子のポジションで、固体撮像素子上で結像した
ドットマトリックス型フラットパネルディスプレイパタ
ーンを撮像し、第１の画像データを作成し、（ｂ）前記
第１の固体撮像素子のポジションに対し、Ｙ軸方向に前
記結像したドットマトリックス型フラットパネルディス
プレイパターンのピッチの１／２だけ固体撮像素子を移
動させた第２の固体撮像素子のポジションで、ドットマ
トリックス型フラットパネルディスプレイパターンを撮
像し、第２の画像データを作成し、（ｃ）前記第１の画
像データと前記第２の画像データ間の合成を行い、モア
レＹ成分を除去した第１の合成画像データを作成し、
（ｄ）前記第１の固体撮像素子のポジションに対し、Ｘ
軸方向に前記結像したドットマトリックス型フラットパ
ネルディスプレイパターンのピッチの１／２だけ固体撮
像素子を移動させた第３の固体撮像素子のポジション
で、ドットマトリックス型フラットパネルディスプレイ
パターンを撮像し、第３の画像データを作成し、（ｅ）
前記第３の固体撮像素子のポジションに対し、Ｙ軸方向
に前記結像したドットマトリックス型フラットパネルデ
ィスプレイパターンのピッチの１／２だけ固体撮像素子
を移動させた第４の固体撮像素子のポジションで、ドッ
トマトリックス型フラットパネルディスプレイパターン
を撮像し、第４の画像データを作成し、（ｆ）前記第３
の画像データと前記第４の画像データ間の合成を行いモ
アレＹ成分を除去した第２の合成画像データを作成し、
（ｇ）前記第１の合成画像データと前記第２の合成画像
データとの合成を行いモアレＸ成分を除去した第３の合
成画像データを作成することを特徴とするフラットパネ
ルディスプレイの表示欠陥抽出方法。 - 【請求項５】 ドットマトリックス型フラットパネルデ
ィスプレイの表示状態を固体撮像素子による画像データ
を用いて、その表示状態を検査するフラットパネルディ
スプレイの表示欠陥抽出装置において、（ａ）前記ドッ
トマトリックス型フラットパネルディスプレイの駆動回
路と、（ｂ）前記固体撮像素子の駆動回路と、（ｃ）前
記固体撮像素子の位置を制御する固体撮像素子位置制御
機構と、（ｄ）該固体撮像素子位置制御機構を制御する
位置制御回路と、（ｅ）前記固体撮像素子から得られる
画像データを処理する画像データ処理装置とを具備する
ことを特徴とするフラットパネルディスプレイの表示欠
陥抽出装置。 - 【請求項６】 前記固体撮像素子位置制御機構が該固体
撮像素子上で結像したドットマトリックス型フラットパ
ネルディスプレイパターンのピッチの１／２移動させる
ことを特徴とする請求項５記載のフラットパネルディス
プレイの表示欠陥抽出装置。 - 【請求項７】 前記固体撮像素子位置制御機構は微小移
動装置である請求項５記載のフラットパネルディスプレ
イの表示欠陥抽出装置。 - 【請求項８】 前記微小移動装置は圧電素子からなる請
求項５記載のフラットパネルディスプレイの表示欠陥抽
出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32029794A JP3408879B2 (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | フラットパネルディスプレイの表示欠陥抽出方法及びそのための装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32029794A JP3408879B2 (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | フラットパネルディスプレイの表示欠陥抽出方法及びそのための装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08178797A true JPH08178797A (ja) | 1996-07-12 |
| JP3408879B2 JP3408879B2 (ja) | 2003-05-19 |
Family
ID=18119937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32029794A Expired - Lifetime JP3408879B2 (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | フラットパネルディスプレイの表示欠陥抽出方法及びそのための装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3408879B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6831995B1 (en) | 1999-03-23 | 2004-12-14 | Hitachi, Ltd. | Method for detecting a defect in a pixel of an electrical display unit and a method for manufacturing an electrical display unit |
| JP2005249946A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Inter Action Corp | 表示装置の欠陥検査装置 |
| KR100589109B1 (ko) * | 2001-08-20 | 2006-06-13 | 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키 | 전자 디스플레이 화질 검사 장치 |
| US7889358B2 (en) | 2006-04-26 | 2011-02-15 | Sharp Kabushiki Kaisha | Color filter inspection method, color filter manufacturing method, and color filter inspection apparatus |
| WO2011151866A1 (ja) * | 2010-06-04 | 2011-12-08 | パナソニック株式会社 | 発光表示パネルの輝度測定方法 |
| KR20220145265A (ko) * | 2021-04-20 | 2022-10-28 | 주식회사 히타치하이테크 | 결함 검사 장치, 및 결함 검사 방법 |
-
1994
- 1994-12-22 JP JP32029794A patent/JP3408879B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6831995B1 (en) | 1999-03-23 | 2004-12-14 | Hitachi, Ltd. | Method for detecting a defect in a pixel of an electrical display unit and a method for manufacturing an electrical display unit |
| KR100589109B1 (ko) * | 2001-08-20 | 2006-06-13 | 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키 | 전자 디스플레이 화질 검사 장치 |
| JP2005249946A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Inter Action Corp | 表示装置の欠陥検査装置 |
| US7889358B2 (en) | 2006-04-26 | 2011-02-15 | Sharp Kabushiki Kaisha | Color filter inspection method, color filter manufacturing method, and color filter inspection apparatus |
| WO2011151866A1 (ja) * | 2010-06-04 | 2011-12-08 | パナソニック株式会社 | 発光表示パネルの輝度測定方法 |
| JP5624133B2 (ja) * | 2010-06-04 | 2014-11-12 | パナソニック株式会社 | 発光表示パネルの輝度測定方法 |
| US9322707B2 (en) | 2010-06-04 | 2016-04-26 | Joled Inc. | Method for measuring luminance of light-emitting display panel |
| KR20220145265A (ko) * | 2021-04-20 | 2022-10-28 | 주식회사 히타치하이테크 | 결함 검사 장치, 및 결함 검사 방법 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3408879B2 (ja) | 2003-05-19 |
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