JPH03289538A - 分光々度計 - Google Patents

分光々度計

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JPH03289538A
JPH03289538A JP9034290A JP9034290A JPH03289538A JP H03289538 A JPH03289538 A JP H03289538A JP 9034290 A JP9034290 A JP 9034290A JP 9034290 A JP9034290 A JP 9034290A JP H03289538 A JPH03289538 A JP H03289538A
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JP
Japan
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sample
light
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reflected
reflectance
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Application number
JP9034290A
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English (en)
Inventor
Takeo Murakoshi
村越 武雄
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、密閉容器を用いて物質の絶対反射率を測定す
る分光4廣計に係り、特に測定光の密閉容器の入出射窓
による、反射誤差を除去する機能を持った分光々度計に
関する。
〔従来の技術〕
従来の装置においては、第3図に示したように、試料を
納めた密閉容器に測定光を照射した時、密閉容器の入出
射窓による、測定に必要のない反射光が、試料による反
射光と重なってしまい、このため測定した試料の光学反
射率には誤差が含まれてしまっていた。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記従来装置では、光源からの測定光が密閉容器の入出
射窓に対して、小さな角度で入射すると、密閉容器の入
出射窓で反射した光と、試料で反射した光が重なり合う
ので、反射率の低い物質を測定するとき誤差が大きくな
るため、密閉容器の入出射窓での反射光の影響を除去す
る必要があった。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するために、試料による反射光と密閉容
器の入出射窓からの反射光が重ならないように、密閉容
器の入出射窓を傾けた。
また、別な方法として、試料として反射を防ぐ物体を測
定することにより、密閉容器の入出射窓による反射の値
を求めて、これにより目的の試料を計測した時に、測定
した値を補正演算を行い、誤差のない試料の絶対反射率
を得ることができる。
〔作用〕
密閉容器の入出射窓を傾斜させることにより、窓からの
反射光は、試料からの反射光とは異なる方向に進むので
、試料の測定に悪影響を与ぼさない。
また、入出射窓からの反射光のみを測定しておくことに
よって、目的の試料の測定をした後で、補正演算を行っ
て誤差のない絶対反射率を求めることができる。
〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を図を用いて説明する。
第2図は分光々度肝の装置全体の構成を示し、光源部1
から発生した白色光を分光器2により対照光BRと試料
光Bsにより分割し、対照光BRと試料光Bsはミラー
3により積分球5に導かれる。
光路上には光束の大きさを被検体の大きさに応じて可変
するマスク4を配置する。試料光Bsは本発明にかかる
反射装置9に入射される。また、積分球5の出口には酸
化アルミニウムの粉体を圧縮成形した完全拡散板6が取
り付けられており、これにより、積分球5は反射装置を
通ってきた試料光Bsと対照光BRを拡散させて、積分
球5の内壁(硫酸バリウム塗布)でさらに拡散させた後
に。
内壁窓より光電管(図示せず)に取り込むことにより測
定を行う。分光々度肝のカバーに積分球5の試料光側付
近にあるふた8を取り外すと、積分球に入射した光を確
認できる窓を有している。
第3図は、従来例のクライオスタットを用いた窓ペイ溶
器により超低温での物質の反射率を測定する反射装置を
示している。試料光Bsは平面ミラー10.球面鏡11
を介してクライオスタット15の入射窓12に入射する
。ベースライン補正時には、入射窓12の反射率R2、
出射窓14の反射率R14、ミラー16の反射率R1B
、ミラー17の反射率R17とするとクライオスタット
の入射窓に照射する光量112とレンズ18に照射する
光量I 1gBの間には次の式が成立つ。
I 1ss= I z2(1−R12)(1−R14)
R18′R17・・・(1) 一方、試料測定時は、試料13の反射率R13とミラー
16′ (ミラー16と同じもの)の反射率R1B、ミ
ラー17′(ミラー17を回転した状態)の反射率R1
7よりレンズ18に照射する光量I 18mには以下の
式が成立する。
Ixgm=Itz(1−Rzz)Rta(I  R12
)RIB・R17十112電R1zNRta轡R17・
・・(2)(1)と(2)比を求めると、反射率R^は
以下の式より求まる。
エエas       11z(1−R12)(1−R
14)RIB・R17(I  Rxz)(Rxa)(1
−Rtz)+R1z(1−Rxs)(1−1(14) R1z弁R14 (3)式で入射窓が石英板のとき反射率Rx2.は8%
(両面)あるので、Rsz/ (I  R12)”の項
の値は0.095  となり測定サンプルの反射率R1
sの値が10%程度のときは無視できない測定誤差原因
となる。
(3)式の第2項を除去するためには、第1図のように
クライオスタットの入射窓12を傾斜させることにより
、入射窓による反射光がサンプルによる反射光と重なら
ないようにする。又は、第3図の装置で試料位置に無反
射物質を置き入射窓の反射光112・R12・Rte・
R17を計測し試料測定後、以下の(4)式の演算を行
い除去する。
I lam’ = I l1m −I 12°R12′
R16°Rエフ= 112(1−Rzz)Rxs(1−
Rzz)Rta ′R17・・・(4) これにより、試料の測定結果から入出射窓の反射による
誤差を取り除き、正確な反射率を求めることができる。
第4図は基準ミラー19を基準として試料の相対反射率
を求め、基準ミラー19による絶対値を別装置で求めて
おき試料測光値に掛は絶対値を求める方式のクライオス
タット15を用いた反射ユニットの図を示している。こ
の方式でもクライオスタット15の入射窓による反射光
は入射角θが小さいときはミラ16′に試料反射光と重
なり誤差を大きくする。
第4図においてクライオスタットの入射窓の反射率R1
z、入射光量11!、基準ミラーの反射率Rzeとする
とベースライン補正時レンズ18を照射する光量IIB
は、 IzaB=Izz(1−Rlx)Rie(1−R12)
R188Rt7+工□2°R12・RIB彎R17・・
・(5)一方、試料測定時は、 I HII: I t2(1−Rlz)Rta(1−R
12)R18譬R17+工12・Rzz・Rts−Rt
7     ・・・(6)(5)と(6)の比を求める
反射率RBは以下の(7)式のようになる。
(I  Rzz)Rza(1−Rzz)+Rzz(1−
812)R19(1−RIり+RIZ12 12 (7)式で反射率をそれぞれRIZ:8%RR19=9
0%RRza=10%Rとして式に代入すると となり、クライオスタットの入射窓での反射光をとり込
まない反射率 と比較し大幅に異る値となる。
従って、クライオスタットの表面反射光の影響を除去す
るためには(7)式のR12/ (1−RjJ)2の項
の影響をなくす必要がある。これは、式(5)及び式(
6)の第2項112・R12・RIB・R17の値を引
くかとり込まないようにすることで解決する。
その具体的解決は、試料光Bsが入射角θで試料光導入
されたとき、クライオスタットの入射窓約20即ちθ=
5°のときは約10°傾斜することによって除去できる
。又は、゛第5図に示すサンプルホールダ部を3段切換
方式として反射防止紙20を用いてクライオスタット1
5の入射窓12の反射光を実測して、(5)式及び(6
)式より第2項を引く演算をすれば(7)式は次の(8
)式となる。
111 これにより、基準ミラー19の絶縁反射率R1eの値を
前もって求めておくことにより、試料の反射率の絶対値
R13を求めることができる。
また、第9図〜第11図に示す順序で次の様にしても、
クライオスタット窓の反射光の影響を除去できる。最初
に第9図においてクライオスタンド15なしで基準ミラ
ー19でベースライン補正をする。
この時基準ミラー19の絶対反射率R19は前もって求
めておく。
次に基準ミラー19を取外し第10図のようにクライオ
スタット15をセットし試料ホールダーに反射防止紙2
0をセット(試料ホールダをぬいた状態でも可)しクラ
イオスタンド窓12のみの反射率を計測する。次に試料
ホールダを移動し基準ミラー19をセットし反射率を測
定する。
同様にして試料ホールダを移動しサンプル13の反射率
を求める。
このようにして求めた反射率を次のような式で説明する
方法で演算し絶対値を求める。
第9図で計測した値は以下の式で表すことができる。
I 17: I 116Rse°R161R17°°(
9)同じく、第10図で計測した結果は、 I 17= I 1s°R工23R161R17°°(
10)第11図の基準ミラー19での結果は、エエ7=
I工1+R12°Rzs +R17+ I 1x(1−
Rz2)Rzs(1−R12)R1B赤R17・・・(
11) 又サンプル20での結果は I 17: I 11 ′R12+Rte @R17+
 I 11(1−Rzz)Rzs(1−Rxz)Rls
 骨R17・・・(12) (9)〜(12)のエネルギ関係より窓の反射率Rwは
(10)式を(9)式でわり (11)式の基準ミラーとクライオスタット全体の反射
率R+++Cは(11)式を(9)式でねり19 またサンプルとクライオスタット全体の反射率Rscは
(12)式を(9)式でわり R工9 (14)式と(15)式より(13)式を引くと、それ
ぞれRmc  Rw = (I  R12)”    
   ・・・(16)となり、(17)式を(16)式
でわかると19 よって試料を反射率が求まる。
以上に示した実施例によれば、クライオスタットを用い
てサンプルに対し鋭角に試料光を照射した時でも、入出
射窓からの反射光の影響を受けないで正確なサンプルの
反射率を計測できる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、試料の反射率測定に対して、試料が納
められた密閉容器の入出射窓による、測定光の反射に影
響を受けることなく、正確な反射率を求めることができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は密閉容器を傾斜させた本発明の反射装置の一実
施例、第2図は分光々度肝の全体の構成図、第3図は従
来の分光々度肝の反射装置、第4図は基準ミラーを用い
る反射装置の一実施例、第5図は第4図の実施に用いる
サンプルホルダーの図、第6図は第3図のベースライン
補正時の光学系統図、第7図は第3図の反射装置の光学
系統図、第8図は第4図の反射装置の光学系統図、第9
図〜第11図は基準ミラーと反射防止体を用いた本発明
の他の実施例の手順を示している。 訃・・積分球、6・・・完全拡散板、12.14・・・
密閉容器の窓、13・・・サンプル、15・・・クライ
オスタット、19・・・基準ミラー 2o・・・反射防
止紙。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、試料の光学反射率を測定する分光々度計において、
    上記試料を納めた密閉容器の入出射窓における、測定光
    の反射による誤差を除去する手段を備えた分光々度計。 2、特許請求の範囲第1項において、密閉容器の入出射
    窓における、測定光の反射による誤差を除去する手段と
    して、上記密閉容器の入出射窓による反射光と、上記試
    料による反射光が重ならないように、上記密閉容器の入
    出射窓を傾斜させたことを特徴とする分光々度計。 3、特許請求の範囲第1項において、上記密閉容器の入
    出射窓における、測定光の反射による誤差を除去する手
    段として、反射を防ぐ試料を用いて、上記入出射窓によ
    る反射の値を求め、目的の試料の測定値を補正すること
    を特徴とする分光々度計。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008008631A (ja) * 2006-06-27 2008-01-17 Fujifilm Corp センサ、センシング装置、及びセンシング方法
JP2010533865A (ja) * 2007-07-19 2010-10-28 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 光学的特性センサー
JP2014054484A (ja) * 2012-09-14 2014-03-27 Topcon Corp 眼底検査装置

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